TWI279379B - Automated material handling system - Google Patents

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TWI279379B TW093122109A TW93122109A TWI279379B TW I279379 B TWI279379 B TW I279379B TW 093122109 A TW093122109 A TW 093122109A TW 93122109 A TW93122109 A TW 93122109A TW I279379 B TWI279379 B TW I279379B
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Description

1279379 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種自動化物料搬運系統，特別是指 一種利用輸送帶進行物料搬運之自動化物料搬運系統。 【先前技術】 隨著製程技術不斷地提昇，半導體或光電產業所生產 的物料尺寸（包括晶圓和玻璃基板）也不斷地加大，由於這 些物料通常是以2 5片為一批（1 〇 t)放入晶舟（cassette )之 後再進行搬運，其重量明顯早已超出人力所能負載，因此 目前的廠房大都採用自動化物料搬運系統（Aut〇mated Material Handling System; AMHS)做為晶舟搬運的主要 設備。 睛荼閱圖一撕示，其係為習知技術之單迴圈（s丨n g丄e loop)自動化物料搬運系統10示意圖，包括一高架單迴圈 轨這，執道11的四周則是依據製程的需求規劃，設置各 種^此之加工中心12(bay)，而在高架單迴圈執道1 1上則 有複數個搬運車（〇verhea(j shutter，0HS)13其内部裝載 有晶舟’搬運車丨3係沿著軌道丨丨之路徑穿梭於各加工中心 間進行物、料搬運。由於物料是在各加工中心1 2之間進 订搬運，因此這樣的搬運系統一般稱為Interbay搬運系 統。 每一個加工中心；I 2内部具有一倉儲1 4以及複數個機台 (心0 1)’其中設於同一加工中心1 2内部之機台1 5在製程 上通常具有相依性，因此在製程的規劃上一個加工中心i 2 可視為一個製造單元。
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五、發明說明（2) 倉儲1 4的主要& ^ 搬運時的轉運站 此係做為搬運車1 3與機台1 5之間物料 結構，在二相對I暫存區，習知倉儲14係為一矩形之立體 1 4卜其一短邊則'長^之側邊内部係分別設有複數個傳輸埠 運機（Crane)可舁軌道11相連接，中間則是設有一搬 儲1 4係將靠近軌…各傳輸埠1 4 1之間進行物料的搬運。倉 搬運車13進行物— ΐ二傳輸埠141a、141b，當做對 則是分別與機” 4 :之輸出入埠，而其餘之傳輸埠141 料傳輸之輸出：埠連# ’並做為機台15與倉儲14之間物 由於習知；、.. 輸送軌道，因：：^動化物料搬運系統僅能提供之單向 前多為業界所# 口的控制以及輸送規劃較為簡單，目 如： 如用，但實務上仍然有許多缺點存在，例 a.搬運效率不估· 為製程需|如：技術僅能單向輸送，若物料因 進行作業，此時△車=ir=ork)，必須重返回原加工中心 技術的搬運效JJ:到原加工中心進行重工，因此，習知 b ·當習知技術庙m 空車回傳問題:ϋ”之單向傳輸時，會有 空車回傳之式ί行安㈣，習知單迴圈會有 時間考慮進去，在派車規劃上，必須將空車回傳的 C ·當習知技術Λ Ω Μ用在片段式之Interbay傳輸時，系統投資
第8頁 1279379 五、發明說明（3) 成本較高：請參閱圖二所示，若Interbay屬於片段式傳輸 時，整個搬運系統係規劃成複數個互相獨立之加工中心 區，在上述獨立加工中心區之間並不需要進行物料傳輸， 而為了便於分別，不同區之加工中心1 2其數字標號後面將 標示不同的英文字母。由於習知技術之單迴圈搬運系統丄〇 必須疋一個元整的糸統’因此’在各獨立加工中心區之間 (如虛線區域）將形成系統投資的浪費。 d ·習知技術受限於系統台車之數量，無法作為等待製程物 料(working in process，WIP)之暫存區 〇 e.習知技術的傳輸方向為固定 提供雙向傳輸之功能。 因此，對於從事自動化物 人員而言，莫不致力於提出較 點，以期能夠使物料的搬運更 【發明内容】 無法變更傳輪之方向或是 料搬運系統相關領域之研發 佺之方案解決習知技術之缺 加順暢，效率更佳。 種自動化物料搬運系統 ' 本發明之主要目的在於提供一 以提升物料之搬運效率。 本發明之'另 目的在於提供一 以避免產生空車回傳Z 57穴一種自動化物料搬運系統 本發明之又„ 統，其在應用於片& J f ;提么、種白動化物料搬運李 立加工中心區之f/又式interbay傳輸時，可以減少各=猶 本發明之：：糸統投資的浪費。 獨 統，其可提供較多】2 f二提供-種自動化物料搬運李 夕之暫存區以提供等待製㈣料^糸
第9頁 1279379 五 、發明說明（4) __ 統 性 本發明之又再一目的在於提供一種自動化物料搬 ，其可以提供雙向傳輸之功能，使物料之搬運更有彈/、 〇 2 了達到上述目的，本發明所揭露之自動化物料搬運 系統貫施例之一係包括複數個加工中心、一連續式輸送帶 以及複數個台車。 班上述複數個加工中心可依據製程的規劃成線性排列或 是環狀排列，每一個加工中心可視為一個製造單元，其内 部^j數個機台以及〆倉儲，加工中心内部之機台 通*二有却依性，在製程的規劃上可視為—製造單元。 ^ ^，為一矩形之立體結構，其在相對較長之二側 ί之= 及第二侧，分別設有複數個傳輸燁，二 機台相^I 一搬運機，其中第一側之傳輸埠係分別與 ^至少ί =進行傳輸埠與機台之間物料的傳輸，第二 埠之間物料的=係與輸送帶相連接，並進行纟車與傳輸 而搬運機則是在倉儲内部之各傳輸埠 傳輸的運站或是暫存區。 中心内部物科 連續式輸送帶可依據加工中心的排 或單迴圈，並採用古加士 4八,丨工W 4彳乃式規劃成線洗 .α Φ ^ 、—用同木方式刀別天化板以及倉儲之第二側 口 牙。複數個台車係用以搬運晶舟，晶舟內卹吖存放 一 it卜物姐，y 土 日日甘内部可存風 口車則是在連續式輸送帶所提供， 和動 I且在各加工中心之倉儲間進行物料傳翰 在本發明之中，自動化物料搬運系統係包=二第一加
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發明說明（5) 7心以及〆第二加工中心，第一‘ 丁山 滅A德於檢 〇 力 中心在倉儲之第二 /日丨丨·=¾•方一雙向傅顆彳蜂’且繁-‘ 丁 側有 , 罘一加中心在倉儲之第二·兮 雙連續式輪送帶在上述二雙向傳輸埠之間 向傳務I 有 係為雙向傳輸 當上述二加工中心所提供之製程 心彼此之間可進行製程支援並提供暫存空；:又 時，若第二加工中心之物料需要重工日;：：，段製程 式輸送帶將物料傳回第—加工中心進：重；可續 避免輸送帶在雙向傳輸時發生錯誤，本 搬:了 包括-?㈣輯：及1鎖電路裝置= ί = 2 心以及第一加工中、吼唬連接，丨並控制第一^ 中 二加工中心之間輸送帶的傳輸方向。 σ工〜與第 本發明之另一實施例係應用於片 傳輸，其包括複數個獨立之加工中心二、/terbay之物料 送帶以及複數個台車。 °° ’稷數個片段式輪 上述加工中心區彼此互 數個片段式輸送帶，:ί每其：r包含至少-加 匈之2 t機台以及一倉儲，Η二I 個加工中心具有複 之中，:—傳輪埠相連 又式輸送帶則是與倉儲第一 台車之間J用片段式輸送帶所接=二=位於片段式輸送帶 在:料傳輸。 輸路徑進行倉儲與 中心區内部^ jnterbay物料傳輸的過程中 义成加工作業， 狂τ，物枓係在力口工 無吊再輸送至其他之加卫 1279379 五、發明說明（6) 區進行加工作業，因此，本發明之各片段式輸送帶之間係 各自獨立不連接，在加工中心區之間無需建置傳輸系統， 因此不會形成浪費。此外，由於各片段式輸送帶之間彼此 互相獨立，其輸送方向可自行設計成單向傳輸或是雙向傳 輪而不會互相干擾，因此本實施例在物料的輸送規劃上較 習知技術更彈性。 【實施方式】 請參閱圖三所示，其係為本發明之自動化物料搬運夺、 統3 0之第一實施例圖，其包括複數個加工中心3 1、一連續 式輸送帶3 2以及複數個台車3 3。 ' 在自動化製程工廠中，廠房内部之加工中心3 1的安排 方式係依據製程規劃而定，而為了便於物料的輸送，加工 中心3 1通常採用線性排列或是環狀排列之規劃，每一個加 工中心3 1可視為一個製造單元，其内部係由複數個機台34 以及一倉儲3 5所組成，這些機台3 4在製程上通常具有_定 輕度之相依性，在製程的規劃上可視為一製造單元。 倉儲3 5係為一矩形之立體結構，其具有相對較長之二 7邊’包括第一侧351以及第二側35 2,倉儲35之第一側— ^51以及第二側3 52係分別設有複數個傳輸埠353，這些 :=35 3可規劃成單向傳輸埠或是雙向傳輪埠’而在二側 曰1則是設有一搬運機3 6 ( c r an e )。其中μ .. 棒353係分別與機台34相連接，並進=側351之傳輪 之間物料的傳輸，第二側二= 353與機台“ 式輪译* q外日a , 傳輸埠3 5 3係與連續 切⑭32相連接，並進行台車33與傳輪棒政間物料, 1279379 五、發明說明（7) :傳：此傳輸埠353之㈣ 站，此外，ί 做為加工中心31内部物料傳輸的轉運 /七、—卜母一個傳輸埠35 3在其垂直方向的對應位專運 "又複數個暫存區3 7 (如圖四所示），物料可以在傳料更 3 5 3與暫存區37之間進行傳輸，因此倉儲咖以做為^工 中心3 部之物料在進行製程作業時之暫存空間。 工 連’式輪送帶3 2的排列方式可以是線性或單迴圈，並 與倉儲35之第二侧3 5 2互相連接，由於第二側35 2係為倉$ 3 5之相對較長邊，因此，當連續式輸送帶3 2以高架方式架 設於天花板4時，倉儲3 5之第二側3 5 2可提供較多的支撐力 量（如圖五所示），以提高連續式輸送帶3 2之穩定性，反 之’若以倉儲3 5之短邊與輸送帶3 2相連接，其所能提供之 支撐面積以及支撐力量較少，相對地輸送帶3 2的穩定性也 較差。 複數個台車3 3係用以搬運晶舟，在晶舟内部存放有一 批物料，台車3 3可以在連續式輸送帶3 2所提供之輸送路徑 上移動，並且在上述各加工中心3 1之間進行物料傳輸。 請參閱圖、六所示，其係為‘本發明之第二實施例圖，圖 中自動化物料搬運系統β 0係包括一第一加工中心以6 1及一 第二加工中心6 2，第一加工中心6 1在倉儲6 3之第二側6 3 2 設有一雙向傳輸琿6 4，且第二加工中心6 2在倉儲6 3之第二 側6 3 2設有一雙向傳輸埠6 4，其中連續式輸送帶6 5在上述 二雙向傳輸埠6 4之間係為雙向傳輸。當上述二加工中心 6 1、6 2所提供之製程均相同時，二加工中心彼此之間可進
1279379 五、發明說明（8) 行製程支援（b a c k u p )，並提供暫存空間。 其實施方式說明如下，當第一加工中心6 1的線上產能 已達到滿載時，而第二加工中心6 2仍處於間置狀態時’此 時便可以將第一加工中心6 1暫存之物料，透過二加工中心 β 1、6 2之間的輸送帶6 5，將物料輸送至第二加工中心6 2進 行製程作業，使二加工中心6卜6 2的產能發揮到最佳之狀 態，進而提高整體的生產效率。反之，若第二加工中心6 2 的線上產能已達到滿載時’而第一加工中心6 1係處於閒置 狀態時，則透過二加工中心6 1、6 2之間的輸送帶6 3將物料 輸送至第一加工中心6 1進行製程作業。 此外，本實施例也可以應用於二個不同製程之加工中 心，其實施方式說明如下’若第一加工中心6 1係提供前段 製輕，而第二加工中心6 2係提供後段製程時，當第二加工 中心62之物料需要重工（rework)時，其可以透過二加工中 心6 1、6 2之間的輸送帶6 5，將物料傳送至第一加工中心6 1 進行重工。而為了避免輸送帶6 5在雙向傳輪時發生錯誤， 本發明之搬運系統可包括一控制邏輯6 6 (P L C)以及一聯鎖 電路裝置67 (inter lock)，分別與第一加工中心61以及第 -一加工中心6 2§fl號連接’並控制弟一加工中心6 1鱼第-工中心6 2之間輸送帶6 5的傳輸方向。 ^ —知 三實施例圖，本 運系統7 0，包括 個片段輸送帶 請蒼閱圖七所不，其係為本發明之第 實施例係應用於片段式I n t e r b a y之物料搬 複數個獨立之加工中心區7 1 a、7 1 b、複數 72a、72b以及複數個台車73a、73b。
1279379 五、發明說明（9) 上述各力口 含至少一加工 加工中心7 1具 輸送帶72則是 連接。而台車 用片段式輸送 之間之物料傳 在片段式 中心區7 1内部 心區71進行加 之間係各自獨 會形成浪費。 獨立，其輸送 因此本發明在 當然，以 較佳實施例， 習該項技藝者 本發明之範圍、 請專利範圍做 工中心區71a、 7lb彼此 中心7 1以及一片段式幹、、，相獨立，其内 有複數個製程機台7 4:送帶7 2，其中每 與倉儲75之第二側一倉儲75，片 傳輸埠 7 2之中 7 3則是分別位於片 帶72所提供之傳輪輪送帶 輸。 〗路傻進行倉儲75與台
Interbay物料傳輪的 —b 別的過程中，物料係在 元成加工作業，益兩$ 、， M、、而再輪送至其他之加 工作業，因此，本發明之各片段式輸送 立不連接’傳輸糸统在加工中心區7 1之 此外，由於各片段式輪送帶72之間彼此 方向可自行設計成單向傳輸或是雙向傳 輸送規劃上較習知技術更彈性。 上所述僅為本發明之自動化物科搬運系 其並非用以限制本發明之實施範圍，任 在不运背本發明之精神所做之修改均應 ’因此本發明之保護範圍當以下列所述 為依據。 部包 -一個 段式 7 5 3相 並利 車73 力口工 工中 帶72 間不 互相 輸， 統之 何熟 屬於 之申
1279379 圖式簡單說明 圖式之簡要說明： 圖一係為習知技術之單迴圈 圖二係為習知技術應用於片 圖三係為本發明之自動化物 圖四係為本發明之倉儲之側 圖五係為本發明輸送帶利用 圖六係為本發明之第二實施 圖七係為本發明之第三實施 圖式之圖號說明： 1 〇〜自動化物料搬運系統 1 2〜加工中心 1 4〜倉儲 1 5〜機台 3 1〜力口工中心 33〜台車 3 5〜倉儲 3 5 2〜第二侧 3 6〜搬運機 、 4〜天花板 6 1〜第一加工中心 6 3〜倉儲 6 4〜傳輸埠 6 6〜控制邏輯 7 0〜自動化物料搬運系統 自動化物料搬運系統示意圖； 段式I n t e r b a y傳輸之示意圖； 料搬運系統之第一實施例圖； 視圖， 天花板與倉儲支撐之示意圖； 例圖； 例圖； 11〜軌道 1 3〜搬運車 1 4卜傳輸埠 3 0〜自動化物料搬運系統 3 2〜連續式輸送帶 3 4〜機台 3 5 1〜第一側 3 5 3〜傳輸埠 3 7〜暫存區 6 0〜自動化物料搬運系統 6 2〜第二加工中心 6 3 2〜第二側 6 5〜連續式輸送帶 6 7〜聯鎖電路裝置 7 1〜加工中心區
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Claims (1)

1279379 "----- 六、申請專利範圍 申請專利範圍 1.一種自動化物料搬運勺 複數個加工中、、 ^ 台以及一人T〜，上述每一個加工中心具有衩數個製程機 二蟓，:倉儲，該倉儲之第一、第二側分別設有複數個傳 ^連接；述複數個機台係分別與該第/側之複數個傳輸埠 至mt: 4係分別與上述加工中心之倉儲第二側之 ^傅輪槔相連接；以及 之輸送帶所提供之傳輸路徑， i.l: ί:: ί!1項所述之自動化物料搬運系統，其中 = 一、第二側之間設有一搬運機，該搬運機 了以^述傳輸埠之間進行物料的搬運。 中t物：ί利靶圍第1項所述之自動化物料搬運系統，其 t该物枓係以一批為單位放置於一晶舟之中，再利用該台 車進行搬運。 τ : ΐ ί:。第1”t述之自動化物料搬運系統，其 、f ^ @ '貝1别达贡係為高架式，分別利用一天花板以及上 述倉储之弟二側加以支撐。 專利範圍第】項牙所述之自動化物料搬運系統，其 中遠倉儲内部之傳於+甘手古士人 寻輪埠在其垂直方向之對應位置處係設有 稷數個暫存區。 ^如申請專利範圍第lJM所述之自動統 中上述搬運系統係包括―第—加〇心Λ Λ二加工中
1279379 六、申請專利範圍 侧設有一雙向傳輸埠 設有一雙向傳輸埠，該 〇，該第一加工^心在倉儲之第 |且該第二加工中心在倉儲之第二凋衩百一雙向 連繽式輸送帶在上述二雙向傳輸埠之間係向^ 中上述二加工中心均提供相同之飯運系統，其 |程支援與暫存空間。 、 彼此之間可進行製 :申請專利範園第6項所述之自動 中該第-加工中心係提供前段製 十飯運系統，其 丨供後段製•’當該第二加工中心之物心係提 過該；續式輸送帶反向傳送至該第一加工可透 丨9 ·如申請專利範圍第f；馆 〒^進仃重工。 中該搬運系統更包括_抻在丨述之自動化物料搬運系統，其 |控制邏輯係分別與該；=;以二：聯鎖電路裝置，該 ^ Λ禾一加工中心以及 — ;連:妾’：透過該聯鎖電路裝置控制心— ：：；,:：； Τη二之間輪送帶的傳輸方向。加…與该 |複數個獨立動力巴運系广’包括·· 以及-倉儲，該倉儲;、之;=製程機台 輸埠，上述複數個機台将八弟工2 =別設有複數個傳 輸埠相連接； 口 ’、刀別/、该层儲苐一側之複數個傳 複數個片段式給# w 別與上述加工中心:^ f分別設於該加工中心區内部並分 以及 层堵第二側之至少~傳輸埠相連接； 複數個台車，係分 、 位於上述片段式輸送帶之中，並利用 \\m 第19頁
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005167083A (ja) * 2003-12-04 2005-06-23 Daifuku Co Ltd ガラス基板用の搬送設備
CN101115582B (zh) * 2005-03-15 2010-05-12 平田机工株式会社 制品运送装置
DE102008036322A1 (de) * 2008-07-29 2010-02-04 Dürr Systems GmbH Zwischenlager zum Zwischenlagern von zu lackierenden Gegenständen
TWI411565B (zh) * 2010-09-16 2013-10-11 Au Optronics Corp 物件運送控制系統
CN103663166A (zh) * 2013-12-11 2014-03-26 深圳市华星光电技术有限公司 自动化物料搬运系统及其天车系统
CN110190019A (zh) * 2018-02-22 2019-08-30 圆益Ips股份有限公司 基板运送模块以及包括该模块的基板处理系统
CN112744586B (zh) * 2020-12-23 2022-09-02 乐金显示光电科技(中国)有限公司 一种玻璃基板的搬运控制方法及控制系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100515740B1 (ko) * 1998-08-14 2005-09-20 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
EP1202325A1 (en) * 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH & Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
US6580967B2 (en) * 2001-06-26 2003-06-17 Applied Materials, Inc. Method for providing distributed material management and flow control in an integrated circuit factory
US6968753B2 (en) * 2002-05-09 2005-11-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Vibration-dampening base for ball-type lead screw of load port transfer system

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