TWI274726B - Substrate delivering apparatus - Google Patents

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TWI274726B
TWI274726B TW094120153A TW94120153A TWI274726B TW I274726 B TWI274726 B TW I274726B TW 094120153 A TW094120153 A TW 094120153A TW 94120153 A TW94120153 A TW 94120153A TW I274726 B TWI274726 B TW I274726B
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Yong-Jun Park
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Description

127471· 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種基底傳送裝置，且特別是有關於 一種具有改良傳送機械結構的基底傳送裝置。 【先前技術】 傳統上，半導體製造設備包括基底傳送裝置以自動地 =半導體組件（例如LCD基底）並藉由此無人自動化的 生產線來增加工作的效率。 近年來，大尺寸顯示裝置的需求逐漸增加，由於此需 二的增加，使得縣生產顯示裝置·底的尺寸也逐漸增 ^制在生產顯7^裝置的基底尺寸逐漸增加的情況下，裝置 上造程序中要必須能夠處理大尺寸基底。例如，在一些 ^造程序中基底傳送裝置賴能夠傳送垂直方向約4公尺 長的基底。 大部分傳統基底傳送裳置會支援一傳送部，例如手臂/ 本質上其係用來沿著單—方向的移動軸（垂直轴） 底=底。如此，在傳送大尺寸基底的情況下’大尺寸基 〜不會重$於傳送部的旋轉中心’當在旋轉移動期 ㈣#_巧增加時，騎構穩定度就會產生問題。 會因送:二:，的高度增加時，則方向移動轴 美麻種二P的負與力距的作用而變形，此將影響傳統 土氐傳迗裝置的精確性與 【發明内容】 又。 因此’本發明的目的就是提供一種基底傳送裝置，其 5 1274726 16529pif.doc 係月b夠幫助基底的傳送同時保持結構的可靠度。 本發明的其他目的與優勢將在以下詳細描述，並且藉 由本發明的實施例習得。 曰 根據本發明的目的，在此提供—種傳送基底的基底傳 达衣置包括：底座部；移動部，其係鑲欲在底座部上 =更執行線性移動並^具有旋轉體；—對骨架部，其係以 平行方式鑲肷在移動部的相對側並且整高 其係連接在崎骨㈣之間纽根射架部高度= 裯整而垂直位移。 旋轉體包括旋轉部以及支撐盤部，其巾_部是可旋 對骨^撐盤部是触在補體上喊得支撑盤部支撐該 鑲部包括固定骨架與移動骨架，而固定骨架是 兴弁、，芽W的了頁部且移動骨架是與固定骨架連接以便 牛升’聽移動㈣連接傳送部。 【實:t::;勺兩端整合連接至該對骨架部的移動骨架上。 顯易=讓7明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 細說明如下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 如圖1至圖2於一 ^ 置包括底座部20、不，根據本發明實施例的基底傳送裝 傳送部50。复、移動部30、一對骨架部40a和40b以及 線性移動並動部3G是職在底座部2G上以便執行 有旋轉體32，而此對骨架部40a和40b是 6 1274726 ^529pif.d〇c 移動部3G的相爛並且可調整高度，至於傳 位移。 根據該對骨架部40&和401)所調整的高度垂直 底座部20包括方形導引器（未繪示 弓丨Μ二^ "^何其_狀來構成。沿著導 i 部3G的移動可以判斷骨架部伽和_ 2 • 3〇可用作為關於旋轉體32旋轉的移動軸。
部30也底座部2〇的導引執行線性移動。移動 以及支^m ί旋轉。旋轉體32包括旋轉部似 揮盤部32：Ϊ3；_其中旋轉部32a是可以旋轉的，而支 支標般π 32^/在旋轉部32a上以使得旋轉部32a可讓 支撐I對骨_^目3移動部3〇而旋轉。支撐盤部B 架部•和儀也會Jit:在支撐盤部一 Φ 44。其每中個固骨定架骨部加^t ^包括固定骨架42以及移動骨架 表面，而移動骨 144^H鑲支撐盤部32b的頂部 固定骨架42而與I疋接固疋月架42以便可以相對於 端的另i-末^餘Ϊ移動骨架44連接至固定骨架42 由於移ίίΓ=/4是ΐ接至傳送部5〇。 所以傳送部5。也可藉由移目動=:::直地:升’ ㈣44是可藉由舉升部(未㈣)來舉升。舉升部= 7 I2747269pifd〇c 是使用液壓或氣壓的圓柱物。移動骨架44相對於固定骨架 42的舉升量可依據施予圓柱物的壓力來決定。 傳送部50包括機械手59a、機械手臂5%以及滑動架 56 ’其中基底是鑲嵌在機械手59a上，而機械手臂59b用 來以水平方向向前或向後移動機械手59a，至於滑動架允 則連接在骨架部4Ga和働之間。滑動架56支撐機械手 59a與機械手f 59b。傳送部5〇的另一端則整合地連接至 移動月* 44。換句s舌說，傳送部5〇的滑動架％的另一端 力整m移動骨架44，由此允許傳送部％根據移動骨 架44的舉升而垂直位移。 ㈣=Af4Bi根縣發明[實施騎絲底傳送裝 ，土座運作狀悲的不意圖。❹在此實 使用螺旋軸與導引軸，其運作如下所述。、 木4 $達t m圖4 b所示，安裝在固定骨架4 2底部的驅動 馬違51旋轉螺旋軸52，且遠 53會垂直移動& + 接螺紅軸52的螺旋軸螺帽 罝移動。如此，移動骨架44可以 53的垂直移動而舉升。移動 據螺方疋軸螺帽 由螺旋軸52的旋轉速度來動的舉升量與速度可藉 導引軸54是提供在固定骨牟 料舉升時來支料平方向4丨上胃’其係當移動骨架 轴54藉由通過固定在固定直的移動。導引 垂直移動。 >、、導引軸軸概55來執行 與傳送帶58結合的滑輪57 部。滑輪57與傳送帶58 移動骨架44的頂 便侍移動骨架44與滑動架56 8 1274726 16529pif.doc
=的?升。傳适帶58的—端固定在固 且另一端固定在滑動架56的頂部。 W 傳送=口:二：動广架44的上升而舉升時， 得滑動架56能(如圖4B所示）’由此使 與導引軸軸襯55 ;二=藉由導引軸54 ^ 56An* ^^ 44 *^^ ^ 和^動置:移7 fp6A„04eelB pe 例如，移動部3〇在移動骨架44舉 2 部20產生線性(與/或“ 械手59a。在本"y二手臂5%會向前或向後移動機 輪57盘傳送帶％ ±的二貫施例中，螺旋軸52會使得滑 基底傳送裝Git與有效地傳送大的與小的基底。 可在不需人的摔作下押制器自動地控制，且控制器 圖5A與二 =!傳送裝置的移動。 置的基座運作二二立發明另—實施例繪示基底傳送裝 使用，旋二=在此編^ 52b ^ 轴现的_可_#^^=^轴52&與第二螺旋 “―螺旋軸％逆時針方向旋轉；，ί—=6 1274726 16529pif.doc 會相對於固定骨架42來旋轉， 螺旋轴螺帽53a隸笛: 疋骨架42是與第一 平系f目53a連接。第一滑動架46的舉升 苐一螺旋軸52a的旋轉速度來決定。 ”、又疋曰 針方t第:滑動架46舉升的同時第二螺旋轴奶是以順時 中C56會相對於第二螺旋二 連接56是藉由第二螺旋軸螺帽伽 骨竿44二=广，第二滑動架56會相對於移動 52b 具有相同位置時，ί 1：;螺疋軸2a與第二螺旋轴奶 純1力時第一螺旋轴52a與第二螺旋轴52b合以 多動月木44移動的兩倍高與兩倍速度來移動。 骨竿—滑動架46是—開始位移在相對於固定 月木42取同的位置且第二滑動架％是位 52b最低的位置時第 f弟—螺方疋軸 ㈣兩倍高的移：一 ％將具有相同於移動骨 法執^所:根據本發明實施例可以以容易與精確的方 ，仃傳祕底_德結構的可靠度。根據本發 例也可有效率與精確地傳送較大的基底。 限定發㈣啸佳實關減如上，然其並非用以 明’产何熟f此技藝者’在*脫離本發明之 :乾圍内’當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之 乾圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1是根據本發明實施例繪示基底傳送裝置的前視 1274726 16529pif.doc 圖。 圖2是繪示圖1的基底傳送裝置的侧示圖。 圖3是繪示圖1基底傳送裝置的運作狀態的示意圖。 圖4A與4B是根據本發明另一實施例繪示基底傳送裝 置的基座運作狀態的示意圖。 圖5A與5B是根據本發明另一實施例繪示基底傳送裝 置的基座運作狀態的示意圖。 【主要元件符號說明】 • 20 :底座部 30 :移動部 32 :旋轉體 32a :旋轉部 32b :支撐盤部 40a、40b :骨架部 42 :固定骨架 44 :移動骨架 46 :第一滑動架 50 ··傳送部 51 :驅動馬達 52 :螺旋軸 52a :第一螺旋軸 52b :第二螺旋軸 53 :螺旋軸螺帽 53a :第一螺旋軸螺帽 11 1274726 16529pif.doc 53b :第二螺旋軸螺帽 54 :導引軸 55 :導引軸軸襯 56 :滑動架 57 :滑輪 58 :傳送帶 59a :機械手 59b :機械手臂 12

Claims (1)

  1. I2747H · 十、申請專利範圍： ==傳送裝置’其係用以傳送-基底’包括: 並且係鑲嵌在該底座部上以便執行線性移動 側並度其=平行方式鎮嵌在該移動部的相對 該旋第1項所述之基底傳送裝置，其中 可旋及一支撐盤部’其中該旋轉部是 盤部旋轉體切使得該支撐 2嵌f該支樓盤部的頂部且該移動骨架是與該 連接以便舉升’且該移動骨架連接該傳送部。以木 ㈣4、:如中請專利範圍第3項所述之基底傳送n甘由 ”^卩申的^^^^脑雜骨架部軸移動骨架。 該傳:申;^與：=¾， _械手上且該機械手f是用來相對於該移動 13 1274726 16529pif.doc 木口 P其巾之-而向前與向後㈣該機械手。 該傳圍第6項所述之基底傳送裝置，复中 ，傳心卩更包括_滑動架’其係整合 :、t 來支撐該機齡。 顿以對骨架部 8·一種基底傳送裝置，其包括： 部’其係提供相對於一底座部線性與旋 =度:=骨架並且在第-方二可 傳迟邛，其係連接至該移動骨架以一-傳送一基底，其中哕筮目女,t 弟一方向中 預先定❹度。 具有相對於該第—方向的一 9. 如中請專利範圍第8項所述之基底傳送裝置， 以移動骨架與該傳送部相對於_定骨架是可舉升的’。、 10. 如中請專利範圍g 9項所述之基底傳送裝置，更包 括· 少-個螺旋細及依附在該固定骨架的一驅動馬 絲?糸用Γ方疋轉該至少一個螺旋軸以使得該螺旋轴的旋 轉可以造成该移動骨架的舉升。 11 j申明專利範圍第1〇項所述之基底傳送裝置，其 ώ ΐ至i一螺旋軸包括一第一與一第二螺旋軸以及第-盤 '、第二孤，其中該第—與一第二螺旋軸係藉由該驅動馬達 以相反方向來旋轉’而該第—盤與第二盤用以根據該第一 14 1274726 16529pif.doc 與第二螺旋軸的旋轉分別在向上與向下方向移動。 12. 如申請專利範圍第11項所述之基底傳送裝置，其 中該第一螺旋軸與該第二螺旋軸具有一齒輪比，其為1:1。 13. 如申請專利範圍第11項所述之基底傳送裝置，其 中該傳送部具有一移動範圍，其係等於該移動骨架的高度 的兩倍。 14. 如申請專利範圍第9項所述之基底傳送裝置，其中 該至少一個骨架部更包括一導引軸，其係用以在該移動骨 架舉升期間在該第二方向中支撐一負荷。 15·如申請專利範圍第9項所述之基底傳送裝置，其中 該至少一骨架部更包括一滑動架、一滑輪與一傳送帶，其 中該滑輪配置在該移動骨架的一頂部，而與該滑輪連接的 該傳送帶的一端固定至該固定骨架，另一端固定至依附在 該滑動骨架的該滑動架，其中該滑輪與該傳送帶可使得該 移動骨架與該滑動架舉升。 16. 如申請專利範圍第15項所述之基底傳送裝置，其 中隨著該滑動骨架的舉升，該滑輪會舉升且該傳送帶會轉 動來控制該滑動架來舉升。 17. 如申請專利範圍第8項所述之基底傳送裝置，其中 該第二方向是配置在一平面上，其係與該第一方向垂直。 18. —種基底傳送裝置，包括： 至少一個骨架部，其可調整高度，且具有一固定骨架、 一移動骨架、至少一螺旋軸與一驅動馬達，其中該驅動馬 達是可運作來旋轉依附在該至少一骨架部的該移動骨架的 15 1274726 16529pif.doc 定骨架；以及 相對㈣至少1架部的該固 -基底傳送部’其係整合地連接至少—A 该f動骨架’且具有-機械手和-機械手臂，而是 鑲嵌該機械手上且該機械手臂是时在— :銘 該機械手，其巾該基祕送部是_ 向中移動 整高度來垂直位移。 g㈣至夕1架部的調 ❹申請專利範圍第18項所述之基底傳_，豆 中以至>-骨架部包括兩個骨架部，其係以彼ς = =具有該固定骨架以及相對該固定骨“二 20.如申請專利範圍第19項所述之基 中㈣-骨架部更包括一滑輪與一傳送帶， 的-端是固定至該固定骨架，另二二==: 部’其中當該移動骨架的調整高度是相對於該^骨加= 調整時，該滑輪與該傳送帶會造成該基底傳送 ^ 使得該基底傳送部的高度增加。 、牛 16
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007130734A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Yaskawa Electric Corp 上下機構を備えた搬送ロボット
KR20090128878A (ko) * 2008-06-11 2009-12-16 삼성전자주식회사 로봇용 관절구동장치 및 이를 구비한 로봇
KR101246127B1 (ko) * 2011-07-05 2013-03-21 주식회사 에스엠이씨 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇
JP6901828B2 (ja) * 2016-02-26 2021-07-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS605432B2 (ja) * 1980-09-30 1985-02-12 ファナック株式会社 工業用ロボット
JPH11129184A (ja) * 1997-09-01 1999-05-18 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および基板搬入搬出装置
US6494666B2 (en) * 2001-01-26 2002-12-17 Fortrend Engineering Corporation Simplified and enhanced SCARA arm

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