經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ _B7_ 五、發) 本發明偽關於一種積體電路及測試方法,其是經由配 置於電路之主面上之接觸面來進行。 積體電路是以一種由半導體材料所構成之晶圓(Wafer) 為主而製成。每一値晶圓都具有數目可能很多之相鄰之 積體電路,這些積體電路須配置成使晶圓之面積能盡可 能良好地使用。積體電路之主面一般都是長方形的。在 每一積體電路之表面上存在一些接觸面,信號經由接觸 面而可由積體電路傳送出去或傳送至積體電路。接觸面 又稱為襯墊(Pads)。 為了測試此種存在於晶圓上之積體電路,則其接觸面 通常須與測試工具之測試尖端(其是一種針形之測試接 觸區)相接觸。然後信號經由測試尖端以及與其相接觸 之接觸面而由測試工具傳送至積體電路且反之亦然。 許多積體電路只在沿著其主面之二痼相對之側面上具 有接觸面。若二値此種積體電路相鄰地配置在晶圓上, 則其所有接觸面可毫無問題地同時與測試尖端相接觭β 當然亦有一些積體電路,其在其主面之超過二値側面上 具有上述之接觸面《為了能測試此種電路,則測試尖端 必須由所有四値側面來與相對應之接觸面相接觸。若二 個此種電路在晶圓上相鄰,則它們之接觸面不能容易地 同時與測試尖端相接觸,其原因主要是在此二個電路之 相鄰之側面上會使測試尖端相交叉。相鄰之電路中之接 觸面因此通常在四個側面上依序地被接觸且進行測試。 這樣相對於同時測試這些電路時之情況而言可使測試多 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ----14--„-------装------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4θ5ί97--— 五、發明説明(> ) 個相鄰之電路時所需之時間延長。 本發明之目的是提供一種積體電路,其中可簡易地經 由其接觸面而藉測試接觸區來進行測試。 上述目的是以申請專利範圍第1項之積體電路以及第 ?項之測試方法來達成〇本發明有利之實施形式和其它 構成方式則敘述在申請專利範圍各附颶項中。 本發明之積體電路具有至少一個第一和一個第二接觭 面以便在此電路之第一操作模式中使資料傳送至第一或 第二部份電路及/或由第一或第二部份電路傳送至接觸 面,其中在此電路之第二操作模式中第二接觸面是用來 使資料傳送至第一部份電路及/或由第一部份電路傳送 至第二接觸面。 在第二操作模式中,第二接觸面因此是用來傳送此種 在第一操作模式中經由相對應之第一接觸面而傳送之信 號《這表示:在第一操作模式中由第一接觸面所執行之 功能在第二操作模式中是由第二接觸面所執行。相對應 之信號在第二操作模式中因此是在和第一操作模式不同 之S —位置(即,第二接觸面)上傳送至此電路或由此電 路中發出。因此,若第一接觸面只是不能良好地與測試 工具之測試接觸面相接觸而第二接觸面是良好的,則信 號可在第二操作模式中毫無問題地傳送》 本發明之電路因此適合在第二操作模式中只有第二接 觸面(即,並非第一接觸面)是與測試尖端相接觸,使得 第一操作模式中由第一接觸面所執行之功能可由第二接 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨0X297公釐) ------hj----裝------訂------線 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4θ^ί97--- 五、發明説明(a ) 觸面來測試。這樣特別是可容易地同時對晶圓上相鄰之 電路進行測試,其中第一接觸面配置在此電路之互相面 對之側面上,此處它們不容易同時舆測試接觸面相接觸。 在第二操作模式中,第二接觸面可用來只傳送這些在 第一操作模式中經由第一接觸面而傳送之信號。於是經 由第二接觸面所傳送者並非此種在第一操作模式中經由 其所傳送之信號。此種情況例如在下述情況下是可能的: 若第二操作模式是此電路之測試操作模式,其中只需數 目較第一操作模式中還小的之接觸面,這是因為此時只 測試此電路一些指定之功能。 在第二操作模式中笫二接觸面除了傳送此種在第一操 作模式中經由第一接觸面所傳送之信號以外亦用來傳送 此種在第一操作模式中傳送之信號。這例如可以下述方 式來逹成:在制時多工(time fflutiplex)中第二操作模 式中之第二接觭面是用來傳送各種不同之信號模式。 依據本發明之其它形式,第一和相對應之第二接觸面 是分別配置在接觴面之不同列中,其中這些列分別平行 於此電路之主面的不同之側面。 在第二操作模式中此電路與測試尖端接觸時由於其功 能轉移至第二接觸面,於是一些狹窄區可嬈道(by-pass) 至具有第一接觸面之側面。在晶圓上二値直接相鄰之電 路中這些互相面對之倒面就是上述之狹窄區,這是因為 該處在本發明之前這些在直接相鄰之二個電路上之拥1試 尖端必須互相接觸,使得在此區域中這些測試接觴區相 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ^1- -- I - - -I -- I ΙΓ - n I -- - - — i- - - I -I I - - - 丁 I - I---ϋ· I - ! • ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 --405197--- 五、發明説明U ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 交之危險特別大。本發明則可在此在種引進上述之測試 接觸區時所需之最危險之位置(這就是二個電路互相面對 時之位置)處藉由使用較接觸面存在時還小之測試接觸 區來獲得空間,使能較容易地與其餘之接觸面相接觸。 若第一接觸面配置在主面之二個互相面對之側面中之 至少一傾侧面上且相對應之第二接觸面配置在同樣是互 相面對之另二値刨面中之至少一個倒面上,則接觭用之 狹窄區在第二操作模式中繞道至第一次所提及之二個倒 面。因此,有利的是至少三傾相鄰之電路可輕易地同時 被接觸及被測試,這些電路之配置方式是:第一接觸面 分別配置在面對相鄰之電路之側面上。在此側面上於第 二操作模式時被接觸之接觭面必須較現存者還小。反之 ,第二接觸面所存在之此種侧面可毫無問題地莰接觸而 不會與测試尖端相交叉,這是因為在此種侧面上並未配 置一些同時可接觸之相鄰的電路。當然本發明中亦可有 多於三個電路是相對於其具有第一接觸面之側面而相鄰 且可同時被測試。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依據其它形式,此積體電路是一種積體記億體電路, 其中至少一艏第一接觸面是位址-接觸面,其是在第一 操作模式中用來傳送位址信號至電路中,且相對應之第 二接觸面在第二操作模式中是用來傳送位址信號。位址 信號是用來對記億體電路之記億體單胞作定址之用。 待別是對動態記億體(DRAMs)而言有一種JEDEC -基準 (Norm),其使用所有之位址接點來設定各測試模式之導 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 405197--- 五、發明説明(,) 入方式(entryh若要在第一操作模式及第二操作模式 中谋足該處所設定之功能,則所有位址-接觸面之功能 亦必須可用在第二操作模式中。這可利用本發明來逹成 ,其中在第二操作模式中以上述方式使第一接觸面之功 能轉移至第二接觸面。在此種記憶體電路中因此可確保 進入一種JEDEC -測試模式且在第二操作楔式中可確保記 億體單胞之完全可定址性,若所接觸的是第二接觸面而 不是第一接觸面時。 若第二接觴面是一種資料-接觸面時是有利的,此種 資料-接觸面在第一操作模式中是用來傳送此電路中已 儲存及/或待儲存之資料。此種構成方式例如適用於記 億體電路中,其第二操作模式是一種測試模式,其中所 有在第一操作模式中所需之外部位址信號(但並非所有 在第一操作模式中所使用之資料-接觸面)是需要的。 若由於在此電路(可能只有一部份)上所進行之自我測 試不需要傳送相對應之資料時,則作為資料-接觸面用 之第二接觸面之功能在第二操作模式中是多餘的。在自 我測試之模式中所需之測試資料是産生在記億體電路中 且寫入記億體單胞中,然後再由單胞中讀出且在記億體 電路内部中與所寫入之額定值進行比較。往電路外部經 由接觸面之一在自我測試結束之後在極端情況中只有唯 一之結果信號被告知,此一結果信號顯示測試成功或不 成功(pass or fail)。若此處使用一種資料-接觸面, 則依據本發明在測試模式中所有不需要之其它資料-接 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ----I.— -^-----1,------1T------# i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明觀 1 1 觸 面 是 作 為 可 能 之 第 二 接 觸 面 以 供 使 用 〇 它 們 可 設 計 成 1 1 I 用 來 取 代 相 對 應 之 第 一 接 觸 面 〇 1 1 測 試 資 料 可 在 第 二 操 作 模 式 中 例 如 以 不 同 之 壓 缩 形 式 請 1 I 先 而 由 記 憶 體 電 路 中 讀 出 及 / 或 寫 入 記 億 體 電 路 中 » 其 中 閲 讀 1 \ 在 此 記 億 體 電 路 中 須 對 所 讀 出 之 記 億 體 αα 早 胞 内 容 之 一 部 η 之 1 份 進 行 計 算 且 只 有 此 種 計 算 結 果 須 經 由 接 觸 面 而 往 外 傳 注 意 韋 1 I 送 9 這 使 其 能 以 數 目 較 少 之 資 料 端 點 來 實 現 1 使 得 在 第 項 再 I 1 二 操 作 棋 式 中 並 非 所 有 資 料 -接觸面都需要且它們因此 填 寫 本 I t 同 樣 可 作 為 第 二 接 觸 面 〇 頁 S_^ 1 I 依 據 進 一 步 之 構 成 方 式 9 此 種 積 體 電 路 具 有 第 三 接 觸 1 I 面 以 便 施 加 一 種 控 制 信 號 » 此 電 路 依 據 此 控 制 信 號 而 由 1 1 第 一 操 作 模 式 轉 換 成 第 二 操 作 模 式 〇 此 控 制 信 號 可 使 第 1 訂 1 I 一 接 觸 面 之 由 外 部 經 由 第 三 接 觸 面 所 控 制 之 功 能 轉 移 至 第 二 接 觸 面 使 隨 後 可 操 作 在 第 二 操 作 模 式 中 而 不 須 與 1 1 第 一 接 觸 面 相 接 觸 〇 - 1 I 由 於 第 二 操 作 模 式 之 作 用 是 藉 由 測 試 工 具 之 測 試 接 胸 1 1 線 1 區 而 使 電 路 之 接 胸 更 為 容 易 9 因 此 第 二 操 作 模 式 在 一 種 已 不 再 存 在 於 晶 圓 上 之 切 離 之 I C 中 是 可 有 可 無 的 〇 特 別 1 I 是 可 在 有 外 殼 之 I C 中 使 第 二 接 觸 面 不 與 此 處 所 需 而 獨 特 1 1 地 存 在 之 外 殼 端 點 (P in )相連接。 於是在無外殼之I Cs 之 1 1 ψ 緊 接 箸 電 路 製 成 之 後 的 測 試 相 位 期 間 第 三 接 觸 面 只 用 作 1 I 測 試 接 觸 面 且 不 需 額 外 之 外 殼 i.y|i m 點 〇 若 情 況 並 非 如 此 > 1 1 則 可 使 用 傳 統 之 外 殼 〇 1 | 本 發 明 之 測 試 方 法 特 別 是 8 可 用 在 本 發 明 之 積 體 電 路 上 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7--405197-B~1五、發明説明(7 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作 與所可測之。容有 。 信 是 1 路 ,操 不面用上路的為所 述 之 號 第 電 觸一 須觸作圓電能更試 描 面 信 據 體 接第 必接觸晶體可試測 細 觸 之 依 積 相之 面二接在積是測是 詳 接 面 是 之 區路。觸第其這置觸時於 作 其 觸 。其。式 觸電送接由使。配接同, 例 , 接 圖,定方 接在傳一是,行須相之試 施 圖 其 細例設擇 ..試號來第能置進,區路測 實 視 但 詳施來選 驟测信面是功位地的觸電被 之 俯 , 之實路種 步之,觸式其之易利接鄰序 示 之 同 路之電一 下具送接方為面容有試相依 所 路 相 電法體另 C 以工傳一之因觸更別測些必 中 電。圖 體方積之同 定試面第利是接用特與這不。式 體式 1 積試個圖不 設測觸之有這二作是時使路低圖 積模第 之測二 1 式 中與接應中,第觸時同可電降據 之作與 圖之之第方 式須二對式觸取接.路其法之可依 明操路 。1 明鄰於置 模面第相模接選之電使方鄰間將:發常電式第發相對配 作觭由由作相可面體,試相時下明本正其模是本上相之 操接經經操區在觸積面測各之以説 在 試 圓 面 二 二號是二觸現接之觸之處需明單圖定圖測圖圖晶 _觸 第第信中第接 。一鄰接明此所發簡 1 設 2 在 34 在 5 接 在- -式在試擔第相一發。路本式第是第定第第之第其 。 模 測承較試第本易電 圖 號 設 圖 , ——irlj----f-------訂------線 ·- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 __405197__ 五、發明説明Μ ) 第】圖是積體記億體電路1C之主面之一之俯視圖,其 具有沿著其主而之四個側面而配置之接觸面P。記億體 電路1C是一種DRAM,但本發明亦可用在其它電路,待別 是其它記億體電路。接觸面P在正常操作模式(第一操 作模式)中用來傳送信號,這些接觸面P已顯示在第1 圖中。圖中所示者例如有二個電源電位VCC,GND,三個 位址信號或位址位元A0 ... A2以及八値資料信號或資料 位元DQ...D7。此處只顯示一些對本發明之了解是很重 要之接觸面及其信號設定。經由位址信號AO . . . A2來對 記億體電路中所含有之記憶體單胞進行定址,資料位元 DO. ..D7然後可謓入記憶體單胞中或由記億體單胞中讀 出。 在正常操作模式中二個位址信號AO, A 1配鼷於主面右 側或左側上之第一接觸面1,而二個資料位元D4, D5則 配屬於主面下倒上之第二接觸面2。此外,在主面上侧 之中央中配置第三接觸面3,其是用來施加一種控制信號 CTR,以下將依據第3圖再詳述此種控制信號CTR且電路 -------裝------訂------線 J J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 模 試 測 成 換 轉 式 模 作 操 常 正 由 而 R T C 號 信 制 控 此 據 依 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 式 9 體 積 時 \/ 式 模 作 操 二 第 /(V 式 模 試 測 在 圖 第 是 圖 由二 經第 時由 式經 模是 作在 操現 常 A 正 , 在AO ο 铺 形信 情址 定位 設之 號送 信傳 之所 面 1 觸面 接觸 之接 1C一 路第 用式 是模 時作 式操 模常 作正 操在 常面 正觸 在接 2 , 面此 觸因 接 0 - 5 二 D 第 , 4 , D 送元 傳位 來料 2 資 面送 觸傳 接來 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐)
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,1T 細 詳 之 C T1 路 電 體 億 記 體 積 此中 與 圖 而 1 圖第一 3 是第 第圖個 據 3 一 依第示 將 顯 面 觸 接 述其 描 , 起解 一 圔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 位 址2’ 位面 或觸 號接 信二 址第 位之 元 正 在 其 在7:操 DP 其 _常 加 施 來 用 中 式 模 作 操 常 正 面 觸 接 一 第 於 應 對 個 1 有 料 資 送 傳 來 用 是 中 式 模 作 觸顯 接另 1 , 第外 行此 執 β 來AO 用號 是信 中址 式位 模加 試施 測來 在用 面是 觸此 接因二 a 第能 0 功 4 . D 之 元 1 位面 控第 之和 式 1 模第 作在 操其 述 , 上4 7-面 定® .HV J 接 可 3 重四 β 此第 D锢力一 施 Θ 以另 及 3 I 以 面 觸R* 接CT 三號 第信 示制 時 C Τ- 體 億 記 試 測 在 且 上 C I 路 gBl 11 . 1 之- 方 下 左 在 置 配 是 中 圖 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4^5197--- 五、發明説明(、。) 是用來發出一種已壓縮之結果信號。 第1接觸面1是經由第一驅動器II以及多工器MUX而 與位址暫存器ABUF相連接,在ABUF中儲存一個位址位元 AO, A0在正常操作模式時施加於第一接觸面1。位址暫 存器ABUF之輸出端是與電路1C之未顯示之其它組件相連 接。 第二接觸商2經由第二驅動器12和連接於12之後之的 第四驅動器14以及一摑與此二掴驅動器反向並聯之第三 驅動器13而與資料暫存器DBUF相連接,其中在正常操作 模式時施加於第二接觸面2之資料(其應寫入電路1C之 未顯示之記憶體單胞中)或由記億體單胞讀出之資料在 發出至第二接觸面之前須暫時儲存。在寫入記憶體1C時 只有此種包含第二驅動器12和第四驅動器14之分支是受 驅動的(active)且在由記億體謓出時,只有此種具有第 三驅動器13之分支是受驅動的。此處所需之開關或驅動 信號在第3圖中未顯示。 以下將探討二値操作模式之間的轉換。 第三接觸面3在正常驅動模式中不施加任何信號。一 個與第三接觸面3相連接之拉升(pull-up)電阻R之目 的是使第三接觸面具有較高之電位VCC。這樣所具有之 優點是:只有在測試模式時信號才需施加至第三接觸面 3,以便使其電位處於一種低位準(接地)。例如若在某 一時間點(其中此積體電路設有外殼)時此潮試模式之功 能不再是所期望者,則為了永久調整至正常之操作模式 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ---- ^J--:----裝------訂------線 I- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 --UblW----- 五、發明説明(、| ) 並不需使第三接觸面事後與一固定之電位柑連接。這樣 可防止額外之操作步驟。 第三接觸面3是與第一驅動器U,第三驅動區13,第 四驅動器14和多工器MUX等元件之驅動輸入端相連接。 若由外部並未施加任何電位於第三接觸面時,則上述之 驅動器被驅動且多工器MUX使第一驅動器II之輸出端與 位址暫存器ABUF之輸入端相連接。反之,在測試模式時 在第三接觸面3上施加一種低位準(接地)之控制信號CTR ,這樣即可使上迠之驅動器II, 13, 14去(de-)驅動。 於是不會有資料由第一接觸面1經由第一驅動器II而讀 至位址暫存器ABUF中或由第二接觸面2經由第四驅動器 14而讀至資料暫存器DBUF中。此外,不會有資料經由第 三驅動器13而由資料暫存器ABUF讀出至第二接觸面2中 。另外,在控制信號CTR於低位準時須對此多工器MUX進 行切換,使多工器MUJ[可將第二驅動器12之輸出端與位 址暫存器ABUF之輸入端相連接。因此,在測試模式中位 址信號A0可經由第二接觸面2而讀至位址暫存器A BUF中 ,而第一接觸面1此時是沒有功能的,没有任何信號經 由第一接觸面而傳送。 記憶體1C就每一第一接觸面1及其所屬之第二接觸面 2而言含有一種相對應之電路〇於是在此二種操作模式 中有4個接觸面可用來傳送位址信號A 0 ... A 3。這在測 試模式中亦可有利地藉由施加一些特定之位址信號至記 憶體1C來驅動各種不同之操作模組,就像依據DRAMS用 -1 3- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2!0X297公釐) ----.-------裝------訂------線 -~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説㈣Μ7 之 JEDEC-基準所設計者一樣("JEDEC-Test Mode Entry")。 在第3圖所示之實施例中,第二接觸面2只在正常操 作模式中(即,不在測試模式中)傳送資料信號D4。以下 將說明者是:記億體I C之測試如何藉助於資料壓縮來進 行。 第3 _中之多工器MUX是與暫存器REG之輪入端相連接 ,在測試模式時施加於第二接觸面2之測試資料是以4 位元之形式寫入暫存器REG中。此處之設計方式可以是: 此4艏位元分別依順序經由第二接觸面2而傳送至暫存 器REG中。但另一方式是亦可經由第二接觸面2以及另 三個(未顯示之)接點(其和所示之第二接觸面一樣設有 相對應之多工器)而將4個位元同時平行地寫入暫存器 REG 中。 在4個位元寫入暫存器REG之後,暫存器REG之内容同 時個記億體單胞中,然後同時由這些單胞中再讀出且傳 送至比較器CMP, fcb較器CMP將所讀出之資料與暫存器REG 之内容進行比較。比較器C Μ P將所得到之結果信號R經 由第五驅動器15而傳送至第四接觸面4,第四接觸面4在 正常操作模式時亦用來傳送資料信號D1。以上述方式, 則此種測試記億體I C時所需之資料以壓縮之方式由記億 體往外傳送,使得在測試模式時數目較少之資料-接觸面 即已足夠進行記億體1C之測試。 第4圖是二傾在晶圓上相鄰地配置之積體電路1C,此 二個1C之構成方式就像第1和第2圖中所示之電路1C- -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) ---:--!„I J----裝------訂------線 ·_ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説曰 樣。圖中所示是本發明之測試方法,其中電路ic設定成 測試模式旦因此具有第2圖中所示之接觸面P之信號設 定方式。圖中以一種未顯示之測試工具之測試尖端之形 式來顯示測試接觸區T之末端,這些分別配置在電路1C 之主面之下側和上側上之接觸面P是與測試尖端相接觸 的,使信號可在測試工具和電路IC之間傳送。因此,在 測試模式時這些只與主面之左側或右側相鄰之接觸面P 對信號之傳送而言是不需要的,此時此二個電路1C之測 試可單獨經由第4圖中所示之測試接觸區T來進行。由 第4画可知:接觸面P不需與测試接觸區T相交卽可被 接觸,使得數目大很多之配置於所示電路1C之左側和右 倒之相同形式之電路可同時被測試》 若在第二操作模式中所有第一接觸面都由第二接觸面 所取代,則在此二傾操作模式中所有位址信號都可傳送 至電路I C ,雖然此電路之所有接觸面並非都可和測試尖 端相接觸。在第二操作模式中較少之資料-接觸面即已 足夠測試此電路。這藉由第3圖中所敘述之資料壓縮方 式在測試資料寫入時以及結果信號讀出時對4個同時讀 出之測試位元而言是可逹成的。 第5圖顯示此積體電路1C之另一實施例,其中第一(1) 和第二(2)接觸面配置成一列接觸面,這些接觸面之配置 方式是和第1, 2和4圖中之電路之接觭面者互不相同的 。這些接觸面一方面是沿著一列而配置,其在所示之俯 視圖中是配置於晶片表面之中央且平行於晶片之上側或 -1 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ----J---1---装------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明 下側而配置。此列包含第一接觸面1中之一個接觸面1 。晶Η I C具有其它二列接觸面,它們分別配置在晶Η之 主面邊緣處之左侧及右側且平行於其倒面邊緣。右列之 接觸面含有一個對應於第一接觸面1之第二接觸面2。 在第5圖中又顯示一些測試尖端Τ ,這些測試尖端在 測試模式中只和二列互相平行之接觸面相接觸。第一接 觸而1之功能在測試模式中又由與相對應之第二接觸面 2所執行。舆第4圖相類似的是可毫無問題地同時以測 試尖端Τ來接觸較多數目之此種晶HIC且進行測試,只 要這些測試尖端相鄰地配置在圖中所示晶Η之主面之第 5圖中所示之上側和下側或上邊緣和下邊緣。測試尖端 Τ於是又必須只由左方和右方移近此晶H I C ,但不是同 時由上方和下方移近晶Η 1C。 ----*-------装------訂------線 "- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐)