TW202346843A - 檢查方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種判斷相位差層有無缺陷的檢查方法,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出軸偏移所致的缺陷。檢查方法係將檢查光入射至具備第一偏光板3A、及具有第一λ/2相位差層8A與第一λ/4相位差層9A的第一相位差層7A的膜狀的被檢查物10,而判斷第一相位差層7A有無缺陷。被檢查物10以及具備第二偏光板3B、及具有第二λ/2相位差層8B與第二λ/4相位差層9B的第二相位差層7B的相位差濾光片4係配置成彼此的遲相軸所成的角度成為45°±30°。其中,使第一λ/4相位差層9A與第二λ/4相位差層9B的面內相位差值不同,及/或使第一λ/2相位差層8A與第二λ/2相位差層8B的面內相位差值不同。
Description
本發明係關於一種檢查方法。
由於相位差層可將直線偏光轉換成圓偏光且反之可將圓偏光轉換成直線偏光,因此會將此相位差層與直線偏光板組合成的圓偏光板應用於有機EL顯示裝置、反射型液晶顯示裝置等。相位差層之中,使聚合性液晶化合物配向並硬化所獲得的相位差層為極薄的膜,因此在製造薄型的顯示裝置的應用上受到矚目(例如,參照專利文獻1)。
製造完成的圓偏光板在作為產品出貨之前可檢查其有無缺陷亦為重要。就一般的光學膜的檢查方法而言,對作為被檢查物的光學膜照射檢查光,藉由穿透光量的差來發現缺陷而進行檢查(例如,參照專利文獻2)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1:日本專利公開公報特開2006-58546號
專利文獻2:日本專利公開公報特開2021-139999號
專利文獻2的檢查方法中,作為被檢查物的圓偏光板的相位差值與理想值偏移時(以下亦有稱為「相位差偏移」的情形),可對此缺陷以有色光(例如紅色、藍色等)來檢測出。然而,相位差層的遲相軸相對於偏光元件的吸收軸的設計軸角度的偏移(以下亦有稱為「軸偏移」的情形)所致的缺陷,因無色而僅是輕微亮度的變化,因此難以檢測出。
對此,本發明的目的在於提供一種判斷相位差層有無缺陷的檢查方法,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出軸偏移所致的缺陷。
本發明提供一種檢查方法,係將檢查光入射至具備第一偏光板、及具有第一λ/2相位差層與第一λ/4相位差層的第一相位差層的膜狀的被檢查物,而判斷第一相位差層有無缺陷;被檢查物以及具備第二偏光板、及具有第二λ/2相位差層與第二λ/4相位差層的第二相位差層的相位差濾光片係配置成被檢查物的第一相位差層側朝向相位差濾光片側,相位差濾光片的第二相位差層側朝向被檢查物側,且沿著檢查光的光路方向觀看時,第一λ/4相位差層的遲相軸與第二λ/4相位差層的遲相軸所成的角度成為45°±30°,並且滿足下述兩個條件中的至少一方;
條件1:以波長550nm的光測得的第一λ/4相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第二λ/4相位差層的面內相位差值係彼此不同;
條件2:以波長550nm的光測得的第一λ/2相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第二λ/2相位差層的面內相位差值係彼此不同;並且
從被檢查物的第一偏光板側或相位差濾光片的第二偏光板側的其中任一側入射檢查光,使光路通過被檢查物上的預定的檢查區域,而從被檢查物的第一偏光板側或相位差濾光片的第二偏光板側的另一側觀察第二偏光板或第一偏光板。
根據本發明,就被檢查物所具有的相位差層的缺陷而言,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出軸偏移所致的缺陷。
本發明亦可滿足下述兩個條件中的至少一方。
條件3:以波長550nm的光測得的第二λ/4相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第一λ/4相位差層的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內。
條件4:以波長550nm的光測得的第二λ/2相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第一λ/2相位差層的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內。
藉由滿足上述條件,可更容易地檢出軸偏移所致的缺陷。
本發明可選擇以波長550nm的光測得的第二λ/4相位差層及第二λ/2相位差層的面內相位差值,以使被檢查物中無缺陷的部分與相位差濾光片的合計的檢查光的穿透率成為0.1%至5%。若檢查光的穿透率於此範圍內,則觀察視野的亮度特別適於檢查,而提高將缺陷正確地辨識為缺陷且不會將非缺陷處誤辨識為缺陷的準確度。
第一λ/4相位差層及第一λ/2相位差層的至少一方可由聚合性液晶化合物的硬化物所構成。此等相位差層為延伸膜時,可容易預測拉伸狀況所致的整體性的軸偏移的發生,然而,此等相位差層由聚合性液晶化合物構成時,液晶分子的配向會局部地亂調,故起因於此的軸偏移所致的缺陷會局部地發生。根據本發明,亦可容易地檢測出局部地發生的軸偏移所致的缺陷。
本發明中,檢查光亦可為非單波長的可視光。採用單波長的光的檢查方法時,由於需要利用對應的帶通濾波器去除不需要的波長的光而致使光亮變低,因而需要增加光源的光量。相對於此,本發明可使用例如白色光等包含各種波長的光,檢查時可對被檢查物入射充分的光,因此不需要增加光源的光量。
根據本發明,可提供一種判斷相位差層有無缺陷的檢查方法,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出軸偏移所致的缺陷。
1A,1B:檢查裝置
2:光源
3A:第一偏光板
3B:第二偏光板
4:相位差濾光片
6:攝影機
7A:第一相位差層
7B:第二相位差層
8A:第一λ/2相位差層
8B:第二λ/2相位差層
9A:第一λ/4相位差層
9B:第二λ/4相位差層
10:被檢查物
12:光路
p:第一λ/4相位差層的遲相軸(遲相軸)
q:第二λ/4相位差層的遲相軸(遲相軸)
θ:角度
圖1係顯示本實施型態的檢查方法中的各構件的配置的圖。
圖2(A)係顯示被檢查物所具備的第一λ/4相位差層的遲相軸與相位差濾光片所具備的第二λ/4相位差層的遲相軸的關係的圖。圖2(B)為沿著光路觀看圖2(A)的圖。
圖3係顯示其他實施型態的檢查方法中的各構件的配置的圖。
以下參照圖式詳細地說明本發明的較佳實施型態。在此,對於各圖中相同部分或相當部分係標示相同符號並省略重複的說明。
<用語及符號的定義>
本說明書中的用語及符號的定義如下。
(1)折射率(nx、ny、nz)
「nx」為面內折射率最大的方向(亦即遲相軸方向)的折射率;「ny」為在面內與遲相軸正交的方向的折射率;「nz」為厚度方向的折射率。
(2)面內相位差值
面內相位差值(Re(λ))係指23℃、波長λ(nm)的膜的面內相位差值。將膜的厚度設為d(nm)時,Re(λ)可根據Re(λ)=(nx-ny)×d而求得。
(3)厚度方向相位差值
厚度方向相位差值(Rth(λ))係指23℃、波長λ(nm)的膜的厚度方向相位差值。將膜的厚度設為d(nm)時,Rth(λ)可根據Rth(λ)=((nx+ny)/2-nz)×d而求得。
<檢查裝置與被檢查物>
本實施型態的檢查方法係檢查作為檢查對象的被檢查物所具備的相位差層有無缺陷,使用預定的檢查裝置來進行檢查。如圖1所示,檢查裝置1A係按照光源2、相位差濾光片4、以及攝影機6的順序配置而成者。檢查裝置1A係以光源2與相位差濾光片4之間作為配置屬於檢查對象的被檢查物10的部位,圖1中繪示將被檢查物10配置於此部位的態樣。
〔被檢查物〕
首先說明屬於檢查對象的被檢查物10。被檢查物10為膜狀的圓偏光板,且為第一偏光板3A與屬於檢查對象本體的第一相位差層7A積層而成者。
‧第一相位差層
第一相位差層7A係自接近第一偏光板3A側起,依序具備第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A。第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A至少一方可由聚合性液晶化合物的硬化物所構成。以下係以第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A雙方皆由聚合性液晶化合物的硬化物所構成的情形為例來說明。
可形成第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A的聚合性液晶化合物,可舉例如日本專利公開公報特開2009-173893號、日本專利公開公報特開2010-31223號、國際專利公開公報WO2012/147904號、國際專利公開公報WO2014/10325號、及國際專利公開公報WO2017-43438號所揭示者。此等公報所記載的聚合性液晶化合物皆可形成能夠在廣波長領範圍中相同的偏光轉換的相位差層。此外,可形成具有所謂的逆波長分散性的相位差層。
就第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A的形成方法而言,可將包含屬於各層的原料的聚合性液晶化合物的溶液(聚合性液晶化合物溶液;液狀組成物)塗敷(塗佈)於各層的基材膜上以製作塗佈膜,並使其光聚合,藉此形成極薄的相位差層。上述基材膜亦可設有用以使聚合性液晶化合物配向的配相膜。配向膜可為藉由偏光照射進行光配向的配向膜,亦可為藉由刷磨(rubbing)處理進行機械性配向的配向膜。另外,就上述配向膜的具體例而言,可採用上述公報中記載的配向膜。
如上所述分別形成的第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A係例如首先將已形成第一λ/2相位差層8A的基材膜連同基材膜整體藉由接著層對於第一偏光板3A進行貼合,之後,將基材膜剝離,而可將第一λ/2相位差層8A轉印至第一偏光板3A上。接著,將已形成第一λ/4相位差層9A的基材膜連同基材膜整體藉由接著層對於第一λ/2相位差層8A進行貼合,之後,將基材膜剝離,而可將第一λ/4相位差層9A轉印至第一λ/2相位差層8A上。如此,可製作屬於被檢查物的圓偏光板。
由聚合性液晶化合物的硬化物所構成的第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A通常的厚度薄達0.2μm至10μm左右,若含有異物等的情形下,相位差值易在含有異物等的部分降低。
例如,形成兩層的過程中,若有異物等存在於將要塗敷聚合性液晶化合物溶液的基材膜、基材膜或第一偏光板3A本身有損傷等的情形時,會有塗敷聚合性液晶化合物溶液而獲得的塗敷膜本身產生缺陷的情形。例如,因基材膜上的損傷致使塗敷膜的厚度不均,使得相位差值於厚度不均的部分變動。
此外,對配向膜進行刷磨處理時,若刷磨布的布屑殘留在配向膜上,亦會有因此布屑致使聚合性液晶化合物溶液(液晶硬化膜形成用組成物)的塗敷膜產生缺陷的情形。如此,由聚合性液晶化合物形成相位差層時,可形成厚度極薄的相位差層,但會有如上所述之碎屑、損傷等成為該相位差層產生光學缺陷的主因的情形。如以上所述產生的缺陷為「相位差偏移所致的缺陷」。
相對於此,第一相位差層7A亦會產生「軸偏移所致的缺陷」。就第一相位差層7A的設計值的一例而言,將第一偏光板3A的吸收軸與第一λ/2相位差層8A的遲相軸所成的角度設為15°,將第一偏光板3A的吸收軸與第一λ
/4相位差層9A的遲相軸所成的角度設為75°。各相位差層中,因某些原因致使此等角度偏移的部分為「軸偏移所致的缺陷」。
假設第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A為延伸膜時,可容易預測拉伸狀況所致的整體性的軸偏移的發生,且容易對應處理。另一方面,此等相位差層由聚合性液晶化合物構成時,液晶分子的配向會局部地亂調,故起因於此的缺陷(軸偏移所致的缺陷)會局部地發生。
根據本實施型態的檢查方法,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出局部地發生的軸偏移所致的缺陷。
‧第一偏光板
第一偏光板3A為將從光源2入射的光轉換成直線偏光的膜,且於偏光膜的至少一面貼合有保護膜而形成者。就偏光膜而言,可舉例如對於聚乙烯醇膜吸附並配向碘或二色性色素等的偏光膜、對於配向並聚合了聚合性液晶化合物者吸附並配向二色性色素的偏光膜等。
第一偏光板3A所具有的吸收軸係沿著與直線偏光出射的穿透軸方向正交的方向延伸。本實施型態中,適當地將直線偏光的出射方向定義為穿透軸方向,將遮斷直線偏光的方向定義為吸收軸方向,惟並未排除遮斷的方向的偏光被反射的偏光膜。
保護膜係用以保護偏光膜的膜。就保護膜而言,若可達成獲得具有適當機械性強度的偏光板之目的,則可採用偏光板技術領域中通用的膜。常見的有三乙醯基纖維素(TAC)膜等纖維素酯系膜;環烯烴基系膜;聚對苯二甲酸乙二酯(PET)膜等聚酯系膜;聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。
此外,保護膜亦可包含偏光板技術領域中通用的添加劑。保護膜的相位差以較小為佳,例如Re(550)以10nm以下為佳,5nm以下特別佳。
此外,被檢查物10亦可於第一相位差層7A上更具備正C板。正C板的厚度方向的相位差值(Rth(550))可根據第一相位差層7A的厚度方向的相位差值適當選擇。
在此揭示波長550nm的面內相位差值(Re(550))及面內相位差值(Re(550))的求取方法。從測定對象的膜取出例如40mm×40mm左右大小的片料(例如使用適當的切割具從長條的膜取出片料)。測定此片料的Re(550)三次,求取Re(550)的平均值。片料的Re(550)可使用相位差測定裝置KOBRA-WPR(Oji Scientific Instruments Co.,Ltd.製品),在測定溫度室溫(23℃)下進行測定。
〔相位差〕
以下說明相位差濾光片4。相位差濾光片4係具備第二偏光板3B以及積層於第二偏光板3B的第二相位差層7B。第二相位差層7B係自接近第二偏光板3B側起,依序具備第二λ/2相位差層8B及第二λ/4相位差層9B。
‧第二相位差層
第二λ/2相位差層8B及第二λ/4相位差層9B係滿足以下兩個條件的至少一方。
條件1:以波長550nm的光測得的第一λ/4相位差層9A的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第二λ/4相位差層9B的面內相位差值係彼此不同。
條件2:以波長550nm的光測得的第一λ/2相位差層8A的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第二λ/2相位差層8B的面內相位差值係彼此不
同。
較佳為滿足以下兩個條件的至少一方。
條件3:以波長550nm的光測得的第二λ/4相位差層9B的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第一λ/4相位差層9A的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內。
條件4:以波長550nm的光測得的第二λ/2相位差層8B的面內相位差值與以波長550nm的光測得的第一λ/2相位差層8A的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內。
上述條件3及條件4中,「±20nm」的數值範圍的部分可為「±10nm」、或「±5nm」。此外,若在該數值範圍內,則亦可採用正或負任一方的數值範圍。例如可採用「+5nm至+15nm」、「-3nm至-10nm」、「-0.1nm至-2.0nm」等。此外,若在該數值範圍內,則亦可採用跨正負的數值範圍。例如可採用「-10nm至+12nm」、「-4nm至+8nm」等。條件3與條件4所採用的數值範圍亦可不同。
上述第二λ/4相位差層9B及第二λ/2相位差層8B的面內相位差值以選擇為可使被檢查物10中無缺陷的部分與相位差濾光片4的合計的檢查光的穿透程度(以下亦稱「穿透率」)成為入射至被檢查物10之前的光亮的0.1%至5%為佳。此穿透率的值係作為判斷有無缺陷的基準的值。檢查中,依據測得的穿透率是否大於此值以判斷有無缺陷。例如,若該穿透率的檢查結果為0.3%時有某一部位的穿透率為0.45%存在,則將此判斷為缺陷。此外,若該穿透率的檢查結果為1%時有某一部位的穿透率為1.3%存在,則將此判斷為缺陷。檢查
光的穿透率於此範圍內時,觀察視野的亮度特別適於本實施型態的檢查,可容易將缺陷正確地辨識為缺陷,且可防止將非缺陷誤辨識為缺陷。
選擇的穿透率的值可為0.15%至3%、0.2%至1%、或0.25%至0.6%。要使第二相位差層7B的相位差值相對於屬於檢查對象的第一相位差層7A的相位差值相差多少程度而成為多少程度的穿透率,可藉由進行電腦模擬等來推定,該電腦模擬可為例如將λ/2相位差層與λ/4相位差層的相位差設為各種假設條件,而計算顯示邦加球(Poincare sphere)上的偏光狀態的點的移動的電腦模擬,亦可為使用穆勒矩陣(Mueller Matrix)的電腦模擬等。就使用的市售軟體而言,可舉例如SHINTECH Co.,Ltd.的產品LCD Master等。
相位差濾光片4亦可更具備正C板。正C板可設於與第一相位差層7A相向側的面,亦可設於其相反側的面。可藉由正C板的採用來擴大檢查區域。正C板的厚度方向的相位差值(Rth(550))可根據要檢查的第一相位差層7A的厚度方向的相位差值而適當選擇。
‧第二偏光板
第二偏光板3B的構成、材料等係與第一偏光板3A相同。此外,第二λ/2相位差層8B及第二λ/4相位差層9B的形成方法亦與第一λ/2相位差層8A及第一λ/4相位差層9A的形成方法相同。
〔光源〕
光源2可使用各種市售品,例如可採用發出白色光的光源。此外,光源2所發出的光可不完全為白色光,而亦可為未包含可見光域的波長之中的部分波長光的光。光源2所發出的光可為單波長的可見光,亦可為非單波長的可見光。光源2所發出的光為無偏光,而在通過第一偏光板3A後成為預定方向的偏光,更
在通過第一相位差層7A後成為圓偏光。亦即,無偏光的光通過第一偏光板3A及第一相位差層7A而成為圓偏光。
若如習知的檢查方法採用單波長的光的檢查方法時,由於需要利用對應的帶通濾波器去除不需要的波長的光而致使光亮變低,因而成為檢查靈敏度下降的原因,而需要增加光源的光量。然而,本實施型態中可使用例如白色光等包含各種波長的光,因此不需要增加光源的光量。
〔攝影機〕
本實施型態的檢查裝置1A中,為了觀察通過被檢查物10及相位差濾光片4的光,在光路12上且為相位差濾光片4的兩側之中的光源2側的相反側的位置,配置有作為檢測手段的攝影機6。攝影機6例如為CCD攝影機,此時,藉由CCD攝影機與影像處理裝置組合的影像處理分析自動地檢測而可進行被檢查物10的檢查。在此,檢測手段可為肉眼而非攝影機。
<檢查方法>
以下說明使用檢查裝置1A的圓偏光板的檢查方法。如圖1所示,將被檢查物10配置於檢查裝置1A的光源與相位差濾光片4之間。此時,被檢查物10係配置成第一相位差層7A朝向相位差濾光片4側。此時,相位差濾光片4係配置成第二相位差層7B側朝向被檢查物10側。此外,如圖2所示,被檢查物10所具備的第一λ/4相位差層9A的遲相軸p與相位差濾光片4所具備的第二λ/4相位差層9B的遲相軸q所成的角度θ,從光路12的方向觀看時,配置成45°±30°。此角度較佳為45°±20°,尤佳為45°±10°。在此,角度θ係以0°以上90°以下的值來表現,而超過90°的角度係以0°以上90°以下的值來表現。藉由如此的角度配置將檢查光遮斷,使得第一相位差層7A之中相位差值偏移期望的值的部分(相
位差偏移)的穿透光量相對地增加,而容易檢出缺陷。
配置被檢查物10之後,從光源2對被檢查物10的預定的檢查區域照射檢查光。從光源2的相反側以攝影機6(或是肉眼)觀察配置成滿足上述角度θ的相位差濾光片4時,被檢查物10中的正常部分,其視野會因如上所述地選擇的穿透率而變暗。在此,將顏色看起來不同的部分以及觀察到高於所選擇的穿透率的光量的明亮部分判斷為缺陷。
習知的檢查方法中,相位差偏移所致的缺陷與正常部分顏色看起來不同而容易檢測出,然而軸偏移所致的缺陷顏色與正常部分不會不同而難以檢測出。本實施型態中,由於第一λ/4相位差層9A的面內相位差值與第二λ/4相位差層9B的面內相位差值彼此不同,且第一λ/2相位差層8A的面內相位差值與第二λ/2相位差層8B的面內相位差值彼此不同,並且適當地選擇檢查光的穿透率,因此可容易地從穿透光量辨識軸偏移所致的缺陷。
另外,若將被檢查物10與相位差濾光片4依其相位差平行配置(僅追求視野整體的亮度),則即便未將相位差濾光片4的相位差值調整成與被檢查物的相位差值不同的情形,亦可檢出軸偏移所致的缺陷。然而,此時,相位差偏移所致的缺陷的檢查會變得窒礙難行,而必須分別個別地進行兩種缺陷的檢查,耗費時間、工序。本實施型態的檢查方法中,調整相位差濾光片4的相位差值,且調整檢查光的穿透率,而能夠以一次的檢查來檢查該兩種缺陷。
如以上所述,根據本實施型態的檢查方法,就被檢查物所具有的相位差層的缺陷而言,不僅可容易地檢測出相位差偏移所致的缺陷,亦可容易地檢測出軸偏移所致的缺陷。
以上已說明了本發明的較佳實施型態,惟本發明不限於上述實施型態。例如,上述實施型態中揭示了光源2所發出的檢查光係按照被檢查物10、相位差濾光片4的順序入射,而利用攝影機6捕捉從相位差濾光片4出射的檢查光的態樣,然而,光源2與攝影機6的位置亦可對調。亦即,如圖3所示,亦可設為光源2所發出的檢查光按照順相位差濾光片4、被檢查物10的順序入射,而利用攝影機6來補捉從被檢查物10出射的檢查光的態樣(檢查裝置1B)。
此外,上述實施型態顯示了被檢查物為矩形的片狀的態樣,惟被檢查物例如亦可為長條者。
[產業可利用性]
本發明可利用於判斷相位差層有無缺陷的檢查。
1A:檢查裝置
2:光源
3A:第一偏光板
3B:第二偏光板
4:相位差濾光片
6:攝影機
7A:第一相位差層
7B:第二相位差層
8A:第一λ/2相位差層
8B:第二λ/2相位差層
9A:第一λ/4相位差層
9B:第二λ/4相位差層
10:被檢查物
12:光路
Claims (5)
- 一種檢查方法,係將檢查光入射至具備第一偏光板、及具有第一λ/2相位差層與第一λ/4相位差層的第一相位差層的膜狀的被檢查物,而判斷前述第一相位差層有無缺陷;前述被檢查物以及具備第二偏光板、以及具有第二λ/2相位差層與第二λ/4相位差層的第二相位差層的相位差濾光片係配置成前述被檢查物的第一相位差層側朝向前述相位差濾光片側,前述相位差濾光片的第二相位差層側朝向前述被檢查物側,且沿著前述檢查光的光路方向觀看時,前述第一λ/4相位差層的遲相軸與前述第二λ/4相位差層的遲相軸所成的角度成為45°±30°,並且滿足下述兩個條件中的至少一方;條件1:以波長550nm的光測得的前述第一λ/4相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的前述第二λ/4相位差層的面內相位差值係彼此不同;條件2:以波長550nm的光測得的前述第一λ/2相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的前述第二λ/2相位差層的面內相位差值係彼此不同;並且從前述被檢查物的前述第一偏光板側或前述相位差濾光片的前述第二偏光板側的其中任一側入射前述檢查光,使前述光路通過前述被檢查物上的預定的檢查區域,而從前述被檢查物的前述第一偏光板側或前述相位差濾光片的前述第二偏光板側的另一側觀察前述第二偏光板或前述第一偏光板。
- 如請求項1所述之檢查方法,係滿足下述兩個條件中的至少一方:條件3:以波長550nm的光測得的前述第二λ/4相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的前述第一λ/4相位差層的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內;條件4:以波長550nm的光測得的前述第二λ/2相位差層的面內相位差值與以波長550nm的光測得的前述第一λ/2相位差層的面內相位差值的差異於±20nm的範圍內。
- 如請求項1或2所述之檢查方法,其中,選擇以波長550nm的光測得的前述第二λ/4相位差層及前述第二λ/2相位差層的面內相位差值,以使前述被檢查物中無缺陷的部分與前述相位差濾光片的合計的前述檢查光的穿透率成為0.1%至5%。
- 如請求項1至3中任一項所述之檢查方法,其中,前述第一λ/4相位差層及第一λ/2相位差層的至少一方係包含聚合性液晶化合物的硬化物。
- 如請求項1至4中任一項所述之檢查方法,其中,前述檢查光為非單波長的可視光。
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