TW202302990A - 乾式真空泵 - Google Patents

乾式真空泵 Download PDF

Info

Publication number
TW202302990A
TW202302990A TW111105287A TW111105287A TW202302990A TW 202302990 A TW202302990 A TW 202302990A TW 111105287 A TW111105287 A TW 111105287A TW 111105287 A TW111105287 A TW 111105287A TW 202302990 A TW202302990 A TW 202302990A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
vacuum pump
seal
dry vacuum
shell
shells
Prior art date
Application number
TW111105287A
Other languages
English (en)
Inventor
艾立克 曼德拉
洋恩 奧利弗
賽巴斯汀 索米爾
派翠克 菲力普
Original Assignee
法商普發真空公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 法商普發真空公司 filed Critical 法商普發真空公司
Publication of TW202302990A publication Critical patent/TW202302990A/zh

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
    • F01C21/10—Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings
    • F01C21/104—Stators; Members defining the outer boundaries of the working chamber
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F04C23/003—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle having complementary function
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/001—Radial sealings for working fluid
    • F04C27/003—Radial sealings for working fluid of resilient material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

一種乾式真空泵(1)，其第一半殼(3)具有至少一密封溝槽(16)，密封溝槽(16)設於半殼(3、4)的接合表面(10)中以容納第一密封(14)的側軌(14b)；密封溝槽(16)的底部則具有至少一介接表面(17)，其在半殼(3、4)之間開啟而造形成「鞍形」以致形成用於第一密封(14)的平滑過渡。

Description

乾式真空泵
本發明關於乾式真空泵。
乾式真空泵具有一或更多個串聯的泵送級，待泵送的氣體則在其中循環。在已知的真空泵中，其間的區別在於具有旋轉葉片(也已知為「魯式」[Roots]泵)或具有爪(也已知為「爪式」[claw]泵)。這些真空泵稱為「乾式」(dry)，因為操作時轉子在定子裡旋轉，而轉子之間或與定子之間無任何機械接觸，這有可能在泵送級中不使用油。
然而，於某些泵送應用，例如在半導體、平面顯示器、光伏工業和披覆法所用的泵送方法，所用的氣體可以附帶讓真空泵保持在特別高的溫度，例如在200℃的等級。這尤其是當所用氣體有腐蝕性(像是在清潔處理室期間所用的氣體)或當這些氣體舉例而言包含樹脂氣體的情形。關聯於侵蝕性化學物種的這些高溫附帶要使用高溫氟化彈性體材料(FKM)或其他高溫全氟化彈性體材料(FFKM)型的高效彈性體材料來靜態密封泵的定子零件。類似而言，密封/密封溝槽對的設計必須設想成以致考慮當冷和當熱時二者的密封需求，也要考慮這些彈性體固有的熱機械特徵。
具有切片架構的多級真空泵(其中定子是由軸向組裝複數個定子元件所組成)輕易解決這問題，其係使用O形環密封而容納於具有矩形截面的密封溝槽中，密封則軸向壓縮在定子元件之間。
具有半殼架構的多級真空泵就該部分來說則是不利的。特定而言，這架構附帶要使用密封膏或末端對末端接合的密封，不然就要使用三維密封或這些實施例的組合。然而，使用三維密封，則可能在密封溝槽口的密封上發生「切刀」(knife)效應，因為彈性體和金屬材料的膨脹係數極為不同。這效應可以隨著真空泵的高操作溫度而加劇，並且可以導致密封不可逆的劣化且關聯於真空泵回冷而最終損失密封。
本發明的目的是至少部分解決前述某一缺失，尤其是改善具有半殼結構的真空泵之定子件的密封。
為此，本發明的標的是乾式真空泵，其具有： 定子，其具有至少第一和第二互補的半殼及第一和第二末端件，半殼和末端件接合在一起以致形成泵送級的至少一泵送室， 二轉子軸桿，其建構成在至少一泵送級中旋轉， 第一密封，其包含插置在個別的末端件和半殼之間的第一和第二環狀末端部，以及包含連接環狀末端部的二側軌，側軌則插置在半殼之間； 乾式真空泵的特徵在於：第一半殼具有至少一密封溝槽，其設於半殼的接合表面中以容納第一密封的側軌，密封溝槽的底部則具有至少一介接表面，其在半殼之間開啟而造形成「鞍形」(saddle)以致形成用於第一密封的平滑過渡。
「鞍形」也已知為雙曲線拋物面。鞍形的介接表面是由在橫向平面中為凸的連續圓弧(或雙曲線)所形成，而形成縱向平面中為凹的部分。在第一密封的環狀末端部和側軌之間實際上為直角的接合區則容納於介接表面的凹部中。以平滑鞍形來取代先前技術溝槽之矩形截面的尖銳邊緣，則允許在接合區壓縮第一密封，其是均勻且相容於密封的熱機械特徵。
真空泵也可能具有下述單獨或組合考慮的一或更多個特徵。
第二半殼可能具有至少一介接表面，其從半殼開啟而面對第一半殼的介接表面，該介接表面造形成圓弧以致形成用於第一密封的平滑過渡。第一密封的接合區遂也被介接表面的凸部所壓縮。以平滑圓弧形來取代先前技術之半殼的尖銳邊緣，則允許第一密封的壓縮在介接表面為均勻且相容於熱機械特徵。
半殼可能具有至少一個別的半凹陷，其造形成以致與末端件的鼻部偕同運作，至少一介接表面則開放至半凹陷中。
造形成圓弧的二介接表面可能藉由與第二半殼之半凹陷的機械加工連續的輪廓銑削而實現。介接表面因此可能造形成與半凹陷連續的圓弧而不更換工具。
造形成鞍形的二介接表面可能藉由與密封溝槽的機械加工連續的輪廓銑削而實現。介接表面因此可能造形成與密封溝槽連續的鞍形而不更換工具。
造形成鞍形的介接表面之截面的曲率半徑和/或造形成圓弧之介接表面的曲率半徑舉例而言大於或等於2毫米。
造形成鞍形的介接表面之截面的曲率半徑和/或造形成圓弧之介接表面的曲率半徑舉例而言小於或等於5毫米。
真空泵可能具有至少一第二密封，其包含： 第一和第二環狀末端部，其插置在個別的末端件和半殼之間，以及 二側軌，其連接環狀末端部，側軌插置在半殼之間，第一密封則配置在第二密封裡，使得第一和至少一第二密封形成用於氣體之至少二接續的密封阻障。
將密封阻障多重化有可能確保從外到內和反之都有良好密封，並且有可能使用能夠抵抗腐蝕性氣體和/或熱的效能等級隨著與泵送室距離而減少的不同材料。特定而言，在裡面的至少一第一密封可以準備成由比第二密封材料更有抵抗性(尤其抗腐蝕、研磨和/或高溫)的材料所形成。第二密封的材料因此可以比第一內部密封的材料更經濟而同時就安全來說是可接受的。第二密封舉例而言是由氟化彈性體材料(fluorinated elastomer material，FKM)所製成，並且第一密封舉例而言是由全氟化彈性體材料(perfluoroelastomer material，FFKM)所製成。
密封溝槽從半殼開啟的所有介接表面舉例而言造形成鞍形以致形成用於每個密封的平滑過渡。介接表面可能造形成圓弧而面對造形成鞍形之第一半殼的複數個介接表面。
真空泵可能具有加熱裝置，其建構成加熱定子至大於150℃的溫度。
定子的半殼舉例而言形成至少二泵送級，其串聯安裝在真空泵的吸入孔口和遞送孔口之間。
以下實施例為範例。雖然敘述指稱一或更多個實施例，但這不必然意謂每個參考關於相同的實施例或特徵僅適用於單一實施例。不同實施例的個別特徵也可加以組合或交換以提供其他實施例。
粗抽真空泵定義為正位移真空泵，其使用二轉子軸桿而建構成抽入、轉移、然後遞送待在大氣壓力下泵送的氣體。轉子軸桿是由粗抽真空泵的馬達驅動成旋轉。粗抽真空泵可以從大氣壓力來啟動。
魯式真空泵或魯式壓縮機(也已知為魯式吹風機)定義為正位移真空泵，其使用魯式轉子而建構成抽入、轉移、然後遞送待泵送的氣體。魯式真空泵安裝在粗抽真空泵上游且與之串聯。轉子是由二軸桿所承載，軸桿則由魯式真空泵的馬達驅動成旋轉。魯式真空泵具有一至三個泵送級。
「上游」(upstream)元件是要理解為相關於待泵送之氣體的循環方向而在另一元件之前。相對而言，「下游」(downstream)元件是要理解為相關於待泵送之氣體的循環方向而在另一元件之後。
軸向定義為泵的縱向，轉子軸桿的軸線則在此延伸。橫向是垂直於軸向的方向。橫向平面是垂直於縱向平面的平面。
圖1和2示範乾式真空泵1的範例。
真空泵1具有定子2，其具有至少第一和第二互補的半殼3、4及第一和第二末端件5、6。半殼3、4和末端件5、6接合在一起以致形成泵送級T1~T6的至少一泵送室。
定子2的半殼3、4舉例而言形成至少二泵送級T1~T6，其串聯安裝在真空泵1的吸入孔口7和遞送孔口8之間，例如在二和十個泵送級之間(圖示範例為六個)。真空泵1可以是粗抽真空泵(圖1)或魯式真空泵。
真空泵1也具有二轉子軸桿(未顯示)，其建構成在至少一泵送級T1~T6中旋轉，使得轉子驅動待在吸入孔口7和遞送孔口8之間泵送的氣體。
轉子舉例而言具有相同輪廓的葉片，其舉例而言為「魯式」或「爪式」，或者是基於別的類似正位移真空泵原理。承載轉子的軸桿是由舉例而言位在真空泵1之一端的馬達(未顯示)所驅動。
每個泵送室容納二匹配轉子，泵送室則包含個別的入口和出口。在旋轉期間，經由入口所抽入的氣體被轉子和定子2所生成的容積所捕陷，然後被轉子驅動朝向下一泵送級。
接續的泵送級T1~T6藉由個別的級間通道9而一個接一個地串聯連接，級間通道9把前一泵送級的出口連接至下一泵送級的入口。第一泵送級T1的入口連通於吸入孔口7。最後泵送級T6的出口連通於遞送孔口8。轉子和泵送室的軸向尺寸(因而和掃過的體積輸出)舉例而言與泵送級相同或隨之減少，坐落在吸入孔口7側上的泵送級T1容納了最大軸向尺寸的轉子且具有最大的掃過體積輸出。
這些真空泵稱為「乾式」(dry)，因為在操作時轉子在定子2裡旋轉，而轉子之間或與定子2之間無任何機械接觸，這有可能在泵送級中不使用油。
真空泵1可以具有加熱裝置11，其建構成加熱定子2至大於150℃的溫度(圖1)。
半殼3、4在接合表面10接合在一起。至少一壓縮室和轉移通道9 (若適合的話)則部分形成於第一半殼3中且部分形成於第二半殼4中。
接合表面10舉例而言是平坦的接合表面，其舉例而言穿過乾式真空泵1的中間平面。平坦的接合表面10舉例而言含有轉子軸桿的軸線。
半殼3、4的第一端是由第一末端件5所關閉，並且半殼3、4的第二端是由第二末端件6所關閉。孔口當然設於半殼3、4之分開泵送室的的橫向壁中，若適當的話並且設於末端件5、6中以供轉子軸桿通過。
半殼3、4和末端件5、6藉由組裝而接合在一起，舉例而言互補式組裝末端件5、6所承載的鼻部12和設在半殼3、4之末端的凹陷。鼻部12在軸向上突出。它舉例而言具有長橢圓橫向形狀，其舉例而言為實心的。半凹陷13舉例而言設於第一泵送級T1的泵送室中和最後泵送級T6的泵送室中。
真空泵1也具有第一密封14。這密封14是三維的且可以為單一件(亦即呈一件)或末端對末端地接合(亦即末端對末端地放置多個彈性密封零件而形成)。
第一密封14具有插置在個別的末端件5、6和半殼3、4之間的第一和第二環狀末端部14a，以及具有連接環狀末端部14a的二側軌14b，側軌14b則插置在半殼3、4之間。
第一密封14有彈性，尤其因為它具有彈性體材料。它舉例而言藉由壓製或射出成形而獲得。第一密封14所具有的截面舉例而言在非壓縮狀態下是實質圓的。
至少一環狀溝槽19可以設於至少一鼻部12 (圖1和2)和/或至少一凹陷中以致容納密封14的環狀末端部14a。
第一半殼3 (圖示範例為在底部)具有至少一密封溝槽16，其設於半殼3、4的接合表面10中。密封溝槽16容納第一密封14的側軌14b。舉例而言有二密封溝槽16，其設於第一半殼3的接合表面10中而在至少一壓縮室的任一側上以致容納第一密封14之個別的側軌14b。
如圖3和5所更清楚可見，密封溝槽16的底部具有至少一介接表面17，其從半殼3、4開啟而造形成「鞍形」以致形成用於第一密封14的平滑過渡。「鞍形」也已知為雙曲線拋物面。
介接表面17是由在橫向平面中為凸的連續圓弧(或雙曲線)所形成，而形成縱向平面中為凹的部分。介接表面17之截面的曲率半徑R1舉例而言大於或等於2毫米和/或小於或等於5毫米，例如2.65毫米(圖7和8)。
於圖示範例，介接表面17開放至凹陷中，凹陷是藉由組裝半凹陷13所形成。介接表面17在密封溝槽16的底部和在此情形為半凹陷13的表面之間形成平滑過渡。
在第一密封14的環狀末端部14a和側軌14b之間實際上為直角的接合區則容納於介接表面17的凹部中(圖6)。以平滑鞍形來取代先前技術溝槽之矩形截面的尖銳邊緣，則允許第一密封14在接合區的壓縮是均勻且相容於密封的熱機械特徵。
造形成鞍形的二介接表面17可以藉由與密封溝槽16的機械加工連續的輪廓銑削而實現。在密封溝槽16之直徑的工具遂首先機械加工在密封溝槽16一端的第一介接表面17、然後密封溝槽16、然後是在密封溝槽16另一端的第二介接表面17。介接表面17因此可以造形成與密封溝槽16連續的鞍形而不更換工具。
如圖4和5所可見，第二半殼4可以具有至少一介接表面18，其從半殼3、4開啟而面對第一半殼3的介接表面17，介接表面18造形成圓弧以致形成用於第一密封14的平滑過渡。
造形成圓弧之介接表面18的曲率半徑R2舉例而言大於或等於2毫米和/或小於或等於5毫米，例如2.65毫米(圖7和8)。
第一密封14的接合區然後也被介接表面18的凸部所壓縮(圖8)。以平滑圓弧形來取代先前技術之半殼的尖銳邊緣，則允許第一密封14在介接表面18的壓縮是均勻且相容於熱機械特徵。
造形成圓弧的二介接表面18可以藉由與第二半殼4之半凹陷13的機械加工連續的輪廓銑削而實現。工具遂首先機械加工在半凹陷13一端的第一介接表面18、然後是半凹陷13、然後是在半凹陷13另一端的第二介接表面18。介接表面18因此可以造形成與半凹陷13連續的圓弧而不更換工具。
介接表面17、18有可能減少因為熱機械行為差異的結果所造成之第一密封14破裂的風險，並且這有可能限制密封損失的風險且有可能增加二次維修作業之間的時間。
真空泵1也可以具有二密封14、15。
就像第一密封14，第二密封15是三維的且可以為單一件(亦即呈一件)或末端對末端地接合。它包含插置在個別的末端件5、6和半殼3、4之間的第一和第二環狀末端部15a，以及包含連接環狀末端部15a的二側軌15b，側軌15b則插置在半殼3、4之間。
第一密封14配置在第二密封15裡，使得第一和至少一第二密封14、15形成用於氣體之至少二接續的密封阻障。
環狀末端部14a、15a彼此平行且垂直於側軌14b、15b。第一環狀末端部14a、15a舉例而言插置在第一末端部5的鼻部12和第一泵送級T1之泵送室的凹陷之間而在半殼3、4的第一軸向末端。第二環狀末端部14a、15a插置在第二末端部6的鼻部12和最後泵送級T6之泵送室的凹陷之間而在半殼3、4的第二軸向末端。因此舉例而言有二環狀溝槽19，其在二末端件5、6之每一者的鼻部12中軸向偏移。
將密封阻障多重化有可能確保從外到內和反之都有良好密封，並且有可能使用能夠抵抗腐蝕性氣體和/或熱的效能等級隨著與泵送室的距離而減少的不同材料。特定而言，在裡面的至少一第一密封14可以準備成由比第二密封15的材料更有抵抗性(尤其抗腐蝕、研磨和/或高溫)的材料所形成。第二密封15的材料因此可以比第一內部密封14的材料更經濟而同時就安全來說是可接受的。第二密封15舉例而言是由氟化彈性體材料(FKM)所製成，並且第一密封14舉例而言是由全氟化彈性體材料(FFKM)所製成。
密封溝槽16從半殼3、4開啟的所有介接表面17 (在此情形有四個)舉例而言造形成鞍形以致形成用於每個密封14、15的平滑過渡。
介接表面18可以造形成圓弧而面對造形成鞍形之第一半殼3的複數個介接表面17以致形成用於每個密封14、15 (在此情形有二個)的平滑過渡。
雖然圖中示範的真空泵1在末端件設有鼻部12且半殼3、4設有互補的凹陷，但本發明也適用於沒有鼻部或凹陷的真空泵。在此情形，造形成鞍形和/或為圓弧的介接表面則從半殼3、4之末端的橫向面開啟。一或更多個密封14、15然後被壓縮在末端件的表面和半殼3、4之末端的橫向面之間。
1:真空泵 2:定子 3:第一半殼 4:第二半殼 5:第一末端件 6:第二末端件 7:吸入孔口 8:遞送孔口 9:級間通道 10:接合表面 11:加熱裝置 12:鼻部 13:半凹陷 14:第一密封 14a:環狀末端部 14b:側軌 15:第二密封 15a:環狀末端部 15b:側軌 16:密封溝槽 17:介接表面 18:介接表面 19:環狀溝槽 R1,R2:曲率半徑 T1~T6:泵送級
在研讀本發明下面特殊但絕非限制性之實施例的敘述以及所附圖式時，其他優點和特徵將變得明顯。
[圖1]是乾式真空泵的範例之元件的分解示意圖。
[圖2]是類似圖1真空泵的圖，其往上樞轉。
[圖3]是圖1乾式真空泵的元件之細節A的放大圖。
[圖4]是圖3乾式真空泵的元件之細節B的放大圖。
[圖5]是圖1至3的真空泵之接合半殼在細節A和B的視圖。
[圖6]是圖1至3的真空泵之一半殼的視圖，其接合了二密封。
[圖7]是圖1真空泵在組裝狀態下之元件的截面圖，截面是在末端件之鼻部上所安裝的第二密封。
[圖8]是圖7真空泵的元件之細節C的放大圖。
於這些圖，相同或類似的元件帶有相同的元件代號。
僅顯示理解本發明所需的元件。
1:真空泵
2:定子
3:第一半殼
4:第二半殼
5:第一末端件
6:第二末端件
7:吸入孔口
8:遞送孔口
9:級間通道
10:接合表面
11:加熱裝置
12:鼻部
13:半凹陷
14:第一密封
14a:環狀末端部
14b:側軌
15:第二密封
15a:環狀末端部
15b:側軌
16:密封溝槽
17:介接表面
19:環狀溝槽
T1~T6:泵送級

Claims (13)

  1. 一種乾式真空泵(1)，其具有： 定子(2)，其具有至少第一和第二互補的半殼(3、4)及第一和第二末端件(5、6)，該半殼(3、4)和該末端件(5、6)接合在一起以致形成泵送級(T1~T6)的至少一泵送室， 二轉子軸桿，其建構成在該至少一泵送級(T1~T6)中旋轉， 第一密封(14)，其包含： 第一和第二環狀末端部(14a)，其插置在個別的末端件(5、6)和該半殼(3、4)之間，以及 二側軌(14b)，其連接該環狀末端部(14a)，該側軌(14b)插置在該半殼(3、4)之間， 該乾式真空泵(1)的特徵在於：第一半殼(3)具有至少一密封溝槽(16)，其設於該半殼(3、4)的接合表面(10)中而容納該第一密封(14)的側軌(14b)；該密封溝槽(16)的底部具有至少一介接表面(17)，其在該半殼(3、4)之間開啟而造形成「鞍形」(saddle)以致形成用於該第一密封(14)的平滑過渡。
  2. 根據請求項1的乾式真空泵(1)，其中該第二半殼(4)具有至少一介接表面(18)，其從該半殼(3、4)開啟而面對該第一半殼(3)的介接表面(17)，該介接表面(18)造形成圓弧以致形成用於該第一密封(14)的平滑過渡。
  3. 根據請求項2的乾式真空泵(1)，其中造形成圓弧之該介接表面(18)的曲率半徑(R2)大於或等於2毫米。
  4. 根據請求項2或3的乾式真空泵(1)，其中造形成圓弧之該介接表面(18)的曲率半徑(R2)小於或等於5毫米。
  5. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中該半殼(3、4)具有至少一個別的半凹陷(13)，其造形成以致與末端件(5、6)的鼻部(12)偕同運作，該至少一介接表面(17、18)則開放至該半凹陷(13)中。
  6. 根據請求項2或3的乾式真空泵(1)，其中造形成圓弧的二介接表面(18)藉由與該第二半殼(4)之半凹陷(13)的機械加工連續的輪廓銑削而實現。
  7. 根據請求項5的乾式真空泵(1)，其中造形成圓弧的二介接表面(18)藉由與該第二半殼(4)之半凹陷(13)的機械加工連續的輪廓銑削而實現。
  8. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中造形成鞍形的二介接表面(17)藉由與密封溝槽(16)的機械加工連續的輪廓銑削而實現。
  9. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中造形成鞍形的該介接表面(17)之截面的曲率半徑(R1)大於或等於2毫米。
  10. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中造形成鞍形的該介接表面(17)之截面的曲率半徑(R1)小於或等於5毫米。
  11. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中它具有至少一第二密封(15)，其包含： 第一和第二環狀末端部(15a)，其插置在個別的末端件(5、6)和該半殼(3、4)之間，以及 二側軌(15b)，其連接該環狀末端部(15a)，該側軌(15b)插置在該半殼(3、4)之間，該第一密封(14)則配置在該第二密封(15)裡，使得該第一和至少一第二密封(14、15)形成用於氣體之至少二接續的密封阻障。
  12. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中它具有加熱裝置(11)，其建構成加熱該定子(2)至大於150℃的溫度。
  13. 根據請求項1至3中任一項的乾式真空泵(1)，其中該定子(2)的該半殼(3、4)形成至少二泵送級(T1~T6)，其串聯安裝在該真空泵(1)的吸入孔口(7)和遞送孔口(8)之間。
TW111105287A 2021-02-24 2022-02-14 乾式真空泵 TW202302990A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR2101779A FR3112174B1 (fr) 2021-02-24 2021-02-24 Pompe à vide sèche
FR2101779 2021-02-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202302990A true TW202302990A (zh) 2023-01-16

Family

ID=75439030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW111105287A TW202302990A (zh) 2021-02-24 2022-02-14 乾式真空泵

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JP2024506990A (zh)
KR (1) KR20230146559A (zh)
CN (1) CN117015653A (zh)
DE (1) DE112022001233T5 (zh)
FR (1) FR3112174B1 (zh)
TW (1) TW202302990A (zh)
WO (1) WO2022179819A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2622602A (en) * 2022-09-22 2024-03-27 Edwards Ltd Sealing gasket
TW202417343A (zh) * 2022-09-22 2024-05-01 英商愛德華有限公司 密封墊片

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2489248A (en) * 2011-03-22 2012-09-26 Edwards Ltd Vacuum pump with stator joint seals
GB2528451A (en) * 2014-07-21 2016-01-27 Edwards Ltd Vacuum pump
GB2528450A (en) * 2014-07-21 2016-01-27 Edwards Ltd Vacuum pump
FR3096096B1 (fr) * 2019-05-13 2021-05-14 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide primaire sèche

Also Published As

Publication number Publication date
FR3112174B1 (fr) 2022-07-22
FR3112174A1 (fr) 2022-01-07
DE112022001233T5 (de) 2024-01-04
CN117015653A (zh) 2023-11-07
WO2022179819A1 (en) 2022-09-01
JP2024506990A (ja) 2024-02-15
KR20230146559A (ko) 2023-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW202302990A (zh) 乾式真空泵
TWI825313B (zh) 乾式主真空泵
JP4713059B2 (ja) 真空ポンプのための圧力シール
US6193487B1 (en) Scroll-type fluid displacement device for vacuum pump application
KR100730073B1 (ko) 진공 배기 장치
TW202202724A (zh) 乾式真空泵及其製造方法
EP1479913A2 (en) Roots pump
US10012231B2 (en) Claw pump
KR20070083469A (ko) 스크류 압축기 시일
JPH0368237B2 (zh)
TW201712229A (zh) 真空泵
CN114837938A (zh) 一种罗茨真空泵
CN115176068A (zh) 干式真空泵
TWI776844B (zh) 幫浦密封
WO2021148525A1 (en) Dry vacuum pump
CN219570334U (zh) 用于冷却多级真空泵中的被抽吸流体的真空泵冷却器
JP5759125B2 (ja) スクリュ圧縮機本体の吸入部構造
CN217783770U (zh) 一种罗茨真空泵
KR20150142161A (ko) 유체이송장치