TW202115388A - 用於掃描計量之計量目標 - Google Patents

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Abstract

一種計量系統可包含經耦合至一掃描計量工具之一控制器，該掃描計量工具使沿著一掃描方向運動之一樣本成像。該控制器可自該掃描計量工具接收該樣本上之一計量目標之一影像，其中該計量目標包括：一第一量測群組，其包含沿著正交於該掃描方向之一橫向方向分佈的單元；及一第二量測群組，其係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離，該第二量測群組包含沿著該橫向方向分佈的單元。該控制器可進一步基於該第一計量群組中之該第一組單元之至少一者來產生至少一第一計量量測，及基於該第二計量群組中之該第二組單元之至少一者來產生至少一第二計量量測。

Description

用於掃描計量之計量目標
本發明大體上係關於疊對計量，且更特定言之係關於適用於掃描疊對計量系統之目標。
計量系統通常藉由分析專用計量目標來提供產品上計量，其中經製造圖案元件之特性指示一或多個所關注計量量度。針對產品上計量(諸如但不限於，產品上疊對(OPO)計量)縮小設計規則且要求愈來愈高之規範正驅動在半導體製程之多個層級增加取樣要求。此增加取樣可進一步回應於計量資料而實現疊對模型之更高複雜度及用於微影系統之更準確可校正值。然而，增加取樣要求可能負面影響計量處理量。因此，期望提供用於高處理量計量之系統及方法。
揭示一種根據本發明之一或多項闡釋性實施例之計量系統。在一項闡釋性實施例中，該系統包含耦合至一掃描計量工具之一控制器，其中該掃描計量工具使沿著一掃描方向運動之一樣本成像。在另一闡釋性實施例中，該控制器自該掃描計量工具接收該樣本上之一計量目標之一影像。在另一闡釋性實施例中，該計量目標包括包含沿著該樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元之一第一量測群組，其中該樣本上之該橫向方向係正交於該掃描方向。在另一闡釋性實施例中，該計量目標進一步包括包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元之一第二量測群組，其中該第二量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離。在另一闡釋性實施例中，該控制器基於該第一計量群組中之該第一組單元之至少一者產生至少一第一計量量測。在另一闡釋性實施例中，該控制器基於該第二計量群組中之該第二組單元之至少一者產生至少一第二計量量測。
揭示一種根據本發明之一或多項闡釋性實施例之計量系統。在一項闡釋性實施例中，該系統包含用以使沿著一掃描方向運動之一樣本成像之一掃描計量工具。在另一闡釋性實施例中，該系統包含耦合至該掃描計量工具之一控制器。在另一闡釋性實施例中，該控制器自該掃描計量工具接收該樣本上之一計量目標之一影像。在另一闡釋性實施例中，該計量目標包括包含沿著該樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元之一第一量測群組，其中該樣本上之該橫向方向係正交於該掃描方向。在另一闡釋性實施例中，該計量目標進一步包括包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元之一第二量測群組，其中該第二量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離。在另一闡釋性實施例中，該控制器基於該第一計量群組中之該第一組單元之至少一者產生至少一第一計量量測。在另一闡釋性實施例中，該控制器基於該第二計量群組中之該第二組單元之至少一者產生至少一第二計量量測。
揭示一種根據本發明之一或多項闡釋性實施例之計量目標。在一項闡釋性實施例中，該目標包含包括沿著一樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元之一第一量測群組，其中該樣本上之該橫向方向係正交於掃描方向。在另一闡釋性實施例中，該第一量測群組中之該一或多個單元可藉由一掃描計量工具同時量測且在用該掃描計量工具量測時可進一步提供至少一第一計量量測。在另一闡釋性實施例中，該目標包含包括沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元之一第二量測群組，其中該第二量測群組沿著該掃描方向與該第一量測群組分離。在另一闡釋性實施例中，該第二量測群組中之該一或多個單元可藉由該掃描計量工具同時量測且在用該掃描計量工具量測時可進一步提供至少一第二計量量測。
應理解，前文概述及下文詳細描述兩者皆僅為例示性及說明性且並不一定限制如所主張之本發明。併入說明書且構成說明書之一部分之隨附圖式繪示本發明之實施例且連同概述一起用於說明本發明之原理。
相關申請案之交叉參考 本申請案根據35 U.S.C. § 119(e)規定主張指定Andy Hill、Amnon Manassen、Gilad Laredo、Yoel Feler、Mark Ghinovker及Vladimir Levinski為發明者，於2019年6月26日申請之標題為Scan Overlay (OVL) Target之美國臨時申請案第62/867,142號的權利，該案之全文係以引用的方式併入本文中。
現將詳細參考附圖中繪示之所揭示標的物。已尤其參考某些實施例及其等之特定特徵來展示及描述本發明。本文中所闡述之實施例應被視為具闡釋性而非限制性。一般技術者應易於明白，可在不脫離本發明之精神及範疇的情況下做出形式及細節之各種改變及修改。
本發明之實施例係關於用於基於掃描之計量之系統及方法，其中一計量目標在平移通過一計量工具之一聚焦體積時藉由該計量工具特性化。
計量目標通常可包含經設計以提供一或多個印刷特性之一準確表示之經明確定義之印刷元件。在此方面，一計量目標之印刷元件之經量測特性(例如，藉由一計量工具)可表示與經製造之一裝置相關聯之印刷裝置元件。此外，計量目標通常經特性化為具有一或多個量測單元，其中各單元包含樣本上之一或多個層中之印刷元件。一計量量測接著可基於一單個單元中或多個單元之間的印刷元件之大小、定向或位置(例如，圖案放置)之量測之任何組合。
例如，一疊對計量目標之一或多個單元可包含經配置使得各層之元件之相對位置可指示一特定層中之偏移誤差(例如，圖案放置誤差(PPE))或與樣本層之間的配準誤差相關聯之疊對誤差的兩個或兩個以上樣本層上之印刷元件。藉由另一實例，程序敏感計量目標可包含一單個樣本層上之印刷元件，其中該等印刷元件之一或多個特性(例如，寬度或臨界尺寸(CD)、側壁角、位置或類似者)係指示一或多個程序量度，諸如(但不限於)在一微影步驟期間之照明之劑量或在一微影步驟期間在一微影工具中之樣本之一焦點位置。
一計量系統可使用各種技術檢測一計量目標。例如，一計量系統可使用一移動並量測(MAM)操作模式檢測一計量目標，其中平移樣本以將一所關注計量目標放置於一量測視野內，在樣本係靜態時進行一量測，且接著平移樣本以將一額外所關注計量目標放置於該量測視野內。藉由另一實例，一計量系統可在樣本運動(例如，一掃描操作模式)時檢測一計量目標。例如，一掃描計量工具可在其沿著一掃描方向掃描通過一量測場時連續分析一樣本。此外，一掃描計量工具可在一單次掃描中有效地檢測沿著掃描方向分佈之多個相鄰目標，此消除與MAM工具相關聯之耗時穩定時間要求。掃描計量工具通常係描述於2018年3月21日申請之美國專利申請案第15/761,830號中，該案之全文以引用的方式併入本文中。
本發明之實施例係關於適用於使用一掃描操作模式之檢測之計量目標。在本文中應認知，歸因於不同操作模式，掃描計量工具具有不同於MAM計量工具之誤差源。特定言之，雖然MAM計量工具可擷取一單個圖框中之一或多個單元之一影像，然掃描計量工具通常在掃描樣本時逐行產生一影像。因此，掃描計量工具可能對時變誤差(諸如但不限於，在不同程度上影響影像之不同部分之振動或抖動誤差)敏感。
因此，根據本發明設計之掃描計量目標(以及用於量測此等目標之系統)包含一或多個量測群組，其中一量測群組包含沿著正交於樣本之掃描方向之一方向分佈之經設計用於一共同計量量測之一或多個單元。在此方面，同時檢測各量測群組內之單元以減輕一量測期間時變誤差之影響。例如，量測誤差(諸如掃描速度或掃描位置誤差)係各量測群組中之所有單元所共同的，此可有助於對該量測群組內之單元進行一致且準確的量測。
此外，根據本發明設計之掃描計量目標可包含沿著掃描方向分佈之任何數目個群組。儘管時變誤差對一個量測群組中之單元之影響可不同於對一不同量測群組中之單元之影響，但此等誤差對計量量測可能具有最小影響，此係因為計量量測通常(但非排他地)涉及一單個量測群組內之單元。
一量測群組可包含經設計以產生任何數目個計量量測之一或多個單元之任何組合。例如，在疊對計量之背景內容中，一掃描計量目標可包含具有適用於在一第一方向(例如，一X方向)上之疊對量測之單元之一第一量測群組及具有適用於在一正交第二方向(例如，一Y方向)上之疊對量測之單元之一第二量測群組。藉由另一實例，一掃描計量目標可包含在一共同量測群組中之適用於在該第一方向及該第二方向兩者上之疊對量測之單元。
本發明之額外實施例係關於適用於分析本文中所描述之掃描計量目標之一掃描計量工具。例如，一掃描計量工具可在其相對於一量測場移動時連續分析一掃描計量目標，接收與單元群組之各者相關聯之計量信號且自該等計量信號產生計量資料。此外，該掃描計量工具可對各單元群組內之單元應用一共同量測演算法以自對應計量信號產生計量資料。
本發明之額外實施例係關於適用於產生掃描計量目標之一或多個圖案遮罩。例如，一圖案遮罩可包含適用於在一微影系統中成像至一樣本上用於製造一掃描計量目標之圖案元件。特定言之，一圖案遮罩可包含與待製造於一樣本上之一特定層相關聯之一或多個單元群組之一或多個單元中的圖案元件。此外，多個圖案遮罩可包含用於製造於多個樣本層上以製造一多層掃描計量目標(例如，一掃描疊對目標或類似者)之圖案元件。
現參考圖1至圖4，更詳細描述用於使用掃描計量目標之計量之系統及方法。
圖1係繪示根據本發明之一或多項實施例之一掃描計量系統100之一方塊圖。掃描計量系統100可包含用以在相對於一量測場掃描一樣本102時分析樣本102或其之一部分之各種組件。例如，掃描計量系統100可經組態以在掃描樣本102時分析樣本102上之一掃描計量目標(其將在下文更詳細描述)。
在一項實施例中，掃描計量系統100包含經組態以產生一照明光束106之一照明源104。在另一實施例中，掃描計量系統100包含包括用以將照明光束106引導至樣本102之一或多個組件之一照明路徑108。在另一實施例中，掃描計量系統100包含包括用以收集樣本輻射112之一或多個組件之一收集路徑110。在另一實施例中，掃描計量系統100包含經組態以自收集路徑110捕獲樣本輻射112之至少一部分之一偵測器114。在另一實施例中，掃描計量系統100包含經組態以在一量測之前、期間及/或之後調整樣本102及/或照明光束106之一掃描子系統(例如，一或多個平移載物台、光束掃描器或類似者)。
在另一實施例中，掃描計量系統100包含一控制器116。在另一實施例中，控制器116包含一或多個處理器118。在另一實施例中，一或多個處理器118經組態以執行經維持於一記憶體媒體120或記憶體中之一程式指令集。此外，控制器116可包含含有經儲存於記憶體媒體120中之可由處理器118執行之一或多個程式指令的一或多個模組。一控制器116之處理器118可包含此項技術中已知之任何處理元件。在此意義上，處理器118可包含經組態以執行演算法及/或指令之任何微處理器類型裝置。在一項實施例中，處理器118可由一桌上型電腦、大型電腦系統、工作站、影像電腦、平行處理器，或經組態以執行經組態以操作掃描計量系統100之一程式的任何其他電腦系統(例如，網路化電腦)組成，如貫穿本發明所描述。應進一步認知，術語「處理器」可被廣泛定義以涵蓋具有一或多個處理元件之任何裝置，該一或多個處理元件執行來自一非暫時性記憶體媒體120之程式指令。
記憶體媒體120可包含此項技術中已知之適於儲存可由相關聯處理器118執行之程式指令的任何儲存媒體。例如，記憶體媒體120可包含一非暫時性記憶體媒體。作為一額外實例，記憶體媒體120可包含(但不限於)一唯讀記憶體、一隨機存取記憶體、一磁性或光學記憶體裝置(例如，磁碟)、一磁帶、一固態硬碟機，及類似者。應進一步注意，記憶體媒體120可與處理器118一起被容納於一共同控制器外殼中。在一項實施例中，記憶體媒體120可係相對於處理器118及控制器116之實體位置而遠端地定位。例如，控制器116之處理器118可存取可透過一網路(例如，網際網路、內部網路及類似者)存取之一遠端記憶體(例如，伺服器)。因此，上文描述不應被解釋為限制本發明，而僅是一圖解說明。
控制器116可與掃描計量系統100之任何組件通信地耦合。在一項實施例中，控制器116自掃描計量系統100之一或多個組件接收資料。例如，控制器116可自偵測器114接收與一掃描計量目標相關聯之計量信號(例如，一或多個影像或類似者)。在另一實施例中，控制器116執行本發明之一或多個處理步驟。藉由另一實例，控制器116可自樣本載物台134接收指示位置、速度或其他相關參數之位置回饋。在另一實施例中，控制器116分析或以其他方式處理來自偵測器114之計量信號。例如，控制器116可基於來自掃描計量目標之計量信號來產生計量資料(諸如但不限於，疊對資料、在一或多個微影步驟期間樣本102之焦點位置，或在一或多個微影步驟期間之照明劑量)。在另一實施例中，控制器116可產生一或多個控制信號，以引導或以其他方式控制掃描計量系統100之組件。控制器116可產生用於掃描計量系統100之任何組件(包含但不限於，偵測器114、樣本載物台134、照明源104或照明路徑108或收集路徑110之任何組件)的控制信號。
此外，掃描計量系統100可作為此項技術中已知之任何類型之計量系統操作。在一項實施例中，掃描計量系統100係其中可基於樣本102之一或多個影像產生計量資料之一成像計量系統。在另一實施例中，掃描計量系統100係其中計量資料係基於與藉由樣本102繞射及/或散射照明光束106相關聯之一或多個光瞳影像之一散射量測計量系統。
仍參考圖1，將更詳細描述掃描計量系統100之各種組件。
照明源104可包含此項技術中已知之任何類型之光源。此外，照明源104可具有任何選定光譜內容。
在一項實施例中，照明源104包含一或多個相干源，諸如(但不限於)一或多個雷射源。在此方面，照明源104可產生具有高相干性(例如，高空間相干性及/或時間相干性)之一照明光束106。例如，照明源104可包含一或多個寬頻雷射，諸如(但不限於)一或多個超連續雷射或白光雷射。藉由另一實例，照明源104可包含一或多個窄頻雷射。藉由一進一步實例，照明源104可包含用以提供具有可調諧光譜強度之一照明光束106之一或多個可調諧雷射。此外，一相干照明源104可基於任何類型之技術或產品設計。例如，照明源104可包含(但不限於)一或多個光纖雷射、一或多個二極體雷射或一或多個氣體雷射之任何組合。
在另一實施例中，照明源104包含用以提供具有低或部分相干性(例如，空間及/或時間相干性)之一照明光束106之一或多個低相干性源。例如，照明源104可包含一或多個發光二極體(LED)。藉由另一實例，照明源104可包含一雷射維持電漿(LSP)源，諸如(但不限於)適於容納在藉由一雷射源激發成一電漿狀態時可發射寬頻照明之一或多個元件之一LSP燈、一LSP燈泡或一LSP腔室。藉由另一實例，照明源104可包含一燈源，諸如(但不限於)一弧光燈、一放電燈、一無電極燈或類似者。
此外，照明源104可包含光源之任何組合。在一項實施例中，照明源104包含用以提供寬頻照明之一或多個超連續雷射源及用以補充該一或多個超連續雷射源之光譜中之間隙之一或多個部分相干高亮度LED。
照明源104可進一步提供具有任何選定時間特性之光。在一項實施例中，照明源104包含用以提供一連續波照明光束106之一或多個連續波源。在另一實施例中，照明源104包含用以提供一脈衝化或以其他方式調變之照明光束106之一或多個脈衝源。例如，照明源104可包含一或多個鎖模雷射、一或多個Q切換雷射或類似者。
在一項實施例中，照明路徑108包含一或多個透鏡122。在另一實施例中，照明路徑108包含適於修改及/或調節照明光束106之一或多個光學組件124。例如，一或多個光學組件124可包含(但不限於)一或多個偏光器、一或多個濾光器、一或多個光束分離器、一或多個擴散器、一或多個均質器、一或多個變跡器或一或多個光束塑形器。
在另一實施例中，掃描計量系統100包含用以將照明光束106聚焦至樣本102上之一物鏡126。
樣本輻射112可包含自樣本102發出之任何類型之輻射，包含(但不限於)光或粒子。例如，樣本輻射112可包含藉由樣本102反射及/或散射之照明光束106之部分。藉由另一實例，樣本輻射112可包含由樣本102吸收照明光束106而引發之發光。藉由另一實例，樣本輻射112可包含回應於照明光束106而來自樣本102之粒子，諸如(但不限於)反向散射之電子或二次電子。
在一項實施例中，收集路徑110包含一或多個透鏡128。在另一實施例中，收集路徑110包含適於修改及/或調節照明光束106之一或多個光學組件130。例如，一或多個光學組件130可包含(但不限於)一或多個偏光器、一或多個濾光器、一或多個光束分離器、一或多個擴散器、一或多個變跡器或一或多個光束塑形器。
在另一實施例中，掃描計量系統100包含一光束分離器132。例如，如圖1中所繪示，光束分離器132可為照明路徑108及收集路徑110兩者所共有，使得物鏡126既可將照明光束106引導至樣本102又可收集樣本輻射112。在另一實施例中，儘管未展示，但照明路徑108及收集路徑110可包含分別用以將照明光束106引導至樣本102及收集樣本輻射112之分離透鏡。
偵測器114可包含此項技術中已知之適於捕獲自樣本102接收之樣本輻射112之任何光學偵測器。在一項實施例中，偵測器114包含適於擷取一或多個影像之一多像素偵測器。例如，偵測器114可包含(但不限於)一電荷耦合裝置(CCD)、一互補金屬氧化物半導體(CMOS)裝置。偵測器114可定位於掃描計量系統100之任何成像平面處。例如，偵測器114可定位於與樣本102共軛之一平面處以產生樣本102之一影像。在另一例項中，偵測器114可定位於一光瞳平面(或其之一共軛物)處以產生一光瞳影像。
此外，掃描計量系統100可包含多個偵測器114 (例如，與藉由一或多個光束分離器產生以促進藉由掃描計量系統100之多個計量量測(例如，多個計量工具)之多個光束路徑相關聯)。在另一實施例中，一偵測器114可包含適於識別自樣本102發出之輻射之波長之一光譜偵測器。
在另一實施例中，掃描計量系統100包含用以在一計量量測期間相對於量測場掃描樣本102之一掃描子系統。在一項實施例中，如圖1中所繪示，該掃描子系統包含用以將樣本102固定及/或定位於掃描計量系統100之一量測場內之一樣本載物台134。例如，樣本載物台134可將樣本102定位及定向於物鏡126之一聚焦體積內。在另一實施例中，樣本載物台134包含一或多個可調整載物台，諸如(但不限於)一線性平移載物台、一旋轉載物台或一傾倒/傾斜載物台。在另一實施例中，儘管未展示，但掃描子系統包含用以相對於樣本102掃描照明光束106之一或多個光束掃描光學器件(例如，可旋轉鏡、電流計或類似者)。
偵測器114可經組態以使用此項技術中已知之任何技術在一掃描期間產生計量信號(例如，樣本平面及/或光瞳平面影像)。在一項實施例中，偵測器114包含具有足以在一掃描期間擷取在選定影像容限(例如，影像模糊、對比度、清晰度或類似者)內之一或多個影像之一擷取時間及/或一再新率之一2D像素陣列。在另一實施例中，偵測器114包含一次連續地產生一行像素之一影像之一行掃描偵測器。在另一實施例中，偵測器114包含一時延積分(TDI)偵測器。當將樣本102之運動同步化至一TDI偵測器中之電荷轉移時脈信號時，該TDI偵測器可產生樣本102之一連續影像。特定言之，一TDI偵測器自像素行上之曝光獲取電荷且包含沿著一掃描方向在相鄰像素行之間轉移電荷之時鐘脈衝。當將樣本102沿著該掃描方向的運動同步化至TDI偵測器中之電荷轉移時，電荷在掃描期間連續累積。此程序繼續進行直至電荷到達一最後像素行且隨後自偵測器讀出。以此方式，與用一簡單行掃描相機將可能的情況相比，在更長時框內累積物件之影像。此相對較長獲取時間降低影像中之光子雜訊位準。此外，影像與電荷之同步運動防止經記錄影像中之模糊。
現參考圖2至圖4，更詳細描述各種計量目標設計。
圖2係根據本發明之一或多項實施例之適用於其中一樣本102在一量測期間靜止之靜態模式(例如，圖框模式)計量量測之一靜態計量目標202的一俯視圖。
例如，圖2中之靜態計量目標202可適用於用以判定樣本102之兩層之間的配準誤差之疊對計量。特定言之，靜態計量目標202可包含在本文表示為靜態計量目標202之四分部之四個單元204a至204d。各單元204a至204d可包含定位於樣本102之一第一層上之第一層印刷元件206及定位於樣本102之一第二層上之第二層印刷元件208。
此外，單元204a及單元204d可經組態以提供如圖2中所繪示之沿著X方向之疊對量測。例如，可藉由直接比較各單元內或單元204a與單元204d之間的第一層印刷元件206與第二層印刷元件208之相對位置來進行沿著X方向之一疊對量測。在另一例項中，可藉由比較跨單元204a及單元204d分佈之第一層印刷元件206之間的一旋轉對稱(例如，旋轉對稱、反射對稱、鏡像對稱或類似者)點與跨單元204a及單元204d分佈之第二層印刷元件208之間的一對稱點來進行沿著X方向之一疊對量測。類似地，單元204b及單元204c可經組態以提供如圖2中所繪示之沿著Y方向之疊對量測。
本文中應認知，經組態用於靜態量測(例如，一MAM操作模式)之一計量工具可在一單個量測視野210 (例如，一單個圖框)中擷取靜態計量目標202之一影像。因此，計量工具中之時變誤差對計量量測之影響通常可限於在大約產生完整靜態計量目標202之影像所需之曝光時間之一時框中發生之時變誤差。此外，因為所有單元204a至204d係同時在一單個影像中成像，所有任何時變誤差將對該影像之各種部分具有共同影響。在此方面，時變誤差通常可能不在相關聯於單元204a (或單元204b)之影像之一部分與相關聯於單元204d (或單元204c)之影像之一部分之間引入差異。
然而，本文中應進一步認知，經組態用於掃描量測之掃描計量系統100可在樣本102平移通過一量測場時逐行產生靜態計量目標202之一影像。因此，時變誤差可在相關聯於單元204a (或單元204b)之影像之部分與相關聯於單元204d (或單元204c)之影像之部分之間引入可直接影響疊對計量量測之差異。
現參考圖3至圖5，描述根據本發明之一或多項實施例之適用於掃描模式量測之計量目標。
圖3係根據本發明之一或多項實施例之一掃描計量目標302之一概念圖。
在一項實施例中，掃描計量目標302包含分佈於樣本102上之多個量測單元304，其中各單元304包含經設計以提供一選定計量量測之在樣本102之一或多個層上之印刷元件。例如，一疊對計量量測可利用樣本102之兩個或兩個以上層上之圖案元件之間的相對位置來判定在微影期間相關聯層之配準誤差，其中該等圖案元件定位於掃描計量目標302之一或多個單元304中。藉由另一實例，一單元304可包含一或多個樣本層上之印刷元件，其中諸如(但不限於)大小、臨界尺寸(CD)或位置之特性係指示曝光期間之一或多個程序參數(例如，樣本102之焦點位置、照明劑量或類似者)。
在另一實施例中，掃描計量目標302中之單元304係組織於沿著掃描方向308 (例如，在一量測期間掃描樣本102之方向)分佈之一或多個量測群組306內。例如，各量測群組306可包含沿著正交於掃描方向308之一橫向方向310分佈之任何數目個單元304且掃描計量目標302可包含沿著掃描方向308之任何數目個量測群組306。
本文中應認知，掃描計量系統100可具有可負面影響計量效能之相關聯之多個誤差源。特定言之，因為掃描計量系統100沿著一掃描產生一連續影像，所以時變誤差(諸如但不限於，振動或抖動)之影響可顯現為該連續影像之特定部分相對於其他部分之變動(例如，連續影像中之空間變動)。例如，與掃描方向308相關聯之誤差可引發一連續影像之特定部分沿著橫向方向之橫向移位。藉由另一實例，與沿著掃描方向308之平移速度(例如，掃描速度)相關聯之誤差可顯現為連續影像之部分之拉伸或壓縮。
在計量之背景內容中，由系統引發誤差所引起之連續影像中之空間變動可負面影響經設計以自影像提取關於一樣本之資訊之計量演算法之效能。例如，疊對計量可基於樣本102之兩個或兩個以上層上之成像特徵之相對位置來量測樣本層之間的配準誤差。然而，影像中之空間變動可直接影響影像中之特徵之位置且可因此直接促成一量測誤差。藉由另一實例，臨界尺寸計量可基於一影像中之特徵之一大小來量測一樣本上之一特徵大小。然而，影像中之空間變動可直接影響在沿著掃描方向308之不同位置處之特徵之經成像大小且可因此直接促成沿著掃描方向308之一不一致量測結果。
因此，在本發明之實施例中，與一共同計量量測相關聯之單元304可經配置以定位於一共同量測群組306內。在此方面，可同時量測各量測群組306內之單元304以減輕時變誤差之影響。本文中應認知，時變誤差仍可影響各量測群組306內之單元304。然而，僅時變誤差在大約一量測群組306之量測時間之一時間尺度(例如，近似沿著掃描方向308量測之一最大單元304之一大小)上發生。此外，甚至在此時間尺度上發生之該等誤差將類似地影響量測群組306中之所有單元304。
然而，應理解，不排除一計量演算法利用不同量測群組306中之單元304。本文中僅設想沿著經分析之掃描方向308增加一影像之一部分之大小可增加時變誤差之影響。
一掃描計量目標302可包含任何選定數目個量測群組306，各量測群組306包含適用於任何選定計量量測之任何數目個單元304。在一項實施例中，掃描計量目標302可包含具有經設計以提供沿著一第一方向(例如，一X方向)之疊對量測之一或多個單元304之一第一量測群組306，及具有經設計以提供沿著一第二方向(例如，一Y方向)之疊對量測之一或多個單元304之一第二量測群組306。在此方面，可同時量測與沿著該第一方向之疊對計量相關聯之第一量測群組306中之單元304以提供準確計量資料。類似地，可同時量測與沿著第二方向之疊對計量相關聯之第二量測群組306中之單元304。在另一實施例中，掃描計量目標302可包含經設計以提供沿著多個方向(例如，X方向及Y方向)之疊對量測之一共同量測群組306中之一或多個單元304。在此方面，可同時量測與沿著該多個方向之疊對計量相關聯之共同量測群組306中之單元304。在另一實施例中，掃描計量目標302可包含經設計以提供一共同量測群組306中之CD計量以針對掃描計量目標302中之不同位置處之特徵最小化或以其他方式減輕時變誤差對CD量測之影響之一或多個單元304。在另一實施例中，掃描計量目標302可包含經設計以提供一共同量測群組306中之程序計量資料(例如，一微影工具中之照明劑量、焦點位置或類似者)以最小化或以其他方式減輕時變誤差對程序計量量測之影響之一或多個單元304。因此，應理解，提供一掃描計量目標302中之特定數目或佈局之量測群組306之實例僅作為圖解說明提供且不應被解釋為限制。
在一項實施例中，掃描計量目標302包含一或多個量測群組306，其中各量測群組306內之各種量測群組306提供與樣本102上之一共同方向相關聯之計量量測(例如，疊對、程序監測或類似者)。例如，一掃描計量目標302可包含：一第一量測群組306，其可包含提供沿著一第一方向之計量量測之單元304；及一第二量測群組306，其可包含提供沿著不同於該第一方向之一第二方向之計量量測之單元304。該第一方向與該第二方向可為但未必為正交的。此外，第一方向及第二方向可對應於(但未必對應於)掃描方向308及橫向方向310。
此外，量測群組306可包含具有印刷元件之單元304，該等印刷元件具有適於提供一選定所關注計量量測的任何選定圖案。在一項實施例中，量測群組306包含具有週期性印刷元件之至少一個單元304。例如，週期性印刷元件可包含具有沿著一選定方向之一相同間距的多個(例如，三個或三個以上)元件。此外，該多個元件可具有(但未必具有)一相同大小。
現參考圖4A至圖5，描述根據本發明之一或多項實施例之一掃描計量目標302的各種組態。例如，本文中設想可設計一疊對以基於此項技術中已知之任何量測演算法來提供疊對量測。例如，可藉由直接比較使用不同曝光步驟產生之印刷元件之相對位置與對稱(例如，旋轉對稱、反射對稱或類似者)點來產生沿著一量測方向之一疊對量測。此外，雖然圖4A至圖5中所繪示之一掃描計量目標302之組態係設計用於疊對計量，但應理解，根據本發明組態之一掃描計量目標302並不限於疊對計量。因此，本文中設想一般技術者可將所繪示實施例中所描述之特徵及操作原理擴展至額外計量目標設計。
圖4A係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之兩個量測群組306a、306b之掃描計量目標302之一俯視圖，其中兩個量測群組306a、306b之各者內之單元304顯示旋轉對稱性。
在一項實施例中，掃描計量目標302包含：一第一量測群組306a，其包含沿著橫向方向310分佈之一第一單元304a及一第二單元304b；及一第二量測群組306b，其包含沿著橫向方向310分佈之一第三單元304c及一第四單元304d。第二量測群組306b係沿著掃描方向308與第一量測群組306a分離。此外，單元304a至304d被描繪為具有第一組印刷元件402及一第二組印刷元件404。第一組印刷元件402及第二組印刷元件404可使用不同處理步驟印刷。例如，第一組印刷元件402可係製造於樣本102之一第一層上，且第二組印刷元件404可係製造於樣本之一第二層上。藉由另一實例，第一組印刷元件402及第二組印刷元件404可在不同處理步驟中被製造於樣本102之一共同層上。
此外，單元304a至304d之任一者可包含具有印刷元件之單元304，該等印刷元件具有適於提供一選定所關注計量量測之任何選定圖案。例如，量測群組306a及/或量測群組306b可包含具有週期性印刷元件之至少一單元304。例如，週期性印刷元件可包含具有沿著一選定方向之一相同間距之多個(例如，三個或三個以上)元件。此外，該多個元件可具有(但未必具有)一相同大小。
在一項實施例中，第一量測群組306a中之第一單元304a及第二單元304b經組態以提供沿著一第一方向(例如，X方向)之疊對量測，而第二量測群組306b中之第三單元304c及第四單元304d經組態以提供沿著一第二方向(例如，Y方向)之疊對量測。在此方面，可同時使第一量測群組306a中之第一單元304a及第二單元304b成像以最小化或以其他方式減輕時變誤差對沿著第一方向之相關聯計量量測之影響。類似地，亦可同時使第二量測群組306b中之第三單元304c及第四單元304d成像以最小化或以其他方式減輕時變誤差對沿著第二方向之相關聯計量量測之影響。
此外，圖4A中之掃描計量目標302可非常適於(但不限於)基於單元304之旋轉對稱性之疊對計量。例如，單元304b可經設計以在無疊對誤差之情況下對應於單元304a之一180度旋轉，使得可藉由比較量測群組306a中之第一組印刷元件402之一旋轉對稱點406與量測群組306a中之第二組印刷元件404之一旋轉對稱點408而產生沿著X方向之一疊對量測。在圖4A中，類似地，單元304d可經設計以在無疊對誤差之情況下對應於單元304c之一180度旋轉，使得可藉由比較量測群組306b中之第一組印刷元件402之一旋轉對稱點410與量測群組306b中之第二組印刷元件404之一旋轉對稱點412而產生沿著Y方向之一疊對量測。在此方面，旋轉對稱單元304之一量測可減輕或以其他方式減少掃描計量系統100之旋轉誤差。
本文中設想，一量測群組306之單元304內之元件之各種配置可提供一所要對稱性。圖4B係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之兩個量測群組306a、306b之掃描計量目標302的一俯視圖，其中兩個量測群組306a、306b之各者內之單元304顯示旋轉對稱性。特定言之，圖4B之量測群組306b中之單元304c、304d係沿著Y方向(例如，量測方向)分佈以相對於圖4A中之掃描計量目標302增加量測群組306b沿著Y方向之長度。
此外，本文中設想一掃描計量目標302可適於在多個方向上之掃描，此可有助於比較用一共同目標沿著不同方向進行之量測。例如，可沿著X方向掃描圖4B中之掃描計量目標302 (例如，如圖4B中所展示之掃描方向308與橫向方向310可交換)。
然而，應理解，圖4A及圖4B中所繪示之180度旋轉對稱性僅為闡釋性目的而提供且不應被解釋為限制。實情係，掃描計量目標302 (或一量測群組306中之任何群組之單元304)可對應於彼此旋轉任何量(例如，45度、90度或類似者)之版本。
此外，如本文中先前所描述，一量測群組306中之單元304不需要具有任何旋轉對稱性。
在另一實施例中，一量測群組306包含多個相同單元304。圖4C係根據本發明之一或多項實施例之具有多個相同單元304c、304d之掃描計量目標302的一俯視圖。因此，可藉由單獨對單元304c及單元304d執行疊對量測(例如，分別基於單元304c及單元304d中之第一組印刷元件402及第二組印刷元件404之相對位置及/或對稱點)且接著對單獨量測求平均值以消除掃描計量系統100之旋轉誤差而產生沿著Y方向之一疊對量測。
在另一實施例中，一量測群組306包含經設計以具有沿著一所要量測方向(例如，X方向、Y方向或類似者)之反射對稱性(例如，鏡像對稱性、1-D對稱性或類似者)之一或多對單元304。圖4D係根據本發明之一或多項實施例之具有兩個量測群組306a、306b之掃描計量目標302的一俯視圖，其中兩個量測群組306a、306b之各者內之單元304顯示反射對稱性。例如，量測群組306a中之第一組印刷元件402及第二組印刷元件404可經設計為圍繞軸414對稱，使得沿著X方向之一疊對量測可與量測群組306a中之第一組印刷元件402之對稱軸與量測群組306a中之第二組印刷元件404之對稱軸之比較相關聯。類似地，量測群組306b中之第一組印刷元件402及第二組印刷元件404可經設計為圍繞軸416對稱，使得沿著Y方向之一疊對量測可與量測群組306b中之第一組印刷元件402之對稱軸與量測群組306b中之第二組印刷元件404之對稱軸之比較相關聯。
在另一實施例中，一量測群組306包含提供相同計量量測但具有不同佈局之印刷元件(例如，第一組印刷元件402及第二組印刷元件404)之多個單元304。例如，單元304中之印刷元件可包含元件之間的間距、元件之分段、元件不對稱性或類似者之變動。在此方面，與多個單元304相關聯之計量信號可用於監測程序誤差及/或圖案放置誤差(PPE)，其中印刷元件中之變動係對程序誤差敏感。
在另一實施例中，一特定單元304可包含具有有意插入之偏斜(例如，偏移)之圖案元件(例如，光柵或類似者)。在此方面，單元304之計量量測可用於藉由演算法及/或旗標提供殘餘最小化。
然而，應理解，圖4A至圖4D中之各具有兩個單元304之量測群組306之圖解說明僅為闡釋性目的而提供且不應被解釋為限制。掃描計量目標302之量測群組306可包含任何數目個單元304。
圖5係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之各具有三個單元304之兩個單元群組306之掃描計量目標302的一俯視圖。例如，掃描計量目標302可包含具有單元304a至304c之一第一量測群組306a及具有單元304d至304f之一第二量測群組306b。此外，如圖5中所繪示，單元304之間的對稱性可在不同量測群組306之間不同。例如，第一量測群組306a包含具有兩個旋轉變體之單元304，而第二量測群組306b包含相同單元304。
本文中所描述之標的物有時繪示含在其他組件內或與其他組件連接之不同組件。應理解，此等經描繪架構僅為例示性的，且實際上可實施達成相同功能性之許多其他架構。在一概念意義上，達成相同功能性之組件之任何配置係有效地「相關聯」，使得達成所要功能性。因此，經組合以達成一特定功能性之本文中之任何兩個組件可被視為彼此「相關聯」，使得不考慮架構或中間組件而達成所要功能性。同樣地，如此相關聯之任何兩個組件亦可被視為彼此「連接」或「耦合」以達成所要功能性，且能夠如此相關聯之任何兩個組件亦可被視為彼此「可耦合」以達成所要功能性。可耦合之特定實例包含(但不限於)：實體可互動及/或實體互動之組件、及/或無線可互動及/或無線互動之組件、及/或邏輯可互動及/或邏輯互動之組件。
據信，將藉由前文描述理解本發明及許多其伴隨優點，且將明白，可在不脫離所揭示之標的物或不犧牲全部其實質性優點之情況下作出組件之形式、構造及配置上之各種改變。所描述之形式僅為說明性的且以下發明申請專利範圍之意圖係涵蓋及包含此等改變。此外，應理解，本發明僅藉由隨附發明申請專利範圍所定義。
100:掃描計量系統 102:樣本 104:照明源 106:照明光束 108:照明路徑 110:收集路徑 112:樣本輻射 114:偵測器 116:控制器 118:處理器 120:記憶體媒體/非暫時性記憶體媒體 122:透鏡 124:光學組件 126:物鏡 128:透鏡 130:光學組件 132:光束分離器 134:樣本載物台 202:靜態計量目標 204a至204d:單元 206:第一層印刷元件 208:第二層印刷元件 210:量測視野 302:掃描計量目標 304:量測單元/單元/旋轉對稱單元 304a:第一單元/單元 304b:第二單元/單元 304c:第三單元/單元 304d:第四單元/單元 304e:單元 304f:單元 306:量測群組/第一量測群組/第二量測群組 306a:量測群組/第一量測群組 306b:量測群組/第二量測群組 308:掃描方向 310:橫向方向 402:第一組印刷元件 404:第二組印刷元件 406:旋轉對稱點 408:旋轉對稱點 410:旋轉對稱點 412:旋轉對稱點 414:軸 416:軸
熟習此項技術者藉由參考附圖可更佳理解本發明之許多優點，其中： 圖1係繪示根據本發明之一或多項實施例之一掃描計量系統之一方塊圖。 圖2係根據本發明之一或多項實施例之適用於其中一樣本在一量測期間靜止之靜態模式計量量測之一靜態計量目標的一俯視圖。 圖3係根據本發明之一或多項實施例之一掃描計量目標之一概念圖。 圖4A係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之兩個量測群組之掃描計量目標的一俯視圖，其中該兩個量測群組之各者內之單元顯示旋轉對稱性。 圖4B係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之兩個量測群組之掃描計量目標的一俯視圖，其中該兩個量測群組之各者內之單元顯示旋轉對稱性。 圖4C係根據本發明之一或多項實施例之具有多個相同單元之掃描計量目標的一俯視圖。 圖4D係根據本發明之一或多項實施例之具有兩個量測群組之掃描計量目標的一俯視圖，其中該兩個量測群組之各者內之單元顯示反射對稱性。 圖5係根據本發明之一或多項實施例之具有用於沿著正交方向之疊對計量之各具有三個單元之兩個單元群組之掃描計量目標的一俯視圖。
100:掃描計量系統
102:樣本
104:照明源
106:照明光束
108:照明路徑
110:收集路徑
112:樣本輻射
114:偵測器
116:控制器
118:處理器
120:記憶體媒體/非暫時性記憶體媒體
122:透鏡
124:光學組件
126:物鏡
128:透鏡
130:光學組件
132:光束分離器
134:樣本載物台

Claims (33)

  1. 一種計量系統，其包括： 一控制器，其經通信地耦合至一掃描計量工具，該掃描計量工具經組態以使沿著一掃描方向運動之一樣本成像，該控制器包含一或多個處理器，該一或多個處理器經組態以執行引起該一或多個處理器執行以下操作之程式指令： 自該掃描計量工具接收該樣本上之一計量目標之一影像，其中該計量目標包括： 一第一量測群組，其包含沿著該樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元，其中該樣本上之該橫向方向係正交於該掃描方向；及 一第二量測群組，其包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元，該第二量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離； 基於該第一計量群組中之該第一組單元之至少一者來產生至少一第一計量量測；及 基於該第二計量群組中之該第二組單元之至少一者來產生至少一第二計量量測。
  2. 如請求項1之計量系統，其中該第一計量量測包括： 沿著該樣本上之一第一方向之一疊對計量量測，其中該第二計量量測包括： 沿著該樣本上之不同於該第一方向之一第二方向之一疊對計量量測。
  3. 如請求項2之計量系統，其中該第二方向係正交於該第一方向。
  4. 如請求項2之計量系統，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於該第一量測群組之該一或多個單元中之兩組或兩組以上印刷元件的相對位置，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於該第二量測群組之該一或多個單元中之兩組或兩組以上印刷元件的相對位置。
  5. 如請求項2之計量系統，其中該第一量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於跨該第一量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之旋轉對稱中心的相對位置，其中該第二量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於跨該第二量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之旋轉對稱中心的相對位置。
  6. 如請求項2之計量系統，其中該第一量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於跨該第一量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之反射對稱軸的相對位置，其中該第二量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於跨該第二量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之反射對稱軸的相對位置。
  7. 如請求項1之計量系統，其中該第一量測群組或該第二量測群組中之至少一者包含具有一組週期性印刷元件之一單元。
  8. 如請求項7之計量系統，其中該組週期性印刷元件包括： 由一相同間距分離之至少三個印刷元件。
  9. 如請求項8之計量系統，其中該至少三個印刷元件具有一相同大小。
  10. 如請求項1之計量系統，其中該第一量測群組或該第二量測群組中之至少一者包含兩個或兩個以上相同單元。
  11. 如請求項1之計量系統，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 在製造該樣本之一或多個層時，一微影工具之一程序參數。
  12. 如請求項11之計量系統，其中該一或多個程序參數包括： 在該微影工具中曝光該樣本之該一或多個層之任一者時，該樣本之一焦點位置或該樣本上之一照明劑量之至少一者。
  13. 如請求項1之計量系統，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 一疊對計量量測、一臨界尺寸計量量測，或一側壁角量測。
  14. 如請求項1之計量系統，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 該樣本上之一或多個印刷元件之一大小、位置或定向之至少一者。
  15. 如請求項10之計量系統，其中該一或多個處理器進一步經組態以執行引起該一或多個處理器執行以下操作之程式指令： 產生與沿著該第一方向或該第二方向之該至少一者之該計量資料相關聯的一或多個統計資料。
  16. 如請求項10之計量系統，其中該一或多個統計資料包括： 一平均值、一偏差或一變數之至少一者。
  17. 一種計量系統，其包括： 一掃描計量工具，其經組態以使沿著一掃描方向運動之一樣本成像；及 一控制器，其經通信地耦合至該掃描計量工具，該控制器包含一或多個處理器，該一或多個處理器經組態以執行引起該一或多個處理器執行以下操作之程式指令： 自該掃描計量工具接收該樣本上之一計量目標之一影像，其中該計量目標包括： 一第一量測群組，其包含沿著該樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元，其中該樣本上之該橫向方向係正交於該掃描方向；及 一第二量測群組，其包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元，該第二量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離； 基於該第一計量群組中之該第一組單元之至少一者來產生至少一第一計量量測；及 基於該第二計量群組中之該第二組單元之至少一者來產生至少一第二計量量測。
  18. 如請求項17之計量系統，其中該掃描計量工具包括： 一照明源； 一平移載物台，其經組態以沿著該掃描方向來掃描該樣本； 一掃描偵測器，其經組態以回應於來自該照明源之照明而接收自該樣本發出之輻射，其中該平移載物台上之該樣本之一掃描速度係與該掃描偵測器同步化。
  19. 如請求項18之計量系統，其中該掃描偵測器包括： 一行掃描偵測器或一時延積分偵測器之至少一者。
  20. 如請求項17之計量系統，其中該第一計量量測包括： 沿著該樣本上之一第一方向之一疊對計量量測，其中該第二計量量測包括： 沿著該樣本上之不同於該第一方向之一第二方向之一疊對計量量測。
  21. 如請求項17之計量系統，其中該第一量測群組或該第二量測群組中之至少一者包含具有一組週期性印刷元件之一單元。
  22. 一種計量目標，其包括： 一第一量測群組，其包含沿著一樣本上之一橫向方向分佈之一或多個單元，其中該樣本上之該橫向方向係正交於該掃描方向，其中該第一量測群組中之該一或多個單元經組態以藉由一掃描計量工具同時量測，且進一步經組態以在用該掃描計量工具量測時，提供至少一第一計量量測；及 一第二量測群組，其包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元，該第二量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組分離，其中該第二量測群組中之該一或多個單元經組態以藉由該掃描計量工具同時量測，且進一步經組態以在用該掃描計量工具量測時，提供至少一第二計量量測。
  23. 如請求項22之計量目標，其包括： 一或多個額外量測群組，各包含沿著該樣本上之該橫向方向分佈之一或多個單元，該一或多個額外量測群組係沿著該掃描方向與該第一量測群組及該第二量測群組分離，其中該至少一個額外量測群組之各者中之該一或多個單元經組態以藉由該掃描計量工具同時量測，且進一步經組態以在用該掃描計量工具量測時，提供至少一額外計量量測。
  24. 如請求項22之計量目標，其中該第一計量量測包括： 沿著該樣本上之一第一方向之一疊對計量量測，其中該第二計量量測包括： 沿著該樣本上之不同於該第一方向之一第二方向之一疊對計量量測。
  25. 如請求項24之計量目標，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於該第一量測群組之該一或多個單元中之兩組或兩組以上印刷元件的相對位置，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於該第二量測群組之該一或多個單元中之兩組或兩組以上印刷元件的相對位置。
  26. 如請求項24之計量目標，其中該第一量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於跨該第一量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之旋轉對稱中心的相對位置，其中該第二量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於跨該第二量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之旋轉對稱中心的相對位置。
  27. 如請求項24之計量目標，其中該第一量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第一方向之該疊對量測係基於跨該第一量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之反射對稱軸的相對位置，其中該第二量測群組包含兩個或兩個以上單元，其中沿著該樣本上之該第二方向之該疊對量測係基於跨該第二量測群組中之該兩個或兩個以上單元分佈之兩組或兩組以上印刷元件之反射對稱軸的相對位置。
  28. 如請求項22之計量目標，其中該第一組單元或該第二組單元之至少一者包含兩個或兩個以上相同單元。
  29. 如請求項22之計量目標，其中該第一量測群組或該第二量測群組中之至少一者包含具有一組週期性印刷元件之一單元。
  30. 如請求項22之計量目標，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 在製造該樣本之一或多個層時，一微影工具之一程序參數。
  31. 如請求項30之計量目標，其中該一或多個程序參數包括： 在該微影工具中曝光該樣本之該一或多個層之任一者時，該樣本之一焦點位置或該樣本上之一照明劑量之至少一者。
  32. 如請求項22之計量目標，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 一疊對計量量測、一臨界尺寸計量量測，或一側壁角量測。
  33. 如請求項22之計量目標，其中該第一計量量測或該第二計量量測之至少一者包括： 該樣本上之一或多個印刷元件之一大小、位置或定向之至少一者。
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