TW201534706A - 複合金屬氧化物硏磨材料之製造方法及複合金屬氧化物硏磨材料 - Google Patents

複合金屬氧化物硏磨材料之製造方法及複合金屬氧化物硏磨材料 Download PDF

Info

Publication number
TW201534706A
TW201534706A TW104106249A TW104106249A TW201534706A TW 201534706 A TW201534706 A TW 201534706A TW 104106249 A TW104106249 A TW 104106249A TW 104106249 A TW104106249 A TW 104106249A TW 201534706 A TW201534706 A TW 201534706A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
polishing
abrasive
slurry
metal oxide
composite metal
Prior art date
Application number
TW104106249A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
Hisao Koizumi
Keiji Ono
Tsutomu Yamamoto
Masaru Mikami
Mizuho Wada
Original Assignee
Sakai Chemical Industry Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sakai Chemical Industry Co filed Critical Sakai Chemical Industry Co
Publication of TW201534706A publication Critical patent/TW201534706A/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1409—Abrasive particles per se
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
TW104106249A 2014-02-27 2015-02-26 複合金屬氧化物硏磨材料之製造方法及複合金屬氧化物硏磨材料 TW201534706A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014037361 2014-02-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201534706A true TW201534706A (zh) 2015-09-16

Family

ID=54009090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104106249A TW201534706A (zh) 2014-02-27 2015-02-26 複合金屬氧化物硏磨材料之製造方法及複合金屬氧化物硏磨材料

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6460090B2 (ja)
TW (1) TW201534706A (ja)
WO (1) WO2015129776A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6458554B2 (ja) * 2015-02-26 2019-01-30 堺化学工業株式会社 複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料
JP6788988B2 (ja) * 2016-03-31 2020-11-25 株式会社フジミインコーポレーテッド 研磨用組成物
JP6924660B2 (ja) * 2017-09-21 2021-08-25 株式会社フジミインコーポレーテッド 研磨用組成物の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735253B2 (ja) * 1990-02-09 1995-04-19 株式会社日本触媒 ジルコニアまたはジルコニア系球状粒子および金属担持ジルコニアまたはジルコニア系球状粒子の製造方法
US5669941A (en) * 1996-01-05 1997-09-23 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasive article
WO2009075022A1 (ja) * 2007-12-10 2009-06-18 Asahi Glass Company, Limited セリア－ジルコニア系固溶体結晶微粒子及びその製造方法
JP5883609B2 (ja) * 2011-10-12 2016-03-15 一般財団法人ファインセラミックスセンター 研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法
JP6731701B2 (ja) * 2014-02-06 2020-07-29 アサヒ化成工業株式会社 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー
WO2015118927A1 (ja) * 2014-02-06 2015-08-13 アサヒ化成工業株式会社 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー
JP5997235B2 (ja) * 2014-11-26 2016-09-28 アサヒ化成工業株式会社 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015129776A1 (ja) 2015-09-03
JP6460090B2 (ja) 2019-01-30
JPWO2015129776A1 (ja) 2017-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5278631B1 (ja) ガラス研磨用複合粒子
JP2010016064A (ja) 研磨液組成物
JP5979340B1 (ja) 研磨用複合粒子、研磨用複合粒子の製造方法及び研磨用スラリー
JP2012011526A (ja) 研磨材およびその製造方法
JP6460090B2 (ja) 複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料
JP2017001927A (ja) 研磨用複合粒子、研磨用複合粒子の製造方法及び研磨用スラリー
TWI705947B (zh) 帶負電性基板之硏磨方法、及高表面平滑性之帶負電性基板之製造方法
JP5883609B2 (ja) 研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法
TWI678352B (zh) 複合金屬氧化物硏磨材料之製造方法及複合金屬氧化物硏磨材料
KR101196757B1 (ko) 고정도 연마용 산화세륨의 제조방법
KR20170077492A (ko) 세륨계 복합 연마입자의 제조방법, 그에 의한 세륨계 복합 연마입자 및 그 세륨계 복합 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물
JP5726612B2 (ja) 研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法
JP5726501B2 (ja) 研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法
JP6533995B2 (ja) 複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料
JP6792554B2 (ja) 研磨砥粒、研磨スラリーおよび硬脆材の研磨方法、ならびに硬脆材の製造方法
JP5861277B2 (ja) ジルコニア系研磨剤
JP2014084420A (ja) 遊離砥粒研磨用酸化マンガン研磨剤及びその製造方法
JP2015140402A (ja) 遊離砥粒、遊離砥粒研磨用研磨剤及びその製造方法
WO2002048279A1 (fr) Abrasif, boue abrasive, et procede de fabrication d'un abrasif
KR100697304B1 (ko) 판상카올린-세리아 복합연마재 및 그 제조방법
JP2012236273A (ja) 遊離砥粒研磨用研磨剤及びその製造方法
JP2014124721A (ja) ガラス基材研磨用酸化マンガン研磨剤及びその製造方法
JP2014101488A (ja) 異種金属元素を添加したマンガン酸化物遊離砥粒研磨用研磨剤及びその製造方法