TW201116861A - Heat-resistant flexible color filter - Google Patents

Description

201116861 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種彩色濾光片，且特別關於一種由二 氧化矽與聚亞醯胺混成基板與熱穩定性彩色光阻材料所形 成的而才熱之可撓式彩色濾光片。 【先前技術】 由於薄膜電晶體液晶顯示器之彩色濾光片製造包含形 成黑框防止混光之黑色感光樹脂和濾光用之紅、綠、藍三 色彩色光阻，其中彩色光阻必須有好的光穿透度及飽和 度，過去彩色濾光片中使用染料，可達高穿透性及色飽和 度的要求。但染料的耐光性與耐熱性不良，為克服此問題， 顏料分散法光阻材料已取代染料法成為主流；隨著大尺寸 電視面板的發展其要求高亮度使得面板溫度提高，為追求 高色飽和度而必須降低光阻顏料粒子以防止散射，這些使 得過去彩色遽光片等級之顏料其财熱性不足以達到電視用 液晶顯不器製程之要求。 主動式軟性液晶顯示器的開發主要可以分成分軟性彩 色濾光片、軟性薄膜電晶體兩個部分，不管軟性彩色濾光 片或軟性薄膜電晶體在材料與製程上都仍有許多困難有待 突破，如何開發具高透明、高耐熱與低熱膨脹係數之軟性 基板為其中一重點；另外，在軟性彩色濾光片製作中需搭 配高耐熱、低熱膨脹顏料型光阻，尤其基板與光阻兩者界 面性值之調控，更是開發軟性彩色濾光片的重要課題。 201116861 【發明内容】 本發明提供一種一種耐熱之可撓 括：-可撓式透明基板，其形成材 ：先片。 ，其中™佔該形成二 以及-熱穩定彩色光阻材料塗佈於 ） 板上，其中該熱穩定彩色光阻材料包括：-驗;；

統’約30’wt% ; 一感光系統，約5_6〇wt%丨以及一以 無機烷氧化物包覆之顏料，約l〇_5〇wt%。 為了讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂’下文特舉較佳實施例，並配合所附圖示，作詳 細說明如下： 【實施方式】 形成本發明耐熱之可撓式彩色濾光片將如下所述。 首先，提供一可撓式透明基板與一熱穩定彩色光阻材 料。而可撓式透明基板之形成材料包括二氧化矽與聚亞醯 胺，其中二氧化石夕除了擁有高透明、高耐熱特性外，更有 超低熱膨脹係數，而聚亞醯胺則具有高透明、高耐熱及良 好的撓曲性。 於二氧化矽與聚亞醯胺混成基板的形成製程中，首先 將粒徑二氧化石夕（Si〇2)溶於一有機溶劑中，其中溶於有機溶 劑中之一氧化石夕（Si〇2)的固含量係小於40%。有機溶劑可為 N，N-二曱基乙胺(DMAC)、二甲基曱醯胺(DMF)、二甲基亞 硬(DMSO)、r-丁内酯（r-butyrolactone)。具極性官能基之石夕 201116861 氧烷介面活性劑可包括胺基矽氧烷(aminosilane)、異氰酸矽 氧院（isocynate silane)。 接著，加入一聚亞醯胺溶液，其中二氧化矽佔形成材 料的比例為約20-70 wt%，較佳為約30-60 wt%。 上述聚亞醯胺可利用典型的聚縮合反應 (polycondensation)來合成，其合成方法有二種，第一種方 法是分成兩個階段進行，首先將二胺（diamine)和二酸酐 (dianhydride)單體在極性溶劑中反應，形成聚亞醯胺的前驅 物（precursor)聚醯胺酸(p〇ly(amic acid), PAA)，然後再以高 溫法（300-400 C)或化學法進行亞酿胺化（imidization)反 應’使其脫水閉環轉化成為聚亞醯胺。第二種方法是將二 胺（diamine)和二酸酐（dianhydride)單體在苯酸類溶劑 (m-cresol、Cl-phenol)中反應，升溫至回流溫度反應形成聚 亞蕴胺。 而上述之聚亞醯胺的分子式如式(I)所示 9\ ,〇

-N

Ο

B

η Ο N- (I) 其中，η可為約15 - loooo之整數。 而式(I)之Α為多環的環炫基、雜環基、具—或一以上 =飽=的魏基及雜環基、芳基、雜芳基、脂族基、環 個产原:。讀基^雜找基，㈣—環係具有3到8 “ 且在—些實施例中’每—環原子上的氳，視需 201116861 :土院烯基、院炔基、烯氧基或炔氧基含有丨_12碳原子， 係為直鍵或具支鍵者。

院基、魏基、絲基、料基、烧块基、 2基、块氧基或芳香基所取代，其中㈣、就基、院 於 一

可為 或

Arr. Δ 其巾 Ζ 為氧、-C‘、-C(CH3)2_、-Ar_〇_Ar·、 =Η2*·、.Ar_C(CH3)2士或★奶Μη ;臭且Α每-環原子上的氮’视需要可《素、烧基、: =取Γ;氧基、罐、烧快基、烯氧基、快氧基或芳香 於另一實 施例 中

'〇R、-Br、_C1 或-ϊ，且 R 表干 1 Λ „ ^ /' U18個碳數的烷基，又 為八二、：S•、媽-、-C(叫卜-SCV、_Α,·0如

-〇 A rrp" ' '〇_Ar"Ar'°' ' O-Ar-C(CF3)2.Ar.〇. :CH3)2_A卜〇-、-〇备S〇2、Ar 〇，且 ^ 代 二式⑴之B為一種或—種以上之多環峨基 雜ΐΓ—以上不飽和鍵的環烧基及雜環基、芳基 方基、脂族基、環脂二稀基、芳絲或是雜芳烧基， 201116861 每一環具有3 q 8個環原子。在一些實施例中，每―環原 子上的氫，視需要可被函素、烷基、硫烷基、烷氧基、烷 烯基、賴基、職基、炔氧基絲錄所取代^中= ==基、綠基、㈣基、糾基、料基錢氧^ δ有M2峽原子，係為直鏈或具支鍵者。

於一實施例中， Β

^CH2-Ar- . -Ar-C(CH3)2-Ar-^.Ir.s〇^AH^^ ' =Ar代表苯環，且B# —環原子上的氫:代表笨 :、、燒基、硫烧基、虎氧基、燒稀基、燒 ㈤要可被 、乳基或芳香基所取代。 暴、烯氧基' ，0

於另一實施例中，B為H] γ v

> cr〇 -CF ’ 而X與Y為-H、卜 二基，又 z 為-〇-、-s-、-ch2-、-C(CH3)2-、_s〇 _ 18 個碳激 ~0ACH2"Ar' ' ~°'Ar-Ar-〇- ' -0-Ar-C(CF3) Ar'〇'A] 04C(CH3)2-Ar-0_·、.〇_Ar_s〇2 Ar 〇，且如‘〇_ 極性=二，與聚亞醯胺均勾混合後二表；^ 石夕：:能㈣氧燒介面活性劑參與反應以形，入一 4亞醯胺複合_。然後將二氧切 二氧 ~木亞鳐胺複 201116861 材料固化以形成一可撓式透明基板。 而於熱穩定彩色光阻材料可包括一鹼可溶樹脂系統， 約30-90 wt%、一感光系統，約5-60 wt%以及一以無機烷 氧化物包覆之顏料，約10-50 wt%。 鹼可溶樹脂系統可包括一驗可溶樹脂。驗可溶樹脂包 括乙烯化不飽和單體之同聚物或共聚物。乙烯化不飽合單 體包括曱基丙烯酸酯類如曱基丙烯酸曱酯（methyl (meth)acrylate)、曱基丙婦酸笨酉旨（benzyl (meth)acrylate)、 鲁 ethyl (meth)acrylate、經乙基曱丙稀酸酉旨（2_hydroxyethyl (meth)acrylate)、經丙基丙稀酸 @旨（hydroxylpropyl (meth)acrylate)、（isobutyl (methy)acrylate)等，或丙稀酸酯 類如 methyl acrylate、benzyl acrylate、ethyl acrylate、 2- hydroxyethyl acrylate ' hydroxylpropyl acrylate ' isobutyl acrylate 、 3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate 或 3- (Trimethoxysilyl)propyl methacrylate 等。 在一實施例中’鹼可溶樹脂包括含矽烷結構之乙烯化 籲 不飽和單體與不含矽烷結構之乙烯化不飽和單體之共聚 物’其中該含矽烷結構之乙烯化不飽和單體佔該共聚物之 小於 20 mol%。 在另一實施例中’鹼可溶樹脂包括一含有酸基之壓克 力高分子，其中酸基例如甲基丙烯酸或丙烯酸等。 又，另一實施例中，鹼可溶樹脂為含酸基如甲基丙稀 酸或丙稀酸之單體與其他乙烯化不飽合單體或含矽烷結構 之乙烯化不飽合單體共聚合之高分子，其中含酸基單體莫 耳比例可為約10-50%，較佳為約20-40%，共聚合物重暈 201116861 平均分子量（g/mol)為約1000-100,000，較佳為約 6,000-20,000。 感光系統可包括一具有兩個以上之雙鍵的多官能基單 體與一光起始劑。 兩個以上的多官能基單體可進行交聯反應以形成網狀 結構。多官能基單體可包括乙二醇二曱基丙烯酸酯 (ethylene glycol dimethacrylate)、1，4-丁二醇二丙稀酸酉旨 (1,4-butanediol diacrylate)、二乙二醇二丙稀酸酯（diethylene glycol diacrylate, DEGDA)、季戊四醇三丙烯酸酉旨 (pentaerythritol triacrylate)、乙氧化三經曱基丙烧三丙烯酸 酯（ethoxylated trimethylolpropane triacrylate)、雙季戊四醇 五丙稀酸自旨（dipentaerythritol pentaacrylate)、乙氧基季戊四 醇四丙烯酸酉旨（ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate)、季 戊四醇四丙稀酸S旨（pentaerythritol tetraacrylate)與六丙烯酸 二異戊四醇 g旨（dipentaerythritol hexaacrylate)等。 光起始劑可選自於寬帶波長之UV曝光下，能釋放出 自由基以進行交聯反應之有機物，較佳的是在400 nm波長 以下有相對較高效率的光起始劑，如： (1)苯乙嗣（Acetophenone)類：2-甲基-1-(4-曱硫基苯 基 ）-2- 嗎 淋 基 -1- 丙 嗣 (2-Methyl-l-(4-(methylthio)phenyl)-2-morpholino-propane-l )、1-經基環己基苯基甲酮（1-Hydroxy cyclohexyl phenyl ketone)、乙氧基苯乙酮（Diethoxyacetophenone)、2-經基-2-曱基 -1- 苯基 -丙烷 -1- 酮 (2-Hydroxy-2-methyl-l-phenyl-propane-l-one)、2-苯曱基-2· 201116861 •二曱基氨基-1-(4-嗎啉苯基）丁酮 (2-Benzyl-2-(dimethylamino)-l-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-l -butanone)等；（2)安息香（Benzoin)類：安息香（Benzoin)、 安息香甲 (Benzoin methyl ether)、安息雙甲 (Benzyl dimethyl ketal) ; (3)二苯基嗣（Benzophenone)類：二苯基酮 (Benzophenone)、4-苯基二笨_(4-卩11611丫1 benzophenone、 Hydroxyl benzophenone)等；（4)塞吨 _(Thioxanthone)類： 異丙基硫雜蒽酮（Isopropylthioxanthone)、2-氣β塞嘲酮 ❿（2-Chlorothioxanthone 等）；與（5)蒽酿（anthraquinone)類：2-乙基蒽酿（2-ethylanthraquinone)。 又前述光起始劑除可單一使用外亦可混合使用，如異 丙基硫雜蒽酮(Isopropylthioxanthone)混合2-苯曱基-2-二曱 基 氣 基 -1-(4- 嗎 琳 苯 基 ）丁嗣 (2-Benzyl-2-(dimethylamino)-l-[4-(4-morpholinyl) phenyl]-l-butanone)可得高的感光速度。 而無機烷氧化物包覆之顏料製造方法係使用溶膠-凝 _ 膠法，使具反應性的無機烷氧化合物產生縮合聚合反應並 包覆於顏料粒子外層。 具反應性的無機烷氧化合物的結構式如式（II)所示： R—M —(〇R，)ηχ3 η 式⑼ 其中Μ為金屬，例如鈦，或為矽；R為氫、CH8烷基 (alkyl group)、芳香族經基(aryi gr0Up)、烧基乙烯基(alkyl vinyl group)、烷基胺基（aikyl amine group)、烷基腈（alkyl 11 201116861 nitrile)、烧基異氰酸酯(alkyl isocyanate)、烧基環氧基(alkyl 巳1)(^£16笆1'〇叩)或〇尺’；11’為（：卜6烷基；\為鹵素、_〇11、-：^0：〇 或Ci-6烷基，且η為1-3的正整數。 可在無機烷氧化合物包覆顏料粒子之前，先將顏料粒 子为政’其方法為在常溫下將顏料以有機溶劑，例如四氮 呋喃（THF)浸潤約30分鐘’再以研磨分散，藉此降低顏料 粒子的粒徑。此外，也可在上述之方法中加入催化劑進行 縮合聚合反應’經由溶劑揮發與高溫熟化後，可使反應完 王’上述之細合I合反應的溫度為3〇-150°C，較佳為 70-120°C。無機烷氧化物包覆之顏料的耐熱性與親水性大 幅提咼，有助於其在製程上的穩定性與提高應用性。 上述之催化劑可為無機酸、有機酸之酸性催化劑，或 是無機驗、有機鹼之鹼性催化劑。酸性催化劑例如為 HN03(aq)、H2S04(aq)、HCl(aq)、HBr(aq)、HI(aq)、HC104⑽、 醋酸或冰醋酸等；鹼性催化劑例如為Na〇H㈣）、、 NaNH2、CH3OK、KOH、一級氨、二級氨或三級氨等。其 中酸性催化劑較佳者為HCl(aq)、HI(aq)或醋酸，鹼性催化劑 較佳者為 NaOH(aq)或 NH3(a(〇。 而熱穩定彩色光阻材料則是將上述之鹼可溶樹脂系 統、感光系統以及以無機烷氧化物包覆之顏料進行混合而 得。 熱穩定彩色光阻材料之固含量可為1〇_4〇%，並依之後 的塗佈方式與所欲形成之塗層厚度不同而控制其固含量， 基本上若欲以旋轉塗佈方式控制塗層厚度在微米，固 含篁最好調整在18-28%。而熱穩定彩色光阻材料中各成份 201116861 較佳比例顯示於表1。 表1、熱穩定彩色光阻和 •料之成分 成份 重量比wt% 驗可溶樹脂 6-20 多官能基單體 4-7 光起始劑 1-5 以無機烷氧化物包覆之顏料 2-10 分散劑 0.8-10 溶劑 85-60 在一實施例中，熱穩定彩色光阻材料的形成方式可為 先將以無機烷氧化物包覆之顏料以分散劑分散，再加入多 官能基單體與光起始劑混合均勻，最後將其他成份加入以 高速攪拌均勻後使用。 最後，將上述熱穩定彩色光阻材料塗佈於上述可撓式 透明基板上，塗佈方式可包括旋轉塗佈、狹縫擠壓塗佈、 喷墨塗佈等。之後將基板進行預烘烤，再以特定圖案之光 罩對塗佈於基板上之熱穩定彩色光阻材料進行曝光，接著 以驗性水溶液予以顯影，而未曝光部份則被驗液洗去，曝 光部份之圖案將保留。而圖案經水洗與吹乾後進行硬烤， 即可完成一次的光阻施作步驟。之後重復此步驟分別各施 以紅色，綠色，藍色等其他光阻及相對應之光罩圖案及可 完成彩色濾光片之製作。本發明之耐熱之可撓式彩色濾光 13 201116861 片除了可使用既有之顯影技術來製作，並具有高尺寸安定 性、低色差、低熱膨脹係數之功效，而其熱膨脹係數為約 8-30。本發明之高熱穩定性彩色光阻材料除可應用於二氧 化矽/聚亞醯胺混成基板上外，亦可應用於其他高分子基材 如聚乙烯對苯二曱酸酷(p〇lyethylene terephthalate, PET)、 聚醚颯(poly ether sulfone，PES)等，不限於上述之聚亞醯胺。 【實施例】 1. 聚亞酿胺的合成 (1) 聚 亞醯胺 B1317(bicyclo[2.2.2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride -BAPPm(4,4-bis(4-aminophenoxy)propane), (BB) 的合成 在室溫下，在氮氣下，將0.0147 mole的BAPPm二苯 胺溶入32.94 g的m-cresol中，待BAPPm完全溶解後再將 0.015 mole的B1317二酸酐加入，直至B1317完全溶解後， 繼續攪拌1小時，而形成黏稠狀之聚醯胺酸溶液。然後加 熱至220 °C ，3小時，在反應過程中同時用除水裝置將水 排除。之後將反應液滴入曱醇中使聚亞醯胺沉澱，於真空 烘箱中烘乾12小時。而膠體滲透層析儀(Gel Permeation Chromatography，GPC)分子量量測結果顯示生成物之Μη為 39381、Mw 為 1011539，而 Mw/Mn 為 25.69。 2. 可撓式透明基板的製備 (1)基板1 :二氧化矽/聚亞醯胺B1317-BAPPm 201116861 (Si02/BB=3/7)混成基板的合成 在室溫下，將3g以固含量20〇/〇溶於DMAc中的二氧 化矽（Si〇2)與7 g以固含量20%溶於DMAc中的 B1317-BAPPm(BB)放入20g樣品瓶中，加入〇 3 g含胺基 矽氧烷，於室溫下攪拌30分鐘，將其以刮刀方式塗佈於玻 璃上’放入烘箱於80°C及150。(：下各烘烤1小時，並從玻 璃上取下’便可以得到二氧化矽/聚亞醯胺B1317-BAPPm (Si02/BB=3/7)混成基板。 (2) 基板2 :二氧化矽/聚亞醯胺Bl317-BAPPm (Si02/BB=5/5)混成基板的合成 在室溫下，將5 g以固含量2〇〇/〇溶於dmAc中的二氧 化矽（Si〇2)與5 g以固含量2〇〇/0溶於DMAc中的 B1317-BAPPm(BB)放入20 g樣品瓶中，加入〇 2 g含胺基 矽氧烷，於室溫下攪拌30分鐘，將其以刮刀方式塗佈於玻 璃上，放入供相於80 C及150°C下各烘烤1小時，並從玻 璃上取下’便可以得到二氧化矽/聚亞醯胺Bi317-BAPPm (Si02/BB=5/5)混成基板。 (3) 基板3 :二氧化矽/聚亞醯胺Bi3i7-BAPPm (Si〇2/BB=7/3)混成基板的合成 在室溫下’將7g以固含量2〇〇/〇溶於dmAc中的二氧 化矽（Si〇2)與3 g以固含量2〇0/〇溶於dmAc中的 B1317-BAPPm(BB)放入20 g樣品瓶中，加入〇 12 g含胺基 矽氧烷，於室溫下攪拌30分鐘，將其以刮刀方式塗佈於球 15 201116861 璃上，放入烘箱於80°C及150 °C下各烘烤1小時，並從玻 璃上取下，便可以得到二氧化矽（Si02)/聚亞醯胺 B1317-BAPPm (Si02/BB=7/3)混成基板。 而基板1、2與3之特性顯示於表2。 表2、基板1、2與3之特性 厚度 (μιη) CTE (ppm/°C) TT (%) b BB 57 75.4 89.3 1.95 基板1 Si02/BB=3/7 53 56.6 89.5 2.01 基板2 Si02/BB=5/5 52 48.6 89.6 2.13 基板3 Si02/BB=7/3 51 28.3 90.1 2.25 (CIEL*a*b*國際照明委員會三度色彩空間：其三度 空間的L二光党度^ a =空間的紅-綠色轴’ b =空間的監 -黃色轴） 春 3.以無機烷氧化合物包覆顏料的製備 (1)顏料1 (以無機烷氧化合物包覆） 在250 ml的聚乙烯(Polyethylene, PE)磨罐加入1/2磨 罐體積之1 mm直徑結球，加入100 g THF溶劑，再加入40 g紅色顏料(Pigment Red 254,Ciba)與5g 3-丙胺三乙氧基 石夕院（3-Aminopropyltriethoxysilane)(表面改質劑），此混 合溶液以砂磨機分散2小時，取出放置在250 g圓底反應 16 201116861 瓶中，再加入1.7g鹽酸水溶液(ρΗ2·1)，持續攪拌；再加 入 5 g 二乙氧基曱基石夕烧（Trieth〇Xymethyl silane, TEOS)， 此5 g TEOS於1.7 g的水溶液(pH 2.1)中先進行水解反應， 整個溶液在室溫下攪拌24小時，並待THF揮發，高溫（11〇。〇 熟化8小時，使縮合反應完全，完成後以4次純水洗淨後 乾燥備用。 (2)顏料2 (以無機烷氧化合物包覆） • 同顏料1，其中顏料改為使用carbo black MA7 (來自

Mistsubishi)。 (3)顏料3 (以無機烷氧化合物包覆） 同顏料1，其中顏料改為使用Pigment Green 36 (來自 BASF)。 (4)顏料4 (以無機烷氧化合物包覆） 同顏料1，其中顏料改為使用Pigment Blue 15:6 (來自 BASF)。 4.耐熱之可撓式彩色濾光片的製備 (1)實施例1 取250 ml的聚乙烯磨罐，加入1/2磨罐體積之1 mm 直徑錯球’加入10 g上述顏料1，80 g PGMEA和5.5 g分 散劑（SOLSPERSE生產，型號22000，0.5 g及型號24000， 5 g)，以研磨機分散4小時，過濾磨珠取出分散液，於氧 201116861 氣環境下’加入溶劑PGMEA96.7g、壓克力樹脂溶液20g、 反應性單體六丙烯酸二異戊四醇醋（dipentaerythritol hexaacrylate) 6 g、起始劑異丙基硫雜蒽酮 (Isopropylthioxanthone，ITX) 0.5 g、2-笨曱基-2-二甲基氨基 -1-(4- 嗎淋 苯基 (2-Benzyl-2-(dimethylamino)-l-[4.(4-morpholinyl) phenyl]-l-butanone，I369) 4.5 g，攪拌溶解成之感光樹脂。 擾拌下再將前述分散液逐漸加入感光樹脂中，加完持 續授拌2小時完成感光性彩色光阻配製；將配製好之感光 性彩色光阻以轉速600 rpm，15秒9〇〇 rpm，20秒旋轉塗 佈在上述基板1上經90°C預烘烤2分鐘，再經能量150 mj/cm2的紫外光源配以光罩進行曝光，接著以〇 5% K〇H 驗液顯影，未曝光伤則被驗液洗去，保留之圖案經水洗

(2)實施例2 同實施例1 ’ 色顏料。

(3)實施例3 同實施例1，其中顏料改為 色顏料。 上述之顏料3的包覆型綠

4的包覆型藍 (4)實施例4 同實施例1 ’ 201116861 色顏料。 (5) 比較例1 同實施例1，其中顏料為未包覆Pigment Red 254 (製 造商Ciba)。 (6) 比較例2 同實施例1，其中顏料為未包覆Pigment MA7(製造商 • Mitsubish) 〇 (7) 比較例3 同實施例1，其中顏料為未包覆PigmentGreen36 (製 造商BASF)。 (8) 比較例4 同實施例1，其中顏料為未包覆Pigment Blue 15:6(製 •造商 BASF)。 而上述實施例與比較例之各種特性顯示於表3。 表3、實施例與比較例之各種特性 19 201116861 顏料 (g) 3-丙胺三乙氧 基矽烷 三乙氧 基甲基 矽烷 熱重分 析(5% 重量流 失之溫 度°C) 熱膨脹係數 (out of plane ppm/°C )(100-2 50°〇 AEab 實施例1 PR254 (4〇g) 5 5 257 14.33 0.48 實施例2 Black (4〇g) 5 5 267 13.39 0.78 實施例3 Green (4〇g) 5 5 223 28.55 1.43 實施例4 Blue (4〇g) 5 5 261 9.1 2.60 比較例1 PR254 ΝΑ ΝΑ 202 19.85 3.33 比較例2 Black ΝΑ ΝΑ 220 18.75 — 比較例3 Green ΝΑ ΝΑ 211 47.34 2.28 比較例4 Blue ΝΑ ΝΑ 218 14.11 3.20

為憑估以實施例與比較例之顏料對二氧化矽與聚亞醯 胺混成基板的顯影性優劣，即顯影後基板之殘渣（scum)分 析，將完全顯影而去除之晝素透光度定為100%，顯影後若 有殘渣黏附於晝素上，則透光度將不足100%，故以顯影後 畫素之透光度來定義殘渣程度。透光度越高代表殘留殘渣 φ 越少。 由表3可得知，二氧化矽與聚亞醯胺混成基板及光阻 材料-高耐熱顏料包覆型光阻之間，具良好界面相容性、顯 影性、低熱膨帳係數與低色差等優點。 又第1A圖與第1B圖分別顯示實施例2與比較例2經 顯影後之光學顯微鏡照片。且由第1A圖與第1B圖可得知 實施例2之底層無殘留，比較例2而之底層殘留嚴重。 20 201116861

雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之 保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 21 201116861 【圖式簡單說明】 第1A圖與第1B圖分別顯示實施例2與比較例2經顯 影後之光學顯微鏡照片。 【主要元件符號說明】 無。

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Claims (1)

1. 201116861 - 七、申請專利範圍： 1. 一種耐熱之可撓式彩色濾光片，包括： 一可撓式透明基板，其形成材料包括二氧化矽與聚亞 醯胺，其中該二氧化矽佔該形成材料的比例為約20-70 wt% ;以及 一熱穩定彩色光阻材料塗佈於該可撓式透明基板上， 其中該熱穩定彩色光阻材料包括： 一鹼可溶樹脂系統，約30-90 wt% ; φ —感光系統，約5_6〇 wt% ;以及 一以無機烷氧化物包覆之顏料，約10-50 wt%。 2. 如申請專利範圍第1項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該可撓式透明基板之材料更包括一矽氧烷介面 活性劑。 3. 如申請專利範圍第2項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該石夕氧烧介面活性劑包括具有極性官能基之石夕 氧燒介面活性劑。 • 4.如申請專利範圍第3項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該具有極性官能基之矽氧烷介面活性劑為胺基 矽氧烷。 5.如申請專利範圍第1項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該聚亞醯胺之分子式如式（I)所示：

   〇

   ⑴ 23 201116861 其中，η為約15- 10000之整數。 Α係為多環的環烷基、雜環基、具一或一以上不飽和 鍵的環烷基及雜環基、芳基、雜芳基、脂族基、環脂二烯 基、芳烷基或是雜芳烷基，而每一環係具有3到8個環原 子其中烧基、硫烧基、统氧基、烧稀基、烧炔基、烯氧基 或炔氧基含有M2碳原子，係為直鏈或具支鍵者； B係為一種或一種以上之多環的環烷基、雜環基、具 一或一以上不飽和鍵的環烷基及雜環基、芳基、雜芳基、 脂族基、環脂二烯基、芳烧基或是雜芳烧基，而每一環具 鲁 有3到8個環原子，其中烷基、硫烷基、烷氧基、烷烯基、 烷炔基、烯氧基或炔氧基含有1-12碳原子，係為直鏈或具 支鍵者。 6. 如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該A之每一環原子上的氫，被鹵素、烧基、硫 烷基、烷氧基、烷烯基、烷炔基、烯氧基、炔氧基或芳香 基所取代。 7. 如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾 鲁 光片，其中A為

   或 ，而 Z 為氧、-CH2-、-C(CH3)2-、-Ar-0-Ar-、 Αγ·(ΙΉ2_Αγ·、-Ar_C(CH3)2_Ar-或-Ar-S〇2_Ar- ’ Ar 4戈表；^ 環。 24 201116861 8.如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾

   光片，其中A為

   或 ν'χ ，而 X 與 Υ 為-Η、-CH3、_R、-CF3、-OH、 -OR、-Br、-Cl或-I，且R表示1-18個碳數的烷基，又Z 為-0_、-S-、-CH:-、-C(CH3)2_、-S〇2_、-Ar-O-Ar-、 -Ar-CH2-Ar- 、 -O-Ar-Ar-O- 、 -0-Ar-C(CF3)2-Ar-0- '

   -0-Ar-C(CH3)2-Ar-0-、-0-Ar-S〇2-Ar-0-，且 Ar 代表苯環。 9. 如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該Β之每一環原子上的氫，被鹵素、烷基、硫 烷基、烷氧基、烷烯基、烷炔基、烯氧基、炔氧基或芳香 基所取代。 10. 如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片 ，其中 Β 為

   或、^ ，而 Z 為氧、-CH2-、-C(CH3)2-、-Ar-0-Ar-、 Ar-CH2_Ar-、-Ar-C(CH3)2_Ar-或-Ar-S〇2_Ar- 5 且 Ar 代表本 環。 11.如申請專利範圍第5項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中B為

   25 201116861 σΌ， 而 X 與 Υ 為-Η、-CH3,、-R、-CF3、-OH、-OR、 -Br、-Cl或-I，且R表示1-18個碳數的烷基，又Z為-O-、 _S-、-CH2-、-C(CH3)2-、-S02-、-Ar-O-Ar-、-Ar-CH2-Ar-、 -O-Ar-Ar-O-、-0-Ar-C(CF3)2_Ar-0-、-0-Ar-C(CH3)2-Ar-0-、 -0-Ar-S〇2-Ar-0-，且 Ar 表示苯環。 12. 如申請專利範圍第1項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該驗可溶樹脂系統包括一驗可溶樹脂。 13. 如申請專利範圍第12項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該鹼可溶樹脂包括一含有酸基之壓克力高分 子。 14. 如申請專利範圍第13項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該酸基包括曱基丙烯酸或丙烯酸。 15. 如申請專利範圍第12項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該鹼可溶樹脂包括乙烯化不飽和單體之同聚 物或共聚物。 16. 如申請專利範圍第12項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該鹼可溶樹脂包括含矽烷結構之乙烯化不飽 和單體與不含矽烷結構之乙烯化不飽和單體之共聚物。 17. 如申請專利範圍第16項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該含矽烷結構之乙烯化不飽和單體佔該共聚 物之小於20 mol%。 26 201116861 18. 如申請專利範圍第12項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中鹼可溶樹脂為包括含酸基之乙烯化不飽合單 體與含矽烷結構之乙烯化不飽合單體的共聚物。 19. 如申請專利範圍第18項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中含酸基之乙烯化不飽合單體的莫耳比例可為 約10-50%，共聚合物重量平均分子量（g/mol)為約 1000-100,000。

   20. 如申請專利範圍第1項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該感光系統包括一具有兩個以上之雙鍵的多官 能基單體與一光起始劑。 21. 如申請專利範圍第20項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該光起始劑適用於400 nm波長以下。 22. 如申請專利範圍第1項所述之耐熱之可撓式彩色濾 光片，其中該無機烷氧化物包括金屬烷氧化物或矽金屬烷 氧化物。 23. 如申請專利範圍第22項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該金屬烷氧化物包括鈦金屬烷氧化物。 24. 如申請專利範圍第20項所述之耐熱之可撓式彩色 濾光片，其中該無機烷氧化物的結構式如式(II)所示： R—M—(OR%X3.n 式⑻ 其中R為氫、C】_18院基(alkyl group)、芳香族經基(aryl group)、院基乙烯基（alkyl vinyl group)、烧基胺基（alkyl 27 201116861 amine group)、院基腈(alkyl nitrile)、烧基異氰酸醋（alkyl isocyanate)、烧基環氧基(alkyl epoxide group)或 OR’， R’為Cu烷基，X為鹵素、-OH、-NCO或Cu烷基， 且n為1-3的正整數。

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