TW200946353A - Thermal bend actuator comprising bent active beam having resistive heating bars - Google Patents
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Description
200946353 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於噴墨噴嘴組合體,主要的發展是改善熱彎 曲致動噴墨噴嘴的效率。 【先前技術】 本案申請人先前已描述使用熱彎曲致動的許多微機電 0 系統(MEMS)噴墨噴嘴。熱彎曲致動一般意指電流通過— 種材料’該材料熱膨脹所產生之相對於另一材料的彎曲運 動。結果(resulting)彎曲運動可用於將墨水從噴嘴開口噴 出’其中可選擇性地藉由槳葉或輪葉的運動,該槳葉或輪 葉在噴嘴腔室內產生壓力波。 熱彎曲噴墨噴嘴的一些代表性類型例示在上文交互參 考段的專利和專利申請案中,兹將該等案子的內容倂入做 參考。 φ 申請人的地US6416167號美國專利描述在噴嘴腔室 內具有槳葉的噴墨噴嘴、和設在噴嘴腔室外部的熱彎曲致 動器。致動器採用傳導性材料(例如氮化鈦)製成的下主動 探熔接至非傳導性材料(例如二氧化砂)製成的上被動樑的 方式。藉由容置穿過噴嘴腔室之壁內槽的臂,致動器連接 至槳葉。當電流通過下主動樑時,致動器向上彎曲,導致 槳葉向噴嘴開口運動,藉此噴出墨水液滴;該噴嘴開口被 界定在噴嘴腔室的頂部。此設計的優點是其構造的簡單 性;缺點是槳葉的兩個面對抗噴嘴腔室內側之相對黏性墨 -5- 200946353 水而工作。 申請人的第 US626 095 3號美國專利描述的噴墨噴 嘴,其致動器形成噴嘴腔室的運動頂部。致動器採用將傳 導性材料製成之螺旋形(serPentine)芯部裝進聚合材料內 的方式。當致動時,致動器向噴嘴腔室的底部彎曲’增加 腔室內的壓力,並迫使墨水液滴從界定在腔室頂部的噴嘴 開口噴出。噴嘴開口被界定在頂部之非運動部。此設計的 Φ 優點是運動頂部只有一個面必須對抗噴嘴腔室內側之相對 黏性墨水而工作。此設計的缺點是微機電系統製造方法難 以達成螺旋形芯部裝入聚合材料內的致動器結構。 申請人的第US6623 1 0 1號美國專利描述的噴墨噴嘴 包含具有可動頂部的噴嘴腔室,該可動頂部界定有噴嘴開 口在其內。可動頂部藉由臂連接至位在噴嘴將室外部的熱 彎曲致動器。致動器採用上主動樑和下被動樑相間隔開的 形式。因爲將主動樑和被動樑相間隔開,所以被動樑不能 Q 做爲主動樑的散熱器,結果將熱彎曲效率最大化。當電流 通過上主動樑時,造成界定有噴嘴開口在其內之可動頂部 被旋轉朝向噴嘴腔室的底部,藉此噴射穿過噴嘴開口。因 爲噴嘴開口隨同頂部一起運動,藉由適當調整噴嘴環緣 (rim)的形狀,可控制液滴飛行方向。此設計的優點是運 動頂部只有一個面必須對抗噴嘴腔室內側之相對黏性墨水 而工作。另一優點是藉由將主動樑構件和被動樑構件相隔 開,可達成最小的熱損失。此設計的缺點是相隔開的主動 樑構件和被動樑構件損失構造剛性》 -6- 200946353 有需要改善熱彎曲致動器的致動效率。 【發明內容】 本發明的第一方面提供一種熱彎曲致動器,包含: 一對電性接點,設在該致動器的一端;
主動樑,連接至該等電性接點,且從該等接點縱向地 延伸遠離,該主動樑界定在該等接點之間的彎曲電流流動 路徑;和 被動樑’熔合至該主動樑,使得當電流通過該主動樑 時’該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動器 的彎曲; 其中,該主動樑包含至少一阻抗性加熱桿,該加熱桿 比該電流流動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面 積’使得該主動樑的加熱集中在該加熱桿。 選擇性地,該主動樑包含從第一接點縱向延伸的第一 臂、從第二接點縱向延伸的第二臂、和連接該第一臂與第 二臂的連接構件。 選擇性地,該第一臂與第二臂中的每一者包含個別的 阻抗性加熱桿。 選擇性地,該連接構件將該第一和第二臂的末端互 連,該等末端相對於該等電性接點是末端的。 選擇性地,該至少一阻抗性加熱桿的橫截面積,比該 電流流動路徑之任何其他部份的橫截面積較小至少1.5 倍。 200946353 選擇性地,該至少一阻抗性加熱桿具有小於3微米的 寬度。 選擇性地,該連接構件佔據該主動樑之總體積的至少 3 0%。 選擇性地,該主動樑經由該對電性接點連接至驅動線 路。 選擇性地,建構該驅動線路以輸送致動脈波至該主動 樑,每一致動脈波具有小於0 · 2微米的脈波寬度。 選擇性地,該主動樑由選自包含氮化鈦、氮化鈦鋁、 和釩鋁合金之群組的材料所組成。 選擇性地,該被動樑由選自包含二氧化矽、氮化矽、 和氮氧化矽之群組的材料所組成。 在另一方面提供一種噴墨噴嘴組合體,包含: 噴嘴腔室,具有噴嘴開口與墨水入口; 一對電性接點,設在該組合體的一端,且連接至驅動 線路;和 熱彎曲致動器,用於經過該噴嘴開口噴射墨水,該致 動器包含: 主動棟,連接至該等電性接點’且從該等接點縱向 地延伸遠離,該主動樑界定在該等接點之間的彎曲電流流 動路徑;和 被動樑’熔合至該主動樑’使得當電流通過該主動 樑時’該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動 器的彎曲; -8 - 200946353 其中,該主動樑包含阻抗性加熱桿,該加熱桿比該 電流流動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面積, 使得該主動樑的加熱集中在該至少一加熱桿。 選擇性地,該噴嘴腔室包含底部和具有運動部的頂 部,藉此,該致動器的致動將該運動部朝向該底部運動。 選擇性地,該運動部包含該致動器。 選擇性地,該噴嘴開口被界定在該運動部中,使得該 噴嘴開口可相對於該底部運動。 選擇性地,該致動器可相對於該噴嘴開口運動。 選擇性地,該主動樑包含從第一接點縱向延伸的第一 臂、從第二接點縱向延伸的第二臂、和連接該第一臂與第 二臂的連接構件,且其中該等臂中的每一者包含個別的阻 抗性加熱桿。 選擇性地,該等阻抗性加熱桿一起佔據該主動樑之總 體積的50%以下。 選擇性地,建構該驅動線路以輸送致動脈波至該主動 樑,每一致動脈波具有的脈波寬度小於0.2微秒。 在另一方面提供一種噴墨列印頭,包含: 噴嘴腔室,具有噴嘴開口與墨水入口; 一對電性接點,設在該組合體的一端,且連接至驅動 線路;和 熱彎曲致動器,用於經過該噴嘴開口噴射墨水,該致 動器包含: 主動樑,連接至該等電性接點,且從該等接點縱向 -9- 200946353 地延伸遠離,該主動樑界定在該等接點之間的彎曲電流流 動路徑;和 被動樑,熔合至該主動樑,使得當電流通過該主動 樑時,該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動 器的彎曲; 其中,該主動樑包含阻抗性加熱桿,該加熱桿比該 電流流動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面積’ 使得該主動樑的加熱集中在該至少一加熱桿。 本發明的第二方面提供一種致動熱彎曲致動器的方 法,該熱彎曲致動器具有熔合至被動樑的主動樑,該方法 包含使電流通過該主動樑,以造成該主動樑相對於該被動 樑的熱彈性膨脹和該致動器的彎曲,其中該電流被以致動 脈波輸送,該致動脈波具有小於0.2微秒的脈波寬度。 選擇性地,該脈波寬度爲0.1微米或更小。 選擇性地,以該致動脈波輸送的總能量小於20 0nJ。 選擇性地,每一致動脈波輸送的總能量小於150nJ。 選擇性地,該致動脈波在該彎曲致動器內造成至少 2.0 m/s的峰値撓曲速度。 選擇性地,該主動樑包含阻抗性加熱桿,該加熱桿比 該主動樑的任何其他部份具有相對較小的橫截面積,使得 該主動樑的加熱集中在該至少一加熱桿內。 選擇性地,該熱彎曲致動器,包含: 一對電性接點,設在該致動器的一端; 主動樑,連接至該等電性接點,且從該等接點縱向地 -10- 200946353 延伸遠離’該主動探界定在該等接點之間的彎曲電流流動 路徑;和 被動樑,熔合至該主動樑,使得當電流通過該主動樑 時’該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動器 的彎曲; 其中’該主動樑包含阻抗性加熱桿’該加熱桿比該電 流心L·動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面積,使 0 得該主動樑的加熱集中在該至少一加熱桿內。 選擇性地’該主動樑包含從第一接點縱向延伸的第一 臂、從第二接點縱向延伸的第二臂、和連接該第—臂與第 二臂的連接構件。 選擇性地’該第一臂與第二臂中的每一者包含個別的 阻抗性加熱桿。 選擇性地,該連接構件將該第一和第二臂的末端互 連’該等末端相對於該等電性接點是末端的。 φ 選擇性地’該至少一阻抗性加熱桿的橫截面積,比該 主動樑之任何其他部份的橫截面積較小至少i .5倍。 選擇性地,該至少一阻抗性加熱桿具有小於3微米的 寬度。 選擇性地,該連接構件佔據該主動樑之總體積的至少 3 0%。 選擇性地,該主動樑經由該對電性接點連接至驅動線 路,建構該驅動線路以輸送該等致動脈波至該主動樑。 選擇性地,該主動樑由選自包含氮化鈦、氮化鈦鋁、 -11 - 200946353 和釩鋁合金之群組的材料所組成。 選擇性地,該被動樑由選自包含二氧化矽、氮化矽、 和氮氧化矽之群組的材料所組成。 在另一方面提供一種從噴墨噴嘴組合體排出墨水的方 '法,包含: 噴嘴腔室,具有噴嘴開口與墨水入口; 一對電性接點,連接至驅動線路:和 ❸ 熱彎曲致動器,用於經過該噴嘴開口排出墨水,該 熱彎曲致動器包含連接至該等電性接點的主動樑和熔合至 該主動樑的被動樑, 該方法包含使電流通過該主動樑,以造成該主動樑 相對於該被動樑的熱彈性膨脹和該致動器的彎曲,導致墨 水從該噴嘴腔室排出,其中該電流被以致動脈波輸送,該 致動脈波具有小於0 · 2微秒的脈波寬度。 選擇性地,該噴嘴腔室包含底部和具有運動部的頂 φ 部,藉此’該致動器的致動將該運動部朝向該底部運動。 選擇性地’該運動部包含該致動器。 選擇性地’該噴嘴開口被界定在該運動部中,使得該 噴嘴開口可相對於該底部運動。 【實施方式】 如同在申請人稍早(2007年6月15日)申請之第 11/763440號美國專利申請案中所描述的,圖1和2顯示 在兩不同製造階段的噴嘴組合體1〇〇。兹將該美國申請案 -12- 200946353 倂入做參考。 圖1顯示局部形成的噴嘴組合體,以例示主動和被 動樑層。因此參考圖1,顯示形成在互補式金氧半導體矽 基板1 02上的噴嘴組合體i 00。由與基板1 02相間隔開的 頂部104和從頂部延伸至基板1〇2的側壁106界定噴嘴腔 室。頂部1 0 4由運動部1 〇 8和靜止部1 1 0所組成,且運動 部1 08和靜止部1 1 〇兩者界定出在其間的間隙1 〇9。噴嘴 II 開口 112被界定在運動部1〇8中,用於噴射墨水。 運動部108包含具有一對懸臂樑的熱彎曲致動器,其 呈上主動樑114溶合(fused)至下被動樑116的形式。下被 動樑116界定頂部之運動部108的範圍。上主動樑114包 含一對臂1 14A、1 14B,其分別從電極接點1 1 8A、1 18B 縱向延伸。臂114A、114B的末端被連接構件115連接。 連接構件1 1 5包含鈦傳導性墊1 1 7,其促進此接合區域附 近的電傳導。因此,主動樑114界定電極接點118A和 φ 11 8B之間的彎曲或扭曲傳導路徑。 電極接點118A和118B設置在噴嘴組合體的一端且 彼此相鄰近,而且經由個別的連接器柱119連接至基板 102之金屬的互補式金氧半導體層120。互補式金氧半導 體層120包含用於致動彎曲致動器所需的驅動電路。 被動樑1 1 6通常由任何電絕緣/熱絕緣材料所構成’ 例如二氧化矽、氮化矽等。熱彈性主動樑1 1 4可由任何適 當的熱彈性材料構成,例如氮化鈦、氮化鈦鋁、和鋁合 金。如同申請人在2006年12月4曰申請所共同繫屬之第 -13- 200946353 US11/607976號美國專利申請案(代理人文件第IJ7〇us號) 中的解釋,釩鋁合金是較佳的材料,因爲其結合高熱膨 脹、低密度、和高楊氏模數的有利性質。 參考圖2’顯示在接續製造階段之已完成的噴嘴組合 體100。圖2的噴嘴組合體具有噴嘴腔室122、和用於供 '給墨水至噴嘴腔室的墨水入口 124。此外,一層聚合材料 126覆蓋整個頂部,例如聚雙甲基矽氧烷(PDMS)。聚合層 0 126具有多種功能,包括保護彎曲致動器、使頂部1〇4具 有疏水性、和提供對間隙1 09的機械性密封。聚合層1 26 具有充分低的楊氏模數,以允許致動和噴射墨水經過噴嘴 開口 112。在例如 2007年 11月 29日申請之第 US 1 1 /946840號美國專利申請案中,可發現對聚合層126 更詳細的描述,包括其功能和製造。 當需要從噴嘴腔室122噴射墨水液滴時’電流流經各 電極接點118之間的主動樑114。主動樑114被電流快速 Q 地加熱且相對於被動樑116膨脹,藉此造成運動部108向 對於靜止部110朝向基板102而向下彎曲。此運動造成噴 嘴腔室1 2 2內側快速增加的壓力,將墨水從噴嘴開口 1 1 2 噴出。當電流停止流動時,運動部1 〇8被允許回到其靜止 位置(圖1和2所示),此動作從入口 124將墨水吸入噴嘴 腔室122內,以準備下一次的噴射。 在圖1、2所示的噴嘴設計中’彎曲致動器界定每一 噴嘴組合體100之運動部108的至少一部份是有好處的。 此不僅簡化噴嘴組合體100的整體設計和製造’且提供較 -14- 200946353 高的噴射效率,因爲只有運動部108的一個面必須對(抗) 相對黏性的墨水作功。相較之下,具有致動器槳葉設置在 噴嘴腔室1 22內側之噴嘴組合體的效率較低’因爲致動器 的兩個面必須對(抗)腔室內側的墨水作功。 ^ 但是,仍然需要改善彎曲致動器的整體效率。由於電 '流流動路徑的急劇彎曲,所以在連接構件1 1 5中會發生電 性損失。且因爲從主動層114至被動層116的熱傳輸,所 φ 以會發生熱損失。 現在翻到圖3,顯示局部製造的噴嘴組合體200,其 具有不同構造的主動樑層114。爲了清晰起見,類似的構 造以和圖1、2所用的相同參考數字表示。 噴嘴組合體200和圖1所示的噴嘴組合體100處在相 同的製造階段。當然,可接續地製造噴嘴組合體200,以 提供類似圖2所示之完整的噴嘴組合體。但是圖3之局部 製造的噴嘴組合體最佳地例示主動樑層1 1 4的突出構造特 ❹ 徵。 在圖3中,可看到主動樑114包含一對阻抗式加熱桿 11 7A、11 7B,其在主動樑114所界定之電流流動路徑具 ' 有一對橫向(相對於縱向的電流流動方向)截面積比任何其 他部份較小。每一加熱棒117的橫截面積通常比電流流動 路徑之任何其他部份的橫截面積小至少1 .5倍、至少2 倍、至少3倍、或至少4倍。所以加熱棒1 1 7產生主動樑 1 1 4中絕大部分的熱,該熱是熱彈性彎曲致動所需的。 各加熱棒1 1 7 —起佔據運動部1 0 8相對小的區域。加 -15- 200946353 熱棒1 1 7佔據運動部1 〇8之總面積通常少1 〇%或少於 5 %。各加熱棒1 1 7 —起佔據主動樑1 1 4相對小的體積。 加熱棒1 17佔據主動樑1 14之總體積(和/或面積)通常少於 5 0%、少於4〇%、或少於3〇%。加熱棒1 17的寬度或高度 尺寸通常小於3微米、小於2.5微米、或小於2微米。 主動樑114的此結構提供比圖1所示的結構提供更多 的優點。首先,藉由將熱集中進入相對小的區域,在熱彈 性致動期間從主動樑1 1 4傳輸至被動樑1 1 6的總熱量被最 小化。因此就相同的輸入能量而言,噴嘴組合體2 0 0內的 熱損失比圖1所示的噴嘴組合體1 00更少。 第二,主動樑11的連接構件115可製成更大,其使 因電流流動路徑中急劇彎曲(1 8 0度彎曲)所造成的電流損 失最小化,且可不需傳導性墊1 1 7。大部份噴嘴組合體 2 0 0的主動樑1 1 4致力於使流入加熱棒1 1 7內的電流最大 化,其負責熱彈性致動。連接構件1 1 5通常佔據主動樑 114之總體積的至少30%或至少40%。 圖3所示的噴嘴組合體當結合短致動脈波使用時特別 有效能。藉由使用較短的脈波,熱能傳輸進入被動層116 的時間量最少;相對於較長的致動脈波,較短的脈波產生 較少的熱損失。再者’阻抗性加熱桿1 1 7的結構結合短致 動脈波,在主動樑114和被動樑116之間產生較大的溫度 差。因此獲得各層之間較大的差異膨脹,此導致運動部 108之較高峰値撓曲速度。運動部108之峰値撓曲速度是 控制從噴嘴開口 1 1 2之墨水噴射速度的重要因素。 -16- 200946353 圖4實驗性地顯示使用具有相對短致動脈波之噴嘴組 合體200,如何獲得更有效率率的彈性致動和液滴噴射。 該圖顯示就0.5至0.1微秒範圍內(以〇·〇5微秒間隔分開) 之各種致動脈波寬度獲得3 m/s峰値撓曲速度所需的能 量。第一數據點具有0.5微秒的致動脈波寬度,且需要 2 2 7.9 nJ的總能量輸入,以獲得3 m/s的峰値撓曲速度。 對照之下,最後的數據點具有0·1微秒的致動脈波寬度’ 且需要〗3 8 nJ的總能量輸入’以獲得3 m/s的相同峰値撓 曲速度。因此實驗數據清楚地例示:較短的脈波寬度獲得 更有效率的致動,尤其是圖3所示的噴嘴組合體200。 本發明致動所需輸入的總能量,降低到小於200 nJ 或小於15〇 nJ。總輸入能量通常在1 00-200 nJ的範圍 內、或在100-150 nJ的範圍內。 熟悉該技藝人士可容易地瞭解輸入熱彎曲致動器的較 低整體能量以產生預定峰値撓曲速度的優點。依據此處所 描述的彎曲致動器和方法,可使熱彎曲致動噴墨列印頭更 有效率且需要更少的電力。 當然可瞭解已藉由僅作爲例子的方式來描述本發明, 且可在所附之請求項所界定之本發明的範圍內做細節的修 飾。 【圖式簡單說明】 現在藉由只作爲例子的方式參考附圖,描述本發明的 實施例,其中: -17- 200946353 圖1是局部製造之噴墨噴嘴組合體之切開透視圖; 圖2是圖1所示之噴墨噴嘴組合體在完成最後階段之 製造步驟的切開透視圖; 圖3是本發明局部製造之噴墨噴嘴組合體的切開透視 圖;和 圖4是顯示使用不同致動脈波寬度,以獲得3 m/s峰 値撓曲速度所需各種輸入能量的圖。 ❹ 【主要元件符號說明】 100 :噴嘴組合體 102 :基板 104 :頂部 106 :側壁 1 〇 8 :運動部 109 :間隙 Ο 1 1 〇 :靜止部 1 1 2 :噴嘴開口 1 1 4 :上主動樑 1 1 4 A :臂 1 1 4B :臂 I 1 5 :連接構件 II 6 :下被動樑 1 1 7 :傳導性墊 1 17A :加熱桿 -18- 200946353 1 1 7 B :加熱桿 1 18A :電極接點 1 18B :電極接點 1 1 9 :連接器柱 120:互補式金氧半導體層 122 :噴嘴腔室 1 2 4 :(墨水)入口 1 2 6 :聚合材料 200:噴嘴組合體
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Claims (1)
- 200946353 十、申請專利範圍 1. 一種熱彎曲致動器,包含: 一對電性接點,設在該致動器的一端; 主動樑,連接至該等電性接點,且從該等接點縱向地 延伸遠離,該主動樑界定在該等接點之間的彎曲電流流動 路徑;和 被動樑,熔合至該主動樑,使得當電流通過該主動樑 時,該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動器 的彎曲; 其中,該主動樑包含至少一阻抗性加熱桿,該加熱桿 比該電流流動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面 積,使得該主動樑的加熱集中在該加熱桿內。 2. 如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器,其中該 主動樑包含從第一接點縱向延伸的第一臂、從第二接點縱 向延伸的第二臂、和連接該第一臂與第二臂的連接構件。 3. 如申請專利範圍第2項所述熱彎曲致動器’其中該 第一臂與第二臂中的每一者包含個別的阻抗性加熱桿。 4. 如申請專利範圍第2項所述熱彎曲致動器,其中該 連接構件將該第一和第二臂的末端互連,該等末端相對於 該等電性接點是末端的。 5 .如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器’其中該 至少一阻抗性加熱桿的橫截面積’比該電流流動路徑之任 何其他部份的橫截面積較小至少1 ·5倍。 6.如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器,其中該 -20- 200946353 至少一阻抗性加熱桿具有小於3微米的寬度。 7.如申請專利範圍第4項所述熱彎曲致動器,其中該 連接構件佔據該主動樑之總體積的至少3 0% 。 8 ·如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器,其中該 主動樑經由該對電性接點連接至驅動線路。 9 .如申請專利範圍第8項所述熱彎曲致動器,其中建 構該驅動線路以輸送致動脈波至該主動樑,每一致動脈波 具有小於0.2微米的脈波寬度。 10. 如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器,其中 該主動樑由選自包含氮化鈦、氮化鈦鋁、和釩鋁合金之群 組的材料所組成。 11. 如申請專利範圍第1項所述熱彎曲致動器,其中 該被動樑由選自包含二氧化矽、氮化矽、和氮氧化矽之群 組的材料所組成。 12. —種噴墨噴嘴組合體,包含: 噴嘴腔室,具有噴嘴開口與墨水入口; 一對電性接點,設在該組合體的一端,且連接至驅動 線路;和 熱彎曲致動器,用於經過該噴嘴開口排出墨水,該致 動器包含: 主動樑’連接至該等電性接點,且從該等接點縱向 地延伸遠離’該主動樑界定在該等接點之間的彎曲電流流 動路徑;和 被動樑’熔合至該主動樑,使得當電流通過該主動 -21 - 200946353 樑時,該主動樑相對於該被動樑加熱且膨脹,導致該致動 器的彎曲; 其中,該主動樑包含阻抗性加熱桿,該加熱桿比該 電流流動路徑的任何其他部份具有相對較小的橫截面積, 使得該主動樑的加熱集中在該至少一加熱桿。 13.如申請專利範圍第12項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該噴嘴腔室包含底部和具有運動部的頂部,藉此,該致 動器的致動將該運動部朝向該底部運動。 1 4 _如申請專利範圍第1 3項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該運動部包含該致動器。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該噴嘴開口被界定在該運動部中,使得該噴嘴開口可相 對於該底部運動。 1 6.如申請專利範圍第1 4項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該致動器可相對於該噴嘴開口運動。 17.如申請專利範圍第12項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該主動樑包含從第一接點縱向延伸的第一臂、從第二接 點縱向延伸的第二臂、和連接該第一臂與第二臂的連接構 件,且其中該等臂中的每一者包含個別的阻抗性加熱桿。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項所述噴墨噴嘴組合體,其 中該等阻抗性加熱桿一起佔據該主動樑之總體積的50% 以下。 19.如申請專利範圍第12項所述噴墨噴嘴組合體,其 中建構該驅動線路以輸送致動脈波至該主動樑,每一致動 -22- 200946353 脈波具有的脈波寬度小於0.2微秒。 20.—種噴墨列印頭,包含如申請專利範圍第12項之 複數噴嘴組合體。-23-
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