SU851208A1 - Device for measuring reflection factors - Google Patents

Device for measuring reflection factors Download PDF

Info

Publication number
SU851208A1
SU851208A1 SU792830470A SU2830470A SU851208A1 SU 851208 A1 SU851208 A1 SU 851208A1 SU 792830470 A SU792830470 A SU 792830470A SU 2830470 A SU2830470 A SU 2830470A SU 851208 A1 SU851208 A1 SU 851208A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
reflection
prism
internal reflection
measuring
trihedral
Prior art date
Application number
SU792830470A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Михайлович Ефимов
Валерий Петрович Соболь
Original Assignee
Предприятие П/Я Х-5827
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Х-5827 filed Critical Предприятие П/Я Х-5827
Priority to SU792830470A priority Critical patent/SU851208A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU851208A1 publication Critical patent/SU851208A1/en

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ(54) DEVICE FOR MEASURING COEFFICIENTS

II

Изобретение относитс  к измерительной технике и может примен тьс  в исследовани х и анализе материалов путем измерени  коэффициентов отражени .The invention relates to a measurement technique and can be applied in research and analysis of materials by measuring reflection coefficients.

Известно устройство дл  измерени  коэффициентов отражени  полированной поверхности , выполненное в виде источника излучени , измер емой детали и пр.иемника излучени , при этом измер ема  деталь вводитс  и выводитс  из пучка света. При измерении за эталон принимаетс  весь падающий поток света 1.A device for measuring the reflection coefficients of a polished surface, made in the form of a radiation source, a measured part and a radiation emission monitor, in which a measured part is introduced and output from a light beam, is known. In the measurement, the total incident light flux 1 is taken as the reference.

Недостаток известного устройства состоит в том, что в нем происходит переворачивание пучка света после отражени  от исследуемого зеркала. В св зи с тем, что приемники излучени  обладают неравномерной чувствительностью по приемной площадке , переворачивание пучка приводит к по влению систематической ощибки измерени .A disadvantage of the known device is that the light beam turns over after reflection from the mirror under study. Due to the fact that radiation receivers have non-uniform sensitivity over the receiving area, turning the beam causes a systematic measurement error.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  устройство, содержащее оптически соединенныемежду собой источник и приемник излучени , периодически вводимый в пучок эталон. В качестве эталона в этом устройстве использоОТРАЖЕНИЯThe closest in technical essence to the present invention is a device containing optically coupled between itself a source and a radiation receiver, periodically entered into a beam standard. As a reference in this device using

вана диэлектрическа  пластина, коэффициент отражени  которой рассчитываетс  по формулам Френел , или стекл нна  пластина с алюминиевым покрытием, коэффициент отражени  которой составл ет около 0,90 2.A dielectric plate, the reflection coefficient of which is calculated using Fresnel formulas, or an aluminum coated glass plate, the reflection coefficient of which is about 0.90.

Однако коэффициент отражени  алюминиевого покрыти  определ етс  с низкой точностью (±1%), покрытие стареет и в св зи с этим измен етс  коэффициент отражени . Все это ограничивает точность изfg мерений больших, близких к единице, коэффициентов отражени . However, the reflection coefficient of the aluminum coating is determined with low accuracy (± 1%), the coating is aging and, therefore, the reflection coefficient is changing. All this limits the accuracy of measurements of large, close to unity, reflection coefficients.

Цель изобретени  - повышение точности при измерении коэффициентов отражени , близких к единице.The purpose of the invention is to improve the accuracy in measuring reflection coefficients close to one.

Указанна  цель достигаетс  тем, что вThis goal is achieved by the fact that

15 устройстве, содержащем оптически соединенные между собой источник и приемник излучени , периодически вводимый в пучок эталон, последний выполнен в виде оптической системы однократного полного внутреннего отражени  с гранью полного внутреннего отражени , параллельной оптической оси устройства, а по обе стороны от исследуемого образца установлены две одинаковые симметричные трехгранные призмы, соетавл ющие вместе с исследуемым образцом симметричную оптическую систему типа схемы Водсворта.15 device containing an optically interconnected source and receiver of radiation, periodically introduced into the beam standard, the latter made in the form of an optical system of one-time full internal reflection with a face of total internal reflection parallel to the optical axis of the device, and on both sides of the sample under study two identical symmetrical trihedral prisms that together with the sample under study are a symmetric optical system such as the Watersworth scheme.

При этом оптическа  система однократного полного врутреннего отражени  выполнена в виде призмы Дове, составленной из 5 трехгранной призмы полного внутреннего отражени  и четырехгранной призмы с гран ми , параллельными выходной грани трехгранной призмы, при этом призмы разделены воздушным промежутком.In this case, the optical system of single full internal reflection is made in the form of a Dove prism made up of 5 trihedral prism of total internal reflection and a tetrahedral prism with faces parallel to the output face of the trihedral prism, while the prisms are separated by an air gap.

На фиг. 1 представлена схема устройст- ° ва, при работе с эталоном; на фиг. 2 - то же, при работе с исследуемым образцом.FIG. 1 shows the scheme of the device, when working with the standard; in fig. 2 - the same when working with the test sample.

Устройство включает источник 1 излучени , приемник 2 излучени , исследуемый образец 3, симметричные трехгранные приз- 5 мы 4 и 5, трехгранную призму 6 полного внутреннего отражени , четырехгранную призму 7.The device includes a radiation source 1, a radiation receiver 2, a test sample 3, symmetrical trihedral prisms 5 and 4, a trihedral prism 6 of total internal reflection, a tetrahedral prism 7.

Эталон представл ет собой призму полного внутреннего отражени  типа призмы Дове , отражающа  грань которой параллель- 20 на оптической оси устройства. Дл  исключени  разницы в потер х излучени  на преломл ющих гран х призм в эталонном и рабочем каналах эталон выполнен в виде сочетани  двух призм 6 и 7, разделенных воздушным промежутком. Призма 6 - трехгранна  полного внутреннего отражени , с трем  рабочими гран ми, отражающа  грань которой параллельна оптической оси устройства. Призма 7 - четырехгранна , с двум  рабочими гран ми, которые зо параллельны между собой и параллельны выходной грани призмы 6. Призмы 6 и 7 дополн ют друг друга до призмы Дове.The standard is a prism of total internal reflection of the Dowe prism type, the reflecting face of which is parallel to the optical axis of the device. To eliminate the difference in radiation losses on the refracting faces of the prisms in the reference and working channels, the reference is made as a combination of two prisms 6 and 7, separated by an air gap. The prism 6 is a triangular total internal reflection, with three working faces, the reflecting face of which is parallel to the optical axis of the device. Prism 7 is four-sided, with two working faces that are parallel to each other and parallel to the output face of prism 6. Prisms 6 and 7 complement each other up to Dowe prism.

Дл  создани  одинаковых условий работы призмы 4-7 выполнены из одного и того же материала.35To create the same working conditions, prisms 4-7 are made of the same material. 35

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

В рабочий пучок ввод т эталон - систему призм 6 и 7. Свет от источника 1 излучени  проходит параллельным пучком через призмы 6 и 7, претерпева  полное внутреннее отражение в призме 6, и попадает на приемник 2 излучени . Сигнал, сн тый с приемника излучени , принимаетс  за J о . и соответствует эталонному отражению.A reference — a system of prisms 6 and 7 — is introduced into the working beam. Light from the radiation source 1 passes through a parallel beam through prisms 6 and 7, having undergone a total internal reflection in the prism 6, and hits the radiation receiver 2. The signal taken from the radiation receiver is taken as J o. and corresponds to the reference reflection.

Затем призмы 6 и 7 вывод тс  из пучка, 45 а на их место устанавливаютс  призмы 4 и 5 с исследуемым образцом 3 между ними. Свет от источника 1 излучени  проходит через призму 4, попадает на исследуемый образец 3, отражаетс  от него и, пройд Then the prisms 6 and 7 are removed from the beam, 45 and in their place are the prisms 4 and 5 with test sample 3 between them. The light from the radiation source 1 passes through a prism 4, hits the sample under study 3, is reflected from it and, after passing

через призму 5, попадает на приемник 2 излучени . Сигнал J ,, сн тый с приемника излучени , характеризует отражение от исследуемого образца. Коэффициент отражени  определ етс  по формулеthrough a prism 5, enters the radiation receiver 2. The signal J, taken from the radiation receiver, characterizes the reflection from the sample under study. The reflection coefficient is determined by the formula

R Сравнительные испытани  предлагаемого устройства показывают, что точность измерений коэффициентов отражени , близких к единице, повышаетс  на пор док. Кроме того, исключаетс  систематическа  погрешность измерений за счет неравномерной чувствительности по приемной площадке фотоприемника, из-за того, что и эталонный и исследуемый каналы имеют одинаковое количество отражений.R Comparative tests of the proposed device show that the accuracy of measurements of reflection coefficients close to one increases by an order of magnitude. In addition, systematic measurement errors are eliminated due to uneven sensitivity across the receiving area of the photodetector, due to the fact that both the reference and studied channels have the same number of reflections.

Claims (2)

1.Устройство дл  из.мерени  коэффициентов отражени , содержащее оптически соединенные между собой источник и приемник излучени , периодически вводимый в пучок эталон, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений коэффициентов отражени , близких к единице , эталон выполнен в виде оптической системы однократного полного внутреннего отражени  с гранью полного внутреннего отражени , параллельной оптической оси устройства , а по обе стороны от исследуемого образца установлены две одинаковые симметричные трехгранные призмы, составл ющие вместе с исследуемым образцом симметричную оптическую систему типа схемы Водсворта.1. A device for measuring reflection coefficients containing optically interconnected source and receiver of radiation, periodically introduced into the beam standard, characterized in that, in order to improve the accuracy of measurements of reflection coefficients close to one, the standard is made in the form of a single optical system total internal reflection with the edge of total internal reflection parallel to the optical axis of the device, and on both sides of the sample under study two identical symmetrical trihedral prisms are installed Together with the sample under study, s constitute a symmetrical optical system such as the Watersworth scheme. 2.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что оптическа  система однократного полного внутреннего отражени  выполнена в виде призмы Дове, составленной из трехгранной призмы полного внутреннего отражени  и четырехгранной призмы с гран ми , параллельными выходной грани трехгранной призмы, при этом призмы разделены воздушным промежутком.2. A device according to claim 1, characterized in that the optical system of a single full internal reflection is made in the form of a Dowe prism composed of a trihedral total internal reflection prism and a tetrahedral prism with faces parallel to the output face of the trihedral prism, the prisms being separated by an air gap . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизеSources of information taken into account in the examination 1.Мотовилов О. А. Об измерени х абсолютных значений коэффициентов отражени . - ОМП, 1968, № 2, с. 19.1. Motovilov, O. A. On measuring the absolute values of the reflection coefficients. - OMP, 1968, No. 2, p. nineteen. 2.Кудр вцева А. Г., Федотова Г. С. Приставка к спектрофотометру дл  измерени  отражени  света от поверхности образцов диаметром до 300 мм. - ОМП, 1976, № 2, с. 73.2. Kudr Vtseva, G. G., Fedotova G. S. A prefix to the spectrophotometer for measuring the reflection of light from the surface of samples with a diameter up to 300 mm. - OMP, 1976, No. 2, p. 73.
SU792830470A 1979-10-10 1979-10-10 Device for measuring reflection factors SU851208A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792830470A SU851208A1 (en) 1979-10-10 1979-10-10 Device for measuring reflection factors

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792830470A SU851208A1 (en) 1979-10-10 1979-10-10 Device for measuring reflection factors

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU851208A1 true SU851208A1 (en) 1981-07-30

Family

ID=20855276

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792830470A SU851208A1 (en) 1979-10-10 1979-10-10 Device for measuring reflection factors

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU851208A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1097526A (en) Differential refractometry
US2739246A (en) Exposure head for photometric comparator instruments
SU851208A1 (en) Device for measuring reflection factors
SU911251A1 (en) Channel refractometer
JPS6423126A (en) Multiple light source polarization analyzing method
RU1824547C (en) Reflectometer for concave mirrors
SU1695145A1 (en) Ellipsometer
SU1458779A1 (en) Autocollimation method of determining refraction indexes of wedge-shaped specimens
SU1599786A1 (en) Apparatus for measuring high voltage
SU1150503A1 (en) Device for measuring pressure
SU1056006A1 (en) Device for measuring atmospheric refraction
RU2018112C1 (en) Device for measuring reflection and transmission coefficients
SU1275272A1 (en) Absorption gas analyzer
RU2032166C1 (en) Method of determination of refractive index of wedge-shaped articles
SU1703994A1 (en) Deep well interferometer
SU789686A1 (en) Density meter
SU1191786A1 (en) Device for measuring reflection ratio
SU872973A1 (en) Photometer for measuring optical surface reflection factor
RU2033603C1 (en) Method of measurement of reflection factor
SU1165878A1 (en) Interferometer measuring device
SU1187563A1 (en) Method of determining dissipation factor of translucent solid mirror-reflection materials with small absorption factor
SU1257480A1 (en) Transducer of moisture content of gaseous mixtures
SU940018A1 (en) Two-beam photometer
SU1165899A1 (en) Method of measuring small optical losses in substances
RU2072509C1 (en) Device for taking spectrum of surface plasma resonance