SU661862A1 - Зондова головка - Google Patents

Description

-;. v.:i . - : --- ;Изобретение относитс  к радиотсехнике , а именно к конструктивному выполнению зондовой головки, преднайначенной дл  измерени  электрофизических параметров твердых схем, быть использовано например, в микроэлектронике. Известна зондова  головка, включающа  игольчатый подпружиненный isefri с Механизмом подвода его к койтактирующему элементу, и держатель, который посредством плоских пружин соеди нен с подвешенной На Диафрагме nttaifгой и св зан при помощи гибкого троса с подпружиненным штоком 1}. Однако isxa головка обладает р дом недостатков, обусловливающих низкую точность измерени  удельного, сопротивлени  полупроводниковых материалов (погрешность сходимости составл ет ±60% при доверительной веро тности 0,95). При использовании ее в устройствах дл  измерени  Удельного сопротивлени  по сопротивлению рассе кани  необходима высока  точность  рспроиэведевй  рассто ни  мекду зон дами и контактной площади, зонда с образцом. Последнее преимущественно зависит от стабильности давлени  зон да на образец. Известна  конструкци  не обеспечивает стабильности давлени  зонда на образец ito следующим причинам: а)имеютс  .«евоспроизводймые потери на трение Качени  в шарнирных соединени х обводных роликов, трение скольжени  толкател  с поверхностью клинового ползуна и трени  троса при его перекатываний по желобу б)возможны автоколебани  1э свободно подвешенной упругой системе под действием собственных колебаний и внешних возмущающих воздействий; в)имеетс  совокупность Нерегулируемых упруатих характеристик плоских пружин и пружин Сжати . Известна зондова  головка в виде игольчатого щупа с держателем щупа, св занным с механизмом перемещени  щупа и струной механизма подъемами опускани  щупа на контактируе1«лйэле мент . При этом механизм перемещени  ;Щупа снабжен горизонтально установленным напр женным пружинным параллелограммом , опирающимс  на конец долого цилиндра, имеющего торцовую стенку, на которой в |1рлости цилиндра одним концом закреплена струна, противоположным концом соединенна  с регулируемой планкой, св занной механизмом перемещени , к которому посредством пружины прикреплен другой конец цилиндра 2. Однако в данной конструкции настройка зонда на заданное давление сопр жена с большими трудност ми. В каждом случае настройки зондана иное давление необходимо тарировать силы упругости напр женного прижимного параллелограмма, что значитель но усложн ет регулировку давлени  зонда. Цель изобретени  - упрощение рег лировки давлени  зонда - достигаетс тем, что зондова  головка, содержаща  корпус с механизмом перемещени  зонда в виде пружинного параллелограмма , на котором размещен держател зонда, и механизмом подъема и опуска ни  зонда в виде струны, снабжена механизмом регулировки давлени  зой да с винтом и трибкой и разйеиённым внутри пружинного параллелогра№1а рычагом, один конец которого соединен с ним при помощи в|рировавиой пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможностью взаимодействи  с винтом механизма регулировки величины давлени  зонда. На чертеже изображена описываема зондова  головка. В корпусе 1 закреплены пластины пружинного параллелограмма 2, механизма перемещени  зонда 3, несущего держатель 4 зонда, кинематически св занного посредством гибкой т ги 5 с механизмом 6 подъема и опускани  зонда в виде бтруны. Механизм регули ровки величины давлени  зонда включа ет рычаг 7, одним концом соединенный с подвижным звеном 8 пружинного параллелограмма посредством тарированной пружины 9, а другим шарнирно закрепленный в корпусе и подт гиваемый пружиной раст жени  10 к сферичвс :ому концу винта 11 с трибкой 12 наход щейс  в зацеплении с зубчатым колесом 13 с делени ми на торце, на которые указывает стрелка 14. Настройка и работа зондовой голов ки,- : , ; ; . Зна  передаточное отношение рычаж но-зубчаюго механизма регулировки

Claims (2)

1. 661862 величины давлени  зонда, включающего рычаг 7, винт 11 с трибкой 12 и зубчатое колесо 13, и упругую характеристику тарированной п ужины 9, посредством винта 11 с трибкой 12 устанавливают колесо 13 на числЬ делений, соответствующее необходимой величине давлени  зонда на образец. Пружина 9 раст гиваетс  и вoздeйcтвyef силой упругой деформации на подвижное звено 8 пружинного параллелограмма 2,. удержйваемое в неподвижном положении гибкой т гой 5 механизма 6 подъема и опускани  зонда. При нагреве струны механизма 6 зонд опускаетс  и создает в точке контакта с образцом давление , равное упругой деформации тарированной пружины. Конструкци  зондовой головки позвол ет стабилизировать величину заданного давлений на зонд, расшир ет диапазон регулировки давлени , дает .возможность удобства регулировки и быстрой перенастройки на заданное давление. Формула изобретени  Зондова  головка, содержаща  корпус .с механизмом перемещени  зонда в виде пружинного паралл.елограмма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъема и опускани  зонда в виде струны, отличающа  с  тем, что, с целью упрощени  регулировки давлени  зонда, она снабжена механизмов регулировки величины давлени  йонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного параллелограмма рычагом, один конец которого соединён с ним при помощи тарированной пружины, а другой шарнирно зак1эеплен в корпусе н подпружинен с возможностью взаимодействи  с винтом механизма регулировки величины давлени  зонда..:.-. ...л Источник { информации, п ин тыё во внимание при экспертизе 1.Авторское свийетельстйо СССР №190956, кл. G 01 R 1/06, 1965.
2. 2.Авторское свидетельство СССР №553763, кл. Н 05 К 1/04, 1975.

   661862

   4/ х« „ If