SU575934A1 - Устройство дл бесконтактного измерени сопротивлени провод щих пленок - Google Patents

Description

Изoбpefeниe относитс  к полупровод иковой технике и конструированшо интегральных схем и предназначено дл  контрол  и измерени  параметров провод щих пленок.

Известны устройства l дл  абсолютного контрол  сопротивлени  полупроводниковых материалов и металлических пленок контактными зондовыми методами и устройства дл  бесконтактного относительного контрол  параметров полупроводниковых и диэлектрических ..материалов, основанные на использовании емкостных накладных преобразователей.

Известно также устргайство 2 дл  бесконтактного контрол  сопротивлений провод щих материалов, основанное на использовании емкостных накладных преобразователей с устранением вли ни  зазора между измерительными электродами и образцом , содержащее генератор, измерительный блок, измерительный емкостный преобразователь с двум  накладными электродами , резонансный контур.

Дл  всех этих устройств характерна относительна  методика измерени : результаты измерени  сравниваютс  с результатами измерени  эталонных образцов. Значительное вли ние на результаты измерений оказывает присутствие провод щих тел в частности металлического вагревател  вблизи пленки. Также вли н1ш О1и:зывавт изменение величины зазора между образцом и измерительными электродами в процессе измерени  различных образцов. Это наиболее существенно при малых зазорах, которые необходимы дл  осуществлени  однородного пол  в зазоре и дл  отстройки от присутстви  посторонних тел, мешающее вли ние которых особенно сказываетс  при измерении параметров тонких. пленок.

Цель изобретени  - повышение точности измерений путем устранени  вли ни  окружающих токопровод щих тел.

Claims (2)

1. Это достигаетс  тем, что в предлагаемое устройство сведён второй резонансный контур, в емкостный преобразователь введен третий электрод, соединенный через индикатор с корпусом, причем один резонансный контур подключен между элек тродом преобразовател  и корпусом, а дру гой - между другим электродом преобразовател  и измерительным блоком. На чертеже представлена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит генератор 1, измерительный блок 2, например мост, изме рительный емкостный преобразователь 3, пе1юый 4 и второй 5 измерительные электроды , третий электрод 6, индикатор 7, подложку 8, металлический нагреватель 9, подстроечный конденсатор 10 и индуктивность 11 резонансного контура первого электрода 4, подстроечный конденсатор 12 и индуктивность 13 резонансного контура второго электрода 5, емкости 14 и 15 зазоров. Устройства работает следующим образом . Устанавлива  контур 11, 1О и 14 в резонанс по минимуму индикатора 7, добиваютс  минимального потенциала на плен ке 8 относительно земли. Подстроенным конденсаторам 12 добиваютс  максимума индикатора 7, что означает резонанс тока во всей измерительной цепи 1О, 11, 14, 15, 12, 13. Таким образом, компенсиру  реактивную составл ющую сопротивлени  измерительного емкостного преобра зовател  3 с последовательно соединенны ми {эезонансными контурами, устран ют вли ние емкостей 14 и 15 зазора, одновременно поддержива  потенциал пленки относительно земли минимальным, чем устран етс  вли ние внешних факторов, в частности металлического заземленного нагревател  9, и значительно снижаетс  вли ние паразитных потерь в окружающей среде. После настройки активное сопротив ление емкостного преобразовател  с настроенными резонансными контурами измер етс  при помощи измерительного блока 2, например измерительного моста, и поспе учета заранее измеренных потерь в катушках и конденсаторах оно равно поверх костному сопротивлению участка пленки, расположенного .между измерительными электродами 4 и 5. Рабоча  частота генератора определ етс  параметрами контуров 10, 11, 14 и 12, 13, 15, все соответствующие элементы которых желательно подбирать тождественными, а дл  увеличени  емкостей зазора и упрощени  методики измерени  в зазоре рекомендуетс  поместить тойкую диэлектрическую пленку . Формула изобретени  Устройство дл  бесконтактного измерени  сопротивлени  провоа лшх пленок, соа держащее i- нератор, измерштельный блок, измерительный емкостный преобразователь с двум  накладными электродами, резонанс. ный контур, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  точности измерений путем устранени  вли ни  окружающих токопровод5пцих тел, Б устройство введен второй {эезонансный контур, в емкостный преобразователь введен третий электрод, соединенный через индикатор с корпусом, причем один резонансный контур подключен между электродом преобразовател  и корпусом, а другой - между другим электродом преобразовател  и измерительным блоком. Источники инфор)мации, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 196998, кл. Q О1 R 31/16, 31.05.67.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 314159, кл. Q 01 I 31/22, 02.12.67.

   (

   45

   ib

   8