SU463940A1

SU463940A1 - A device for obtaining multiple images of an object

Info

Publication number: SU463940A1
Application number: SU1975896A
Authority: SU
Inventors: Лев Николаевич Гусев; Борис Викторович Телешов
Original assignee: Предприятие П/Я В-8657
Priority date: 1973-11-15
Filing date: 1973-11-15
Publication date: 1975-03-15

Description

1one

Изобретение относитс к области оптического приборостроени .This invention relates to the field of optical instrumentation.

Известны устройства дл получени многократных изображений объекта, содержащие осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объектами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой.Devices are known for obtaining multiple images of an object, comprising an illuminator with a condenser, a collimator and projection objects and a diaphragm, an object holder, a collimator lens, an optical raster and a photosensitive layer.

Недостатком известного устройства вл етс взаимное перемещение светочувствительного сло и объекта.A disadvantage of the known device is the mutual movement of the photosensitive layer and the object.

Цель изобретени - устранение взаимных перемещений светочувствительного сло и объекта, что, в свою очередь, вл етс предпосылкой дл повышени качества и производительности труда при производстве интегральных схем.The purpose of the invention is to eliminate the mutual displacements of the photosensitive layer and the object, which, in turn, is a prerequisite for improving the quality and productivity of labor in the manufacture of integrated circuits.

Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве при неподвижных объектах и светочувствительном слое между коллиматорным и проекционным объектами осветител устаповлена призменна система Порро второго рода с возможностью перемещени совместно с проекционным объективом осветител вдоль одной координатной оси объекта , причем одна из призм системы тесно св зана с проекционным объективом осветител и установлена с возможностью перемещени This is achieved by the fact that in the proposed device with fixed objects and the photosensitive layer between the collimator and projection objects of the illuminator, a Porro second type prism system is installed with the ability to move together with the projection lens of the illuminator along one coordinate axis of the object, and one of the system prisms is closely connected lens illuminator and mounted to move

относительно второй призмы системы вдоль другой координатной оси объекта.relative to the second prism of the system along the other coordinate axis of the object.

На чертеже изображена аксонометри принципиальной оптической системы предлагаемого устройства.The drawing shows a perspective view of the principal optical system of the proposed device.

Устройство включает в себ источник 1 света, конденсор 2, круглую диафрагму 3, коллиматорпый объектив 4 осветител , пр моугольные призмы 5 и 6 полного внутреннего отражени , представл ющие систему Норро второго рода, проекционный объектив 7 осветител , размножаемый объект 8, объектив 9 коллиматора, оптический растр 10 и светочувствительный слой 11.The device includes a light source 1, a condenser 2, a circular diaphragm 3, a collimator lens 4 illuminator, rectangular prisms 5 and 6 of total internal reflection, representing the second kind of Norro system, a projection lens 7 illuminator, a multiplicanding object 8, a collimator lens 9, optical raster 10 and the photosensitive layer 11.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.The proposed device works as follows.

Изображение зоны разр да источника 1 света передаетс двухлинзовым конденсоромThe image of the discharge zone of the light source 1 is transmitted by a two-lens condenser

2 в плоскость круглой диафрагмы 3, перекрыва апертуру последней. Кругла диафрагма 3 находитс в передней фокальной плоскости коллиматорного объектива 4 осветител . .2 into the plane of the circular diaphragm 3, overlapping the aperture of the latter. The circular aperture 3 is located in the front focal plane of the collimator objective 4 illuminator. .

Таким образом, гомоцентрический, световой поток, пройд диафрагму 3, выходит из коллиматорпого объектива 4 параллельным пучком и, пройд призменную систему 5 и 6 Порро второго рода и проекционный объектив 7 осветител , формирует в плоскостиThus, the homocentric, light flux, traversing the diaphragm 3, emerges from the collimator lens 4 by a parallel beam and, after passing the prism system 5 and 6 Porro of the second kind and the projection lens 7 of the illuminator, forms in the plane