SU457197A1

SU457197A1 - Device for heat treatment of photoresist on products

Info

Publication number: SU457197A1
Application number: SU1879893A
Authority: SU
Inventors: Иван Данилович Голото; Владимир Александрович Перемыщев; Вадим Петрович Лаврищев
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6117
Priority date: 1973-01-19
Filing date: 1973-01-19
Publication date: 1975-01-15

Description

1one

Изобретение относитс к областн радиоэлектроники и приборостроени .The invention relates to the field of radio electronics and instrumentation.

Известны устройства дл термообработки фоторезиста на издели х, содержащие камеру обработки с нагревателем, охлаждаемые камеры загрузки и выгрузки изделий и механизм транспортировки изделий.Devices for heat-treating a photoresist on products are known, comprising a treatment chamber with a heater, cooled loading and unloading chambers, and a product transporting mechanism.

Недостатком известных устройств вл етс низкое качество обработки фоторезиста.A disadvantage of the known devices is the low quality of the processing of the photoresist.

С целью повышени качества термообработки фоторезиста в предлагаемом устройстве камера обработки выполнена в виде ванны, заполненной жидкостью, преп тствующей удалению растворителей из фоторезиста, и расположенной над ней крыщки, дел щей ванну на зоны нагрева и охлаждени изделий, причем в зоне нагрева смонтирован конденсатор паров жидкости.In order to improve the quality of heat treatment of the photoresist in the proposed device, the treatment chamber is made in the form of a bath filled with liquid preventing the removal of solvents from the photoresist and a cap located above it, dividing the bath into heating and cooling zones, and a liquid vapor condenser .

На чертеже дано предлагаемое устройство.In the drawing given the proposed device.

Устройство состоит из камеры обработки 1, выполненной в виде ванны, крышка 2 которой охлаждаетс с помощью вод ного змеевика 3, приваренного к ней. Камера имеет зону нагрева 4, и две охлаждаемые зоны 5, отделенные от них створками 6, открывающимис при прохождении через них кассет 7 с обрабатываемыми издели ми 8. Рабоча жидкость нагреваетс нагревателем 9, смонтированным под зоной нагрева 4. Охлаждение зон 5 достигаетс вод ным змеевиком 3.The device consists of a treatment chamber 1, made in the form of a bath, the cover 2 of which is cooled by means of a water coil 3 welded to it. The chamber has a heating zone 4, and two cooled zones 5, separated from them by shutters 6, which open when the cassettes 7 with processed products 8 pass through them. The working fluid is heated by a heater 9 mounted under the heating zone 4. Cooling zones 5 is reached by a water coil 3

Конденсатор паров жидкости, испар ющейс при нагреве в зоне 4, устанавливаетс непосредственно над ванной и представл ет собой охлаждаемые щели 10, образуемые крышкой 2 и охлаждаемыми камерами 11, защищенными теплоизолирующими обкладками 12 со стороны зоны нагрева 4. Наклон этих щелей в стороны зон охлаждени 5 обеспечивает возвращение конденсата в них. Издели 8 подаютс в камеру обработки 1 и извлекаютс оттуда лентой конвейера 13 через люки 14 и 15 загрузки и выгрузки соответственно, также охлаждаемые вод ным змеевиком 3, установленным на их стенках.The vapor condenser of the liquid evaporating during heating in zone 4 is installed directly above the bath and consists of cooled slots 10 formed by the cover 2 and cooled chambers 11 protected by heat insulating plates 12 from the side of the heating zone 4. The slope of these slots is in the direction of cooling zones 5 ensures the return of condensate to them. The articles 8 are fed to the treatment chamber 1 and removed from there by the conveyor belt 13 through the hatches 14 and 15 of loading and unloading, respectively, also cooled by a water coil 3 mounted on their walls.

Предмет изобретени Subject invention

Устройство дл термообработки фоторезиста на издели х, содержащее камеру обработки с нагревателем, охлаждаемые камеры загрузки и выгрузки изделий и механизм транспортировки изделий, отличающеес тем, что, с целью повыщени качества термообработки фоторезиста, камера обработки выполнена в виде ванны, заполненной жидкостью, преп тствующей удалению растворителей из фоторезиста, и расположенной над ней крыщки , дел щей ванну на зоны нагрева и охлаждени изделий, причем в зоне нагрева смонтирован конденсатор паров жидкости.A device for heat treating a photoresist on products, comprising a treatment chamber with a heater, cooled loading and unloading chambers and a product transporting mechanism, characterized in that, in order to improve the quality of heat treatment of the photoresist, the treatment chamber is designed as a bath filled with a liquid that prevents removal photoresist solvents, and a cap located above it, dividing the bath into heating and cooling zones, with a liquid vapor condenser mounted in the heating zone.