SU410491A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU410491A1 SU410491A1 SU1770558A SU1770558A SU410491A1 SU 410491 A1 SU410491 A1 SU 410491A1 SU 1770558 A SU1770558 A SU 1770558A SU 1770558 A SU1770558 A SU 1770558A SU 410491 A1 SU410491 A1 SU 410491A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- frequency
- radiator
- reflector
- electrodeless
- uniform
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
1
Облучатель, используемый, в частности, в фотолитографии (экспонировании) дл производства полупроводниковых приборов, содержит подобно известным приборам этого типа безэлектродный высокочастотный излучатель, разр д в котором возбуждаетс и поддерживаетс электромагнитным полем высокой частоты .
Недостатком известных приборов вл етс весьма мала площадь равномерной облученности и, в результате, малый процент получени годных изделий.
Цель изобретени - увеличение поверхности с равномерным облучением до диаметра пор дка 40-100 мм. Дл ее достижени колбу выполн ют с плоским дпом.
При возбуждении безэлектродного разр да полем высокой частоты в излучателе с плоским дном весь объем излучател можно заполнить газоразр дной плазмой. Цилиндрическа форма излучател (он может быть также выполнен в виде полусферы) обеспечивает достаточно равномерную плотность излучени , а, стало быть, и равномерную облученность площадки .
На чертеже схематически показан предлагаемый облучатель с безэлектродным высокочастотным излучателем.
Оптически прозрачна колба 1 излучател с
буферным газом и рабочим элементом вместе с возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора заключена в отражатель 3. Там они жестко закреплены. Дл креплени колбы в отражателе 3 используют резиновую трубку 4. Последний укреплен при помощи скобок.
На определенном рассто нии от кра отражател жестко закреплена система зеркал 5.
Например, дл получени равномерного облучени на поверхности диаметром 40 мм рассто ни между окном безэлектродного высокочастотного излучател и освещаемой поверхностью 6 должно составл ть пример.но 7-
10 мм, а угол наклона зеркал - 75°.
Фторопластова трубка 7 используетс как изол тор между отражателем 3 и возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора.
Предмет изобретени
Облучатель с безэлектродным высокочастотным излучателем, колба которого имеет форму тела вращени , содержащий генератор высокой частоты, отражатель и систему зеркал , отличающийс тем, что, с целью увеличени поверхности с равномерным облучением , колба выполнена с плоским дном
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1770558A SU410491A1 (ru) | 1972-04-06 | 1972-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1770558A SU410491A1 (ru) | 1972-04-06 | 1972-04-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU410491A1 true SU410491A1 (ru) | 1974-01-05 |
Family
ID=20509962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1770558A SU410491A1 (ru) | 1972-04-06 | 1972-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU410491A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4202734A1 (de) * | 1992-01-31 | 1993-08-05 | Leybold Ag | Strahlungsquelle, insbesondere fuer strahlungs-induzierte aetz- und cvd-anlagen |
-
1972
- 1972-04-06 SU SU1770558A patent/SU410491A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4202734A1 (de) * | 1992-01-31 | 1993-08-05 | Leybold Ag | Strahlungsquelle, insbesondere fuer strahlungs-induzierte aetz- und cvd-anlagen |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE7904810L (sv) | Lagtrycksanglampa, serskilt kvicksilverlagtryckslampa, och med en dylik forsedd bestralningsreaktor | |
| US6670619B2 (en) | Transilluminator | |
| US2161292A (en) | Radiating device | |
| SU410491A1 (ru) | ||
| AT287848B (de) | Niederdruckgasentladungslampe zum Erzeugen von Resonanzstrahlung | |
| GB1377810A (en) | Laser head | |
| DK117437B (da) | Fatning til tosoklet elektrisk udladningslampe, hvis rør danner en tilnærmelsesvis plan flade. | |
| NL147580B (nl) | Elektrische gloeilamp of ontladingsbuis. | |
| US2409769A (en) | Fluorescent glow lamp | |
| US3417344A (en) | Laser employing a liquid solution of chrome aluminum | |
| US3448403A (en) | Laser structure with laser element inserted concentrically within cylindrical light pump tube | |
| JP2018142476A (ja) | 放電ランプ | |
| SU415752A1 (ru) | ||
| SU415753A1 (ru) | ||
| JP2001319510A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| SU387468A1 (ru) | Импульсный газоразрядный источник света | |
| SU42505A1 (ru) | Устройство дл возбуждени ультракоротких электромагнитных волн | |
| GB670694A (en) | Improvements in or relating to electrically energized luminous gas devices | |
| SU444272A1 (ru) | Безэлектродна высокочастотна спектральна лампа | |
| JPS5593648A (en) | Fluorescent lamp | |
| JPS5214085A (en) | High voltage discharge apparatus | |
| JPS5469275A (en) | Fluorescent lamp | |
| SU487597A2 (ru) | Импульсна газоразр дна безэлектродна лампа | |
| SU405152A1 (ru) | ||
| SU118191A1 (ru) | Волноводное устройство дл канализации энергии весьма коротких волн |