SU345948A1

SU345948A1 - SENSOR FOR NONCONTACT MEASUREMENT OF CURRENT CARRIER CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS

Info

Publication number: SU345948A1
Application number: SU1402195A
Authority: SU
Original assignee: Ю. К. Пожела, В. Л. ука , Р. Б. Топутис Институт физики полупроводников Латвийской ССР; НТНО лНй

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к устройствам, предназначенным дл бесконтактного измерени концентрации носителей тока в полупроводниках.The invention relates to a measurement technique, namely, devices for contactless measurement of carrier concentration in semiconductors.

Известны датчики дл бесконтактного пзмерепи концентрации носителей тока в полупроводниках , в которых исследуемый образец помещают во взаимоперпендикул рные катушки возбуждени и индикации.Sensors for contactless charge carrier concentration in semiconductors are known, in which a test sample is placed in mutual perpendicular excitation and indication coils.

Недостатки этих датчиков - сложность и трудоемкость измерительных операций, мала оперативность.The disadvantages of these sensors are the complexity and laboriousness of measuring operations, the efficiency is low.

С целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществлени быстрой смены исследуемых образцов без отключени датчика от измерительной аппаратуры индикационна катущка выполнена в виде держател с коаксиальными кабел ми, а катущка возбуждени - в виде съемной части датчика с контактной колодкой.In order to stabilize the electrical parameters of the sensor and make a quick change of the studied samples without disconnecting the sensor from the measuring equipment, the indicator wheel is made in the form of a holder with coaxial cables, and the field driver is in the form of a removable part of the sensor with a terminal block.

На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый датчик; на фиг. 2 - катущка возбуждени .FIG. 1 schematically shows the proposed sensor; in fig. 2 - excitation wheel.

Исследуемый образец / помещают внутри катущки 2 дл индикации размерного резонанса геликонных волн с обмотками 3, прикрепленной к держателю 4, в котором проведены коаксиальные кабели 5 и 6 дл подключени индикационной катущки и контактов соедин ющего разъема / к измерительной аппаратуре.The sample under study is placed inside the coil 2 to indicate the size resonance of the helicon waves with windings 3 attached to the holder 4, in which coaxial cables 5 and 6 are connected to connect the indicator coil and the connectors of the connecting connector / to the measuring equipment.

Съемна часть датчика содержит катушку 8 дл возбуждени размерного резонанса геликонных волн в образце с обмоткой 9 н контактную колодку 10 с контактами 11 дл подключени возбуждающей катуапчн.The removable part of the sensor contains a coil 8 for exciting the dimensional resonance of helicon waves in a sample with a 9 N winding terminal 10 with contacts 11 for connecting an excitation cathode.

При измерении концентрации носителей тока на катушку 2 с образцом надевают катущку возбуждени 8, подключаемую с помощью контактов 7 и // к кабелю 6. Затем датчик помещаетс в магнитное поле так, чтобы плоскости обеих катушек 2 и 8 были параллельны направлению индукции магнитного нол .When measuring the carrier concentration on the coil 2 with the sample, the excitation coil 8 is plugged in using the contacts 7 and // to the cable 6. The sensor is then placed in a magnetic field so that the planes of both coils 2 and 8 are parallel to the magnetic induction direction.

изобретени the invention

Датчик дл бесконтактного измерени концентрации носителей тока в полупроводниках, содержащий образец, помещенный в скрещенные катушки индуктивностн, отличающийс тем, что, с целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществлени быстрой смены нсследуемых образцов без отключени датчика от измерительной аппаратуры, индикационна катушка выполнена в виде держател с коаксиальными кабел ми, а катушка возбуждени выполнена в виде съемной части датчика с контактной колодкой.A sensor for contactless measurement of carrier concentration in semiconductors containing a sample placed in crossed inductance coils, characterized in that, in order to stabilize the electrical parameters of the sensor and effect a quick change of the traceable samples without disconnecting the sensor from the measuring equipment, the indicator coil is designed as a holder coaxial cables, and the excitation coil is designed as a removable part of the sensor with a terminal block.

9 ВL ,f9 VL, f

7777