SU193670A1

SU193670A1 -

Info

Publication number: SU193670A1
Application number: SU1017587A
Authority: SU

Description

Известпы защитные устройства дл предотвращени попадани паров масла л продуктов его крекинга из диффузионного насоса в откачивае1мый объем, содержащие корпус , в котором размещеьы охлаждаема высоковакуумна ловущка, испаритель титана н науревательный элемент.Protection devices for preventing the ingress of oil vapor and its cracking products from a diffusion pump into a pumped-out volume, contain a casing in which a high-vacuum trap is cooled, a titanium evaporator and a heating element.

В предлагаемом устройстве нагревательный элемент заключен в полый стакан из теп.юнроводного материала с отверстием дл прохода откачиваемых газов. Соосно со стаканом в корпусе размещен охлаждаемый экран. Это позвол ет повысить эффективность защиты откачиваемого объема.In the proposed device, the heating element is enclosed in a hollow cup of heat-conducting material with an opening for the passage of evacuated gases. Coaxially with a glass in the case the cooled screen is placed. This makes it possible to increase the protection efficiency of the pumped volume.

Дл повышени срока службы иснарител между ловущкой и экраном установлен кланан , герметично отдел ющий откачиваемый объем и само устройство от диффузионного насоса во врем его зануска или остывани To increase the service life of the welder, a clan is installed between the trap and the screen, hermetically separating the pumped volume and the device itself from the diffusion pump during its descent or cooling.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.The drawing shows a diagram of the proposed device.

В корпусе / размещены охлаждаема высоковакуумна ловущка 2, испаритель 3 титана и нагревательный элемент 4. Корпус при помощи фланцев 5 и 6 присоединен соответственно к откачиваемому объему и диффузионному насосу. Испаритель служит дл распылени титанов на охлаждаемые стенкп, а также дл лучевого нагрева элемента 4, который предиазнЕчен дл термического разложени наров масла и каталитической диссоциации паров углеводородов на нагретых до 200-250°С металлических поверхност х. Элемент снабжен оптическн непрозрачной в осевом направлении гофрированно перегородкой заключен в полый стакан 7 из теплопроводного матернала, нагреваемый в нериод откачки до 75-12о°С. Нагрев преп тствует образованию на внутренней поверхности стакана масл ного конденсата. Дл у.меньшенн тепловых потерь предусмотрены тенловые разв зки 8 в месте креилеин нагревательного элемента к корпусу и тепловые экраны, уста навливаемые между нагревательным элементом и корпусом.A high-vacuum cooled trap 2, an evaporator 3 of titanium and a heating element 4 are placed in the housing / housing. The housing is connected with flanges 5 and 6 to the pumped-out volume and the diffusion pump, respectively. The evaporator serves for spraying titans onto cooled walls, as well as for beam heating of element 4, which is predetermined for thermal decomposition of oil banks and catalytic dissociation of hydrocarbon vapors on metal surfaces heated to 200-250 ° C. The element is provided with an optic opaque axially corrugated partition enclosed in a hollow cup 7 made of heat-conducting material, heated during the pumping period to 75-12 ° C. Heating prevents the formation of oil condensate on the inner surface of the glass. For the reduction of heat losses, there is a tention junction 8 in place of the creel of the heating element to the body and heat shields installed between the heating element and the body.

Дл прохода откачиваемых газов в полом стакане имеетс отверстпе, соосно с которым в корпусе раз 1ещен охлаждаемый экран 9. Дл герметичного отделенн откачиваемого объема и полости устройства от диффузионного насоса в период его запуска и остывани в корпусе между ловущкой п экрапом установлен клапан 10 с резиновым уплотп телем. Конструкци клапапа может быть самой разнообразной . Пунктиром на чертеже изображен кланан в период откачки.For the passage of pumped gases in the hollow glass there is an orifice coaxially with which a cooled screen 9 is placed in the housing. For a sealed, separated pumping volume and cavity of the device from the diffusion pump during its launch and cooling period, a valve 10 with rubber seal is installed in the housing between the trap and a scraper telem. The design of the valve can be very diverse. The dotted line in the drawing shows the clanan during the pumping period.

крекинга из диффузионного насоса в откачиваемый объем, содержащее корпус, в котором размещены охлаждаема высоковакуумна ловушка, испаритель титана и нагревательный элемент, отличающеес тем, что, с целью повышеинк эффективности защнты откачиваемого объема, иагревательиый заключен в нолый стакан из теилоироводиого лгатериала с отверст ем дл нрохода откачиваемых газов, соосно с которым в корнусе размещен охлаждаемый экран.cracking of a diffusion pump into the pumped volume, containing a housing in which a high vacuum trap is placed, a titanium evaporator and a heating element, characterized in that, in order to increase the efficiency of the pumped volume, the heat is enclosed in a small glass of a teeter body with a hole and a hole for a pumped volume and a hole for a pumped volume. pumped gases, coaxially with which the cooled screen is placed in the corns.

2. Устройство но п. 1, отличающеес тем, что, с целью иовышеин срока службы испарител , между ловушкой и экраном установлен кланан, герметично отдел ющий откачиваемый объем от диффузионного пасоса i5 период его заиуска или остывани .2. A device according to claim 1, characterized in that, for the purpose of the higher service life of the evaporator, a clan is installed between the trap and the screen, hermetically separating the pumped-out volume from the diffusion flow i5, the period of its shutdown or cooling.