SU1587354A1

SU1587354A1 - Масс-спектрометрический течеискатель

Info

Publication number: SU1587354A1
Application number: SU884612364A
Authority: SU
Inventors: Владимир Петрович Зайцев; Владимир Иванович Киреев; Евгений Александрович Борисов; Андрей Николаевич Машталяр
Original assignee: Предприятие П/Я В-2775
Priority date: 1988-10-05
Filing date: 1988-10-05
Publication date: 1990-08-23

Abstract

Изобретение относитс к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позвол ет расширить эксплуатационные возможности и повысить чувствительность путем устранени вли ни величин и состава анализируемого потока газов. Масс-спектрометрический течеискатель содержит пористый элемент 3, детектор 5, охлаждаемую ловушку 7, высоковакуумный насос 8, пневматический демпфер 10 и форвакуумныфй насос 12. Пневматический демпфер 10 выполнен в виде пористого тела, поглощающего все газы, расположен между высоковакуумным и форвакуумным насосами 8 и 12 и соединен через вентиль 16 с детектором 5. Вход течеискател с помощью дросселирующего вентил 17 соединен с выходом высоковакуумного насоса 8. Совокупное использованин и сочетание контуров течеискател в зависимости от конкретных условий испытаний позвол ют контролировать утечки в диапазоне 10 -8...10 -5 л .мкм рт. ст./с при величине суммарного потока 10 -2...3 .10 2 л .мкм.рт.ст./с. 1 ил.

Description

ЧГП

МХЬ

15

00 VJ 00

ел

Изобретение относитс к испытани м на герметичность с помощью масс-спектро- метрического течеискател и может быть использовано дл контрол утечек в широком (диапазоне.

Цель изобретени - расширение эксплуатационных возможностей и повышение чувствительности путем устранени вли - ;ни величины и состава анализируемого потока газов.

На фиг.1 приведена вакуумна схема течеискател ; на фиг.2 и 3 - возможные рабочие контуры дл различных условий испытани на герметичность.

Масс-спектрометрическмй течеиска- тель содержит фланец 1, вентиль 2, вход которого соединен с фланцем 1. пористый элемент 3, поглощающий все газы, кроме пробного, манометрический преобразователь 4 и детектор 5, соединенные с выходом пористого элемента 3, последовательно со- I единенные вентиль 6, вход которого соедм- 1 нен с выходом пористого элемента 3, I манометрическим преобразователем 4 и де- ) тектором 5, охлаждаемую ловушку 7, I высоковакуумный насос 8, вентиль 9, I пневматический демпфер, выполненный в I виде пористого элемента 10, поглощающего все газы, вентиль 11 и форвакуумный насос 12, вентиль 13 и манометрический преобра- зователь 14, соединенные со входом форва- куумного насоса 12, вентиль 15, вход которого соединен с выходом вентил 11, входом форвакуумного насоса 12, входом вентил 13 и манометрическим преобразователем 14, а выход - с входом вентил 2, вентиль 16, вход которого соединен с гидравлическим демпфером 10, а выход - с выходом пористого элемента 3, манометрическим преобразователем 4, детектором 5 и входом вентил б, и дросселируюш,ий вентиль 17,-вход которого соединен с выходом высоковакуумного насоса 8 и входом вентил 9, а выход - с входом вентил 2 и выходом вентил 15.

Течеискатель . работает следующим образом .

Поток, имеющий в своем составе пробный и балластный газы, попадает через вентиль 2 в пористый элемент 3, в составе которого находитс активированный уголь. Пористый элемент 3, насыща сь балластным газом, увеличивает концентрацию пробного газа в общем потоке, который откачиваетс высоковакуумным насосом 8 через охлаждаемую ловушку 7. В трубопроводе между пористым элементом 3 и охлаждаемой ловушкой 7 производитс

регистраци парциального давлени пробного газа детектором 5. При открытых вентил х 9 и 11 поток откачиваетс форва- куумным насосом 12 через гидравлический

демпфер 10, в состав которого входит цеолит марки NaA.Пористый элемент 3 представл ет собой сорбционный фильтр потока газа, а гидравлический демпфер - пористый элемент 10 - одновременно работает по

принципу сорбционного насоса.

Применительно к контуру фиг.2 физическа картина течени газа следующа . Суммарный газовый поток от издели попадает в пористый элемент 3 (фиг,1) через входной

5 фланец 1, подстыкованный к схеме испытани , и вентиль 2. Пористый элемент 3 поглощает большую часть потока, кроме потока пробного газа. Дол парциального давлени пробного газа в оставшемс потоке за

0 пористым элементом увеличиваетс , что регистрируетс детектором 5. Остаточна газова среда из масс-спектрометра удал етс через вентиль 15, пористый элемент Юифорвакуумный насос 12. Пористый

5 элемент 10 вл етс откачным средством и одновременно исключает возникновение флюктуации пробного газа в масс-спектрометре за счет нестабильности его откачки форвакуумным насосом 12. Этот контур ис0 пользуетс при малых потоках газа. При работе по контуру на фиг.З при больших потоках газа откачка детектора осуществл етс высоковакуумным насосом 8, вентиль 16 закрыт.

5 Совокупное использование и сочетание контуров предлагаемого масс-спектромет- рического течеискател в зависимости от конкретных условий испытани позвол ет контролировать утечки в диапазоне

0 10...10 л мкм рт.ст./с при величине суммарного потока 10...3 -Юл- мкм рт.ст./с.

Claims

Формула изобретени Масс-спектрометрический течеискаВ тель, содержащий детектор, соединенный с ним высоковакуумный насос, пневматический демпфер, первый вход которого соединен с выходом высоковакуумного насоса, и форвакуумный насос, вход которого соеди50 нен с выходом пневматического демпфера, отличающийс тем, что, с целью расширени эксплуатационных возможностей и повышени чувствительности путем устранени вли ни величины и состава

55 анализируемого потока газов, пневматический демпфер выполнен в виде пористого элемента, поглощающего все газы, а его второй вход соединен с детектором.

;г г- ,.

/

Фиг.

V

Llix/

1ЖН

77/f

ТТ

CW

Фиг.З