SU1516470A1 - Стекло - Google Patents
Стекло Download PDFInfo
- Publication number
- SU1516470A1 SU1516470A1 SU874274894A SU4274894A SU1516470A1 SU 1516470 A1 SU1516470 A1 SU 1516470A1 SU 874274894 A SU874274894 A SU 874274894A SU 4274894 A SU4274894 A SU 4274894A SU 1516470 A1 SU1516470 A1 SU 1516470A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- glass
- linear expansion
- thermal coefficient
- water resistance
- increase
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/062—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight
- C03C3/07—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead
- C03C3/072—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead containing boron
- C03C3/074—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead containing boron containing zinc
- C03C3/0745—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead containing boron containing zinc containing more than 50% lead oxide, by weight
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к производству бесщелочных легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности в качестве защитных диэлектрических покрытий ИМС. С целью повышени термического коэффициента линейного расширени и водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас.%: PBO 51,52-63,80
B2O3 5,68-6,43
SIO2 19,64-24,97
ZNO 6,65-7,51
SRO 4,23-9,57. Термический коэффициент линейного расширени (72,5-92,5).10-7 град-1, гидролитический класс-первый. 2 табл.
Description
1
(21)4274894/23-33
(22)02.07.87
(46) 23.10.89.Bian. 39
(71)Минский радиотехнический институт
(72)И.Л.Раков, А.П.Молочко, Н.П.Соловей и Е.В.Горбачева
(53) 666.112.7(088.8)
(56) Авторское свидетельство СССР
№ 617398, кл. С 03 С 3/10, 1978.
Патент США V 3868334, кл,252-520, 1975.
(54) СТЕКЛО
(57) Изобретение относитс к производству бесщелочных легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности в качестве защитных диэлектрических покрытий ИМС. С целью повышени термического коэффициента линейного расширени и водоустойчивости стекло включает следующие компоненты , мас.%: РЬО 51,52-63,80, 5,68-6,43, SiOa 19,64-24,97, ZnO t. 6,65-7,51, SrO 4,23-9,57.Термический коэффициент линейного расширени (72,5-92,5)- 10 град , гидролитичесг- кий класс - первый. 2 табл.
%
Изобретение относитс к производству бесщелочных стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности дл защитных диэлектрических покрытий интегральных микросхем.
Целью изобретени вл етс повышение термического коэффициента линейного расширени и водоустойчивости стекла.
При составлении шихт используют сырьевые материалы марки ч., х.ч., ч,д.а. Стекло вар т в электрической печи КО-14 при с выдержкой 0,3-0,5 ч. Выработку стекломассы осуществл ют в формы дл изготовлени необходимых образцов.
В табл.1 приведены составы предлагаемого стекла.,
Свойства стекол приведены в табл.2.
Стекло обладает хорошими технологическими свойствами. При относительно невысокой температуре синтеза С оно хорошо провариваетс и осветл етс при незначительной выдержке , не превышающей 30 мин,обладает хорошими выработочными свойствами, широким интервалом изменени в зкости.
Данное соотоношение оксидов позвол ет расширить интервал значений ТКЛР от 72 10 до 92,5 10 град , что обеспечивает более широкие возможности использовани стекла. Кроме того, данное стекло характеризуетс высокой водоустойчивостью и относитс к первому гидролитическому классу.При этом оно вл етс легкоплавким,имеет сравнительно невысокие температуры начала разм гчени 510-518 с.
сд
0 4 vl
О
Сочетание перечисленных свойств позвол ет рекомендовать данное стекло дл получени диэлектрических защитных покрытий интегральных микросхем , работающих в услови х повьппен- ной влажности. Отсутствие кристаллизации в широком интервале температур и хороша растекаемость позвол ют получать стеклопленки прш различных температурах хорошего качества (пористость пленки составл ет не более 1-3 см ).
Использование стекла в производстве интегральных микросхем обеспечит надежную их изол цию при сохранении стабильности электрофизических
Температура начала разм гчени , С ТКЛР, оС-Ю , град Удельное электрическое сопротивление при 20 С, Ом-см
Редактор Н.Рогулич
Составитель М.Гулюкин
Техред А.Кравчук Корректор В.Кабаций
Заказ 6348/23
Тираж 418
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Claims (1)
- характеристик полупроводниковых приборов . Формула и з:о бретениСтекло дл защитных покрытий,включающее РЬО, , SiO, ZnO, о т- личающеес тем, что, с целью повышени термического коэффициента линейного расширени и водоустойчи- вости, оно дополнительно содержит SrO при следующем соотношении компонентов , мас.%:РЬО51,52-63,80BfOj5,68-6,43,64-24,97ZnO6,65-7,51SrO4,23-9,57Таблица 1Таблиц a2518 77,39,0 ИО«&Подписное
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874274894A SU1516470A1 (ru) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Стекло |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874274894A SU1516470A1 (ru) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Стекло |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1516470A1 true SU1516470A1 (ru) | 1989-10-23 |
Family
ID=21315835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874274894A SU1516470A1 (ru) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Стекло |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1516470A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2631709C1 (ru) * | 2016-10-31 | 2017-09-26 | Юлия Алексеевна Щепочкина | Стекло |
-
1987
- 1987-07-02 SU SU874274894A patent/SU1516470A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2631709C1 (ru) * | 2016-10-31 | 2017-09-26 | Юлия Алексеевна Щепочкина | Стекло |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3408212A (en) | Low melting oxide glass | |
| SU1516470A1 (ru) | Стекло | |
| US3278317A (en) | Vanadium pentoxide-metal metaphosphate glass compositions | |
| JPH01126239A (ja) | 電子機器用ガラス基板 | |
| JPS6210940B2 (ru) | ||
| US4073657A (en) | Glass for semiconductors | |
| Karkhanavala et al. | Thermal expansion of some simple glasses | |
| US3717441A (en) | Low expansion aluminosilicate glass compositions comprising a pentavalent metal oxide | |
| SU1175899A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| JPS6042246A (ja) | 基板用ガラス | |
| US4609632A (en) | Glass compositions with low dielectric losses | |
| SU1446121A1 (ru) | Стекло | |
| SU1527198A1 (ru) | Стекло | |
| SU1629263A1 (ru) | Стекло | |
| SU1502496A1 (ru) | Стекло дл композиционного материала | |
| SU1604762A1 (ru) | Стекло | |
| SU421643A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| SU1284957A1 (ru) | Стекло дл изол ции приборов | |
| SU1305137A1 (ru) | Стекло | |
| SU1186591A1 (ru) | Стекло дл резисторов | |
| JP2764880B2 (ja) | 半導体被覆用ガラス | |
| SU1571011A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| SU567690A1 (ru) | Стеклоприпой | |
| SU1655926A1 (ru) | Стекло | |
| JPS5840845A (ja) | 半導体被覆用ガラス |