SU1390009A1 - Method of producing abrasive tool - Google Patents

Method of producing abrasive tool Download PDF

Info

Publication number
SU1390009A1
SU1390009A1 SU864156432A SU4156432A SU1390009A1 SU 1390009 A1 SU1390009 A1 SU 1390009A1 SU 864156432 A SU864156432 A SU 864156432A SU 4156432 A SU4156432 A SU 4156432A SU 1390009 A1 SU1390009 A1 SU 1390009A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
abrasive
grains
workpiece
container
abrasive grains
Prior art date
Application number
SU864156432A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Иванович Толкачев
Дмитрий Николаевич Гулидов
Юрий Дмитриевич Чистяков
Владимир Леонидович Приходько
Владимир Петрович Запорожский
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4333
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4333 filed Critical Предприятие П/Я Г-4333
Priority to SU864156432A priority Critical patent/SU1390009A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1390009A1 publication Critical patent/SU1390009A1/en

Links

Landscapes

  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к изготовлению алмазных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых дл  резки полупроводниковых кристаллов на пластины. Целью изобретени   вл етс  улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка. Изготовление алмазных кругов производ т в емкости с электролитом и абразивными зернами путем закреплени  зерен на боковых поверхност х заготовки и последующего зара- щивани . Процесс закреплени  осуществл ют в два этапа. На первом этапе заготовки расположены вертикально, на втором - горизонтально. Процесс заращивани  ведут при вертикальном расположении заготовок . Врем  обработки заготовки на втором этапе процесса закреплени  зерен абразива составл ет 0,85-0,9 всего времени закреплени , а углова  скорость вращени  заготовки равна (0,8-0,5) Vi7 - - радиус окружности покрываемой поверхности , g - ускорение свободного падени . 1 ил. SThe invention relates to the manufacture of diamond wheels with an inner cutting edge used to cut semiconductor crystals into wafers. The aim of the invention is to improve the performance characteristics of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot. Diamond wheels are manufactured in a tank with electrolyte and abrasive grains by fixing the grains on the side surfaces of the workpiece and subsequent protection. The consolidation process is carried out in two stages. At the first stage, the blanks are arranged vertically, at the second - horizontally. The process of growing is carried out with a vertical arrangement of the blanks. The processing time of the workpiece at the second stage of the process of fixing the abrasive grains is 0.85–0.9 of the total holding time, and the angular rotational speed of the workpiece is (0.8–0.5) Vi7 - is the radius of the circumference of the surface to be coated, g is the acceleration of free fall. 1 il. S

Description

соwith

соwith

Изобретение относитс  к изготовлению алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых дл  резки полупроводниковых кристаллов на пластины.The invention relates to the manufacture of diamond cutting wheels with an inner cutting edge used to cut semiconductor crystals into wafers.

Цель изобретени  - улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка.The purpose of the invention is to improve the performance characteristics of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot.

На чертеже изображено устройство дл  нанесени  абразивных зерен на поверхность круга.The drawing shows a device for applying abrasive grains to the surface of a circle.

Емкость, в которой наноситс  абразив на Ю заготовку в виде диска с внутренней режущей кромкой, представл ет собой пространство 1, образуемое дном 2, крышкой 3 и поверхност ми внутренних отверстийThe container in which the abrasive is applied to the billet in the form of a disk with an inner cutting edge is the space 1 formed by the bottom 2, the cover 3 and the surfaces of the inner holes

В течение времени первого этапа процесса закреплени  зерен абразива происходит отбрасывание зерен к периферии емкости к внутренним кромкам заготовок. г После поворота емкости зерна абразива оседают под действием силы т жести на поверхности заготовок, «открытые кверху и образуют различные концентрации абразива на боковых поверхност х каждой заготовки. По предлагаемому способу производ т изготовление круга с внутренней режущей кромкой АКВР 422X152X0,3 при следующих параметрах процессов.During the time of the first stage of the process of fixing the abrasive grains, the grains are dropped to the periphery of the container to the inner edges of the blanks. After turning the container, the abrasive grains are deposited under the force of gravity on the surface of the blanks, open upwards and form different concentrations of abrasive on the side surfaces of each blank. According to the proposed method, a circle with an inner cutting edge AKBP 422X152X0.3 is manufactured with the following process parameters.

Требуемый ток подают из расчета 1,0- 2,0 A/дм покрываемой поверхности. ПослеThe required current is supplied at a rate of 1.0-2.0 A / dm of the surface to be coated. After

изол торов 4, между которыми зажаты заго-. поворота емкости до горизонтального распо- товки 5. Диаметр внутреннего отверсти ложени  ее оси привод т ее во враще- заготовки меньше диаметра внутреннего от-ние со скоростью 40 об/мин. За 2 мин версти  изол тора. Свободные от изол то-такого вращени  обеспечиваетс  требуемое ров части заготовок наход тс  в полостиперемешивание абразивных зерен в электроемкости и контактируют с электролитомлите. Затем начинают операцию прикрепле- и абразивными зернами. Электрическое на-20 и  зерен абразива: скорость вращени  по- пр жение при работе установки подаетс  кстепенно увеличиваетс  до 130 об/мин, удеркорпусам кругов и к аноду 6. Емкость смонтирована с возможностью поворота из вертикального положени  плоскости ее вращени  в горизонтальное.insulators 4, between which are clamped. rotation of the container to the horizontal alignment 5. The diameter of the inner hole of its axis leads it into the rotation of the workpiece less than the diameter of the internal opening at a speed of 40 rpm. 2 minutes versti isolator Free from isolation of such rotation, the required ditch of the part of the blanks is provided in the cavity of mixing the abrasive grains in electrical capacity and is in contact with the electrolyte. Then, the operation begins with attachment and abrasive grains. Electric on-20 and abrasive grains: the rotational speed, when the unit is operated, is gradually increased to 130 rpm, to the bells of the circles and to the anode 6. The tank is mounted so that it can be rotated from the vertical position of the plane of its rotation to the horizontal.

2525

живают ее в течение 55-60 с, плавно (за 10-15 с) поворачивают емкость в вертикальное положение ее оси и по окончании поворота уменьшают скорость вращени  до 75-80 об/мин. По истечении 10 мин с момента начала операции прикреплени  емкость поворачивают в положение горизонтального расположени  оси, уменьшают скорость вращени  до 40 об/мин и в течение 60 мин в этом режиме заращивают прикрепленные зерна.live it for 55-60 s, smoothly (for 10-15 s) rotate the tank to the vertical position of its axis and at the end of the turn reduce the rotation speed to 75-80 rpm. After 10 minutes from the start of the attachment operation, the tank is turned to the horizontal position of the axis, the rotational speed is reduced to 40 rpm and the attached grains are overgrown in this mode for 60 minutes.

При вертикальном положении оси емкости провод т обычные дл  нержавеющей стали подготовительные операции: обезжиривание , травление, активирование. Затем в емкость засыпают абразивные зерна, зали- вают электролит, закрывают емкость крышкой 3, подают требуемый ток и поворачивают емкость так, что плоскость заготовок находитс  в вертикальном положении.In the vertical position, the axes of the vessel are carried out with the usual preparatory operations for stainless steel: degreasing, pickling, activating. Then, abrasive grains are poured into the container, the electrolyte is poured in, the container is closed with a lid 3, the required current is supplied and the container is turned so that the plane of the blanks is in a vertical position.

Далее осуществл ют процесс закреплени  зерен абразива в два этапа. На первом этапе закрепление происходит при вращении емкости в вертикальной плоскости в течение 0,1-0,15 всего времени, необходимого дл  закреплени  абразивных зерен на боковые поверхности заготовок, на втором - при вращении емкости в горизонтальной плоскости, когда заготовки также расположены горизонтально. Процесс закреплени  зерен абразива производ тNext, the process of securing the abrasive grains is carried out in two stages. At the first stage, the fastening occurs when the container is rotated in a vertical plane for 0.1-0.15 of the total time required for securing the abrasive grains on the side surfaces of the workpieces, at the second - when the container is rotated in a horizontal plane, when the blanks are also arranged horizontally. The process of fastening the abrasive grains is done

Этим заканчивают первый цикл и процесс образовани  одного режущего сло . Затем провод т еще п ть подобных циклов дл  получени  необходимой высоты сло . Далее емкость останавливают, сливают электролит, производ т промывку внутренней поверхности, разборку.This completes the first cycle and the process of forming a single cutting layer. Then five more similar cycles are performed to obtain the required layer height. Next, the tank is stopped, the electrolyte is drained, the inner surface is washed, disassembled.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula 40 Способ изготовлени  абразивного инструмента , при котором заготовку в виде диска помещают в емкость с электролитом и абразивом, привод т во вращение в вертикальной плоскости и осуществл ют закреп3540 A method of manufacturing an abrasive tool, in which a disk-shaped workpiece is placed in a container with electrolyte and abrasive, is rotated in a vertical plane and clamped. при угловой скорости, определ емой дл  . ление и заращивание абразива на бокоэтапов процесса соответственно из соотношений ( и (й(0,8-0,5)T/g/, где г - радиус покрываемой абразивом поверхности , g - ускорение свободного падени . По окончании закреплени  зерен абразивых поверхност х заготовки, отличающийс  тем, что, с целью улучщени  эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка, при закреплении абразивных зерен заготовку врава производ т заращивание абразива на бо- 50 Щзют в горизонтальной плоскости, причем ковых поверхност х заготовки. Оно осущест- врем  закреплени  .абразива в этом половл етс  при вертикальном расположении заготовок, дл  чего емкость устанавливаетс  так, что плоскость ее вращени  также вертикальна. Процесс заращивани  происходит при уменьшенной угловой ско- 55 ружности покрываемой поверхности; g рости вращени  емкости (0,1-0,36)(й.ускорение свободного падени .at an angular velocity determined by dl. The abrasive is boosted to the side steps of the process, respectively, from the ratios (and (th (0.8-0.5) T / g /, where g is the radius of the surface covered by the abrasive, g is the acceleration of free fall. When the grains of the abrasive surfaces are fixed, characterized in that, in order to improve the performance of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot, while securing the abrasive grains, the workpiece grows the abrasive on the side of the workpiece. the time of fixing the abrasive in this half is when the workpieces are vertically arranged, for which the capacity is set so that its plane of rotation is also vertical. The overgrowing process takes place with a reduced angular velocity of the surface to be coated; 0.36) (y. Acceleration of free fall. жении заготовки выбирают равным 0,85 0,9 всего времени закреплени , а углов скорость вращени  заготовки выбирают р ной (0,8-0,5)- /Я/ где г - радиус In this case, the preform is chosen to be equal to 0.85–0.9 of the entire fixing time, and the angles, the rotational speed of the preform is chosen to be (0.8–0.5) - / I / В течение времени первого этапа процесса закреплени  зерен абразива происходит отбрасывание зерен к периферии емкости к внутренним кромкам заготовок. После поворота емкости зерна абразива оседают под действием силы т жести на поверхности заготовок, «открытые кверху и образуют различные концентрации абразива на боковых поверхност х каждой заготовки. По предлагаемому способу производ т изготовление круга с внутренней режущей кромкой АКВР 422X152X0,3 при следующих параметрах процессов.During the time of the first stage of the process of fixing the abrasive grains, the grains are dropped to the periphery of the container to the inner edges of the blanks. After rotation of the container, the abrasive grains are deposited under the force of gravity on the surface of the blanks, open upward and form different concentrations of abrasive on the side surfaces of each blank. According to the proposed method, a circle with an inner cutting edge AKBP 422X152X0.3 is manufactured with the following process parameters. Требуемый ток подают из расчета 1,0- 2,0 A/дм покрываемой поверхности. ПослеThe required current is supplied at a rate of 1.0-2.0 A / dm of the surface to be coated. After поворота емкости до горизонтального распо- ложени  ее оси привод т ее во враще- ние со скоростью 40 об/мин. За 2 мин такого вращени  обеспечиваетс  требуемое перемешивание абразивных зерен в электролите . Затем начинают операцию прикрепле- 0 и  зерен абразива: скорость вращени  по- степенно увеличиваетс  до 130 об/мин, удер5 rotating the container to the horizontal position of its axis causes it to rotate at a speed of 40 rpm. After 2 minutes of such rotation, the required mixing of the abrasive grains in the electrolyte is provided. Then, the operation of the attachment and abrasive grains is started: the rotational speed gradually increases to 130 rpm, п P живают ее в течение 55-60 с, плавно (за 10-15 с) поворачивают емкость в вертикальное положение ее оси и по окончании поворота уменьшают скорость вращени  до 75-80 об/мин. По истечении 10 мин с момента начала операции прикреплени  емкость поворачивают в положение горизонтального расположени  оси, уменьшают скорость вращени  до 40 об/мин и в течение 60 мин в этом режиме заращивают прикрепленные зерна.live it for 55-60 s, smoothly (for 10-15 s) rotate the tank to the vertical position of its axis and at the end of the turn reduce the rotation speed to 75-80 rpm. After 10 minutes from the start of the attachment operation, the tank is turned to the horizontal position of the axis, the rotational speed is reduced to 40 rpm and the attached grains are overgrown in this mode for 60 minutes. Этим заканчивают первый цикл и процесс образовани  одного режущего сло . Затем провод т еще п ть подобных циклов дл  получени  необходимой высоты сло . Далее емкость останавливают, сливают электролит, производ т промывку внутренней поверхности, разборку.This completes the first cycle and the process of forming a single cutting layer. Then five more similar cycles are performed to obtain the required layer height. Next, the tank is stopped, the electrolyte is drained, the inner surface is washed, disassembled. Формула изобретени Invention Formula 5five 40 Способ изготовлени  абразивного инструмента , при котором заготовку в виде диска помещают в емкость с электролитом и абразивом, привод т во вращение в вертикальной плоскости и осуществл ют закреп . ление и заращивание абразива на боколение и заращивание абразива на боковых поверхност х заготовки, отличающийс  тем, что, с целью улучщени  эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка, при закреплении абразивных зерен заготовку враЩзют в горизонтальной плоскости, причем врем  закреплени  .абразива в этом полоружности покрываемой поверхности; g ускорение свободного падени .40 A method of manufacturing an abrasive tool, in which a disk-shaped workpiece is placed in a container with electrolyte and abrasive, is rotated in a vertical plane and secured. abrasive for overgrowth and overgrowing abrasive on the side surfaces of the workpiece, characterized in that, in order to improve the performance characteristics of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot, while fixing the abrasive grains, the workpiece rotates in a horizontal plane, and the time for attaching the abrasive to this is the entire surface to be coated; g acceleration of free fall. жении заготовки выбирают равным 0,85- 0,9 всего времени закреплени , а угловую скорость вращени  заготовки выбирают равной (0,8-0,5)- /Я/ где г - радиус окr/bvTTh - IThe billet is chosen to be equal to 0.85-0.9 of the total clamping time, and the angular velocity of the billet is chosen to be (0.8-0.5) - / I / where r is the radius okr / bvTTh - I
SU864156432A 1986-10-27 1986-10-27 Method of producing abrasive tool SU1390009A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864156432A SU1390009A1 (en) 1986-10-27 1986-10-27 Method of producing abrasive tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864156432A SU1390009A1 (en) 1986-10-27 1986-10-27 Method of producing abrasive tool

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1390009A1 true SU1390009A1 (en) 1988-04-23

Family

ID=21271008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864156432A SU1390009A1 (en) 1986-10-27 1986-10-27 Method of producing abrasive tool

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1390009A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1004086, кл. В 24 D 17/00, 1981. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2662407C (en) Coating removal installation and method of operating it
US4773951A (en) Method of manufacturing wafers of semiconductor material
CN113532476B (en) Ion beam trimming device and method for unbalanced mass of cylindrical harmonic oscillator
JP3992168B2 (en) Electrodeposition blade manufacturing method
SU1390009A1 (en) Method of producing abrasive tool
US3912544A (en) Methods for mounting battery plates
JP2002028921A (en) Method for manufacturing polycrystalline silicon rod
CN105127065B (en) PVD coating is with dress sword anchor clamps
JPH0570288A (en) Method and appartatus for producing compound semiconductor single crystal
US5728221A (en) Apparatus for forming fluorescent layer for black-and-white CRT
JP4541791B2 (en) Manufacturing method of cutting wheel
JPS59157281A (en) Sputtering device
CN218893734U (en) Workpiece rotating mechanism of vacuum coating machine
CN117654989A (en) CMP diamond disc cleaning device
CN217276678U (en) Balancing machine with material removing function
JPS58123730A (en) Semiconductor wafer etching device
JP2000256865A (en) Electroless plating method and apparatus therefor
SU1454662A1 (en) Method of vibration working of parts
SU1442384A1 (en) Method of producing cut-off wheels
SU1004086A1 (en) Abrasive tool production method
JPS5922117Y2 (en) Sample holding device for chemical etching
US5503103A (en) Method and apparatus for producing crystalline layers
JPH0679761B2 (en) Dip soldering method for semiconductor wafer
JPS5848051Y2 (en) Boiling pot inner surface polishing device
SU368969A1 (en) METHOD OF MANUFACTURING ELECTRIC ABRASIVE CIRCLES