SU1390009A1 - Method of producing abrasive tool - Google Patents
Method of producing abrasive tool Download PDFInfo
- Publication number
- SU1390009A1 SU1390009A1 SU864156432A SU4156432A SU1390009A1 SU 1390009 A1 SU1390009 A1 SU 1390009A1 SU 864156432 A SU864156432 A SU 864156432A SU 4156432 A SU4156432 A SU 4156432A SU 1390009 A1 SU1390009 A1 SU 1390009A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- abrasive
- grains
- workpiece
- container
- abrasive grains
- Prior art date
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к изготовлению алмазных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых дл резки полупроводниковых кристаллов на пластины. Целью изобретени вл етс улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка. Изготовление алмазных кругов производ т в емкости с электролитом и абразивными зернами путем закреплени зерен на боковых поверхност х заготовки и последующего зара- щивани . Процесс закреплени осуществл ют в два этапа. На первом этапе заготовки расположены вертикально, на втором - горизонтально. Процесс заращивани ведут при вертикальном расположении заготовок . Врем обработки заготовки на втором этапе процесса закреплени зерен абразива составл ет 0,85-0,9 всего времени закреплени , а углова скорость вращени заготовки равна (0,8-0,5) Vi7 - - радиус окружности покрываемой поверхности , g - ускорение свободного падени . 1 ил. SThe invention relates to the manufacture of diamond wheels with an inner cutting edge used to cut semiconductor crystals into wafers. The aim of the invention is to improve the performance characteristics of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot. Diamond wheels are manufactured in a tank with electrolyte and abrasive grains by fixing the grains on the side surfaces of the workpiece and subsequent protection. The consolidation process is carried out in two stages. At the first stage, the blanks are arranged vertically, at the second - horizontally. The process of growing is carried out with a vertical arrangement of the blanks. The processing time of the workpiece at the second stage of the process of fixing the abrasive grains is 0.85–0.9 of the total holding time, and the angular rotational speed of the workpiece is (0.8–0.5) Vi7 - is the radius of the circumference of the surface to be coated, g is the acceleration of free fall. 1 il. S
Description
соwith
соwith
Изобретение относитс к изготовлению алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых дл резки полупроводниковых кристаллов на пластины.The invention relates to the manufacture of diamond cutting wheels with an inner cutting edge used to cut semiconductor crystals into wafers.
Цель изобретени - улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка.The purpose of the invention is to improve the performance characteristics of the cutting wheel when cutting thin plates from the ingot.
На чертеже изображено устройство дл нанесени абразивных зерен на поверхность круга.The drawing shows a device for applying abrasive grains to the surface of a circle.
Емкость, в которой наноситс абразив на Ю заготовку в виде диска с внутренней режущей кромкой, представл ет собой пространство 1, образуемое дном 2, крышкой 3 и поверхност ми внутренних отверстийThe container in which the abrasive is applied to the billet in the form of a disk with an inner cutting edge is the space 1 formed by the bottom 2, the cover 3 and the surfaces of the inner holes
В течение времени первого этапа процесса закреплени зерен абразива происходит отбрасывание зерен к периферии емкости к внутренним кромкам заготовок. г После поворота емкости зерна абразива оседают под действием силы т жести на поверхности заготовок, «открытые кверху и образуют различные концентрации абразива на боковых поверхност х каждой заготовки. По предлагаемому способу производ т изготовление круга с внутренней режущей кромкой АКВР 422X152X0,3 при следующих параметрах процессов.During the time of the first stage of the process of fixing the abrasive grains, the grains are dropped to the periphery of the container to the inner edges of the blanks. After turning the container, the abrasive grains are deposited under the force of gravity on the surface of the blanks, open upwards and form different concentrations of abrasive on the side surfaces of each blank. According to the proposed method, a circle with an inner cutting edge AKBP 422X152X0.3 is manufactured with the following process parameters.
Требуемый ток подают из расчета 1,0- 2,0 A/дм покрываемой поверхности. ПослеThe required current is supplied at a rate of 1.0-2.0 A / dm of the surface to be coated. After
изол торов 4, между которыми зажаты заго-. поворота емкости до горизонтального распо- товки 5. Диаметр внутреннего отверсти ложени ее оси привод т ее во враще- заготовки меньше диаметра внутреннего от-ние со скоростью 40 об/мин. За 2 мин версти изол тора. Свободные от изол то-такого вращени обеспечиваетс требуемое ров части заготовок наход тс в полостиперемешивание абразивных зерен в электроемкости и контактируют с электролитомлите. Затем начинают операцию прикрепле- и абразивными зернами. Электрическое на-20 и зерен абразива: скорость вращени по- пр жение при работе установки подаетс кстепенно увеличиваетс до 130 об/мин, удеркорпусам кругов и к аноду 6. Емкость смонтирована с возможностью поворота из вертикального положени плоскости ее вращени в горизонтальное.insulators 4, between which are clamped. rotation of the container to the horizontal alignment 5. The diameter of the inner hole of its axis leads it into the rotation of the workpiece less than the diameter of the internal opening at a speed of 40 rpm. 2 minutes versti isolator Free from isolation of such rotation, the required ditch of the part of the blanks is provided in the cavity of mixing the abrasive grains in electrical capacity and is in contact with the electrolyte. Then, the operation begins with attachment and abrasive grains. Electric on-20 and abrasive grains: the rotational speed, when the unit is operated, is gradually increased to 130 rpm, to the bells of the circles and to the anode 6. The tank is mounted so that it can be rotated from the vertical position of the plane of its rotation to the horizontal.
2525
живают ее в течение 55-60 с, плавно (за 10-15 с) поворачивают емкость в вертикальное положение ее оси и по окончании поворота уменьшают скорость вращени до 75-80 об/мин. По истечении 10 мин с момента начала операции прикреплени емкость поворачивают в положение горизонтального расположени оси, уменьшают скорость вращени до 40 об/мин и в течение 60 мин в этом режиме заращивают прикрепленные зерна.live it for 55-60 s, smoothly (for 10-15 s) rotate the tank to the vertical position of its axis and at the end of the turn reduce the rotation speed to 75-80 rpm. After 10 minutes from the start of the attachment operation, the tank is turned to the horizontal position of the axis, the rotational speed is reduced to 40 rpm and the attached grains are overgrown in this mode for 60 minutes.
При вертикальном положении оси емкости провод т обычные дл нержавеющей стали подготовительные операции: обезжиривание , травление, активирование. Затем в емкость засыпают абразивные зерна, зали- вают электролит, закрывают емкость крышкой 3, подают требуемый ток и поворачивают емкость так, что плоскость заготовок находитс в вертикальном положении.In the vertical position, the axes of the vessel are carried out with the usual preparatory operations for stainless steel: degreasing, pickling, activating. Then, abrasive grains are poured into the container, the electrolyte is poured in, the container is closed with a lid 3, the required current is supplied and the container is turned so that the plane of the blanks is in a vertical position.
Далее осуществл ют процесс закреплени зерен абразива в два этапа. На первом этапе закрепление происходит при вращении емкости в вертикальной плоскости в течение 0,1-0,15 всего времени, необходимого дл закреплени абразивных зерен на боковые поверхности заготовок, на втором - при вращении емкости в горизонтальной плоскости, когда заготовки также расположены горизонтально. Процесс закреплени зерен абразива производ тNext, the process of securing the abrasive grains is carried out in two stages. At the first stage, the fastening occurs when the container is rotated in a vertical plane for 0.1-0.15 of the total time required for securing the abrasive grains on the side surfaces of the workpieces, at the second - when the container is rotated in a horizontal plane, when the blanks are also arranged horizontally. The process of fastening the abrasive grains is done
Этим заканчивают первый цикл и процесс образовани одного режущего сло . Затем провод т еще п ть подобных циклов дл получени необходимой высоты сло . Далее емкость останавливают, сливают электролит, производ т промывку внутренней поверхности, разборку.This completes the first cycle and the process of forming a single cutting layer. Then five more similar cycles are performed to obtain the required layer height. Next, the tank is stopped, the electrolyte is drained, the inner surface is washed, disassembled.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864156432A SU1390009A1 (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Method of producing abrasive tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864156432A SU1390009A1 (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Method of producing abrasive tool |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1390009A1 true SU1390009A1 (en) | 1988-04-23 |
Family
ID=21271008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864156432A SU1390009A1 (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Method of producing abrasive tool |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1390009A1 (en) |
-
1986
- 1986-10-27 SU SU864156432A patent/SU1390009A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1004086, кл. В 24 D 17/00, 1981. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2662407C (en) | Coating removal installation and method of operating it | |
US4773951A (en) | Method of manufacturing wafers of semiconductor material | |
CN113532476B (en) | Ion beam trimming device and method for unbalanced mass of cylindrical harmonic oscillator | |
JP3992168B2 (en) | Electrodeposition blade manufacturing method | |
SU1390009A1 (en) | Method of producing abrasive tool | |
US3912544A (en) | Methods for mounting battery plates | |
JP2002028921A (en) | Method for manufacturing polycrystalline silicon rod | |
CN105127065B (en) | PVD coating is with dress sword anchor clamps | |
JPH0570288A (en) | Method and appartatus for producing compound semiconductor single crystal | |
US5728221A (en) | Apparatus for forming fluorescent layer for black-and-white CRT | |
JP4541791B2 (en) | Manufacturing method of cutting wheel | |
JPS59157281A (en) | Sputtering device | |
CN218893734U (en) | Workpiece rotating mechanism of vacuum coating machine | |
CN117654989A (en) | CMP diamond disc cleaning device | |
CN217276678U (en) | Balancing machine with material removing function | |
JPS58123730A (en) | Semiconductor wafer etching device | |
JP2000256865A (en) | Electroless plating method and apparatus therefor | |
SU1454662A1 (en) | Method of vibration working of parts | |
SU1442384A1 (en) | Method of producing cut-off wheels | |
SU1004086A1 (en) | Abrasive tool production method | |
JPS5922117Y2 (en) | Sample holding device for chemical etching | |
US5503103A (en) | Method and apparatus for producing crystalline layers | |
JPH0679761B2 (en) | Dip soldering method for semiconductor wafer | |
JPS5848051Y2 (en) | Boiling pot inner surface polishing device | |
SU368969A1 (en) | METHOD OF MANUFACTURING ELECTRIC ABRASIVE CIRCLES |