SU1151060A1 - Coordinate measuring machine - Google Patents
Coordinate measuring machine Download PDFInfo
- Publication number
- SU1151060A1 SU1151060A1 SU843696951A SU3696951A SU1151060A1 SU 1151060 A1 SU1151060 A1 SU 1151060A1 SU 843696951 A SU843696951 A SU 843696951A SU 3696951 A SU3696951 A SU 3696951A SU 1151060 A1 SU1151060 A1 SU 1151060A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- portal
- bearings
- aerostatic
- coordinate measuring
- base
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Lenses (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
Изобретение относитс к устройствам дл линейно-угловых измерений, а именно к координатным измерительным машинам, предназначенным дл измерени сложных деталей типа корпусов, штампов, лопаток турбин и тому подобных объектов в машиностроении.The invention relates to devices for linear-angular measurements, namely, coordinate measuring machines for measuring complex parts such as housings, dies, turbine blades and the like in mechanical engineering.
Известны координатные измерительные машины,. содержащие основание, подвижные на аэростатических подшипниках по координатным ос м узлы, несшие ош,упывающую систему, и регул торы расхода воздуха через аэростатические подшипники, управл емые по прогибам узлов, несущих ощупывак цую .систему.Known coordinate measuring machines ,. containing the base, moving on aerostatic bearings along axial axles, units that carried osh, the floating system, and air flow regulators through aerostatic bearings, which are controlled along the deflections of nodes that carry the system.
Однако эти машины сложны и не обепечивают необходимой точности из-за сравнительно больших зазоров в подшипниках .However, these machines are complex and do not provide the necessary accuracy due to the relatively large gaps in the bearings.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс координатна измерительна машина, содержаща основание портал с ощупывающей головкой и опорами на основании , оснащенными аэростатическими подшипниками. Closest to the invention, in technical terms, is a coordinate measuring machine, comprising a portal base with a groping head and supports on the base, equipped with aerostatic bearings.
Осадка подшипников портала компенсируетс изменением рассто ни между его аэростатическими подшипниками в одном конце портала, прикрепленными к стойкам, установленным под углом между собой и под углом.к направл юшлм основани . Рассто ние между подшипниками мен етс посредством механического регулировочного устройства , кинематически св занного с кареткой , несущей ощупьюающую головку.The draft of the portal bearings is compensated for by changing the distance between its aerostatic bearings at one end of the portal, attached to the uprights mounted at an angle between themselves and at an angle to the bottom of the base. The distance between the bearings is varied by means of a mechanical adjusting device, kinematically connected with the carriage carrying the grope head.
Существенным недостатком известной машины вл етс невысока точность из-за механического воздействи на каретку со стороны регулировочного устройства и некомпенсируемой осадки портала под действием сил, не св занных с положением каретки.A significant disadvantage of the known machine is the low accuracy due to the mechanical effect on the carriage from the side of the adjusting device and uncompensated sediment of the portal under the action of forces not associated with the carriage position.
Цель изобретени - повьш1ение точности измерени . .The purpose of the invention is to increase the measurement accuracy. .
Эта цель достигаетс тем, что в координатной измерительной машине, содержащей основание, портал с ощупывающей головкой и опорами на основании , оснащенными аэростатическими подшипниками, между опорами и аэростатическими подашпниками установлены герметичные проставки в виде кольцевых элементов, а подости проставок сообщаютс с аэростатическими подшип510602This goal is achieved by the fact that in a coordinate measuring machine containing a base, a portal with a groping head and supports on the base, equipped with aerostatic bearings, between the supports and aerostatic bearings, tight spacers in the form of ring elements are installed, and the legs of the spacers communicate with the aerostatic bearings510602
никами и через дроссели с источником сжатого воздуха.through chokes with a source of compressed air.
Устройство координатной измерительной машины по сн етс чертежами. 5 На фиг. 1 изображена координатна измерительна машина, общий вид; на фиг. 2 - сечение:А-А на фиг. 1 аэростатического подаипника и опоры портала , в исполнении жесткого соедине0 НИН последней с порталом; на фиг. 3 .сечение А-А на фиг. 1 аэростатичес- кого подшипника и опоры портала, в исполнении шарнирного соединени последней с порталом; на фиг. 4 - графики изменени рабочего зазора аэростатического подшипника (а) и рассто ни опоры портала от направл ющей (б, в) при увеличении нагрузки на них. . .The device of the coordinate measuring machine is shown in the drawings. 5 In FIG. 1 shows the coordinate measuring machine, general view; in fig. 2 - section: A-A in FIG. 1 aerostatic distributor and support of the portal, performed by the rigid connection of the NIN of the latter with the portal; in fig. 3 .A-A section in FIG. 1 aerostatic bearing and support of the portal, performed by the hinge joint of the latter with the portal; in fig. 4 - graphs of the change in the working gap of the aerostatic bearing (a) and the distance of the portal support from the guide (b, c) with increasing load on them. . .
0 Координатна измерительна машина содержит основание 1, портал 2, подвижную по порталу каретку 3 с ощупывающей головкой 4, опоры 5 портала 2 на основании, которые соединены с0 Coordinate measuring machine contains a base 1, a portal 2, a carriage 3 moving along a portal, with a groping head 4, supports 5 of a portal 2 on the base, which are connected to
5 аэростатически: подшипниками 6 через герметичные проставки - упругие кольцевые элементы 7 и могут быть выполнены как одно целое с аэростатическими подшипниками . или опорами5 aerostatically: bearings 6 through sealed spacers are elastic ring elements 7 and can be made in one piece with aerostatic bearings. or supports
Q портала. Таким образом, опорными поверхност ми 8 и 9 опоры портала и аэростатического подшипника и кольцевым упругим элементом 7 образована закрыта полость 10, котора сообщаетс через отверсти 11 с отверсти 5 ми 12 аэростатического подш51пника 6, а через дроссель 13 и трубку 14 с источником сжатого воздуха. Опора 5 с порталом 2 может быть соединена с помощью шарнира 15. Площадь опорной поверхности 8 больше площади торцовой поверхности 16 подшипника.Q portal. Thus, the bearing surfaces 8 and 9 of the support of the portal and aerostatic bearing and the annular elastic element 7 form a closed cavity 10, which communicates through the holes 11 with the holes 5 of the aerostatic headlight 6 and through the choke 13 and the tube 14 with a source of compressed air. Bearing 5 with the portal 2 can be connected using a hinge 15. The area of the support surface 8 is larger than the area of the end surface 16 of the bearing.
Сжатый воздух через трубку 14 и дроссель 13 поступает в полость 10, создава зазор- Hj величиной 0,005 . 0,01 мм, что определ етс жесткостью элемента 7. Из полости 10 воздух через отверсти П и 12 попадает в зазор Hg между подшипником 6 и основанием 1. Величина-зазора Hg составл ет 0,003-0,006 мм.Compressed air through the tube 14 and the choke 13 enters the cavity 10, creating a gap-Hj value of 0.005. 0.01 mm, which is determined by the stiffness of the element 7. From the cavity 10, the air through the holes P and 12 enters the gap Hg between the bearing 6 and the base 1. The gap value Hg is 0.003-0.006 mm.
Следовательно, портал поднимаетс вверх на величину Н Н;| + Н. Т жесть портала принимают, по меньшей мере, .три аэростатических подшипника. Портал на аэростатических подшипниках по направл ющим основани пере- .мещаетс по горизонтальной оси X.Consequently, the portal rises by an amount HH; | + N. T tin of the portal accept, at least. Three aerostatic bearings. The portal, on aerostatic bearings, moves along the base rails on the horizontal axis X.
На направл ющих портала по горизонтальной оси У перемещаетс каретка 3. В корпусе каретки по вертикальной оси Z перемещаетс ощупывающа головка 4. .On the portal guides, the carriage 3 moves along the horizontal axis Y. In the carriage body along the vertical axis Z, the feeling head 4 moves.
В процессе измерени , перемеща сь по порталу, каретка 3 мен ет нагрузку на портал и его аэростатические подшипни1 и 6, что отражаетс на величинах зазоров Н и Н.In the process of measurement, moving around the portal, the carriage 3 changes the load on the portal and its aerostatic bearings 1 and 6, which is reflected in the values of the gaps H and N.
С увеличением нагрузки на подшипник зазор Hg уменьшаетс согласно кривой, увеличива давление в полости 10 увеличиваетс и зазор Н, а сумма Н зазоров согласно кривой (б) в ripeделах рабочей зоны не мен етс (см. фиг. 4).With increasing load on the bearing, the gap Hg decreases according to the curve, increasing the pressure in cavity 10 increases and the gap H, and the sum H of the gaps according to curve (b) in the ripe parts of the working area does not change (see Fig. 4).
Компенсирующее действие герметичной пррставки, завис щее от жесткостиThe compensating effect of the pressurized installation, depending on the stiffness
кольцевого элемента,,подбираетс в каждой уже изготовленной опоре при настроечных- испытани х координатной измерительной машины силированием или обтачиванием кольцевого элемента 7. При этом также могут быть учтены деформации портала. В этом случае добиваютс увеличени суммы зазоров при увеличении нагрузки на опору согласно кривой (в). Таким образом, введение упругих кольцевых элементов между опорами и аэростатическими подшипниками и св зь их с источникомсжатого воздуха с одной стороны и с аэростатическими подшипниками с другой обеспечивают компенсацию деформаций портала и изменени зазоров между подшипниками и основанием и тем самым повышают точность измерени .the annular element, is selected in each already made support during adjustment tests of the coordinate measuring machine by siliconizing or turning the annular element 7. In this case, the portal deformations can also be taken into account. In this case, an increase in the amount of gaps is achieved by increasing the load on the support according to curve (c). Thus, the introduction of elastic annular elements between bearings and aerostatic bearings and their connection with a source of compressed air on one side and with aerostatic bearings on the other provide compensation for portal deformations and changes in the gaps between the bearings and the base and thereby increase the accuracy of measurement.
Л-АLA
8eight
1212
Фиг.11
- / лл/ууух хххххх - / ll / uuuh xxxxxxx
иг.Зig.Z
Claims (1)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843696951A SU1151060A1 (en) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | Coordinate measuring machine |
DD26552484A DD258544A3 (en) | 1984-02-13 | 1984-07-23 | COORDINATE MEASURING MACHINE |
DE19843441426 DE3441426A1 (en) | 1984-02-13 | 1984-11-13 | Coordinate measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843696951A SU1151060A1 (en) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | Coordinate measuring machine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1151060A1 true SU1151060A1 (en) | 1985-11-23 |
Family
ID=21102156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843696951A SU1151060A1 (en) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | Coordinate measuring machine |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD258544A3 (en) |
DE (1) | DE3441426A1 (en) |
SU (1) | SU1151060A1 (en) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6435310A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Mitutoyo Corp | Multidimensional measuring machine |
FR2620223B1 (en) * | 1987-09-09 | 1994-03-25 | Institut Superieur Etat Surface | METHOD FOR SLIDING A MOBILE MEDIUM ON A REFERENCE SURFACE AND ASSOCIATED DEVICE |
DE4125802A1 (en) * | 1991-08-03 | 1993-02-04 | Zeiss Carl Fa | GAS PRESSURE BEARING |
KR100368075B1 (en) | 2000-02-07 | 2003-01-15 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe |
DE10120553A1 (en) | 2001-04-26 | 2002-10-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Storage for a coordinate measuring machine in particular |
DE102010006297A1 (en) | 2010-01-21 | 2011-07-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Machine and method for operating a machine |
CN102128206B (en) * | 2011-03-15 | 2013-02-06 | 中国科学院光电技术研究所 | Air static pressure thrust bearing |
WO2013110337A1 (en) | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Machine having an improved preloaded fluid bearing |
DE102013200595B4 (en) | 2013-01-16 | 2019-09-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Controlling an operation of a coordinate measuring machine or machine tool with a moving part |
DE102014212748A1 (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Bearing assembly for a linear fluid bearing guide of a coordinate measuring machine and coordinate measuring machine |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1509709A (en) * | 1974-10-08 | 1978-05-04 | Agfa Gevaert | Fluid bearing assembly |
GB2099151B (en) * | 1981-02-14 | 1985-09-04 | Lk Tool Co Ltd | Measuring machine |
DE3121373A1 (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-23 | C. Stiefelmayer Kg, 7300 Esslingen | Device for, in particular, three-dimensional measurement and/or marking out and/or scanning of workpieces |
-
1984
- 1984-02-13 SU SU843696951A patent/SU1151060A1/en active
- 1984-07-23 DD DD26552484A patent/DD258544A3/en not_active IP Right Cessation
- 1984-11-13 DE DE19843441426 patent/DE3441426A1/en active Granted
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 518161, кл. G 01 В 5/02, 1972. Патент GB № 2099151 кл. G 01 В 5/03, 1982. (Л СП о а (54)С57) КООРДИНАТНАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ МАШИНА, содержаща основание, портал с ощупывающей головкой и опорами на основании, оснащенными аэростатическими подшипниками, отличающа с тем,,что, с целью повы- щени точности измерени , между опорами и аэростатическими подшипниками установлены герметичные проставки в виде упругих кольцевых элементов, а полости проставок сообщаютс с аэростатическими подшипниками и через дроссели с источником сжатого воздуха. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3441426A1 (en) | 1985-08-14 |
DE3441426C2 (en) | 1992-12-03 |
DD258544A3 (en) | 1988-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1151060A1 (en) | Coordinate measuring machine | |
US3639993A (en) | Improvements relating to machines and apparatus having a support for guiding a movable member | |
CA1280888C (en) | Coordinate measuring machine | |
US3679272A (en) | Automatic alignment bearings for guiding in translational or rotational motion | |
US3231319A (en) | Precision slide | |
US4652148A (en) | Guide system | |
EP0027060A1 (en) | Coordinate measuring machine | |
US5715888A (en) | Ingot mould for continuous casting | |
ES8301766A1 (en) | Press drive. | |
US4525930A (en) | Apparatus for carrying machine elements | |
GB2080954A (en) | Attaching a measuring table to the base frame of a coordinate measuring machine | |
US4564300A (en) | Bearing support stand | |
US6186480B1 (en) | Triaxial positioning actuator and control methods using same | |
GB2053127A (en) | Motion compensating system | |
SU658406A1 (en) | Linear dimension measuring arrangement | |
KR890005086B1 (en) | Compound damper system | |
US3190007A (en) | Extensometer | |
SU684282A1 (en) | Coordinate-type measuring machine | |
RU1787096C (en) | Coordinate table | |
DE3503007A1 (en) | Method for measuring geometrical variables and device for carrying out the method | |
GB1186031A (en) | Improvements relating to Machines having a Support for Guiding a Movable Member along a Path with Precision | |
SU1014679A1 (en) | Apparatus for automatic compensation of force deformations of precision machine frame | |
CN106514704A (en) | High-precision rear sliding block device of double-section long telescopic cantilever | |
CN220533252U (en) | Cornea shaping mirror processing machine tool | |
JPS5486043A (en) | Moving object static pressure guide mechanism |