SU1128111A1 - Интерференционное устройство дл контрол рельефа - Google Patents

Abstract

ИНТЁРФЕРЕН1ЩОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ РЕЛЬЕФА поверхностей, содержащее источник света,Д1 ухлуче вой интерферометр и регистриру пиЙ узел, о т л и ч а ю щ ее с   тем, что, с целью расвофеии  диапазона контролируеьшх поверхностей, источник света выполнен двухчастотНИ4 , а устройство снабжено оптическим смесителем частот и фильтром, выдел ющим суммарную частоту излучени , источника света, последовательно установленными на выходе интерферометра . fr

Description

1 .. Изобретение относитс  к измерите ной технике и может быть использова но в различных област х машипо- и приборостроени  дл  получени  графических карт рельефа шероховатых поверхностей, а также дл  непо средственного сравнени  поверхносте контролируемого и эталонного объектов . Известны голографическиз устройства дл  получени  контуров рельефа поверхностей, например двухчастотное устройство, иммерсионное устройство со смеще1 ными источниками lj . Однако эти устройства не дают возможности непосредственно сравнивать данную поверхность с эталонной . Кроме того, голографические устройства  вл ютс  двухэкспозицион шлми и двухступенчатыми (требуют сначала получени , голограммы двойным экспонированием, а затем восста новлени  волнового фронта). Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемым результатам  вл етс  интерференционное устройство дл  контрол  рельефа поверхностей, содержащее источник света, двухлучевой интер ,ферометр и регистрируюпщй у.зел. Устройство широко используетс  дл  непосредственного сравнени  формы полированных оптических поверхносте с эталонной поверхностью Г2. Недостаток известного устройства заключаетс  в невозможности сравнен шероховатых поверхностей, элементы микроструктуры которых превышают по своим размерам Д /2, где 9 длина волны излучени  источника све Цель изобретени  - расширение диапазона контролируемых поверхност путем обеспечени  возможности сравн ни  рельефа указанных шероховатых поверхностей при регистрации в види мой и ближней ультрафиолетовой обла т х спектра. Поставленра  цель достигаетс  тем, что в интерференционном устро стне дл  контрол  рельефа поверхно тей, содержащем источник света, дв лучевой интерферометр и регистрирую щий узел, источник света выполнен |Двухчастотным, а устройство снабже оптическим смесителем частот и фил :poMj выдел ющим суммарную частоту излучени  источника света, последо вательно установленными на выходе.интерферометра . На чертеже представлена оптическа  схема интерфергенционного устройства дл  контрол  рельефа. Устройство содержит источник 1 света (один двухчастотный или два раздапьных лазера), излучающий на двух частотах i и )2 и освещающий двухлучевой интерферометр 2 со светоделителем , например светоделитепьное зеркало 3, в шгечах интерферометра установлены сравниваемые детали 4 и 5, на выходе интерферометра 2 последовательно установлены смеситель 6 частоты, фильтр 7, вьщеп юпдай излучение суммарной частоты получени  источника света, и регистрирующий узел 8. В плечи интерферометра 2 введены также пол ризационные элементы 9 и 10, обеспечивающее взаимно перпендикул рную ориентацию плоскости пол ризации волн в плечах интерферометра 2.. Устройство работает следующим образом . Двухчастотное излучение источника 1 раздел етс  с помощью светоделительного зеркала 3 интерферометра 2 на два пучка и освещает сравниваемые детали А и 5. Световые пучки, отраженные и рассе нные этими детал ми , направл ютс  с помощью зеркала 3 на нелинейный смеситель 6 частоты , в котором осуществл етс  смешение волн разных частот, отраженных от разньк объектов. На выходе смеси-; тел  6, таким образом, излучений с частотами ц и g имеютс  две волны суммарной частоты 5, - , одна из которых lJ(-5) получена при смешении волны U, ,) , отраженной от детали А, с волной и2(9Дотраженной от детали 5, а втора  з(9з) получена при смешении волны tlj (2 отраженной от детали 4, с волной у, () у отраженной от детали 5. Фильтр 7 вьвдел ет излучение с частотой -5j и регистрирующий узел 8, например фотоаппарат или зрительна  труба, сфокусированные на поверхности сравниваемых деталей, регистрируют картину интерференции волн Ь ) и и(-О), Сдвиги полос на интерферограмме при это определ ютс  .разностью фаз itf t,- ср где суэ и фазы волн И,(-00 и и-)() Поскольку

Claims (1)

1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ РЕЛЬЕФА поверхностей, содержащее источник света, двухлучевой интерферометр и регистрирующий узел, от л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширения диапазона контролируешх поверхностей, источник .света выполнен двухчастотни4, а устройство снабжено оптическим смесителем частот и фильтром, выделяющим суммарную частоту излучения, источника света, последовательно установленными на выходе интерферометра.