SE517878C2 - Förfarande och anordning för vibrationsdämpning av metalliska verktyg för spånavskiljande bearbetning samt verktyg innefattande en dylik anordning - Google Patents

Description

30 517 878 2 och placering avstäms härvid för att åstadkomma dämpning av svängningar inom ett visst frekvensområde. Håligheten fylls därefter med en viskös vätska, t ex olja, och pluggas. Emellertid fungerar denna teknik hjälpligt endast i de fall då skaftets över- häng från en fástanordning är ca 4-10 ggr längre än dess diameter. Förutom denna begränsning uppvisar den rent mekaniska dämpningen en uppenbar nackdel såtillvi- da att det frekvensområde inom vilket dämpningen verkar är mycket begränsat. En ytterligare olägenhet utgörs av den hållfasthetsmässiga försvagning som den i skaf- tet utformade håligheten medför.

Inom helt andra teknikområden har påbörjats en utveckling av effektivare, adaptiva dämpningstekniker med utnyttjande av bl. a. piezoelement. Ett piezoelement består av ett material, oftast av keramisk typ, vilket vid kompression eller töjning i en viss riktning - polarisationsriktningen - genererar ett elektriskt fält i denna riktning. Pie- zoelementet har vanligtvis formen av en rektangulär platta med en polarisa- tionsriktning som är parallell med plattans storaxel. Genom att ansluta pi- ezoelementet till en elektrisk krets, innefattande en kontrollmodul, och komprimera eller töja piezoelementet i polarisationsriktningen kommer en elektrisk ström att alstras och flyta i kretsen, varvid i kontrollmodulen ingående elektriskt resistiva komponenter utvecklar värme enligt känd fysik. Härvid omvandlas vibrationsenergi till termisk energi, varigenom en passivt dämpande, men ej utsläckande effekt på vibrationema erhålls. Genom att utforma kontrollmodulen med en lämplig kombi- nation av resistiva och reaktiva komponenter, s.k. shunt, kan till yttennera visso ut- valda frekvenser fås att dämpas särskilt effektivt. Sådana frekvenser är med fördel de s.k. egenfrekvensema för det utsatta föremålets egenmoder, vilka är de som fö- reträdesvis exciteras.

Omvänt kan ett piezoelement komprimeras eller töj as genom att en elektrisk spän- ning läggs över piezoelementet, varvid detta kan nyttjas såsom ett styr- eller manö- verdon (aktuator). Detta kan därvid utnyttjas för aktiv vibrationsbekämpning genom att polariteten hos den pålagda elektriska spänningen väljs på ett sådant sätt att ma- növerdonets mekaniska spänning verkar i motsatt riktning, såsom en yttre, mekanisk spänning, varvid uppkomst av vibrationer undertiycks genom att arman rörelse- 10 15 20 25 30 517 878 3 energi, exempelvis rotationsenergi, förhindras att omvandlas till vibrationsenergi.

Synkroniseringen av den pålagda elektriska spänningen med avseende på den yttre mekaniska spänning vars effekt skall motverkas, sker därvid genom att en feedback- signal från en defonnationskänslig sensor tillförs ett kontrollmedel i fonn av en lo- gisk styrkrets, t ex en programmerbar mikroprocessor, vari signalen bearbetas för att styra den över manöverdonet pålagda elektriska spänningen. Styrningsfunktionen, dvs förhållandet mellan ingående signal från sensom och utgående spänning, kan därvid göras mycket komplex. Exempelvis är ett självlärande system för anpassning till varierande förhållanden tänkbart. Sensom kan utgöras av ett separat, deforma- tionskänsligt don, t ex ett andra piezoelement, eller vara gemensam med manöver- donet.

Exempel på realiserade tillämpningar och aktuella utvecklingsområden för utnytt- jande av piezoelement i vibrationsdämpande syfte, beskrivs i Mechanical Enginee- ring, Nov 1995, s 76-81. Sålunda har skidor för alpin åkning (K2 Four ski, K2 Corp., USA) utrustats med piezoelement i syfte att undertrycka oönskade vibratio- ner, vilka minskar kontakten mot underlaget och därmed reducerar åkarens möjlig- het till stabil och kontrollerad åkning. Vidare omnämns applikationer som ökad vingstabilitet hos flygplan, förbättrad komfort i motorfordon, undertryckning av vib- rationer i helikoptrars rotorblad och -axel, vibrationskontroll av bearbetningsplatt- formar för flexibel tillverkning, och ökad träffprecision hos militära vapen. I fakta- blad från Active Control eXperts (ACX) Inc., USA (tillverkare av piezoelement) omnämns även vibrationskontroll av "snowboards".

Ett förfarande av det inledningsvis beskrivna slaget, liksom en dylik vibrationsdäm- pare, resp en dylik mekanisk struktur är känd genom SE-A-9900441-8.

Denna typ av vibrationsdämpare är ej lämpade för kraftinducerade vibrationer, utan endast för regenerativa, dvs återkopplade vibrationer, vilka t.ex. uppkommer i ett verktyg vid mekanisk bearbetning då en liten störning ger en mekanisk återkoppling i verktyget. En sådan mekanisk återkoppling kan orsaka en tilltagande svängnings- 10 15 20 25 30 517 878 4 rörelse och därmed en ej önskad ojämn yta hos det bearbetade ärrmet och förkortad verktygslivslängd.

I SE-A-9900441-8 anges ej explicit hur därnpningskraften skall anläggas på den mekaniska strukturen. Det hittills kända sättet att släcka ut en svängningsrörelse har dock varit att ge en motkraft i fas med svängningsrörelsen. Detta förfaringssätt fun- gerar bra så länge det handlar om låga frekvenser. Vid högre frekvenser, dvs från ca 500 Hz, är det svårt att applicera en motkraft utan fasfel. Om fasfel uppstår, riskerar man att svängningsrörelsen och dämpningskraften hamnar i obalans och därmed delvis förstärker varandra, vilket i sin tur kan leda till att svängningsrörelsen ej släcks ut i önskad grad. En förutsättning för att en sådan vibrationsdämpning skall fungera är således att den motriktade kraften med stor noggrannhet är i fas med svängníngsrörelsen.

Andra piezoelektriska dämpare fmns beskrivna i SE-A-9803605-6, SE-A-9803606-4, SE-A-9803607-2, US-A-4 849 668, DE-A-199 25 193, EP-A-0 196 502, US-A-5 485 053 och JP-A-63l8040l.

Vid spånavskilj ande bearbetning, såsom svarvning eller borrning, uppstår ej sällan problem med vibrationer, särskilt i de fall vid vilka skafiets eller verktygets längd utanför fástanordningen - så kallat överhäng - är åtminstone 3 ggr större än dess di- ameter. En typ av vibration är böj svängning, varvid skaftet buktas fram och tillbaka och underkastas böj deformationer. Detta fenomen utgör ett vanligt problem exem- pelvis vid svarvning, speciellt invändig svarvning, där skaftet i form av en svarvbom måste vara långt för att nå fram till området i arbetsstycket som skall bearbetas, samtidigt som bommens diameter är begränsad av dimensionen hos det hål i vilket bearbetning sker. Vid sådana bormings-, svarvnings- och fräsningsoperationer, där avståndet till arbetsstycket är stort används förlängare, vilket ofta orsakar böjsväng- ningar som leder icke blott till försämrad måttnoggrannhet och ojämnheter i arbets- stycket, utan även till minskad livslängd hos verktyget och dennas skär eller bear- betningselement. 10 15 20 25 30 517 878 5 SAMMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Ändamålet med föreliggande uppfinning är förbättra styrningen av ett vibrations- dämpande organet för mekaniska strukturer med regenerativ svängningsrörelse.

Detta har uppnåtts genom ett förfarande resp en vibrationsdämpare enligt det inled- ningsvis beskrivna slaget, varvid styrorganet är inrättat att generera en dämpnings- kraft motriktad verktygets hastighet. Detta innebär att dämpningskraften ger struktu- ren en deformation motriktad verktygets rörelsehastighet.

Härigenom erhålls en dämpning av den regenerativa rörelsen utan att riskera att svängningarna hamnar i obalans och dänned matar mer energi i svängningsrörel- sen, utan större krav på noggrannhet, vad beträffar fastörskjutningen hos den på- lagda dämpningskraiten, dvs dämpningslcraflen ska konstant hålla emot hastigheten och fór ernående av maximal dämpeffekt anläggs en maximal dämpkraft hela tiden.

Det är dock av mindre vikt med maximal kraft vid svängningsrörelsens ändpunkter, eftersom hastigheten där är låg. Det är således viktigt att dämpeffekten är högre än tillskottet från skärprocessen så att den regenerativa svängningen dämpas ut och ett lugnt skäriörlopp erhålles medelst den mekaniska strukturen, t.ex. ett svarvskaft el- ler en svarvbom.

Företrädesvis är styrorganet inrättat att pålägga dämpningskmften fastörskjuten 60° l20° altemativt 240°- 300° relativt svängningsrörelsen. Lämpligtvis är styrorganet inrättat att pålägga dämpningskraften fasfórskjuten 70°-l l0° altemativt 250°- 290° relativt svängningsrörelsen. Företrädesvis är styrorganet inrättat att pålägga dämp- ningskraften fasfórskjuten 80°-l0O° alternativt 260° - 280° relativt svängningsrörel- sen. Härigenom erhålls en snabbare utsläckning av svängningsrörelsen. Bäst resultat uppnås då styrorganet är inrättat att pålägga dämpningslcraften fastörskjuten 90° al- temativt 270° relativt svängningsrörelsen.

Företrädesvis är styrorganet inrättat att påverka nämnda vibrationsdämpande organ så att den avger en kraft, som är motriktad nämnda svängningsrörelses hastighet. En 10 15 20 25 30 517 878 6 medriktad kraft skall ges då den pålägges fasfiårskjuten mellan 60° och 120° relativt svängningsrörelsen, medan en motriktad kraft skall påläggas fasfórskjuten mellan 240° och 300° relativt svängningsrörelsen.

Företrädesvis är styrorganet inrättat att ge en dämpningskraft i området 50 - 1 500 Hz.

Lämpligtvis innefattas i det vibrationsdämpande organet åtminstone ett piezoelekt- riskt element. Alternativt kan det vibrationsdämpande organet vara en hydraulisk eller pneumatisk cylinder eller ett elektromagnetiskt organ.

Företrädesvis innefattar nämnda mekanisk struktur ett verktyg fór spånavskilj ande bearbetning.

FIGURSAMMANDRAG I det följande kommer uppfinningen att beskrivas närmare med referens till bifogade ritningar, i vilka Figur 1 är en schematisk sidovy av en långsmal kropp i form av ett verktygsskaft under böjdeformation vid svängning (1 :a resonansfrekvens), Figur 2 är en graf visande böjmomentet i kroppen, Figur 3 en sidovy av ett skuret ändparti av kroppen i anslutning till en infästnings- ände i och fór illustration av den mot töjning proportionella spänningen i kroppen under böj deformation, Figur 4 är en genomsynlig perspektivvy av ett verktygsskaft, Figur 5 är en perspektivvy av en med cirkulärt tvärsnitt utformad bomiörlängare fór fiäsverktyg, 10 15 20 25 30 517 878 7 Figur 6-8 är perspektivvyer av verktygsskafi med kvadratiska tvärsnitt och i olika alternativa utföranden, Figur 9 är en perspektivvy av ett i en bärare monterat verktyg för aktiv vibrations- dämpning, Figur 10 är en analog perspektivvy av ett altemativt utförande för passiv vibrations- dämpning, Figur 11 visar schematiskt utsläckning av en svängningsrörelse medelst en motkrafi i fas med svängningen, Figur 12 - 13 visar schematiskt utsläckning av en svängningsrörelse i enlighet med uppfinningen.

DETALJERAD BESKRIVNING I figur 1 illustreras en långsmal kropp i form av en bom eller ett skaft 1 till ett verk- tyg, som är avsett att fasthålla ett eller flera skär vid svarvning eller fräsning. Krop- pen 1 har en infästningsände 2 och en fri, yttre ände 3. Kroppen uppvisar en utvän- dig yta 4, som kan utgöras av en mantelyta därest kroppen är cylindrisk. Den kan även inbegripa flera plana ytor därest kroppen har polygonal, t.ex. kvadratisk tvär- sníttsform. Kroppen 1 kan uppvisa godtycklig tvärsnittsform, dock vanligast cirku- lär eller kvadratisk. I fig 1 betecknar 5 en del i vilken kroppen 1 är infást, varvid kroppen sträcker sig konsolartat från infästningsdelen. I fig 1 visas kroppen 1 i ett tillstånd då den defonnerats i en första böj egenmod.

' Vidare visas i figur 2 en graf som illustrerar hurusom böjmomentet Mb i detta fall varierar längs kroppen. Såsom framgår av grafen uppstår ett största böjmoment, och sålunda en största töjning, vid eller nära infästningsänden 2. Detsamma gäller för alla lägre moder, vilka normalt är energirnässigt dominerande vid böj svängningar hos verktyg för spånavskilj ande bearbetning. 10 15 20 25 30 517 878 8 I figur 3 visas ett parti av den i fig l genom böjning deforrnerade kroppen l i områ- det av infästriingsänden. Härvid illustreras hmusom töjningen vid böjdeformation varierar i kroppens tvärriktning (töjningen är starkt överdriven av illustrativa skäl).

Såsom framgår av figuren erhålls de största töjningama vid kroppens mantelyta eller ytteryta 4.

I figur 4 visas schematiskt en grundläggande utformning av en bom eller ett skaft 1, vid vilket tvenne plattformade, rektangulära piezoelement 8 är anfästa på motståen- de, längsgående plana ytor 4 hos det med kvadratiskt tvärsnitt utformade skafiet. Pi- ezoelementen 8 är placerade i området nära skafiets infästningsände 2. Vid sin yttre ände 3 uppvisar skaftet ett bearbetningselement i form av ett skär 9. Piezoelementen 8 är sålunda positionerade i ett område där den största töjningen inträffar vid böjde- formation. Ehuru denna placering fóredras, är även andra placeringar tänkbara. Vi- dare är piezoelementen 8 orienterade med sina storytor huvudsakligen parallella med bomens eller skafiets 1 plana ytor 4 och med storaxlarna huvudsakligen paral- lella med skaftets eller bomens 1 längdutsträckning, varvid piezoelementen 8 vid böj svängning kommer att deformeras under bibehållande av rektangulär form.

I figur 5 visas ett utförande vid vilket kroppen l utgörs av en fór fräsverktyg avsedd bomtörlängare med ett cirkulärt tvärsnitt. I detta fall är ett skärande bearbetnings- element 9 i form av en egg utformat i anslutning till en spånficka 10 vid bom- fórlängarens fria ände 3. Ett piezoelement 8 är fast på bomförlängarens mantelyta 4 i ett område nära infästningsänden 2. Piezoelementets storaxel är parallell med bom fórlängarens längdutsträckning. Med denna orientering verkar följaktligen även här piezoelementet 9 effektivast för dämpning av böj svängning.

För samtidig dämpning av böj- och torsionssvängningar är verktygsskaftet med för- del utformat med flera piezoelement av vilka vissa är orienterade med sina långsidor huvudsakligen parallellt med skaftets längdutsträckníng, medan andra är orienterade i ca 45° vinkel. Alternativt uppvisar ett eller flera piezoelement andra, mellan dessa orienteringar liggande orienteringar. 10 15 20 25 30 517 878 9 Piezoelement är vanligtvis sköra, särskilt sådana av keramisk typ. I krävande miljö- er bör de därför ha någon form av skydd för att uppnå nöj aktig livslängd.

I figur 6-8 visas verktygsskafi med kvadratiska tvärsnitt, varvid piezoelement 8 är fästa och skyddade på altemativa sätt. I samtliga fall är piezoelementen placerade i område nära infästrringsdelen 5 (denna kan utgöras av en konventionell spännenhet i vilken verktyget är löstagbart monterat).

I Figur 6 är piezoelementet 8 monterat i en försänkning ll och med fördel täckt av ett skyddsskikt, exempelvis av epoxytyp.

I Figur 7 tänkes piezoelementet vara monterat i försänkningen 11 och täckt av ett styvt lock 12.

I Figur 8 är piezoelementet 8 monterat, t.ex. fastlimmat, utanpå skaftet. Dessa alter- nativ skall endast ses som exempel av vilka de i fig 6 och 7 visade föredras. Det skall förstås att samma typ av skydd för piezoelementen är oberoende av verktygs- skaftets tvärsnittsforrn.

Piezoelementen samverkar med medel för elektrisk kontroll eller styrning av de- samma. I figur 9 och 10 visas exempel på hur verktyget 1 utformats med dylika kontrollmedel. I dessa fall är verktyget monterat i en bärare 13. I figur 10 visas ett kontrollmedel för dämpning i form av en i närheten av infästningsänden 2 utformad kontrollrnodul 14 och en elektrisk anslutning 15, via vilken ett eller flera piezo- element 8 är kopplade till kontrollrnodulen 14 för separat eller gemensam kontroll av respektive piezoelement. Denna modul 14 innefattar åtminstone elektriskt resisti- va komponenter. Företrädesvis innefattar kontrollmodulen 14 även en eller flera shuntar, varvid utvalda frekvenser kan dämpas särskilt effektivt.

Figur 9 illustrerar ett kontrollmedel för aktiv dämpning i form av en fristående lo- gisk styrkrets 16, t ex en programmerbar rnikroprocessor, för separat eller gemen- sam styrning av (via den schematiskt visade elektriska anslutningen 15) över piezo- 10 15 20 25 30 517 878 10 elementen 8 pälagda spänningar. I praktiken kan anslutningen 15 i detta fall inne- fatta släpskor eller liknande. Även om piezoelementen 8 i det i figur 10 exemplifierade utförandet för aktiv dämpning samtidigt verkar som både manöverdon och sensorer, är det tänkbart att realisera dessa båda funktioner genom separata manöverdon och sensorer, varvid sensorema ej behöver utgöras av piezoelement. Ehuru exemplifierade placeringen av kontrollmodulen 14 respektive den logiska styrkretsen 16 föredras, är även andra placeringar tänkbara. Exempelvis är det tänkbart att i likhet med den logiska styr- kretsen 16 utforma kontrollmodulen 14 fristående från verktyget. Fördelen med att placera kontrollmodulen 14 i närheten av infästningsänden är att modulen blir enkel att ansluta till piezoelementen, medan densamma vid fristående placering blir lättare att skydda mot skadlig mekanisk påverkan.

Genom användande av piezoelement som vibrationsdämpare skapas ett robust verktyg för spånavskiljande bearbetning med möjlighet till aktiv dämpning av böj- svängningar över ett brett frekvensområde. Dessutom skapas ett verktyg som dels uppvisar längre livslängd för såväl verktyget i sig som dess skär- eller bearbetnings- element, dels åstadkommer ökad kvalitet hos ytan på det bearbetade arbetsstycket.

Härjärnte emås förbättrad arbetsmiljö genom reduktion av högfrekvent buller järn- fórt med tidigare kända verktyg.

Figur ll visar schematiskt hur utsläclming av en icke önskad svängningsrörelse i en mekanisk struktur går till generellt. En krafi 20 motriktad och i fas med svängnings- rörelsen 22 släcker snabbt ut denna. Detta kräver dock mycket stor noggrannhet vad beträffar fasriktighet. Om fasfel uppstår kommer den motriktade kraften delvis att bli medriktad rörelsen, vilket kan leda till att svängningsrörelsen ej släcks ut i öns- kad grad.

Figur 12 visar schematiskt utsläclcning av en mekanisk strukturs svängningsrörelse i enlighet med uppfinningen. 10 517 878 11 Sensom avkänner svängningsrörelsen. Signalen överförs till styrorganet, som bear- betar signalen och bestämmer svängningsrörelsens fasläge genom att definiera posi- tiv resp negativ nollgenomgång. Styrorganet beräknar även svängningens amplitud och frekvens.

Styrorganet skickar därefter ut en styrsignal till vibrationsdämparen (aktuatom), som genererar en krafi motriktad den mekaniska strukturens hastighet. Fasläget är fórskjutet en kvarts, alternativt tre kvarts våglängd relativt svängningsrörelsen.

I figur 13 visas hur en minskande motkraft läggs på vid minskande svängningsamp- litud för undvikande av ny generation av vibrationer, och är därmed lättare att regle- fa.

Claims (21)

10 15 20 25 30 517 878 12 KRAV

1. Förfarande för att medelst ett styrorgan styra en dämpningskrafi hos ett vibra- tionsdämpande organ avsett att anordnas vid ett metalliskt verktyg fór spånavskil- jande bearbetning och att dämpa återkopplade vibrationer i detta, inkluderande - avkänna verktygets svängningsrörelse medelst sensororgan associerat med nänmda styrorgan, - identifiera svängningsrörelsens fas medelst styrorganet - medelst styrorganet påverka närrmda vibrationsdämpande organ, så att den avger en mekanisk dämpningskrafi med väsentligen samma frekvens som verktygets svängningsrörelse, kännetecknat av att styrorganet är imättat att generera en dämpningskrafi motriktad verktygets hastighet.

2. Förfarande enligt kravet 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpnings- krafien fasfórskjuten 60°-l20° alternativt 240°- 300° relativt svängningsrörelsen.

3. Förfarande enligt kravet 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpnings- kraften fasfórskjuten 70°- 1l0° alternativt 250°- 290° relativt svängningsrörelsen.

4. Förfarande enligt kravet 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpnings- kraften fasfórskjuten 80°-100° alternativt 260° - 280° relativt svängningsrörelsen.

5. Förfarande enligt kravet 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpnings- krafien fasfórskjuten 90° altemativt 270° relativt svängningsrörelsen.

6. Förfarande enligt något av kraven 1 - 5, varvid styrorganet är inrättat att påverka nämnda vibrationsdämpande organ så att den avger en krafi, som är motriktad nämnda svångningsrörelses hastighet.

7. Förfarande enligt något av föregående lcrav, varvid styrorganet är inrättat att ge en dämpningskraft i området 50 - 1 500 Hz 10 15 20 25 30 517 878 13

8. Förfarande enligt något av föregående krav, inkluderande att i det vibrationsdäm- pande organet innefattas åtminstone ett piezoelektriskt element.

9. Förfarande enligt något av kraven 1-7, inkluderande att i det vibrationsdämpande organet innefattas åtminstone en hydraulisk eller pneumatisk cylinder.

10. Förfarande enligt något av kraven 1-7 , inkluderande att i det vibrationsdämpan- de organet innefattas åtminstone ett elektromagnetískt organ.

11. 1 1. Vibrationsdämpare innefattande ett vibrationsdämpande organ avsett att anord- nas vid ett metalliskt verktyg fór spänavskiljande bearbetning, ett styrorgan associe- rat med nämnda vibrationsdämpande organ för att styra en dämpníngskraft hos nämnda vibrationsdämpande organ, och ett med styrorganet associerat sensororgan anordnat att avkänna verktygets svängningsrörelse, varvid styrorganet är inrättat att identifiera svängningens amplitud, fiekvens och fasläge och att påverka nämnda vibrationsdärnpande organ, så att den avger en mekanisk dämpningssvängning med väsentligen sarrnna frekvens som verktygets svängning kännetecknat av att styror- ganet är inrättat att generera en dämpningskraft motriktad verktygets hastighet.

12. Vibrationsdämpare enligt kravet l 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpningskrafien fasfórskjuten 60°-l20° alternativt 240°- 300° relativt svängnings- rörelsen.

13. Vibrationsdämpare enligt kravet 11, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpningskrafien fastörskjuten 70°-l10° altemativt 250°- 290° relativt svängnings- rörelsen.

14. Vibrationsdämpare enligt kravet 1 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpningskraften fastörskjuten 80°-l00° altemativt 260° - 280° relativt sväng- ningsrörelsen. 10 15 20 517 878 14

15. Vibrationsdämpare enligt kravet 1 1, varvid styrorganet är inrättat att pålägga dämpningskraften fasfórskjuten 90° altemativt 270° relativt svängningsrörelsen.

16. Vibrationsdämpare enligt något av kraven 11 - 15, varvid styrorganet är inrättat att påverka nämnda vibrationsdärnpande organ så att den avger en krafi, som är mot- riktad nämnda svängningsrörelses hastighet.

17. Vibrationsdämpare enligt något av kraven ll - 16, varvid styrorganet är inrättat att ge en dämpningskrafi i området 50 - 1 500 Hz

18. Vibrationsdämpare enligt något av kraven 11 - 17, varvid det vibrationsdämpan- de organet innefattar åtminstone ett piezoelektriskt element.

19. Vibrationsdämpare enligt något av kraven 11-17, varvid det vibrationsdämpande organet innefattar åtminstone en hydraulisk eller pneumatisk cylinder.

20. Vibrationsdämpare enligt något av kraven 1 1-17, varvid det vibrationsdämpande organet innefattar åtminstone ett elektromagnetsilct organ.

21. Verktyg av metall för spånavskiljande bearbetning innefattande en vibrations- dämpare enligt något av kraven ll - 20.