RU99102539A - Распыляющие устройства, действующие на основе рэлеевского рассеяния, и способы их изготовления - Google Patents

Claims (40)

1. Способ распыления жидкости, включающий травление протравливаемого материала для формования жидкостного отверстия и газового отверстия, подачу струи жидкости через жидкостное отверстие для формирования капель жидкости на основе рэлеевского рассеяния и подачу газа через газовое отверстие на капли жидкости для сдерживания их коалесценции.

2. Способ по п.1, в котором газ не вносит возмущение в струю жидкости до ее распадения на капли.

3. Способ по п.2, в котором разность скоростей жидкости и газа поддерживают ниже первого порога обтекания по всей поверхности струи.

4. Способ по п.1, в котором газ пропускают с такой скоростью, что он не вызывает повторного распыления капель.

5. Способ по п.1, в котором коалесценцию капель сдерживают путем поддержания такой скорости газа, которая обеспечивает сдерживание уменьшения расстояний между ними.

6. Способ по п.1, в котором коалесценцию капель сдерживают путем создания такой турбулентности газа, которая обеспечивает смещение траектории капли для предотвращения столкновения с соседними каплями.

7. Способ по п.1, дополнительно включающий внесение возмущения в струю жидкости для содействия рэлеевскому рассеянию.

8. Распыляющее устройство, содержащее жидкостное отверстие для формирования струи жидкости, распадающейся на капли на основе рэлеевского рассеяния, включающее проводящий путь для внесения возмущения в струю жидкости, газовое отверстие для подачи газа на капли жидкости для сдерживания их коалесценции.

9. Распыляющее устройство по п.8, дополнительно содержащее газовые отверстия и жидкостные отверстия.

10. Распыляющее устройство по п.8, в котором направление потока газа через газовое отверстие по существу параллельно направлению потока жидкости через жидкостное отверстие.

11. Распыляющее устройство по п.8, в котором направление потока газа через газовое отверстие проходит под углом по отношению к направлению потока жидкости через жидкостное отверстие.

12. Распыляющее устройство по п.8, в котором газовое отверстие расположено на таком расстоянии от жидкостного отверстия, что газ не вносит возмущение в струю жидкости до ее распадения на капли.

13. Распыляющее устройство по п.8, в котором жидкостное отверстие имеет поперечное сечение некруглой формы.

14. Распыляющее устройство по п.8, в котором жидкостное отверстие содержит пластины, выступающие в жидкость для внесения возмущения в ее струю.

15. Распыляющее устройство по п.8, дополнительно содержащее по существу плоский первый слой, образующий жидкостное и газовое отверстия.

16. Распыляющее устройство по п.15, дополнительно содержащее по существу плоский второй слой, причем первый и второй слои образуют сеть подвода газа, включающую газовый проход, подающий газ в газовое отверстие, и сеть подвода жидкости, включающую жидкостной проход, подающий жидкость в жидкостное отверстие.

17. Распыляющее устройство, содержащее жидкостное отверстие для формирования струи жидкости, распадающейся на капли на основе рэлеевского рассеяния, газовое отверстие для подачи газа на капли жидкости для сдерживания их коалесценции, по существу плоский первый слой, образующий жидкостное и газовое отверстия.

18. Распыляющее устройство по п.17, дополнительно содержащее по существу плоский второй слой, причем первый и второй слои образуют сеть подвода газа, включающую газовый проход, подающий газ в газовое отверстие, и сеть подвода жидкости, включающую жидкостной проход, подающий жидкость в жидкостное отверстие.

19. Распыляющее устройство по п.18, в котором направление потока газа через газовый проход по существу перпендикулярно направлению потока газа через газовое отверстие, а направление потока жидкости через жидкостной проход по существу перпендикулярно направлению потока жидкости через жидкостное отверстие.

20. Распыляющее устройство по п.18, дополнительно содержащее газовые отверстия и жидкостные отверстия, причем сеть подвода газа включает газовые проходы, подающие газ в газовые отверстия, а сеть подвода жидкости включает жидкостные проходы, подающие жидкость в жидкостные отверстия.

21. Распыляющее устройство по п.20, в котором каждый жидкостной проход расположен вблизи по меньшей мере одного газового прохода.

22. Распыляющее устройство по п.18, дополнительно содержащее фильтр для фильтрации жидкости, подаваемой в жидкостной проход.

23. Распыляющее устройство по п.18, в котором по меньшей мере один из слоев, первый или второй, содержит элементарный полупроводниковый материал.

24. Распыляющее устройство по п.23, в котором по меньшей мере один из слоев, первый или второй, содержит кремний.

25. Распыляющее устройство по п.28, дополнительно содержащее слой повышенного давления, образующий камеру повышенного давления для подачи газа в газовое отверстие.

26. Распыляющее устройство по п.20, в котором сеть подвода газа дополнительно содержит газовые протоки, которые больше газовых проходов и которые подают в них газ, а сеть подвода жидкости дополнительно содержит жидкостные протоки, которые больше жидкостных проходов и которые подают в них жидкость.

27. Распыляющее устройство по п.26, в котором сеть подвода газа дополнительно содержит газовый канал, который больше газовых протоков и который подает в них газ, а сеть подвода жидкости содержит жидкостной канал, который больше жидкостных протоков и который подает в них жидкость.

28. Способ выполнения распыляющего устройства, включающий формирование сети подвода газа и сети подвода жидкости по существу в плоском первом слое и по существу плоском втором слое, формирование в первом слое жидкостного отверстия, формирующего струю жидкости, распадающуюся на капли на основе рэлеевского рассеяния, формирование газового отверстия в первом слое для подачи газа на капли жидкости для сдерживания их коалесценции и соединение первого и второго слоев так, чтобы сети подвода газа и жидкости подавали газ и жидкость соответственно в газовое и жидкостное отверстие.

29. Способ по п.28, в котором по меньшей мере один из слоев, первый или второй, содержит элементарный полупроводниковый материал кремний.

30. Способ по п.29, в котором по меньшей мере один из слоев, первый или второй, содержит кремний.

31. Распыляющее устройство, содержащее жидкостное отверстие для формирования струи жидкости, распадающейся на капли на основе рэлеевского рассеяния, имеющий стенки, которые включают выемки, формирующие колебания и создающие вибрацию в струе жидкости для содействия рэлеевскому рассеянию.

32. Распыляющее устройство по п.31, в котором жидкостное отверстие имеет поперечное сечение некруглой формы.

33. Распыляющее устройство по п.31, содержащее две пластины, выступающие в струю жидкости.

34. Распыляющее устройство по п.17, в котором жидкостное отверстие содержит проводящий путь для внесения возмущения в струю жидкости.

35. Распыляющее устройство по п.17, дополнительно содержащее газовые отверстия и жидкостные отверстия.

36. Распыляющее устройство по п.17, в котором направление потока газа через газовое отверстие по существу параллельно направлению потока жидкости через жидкостное отверстие.

37. Распыляющее устройство по п.17, в котором направление потока газа через газовое отверстие проходит под углом по отношению к направлению потока жидкости через жидкостное отверстие.

38. Распыляющее устройство по п.17, в котором газовое отверстие расположено на таком расстоянии от жидкостного отверстия, что газ не вносит возмущение в струю жидкости до ее распадения на капли.

39. Распыляющее устройство по п.17, в котором жидкостное отверстие имеет поперечное сечение некруглой формы.

40. Распыляющее устройство по п.17, в котором жидкостное отверстие содержит пластины, выступающие в жидкость для внесения возмущения в ее струю.