Claims (1)
Изобретение относится к конструированию и изготовлению датчиков давления, включающих полупроводниковый чувствительный элемент, выполненный по планарной микроэлектронной технологии и технике анизотропного травления, и может быть применено для измерения абсолютного, избыточного и разности давлений. Изобретение направлено на увеличение надежности конструкции при механических воздействия, уменьшение дополнительной погрешности от монтажных и термомеханических напряжений, упрощение конструкции и снижение трудоемкости при изготовлении датчика давления в целом. Датчик давления содержит полупроводниковый чувствительный элемент, соединенный с кремниевым или стеклянным пьедесталом, металлические, керамические или пластмассовые герметично соединенные корпус и крышку, в пространстве между которыми размещается герметично закрепленная эластичная гофрированная мембрана, содержащая гибкий печатные кабель, имеющая металлические токопроводы и контактные площадки, соединенные пайкой с контактными площадками полупроводникового чувствительного элемента. Новым в конструкции датчика является наличие эластичной мембраны, на которой методом поверхностного монтажа установлен полупроводниковый чувствительный элемент, полностью развязанный от корпуса датчика.The invention relates to the design and manufacture of pressure sensors, including a semiconductor sensitive element made according to planar microelectronic technology and anisotropic etching technique, and can be used to measure absolute, excess and pressure differences. The invention is aimed at increasing the reliability of the structure under mechanical stress, reducing additional errors from mounting and thermomechanical stresses, simplifying the design and reducing the complexity in the manufacture of the pressure sensor as a whole. The pressure sensor contains a semiconductor sensing element connected to a silicon or glass pedestal, metal, ceramic or plastic hermetically connected housing and cover, in the space between which is placed a hermetically sealed elastic corrugated membrane containing a flexible printed cable having metal conductors and contact pads connected by soldering with pads of a semiconductor sensor. New in the design of the sensor is the presence of an elastic membrane on which a semiconductor sensing element is installed by surface mounting, completely decoupled from the sensor body.