RU94041495A - Способ проекционной обработки материалов световым лучом - Google Patents
Способ проекционной обработки материалов световым лучомInfo
- Publication number
- RU94041495A RU94041495A RU94041495/02A RU94041495A RU94041495A RU 94041495 A RU94041495 A RU 94041495A RU 94041495/02 A RU94041495/02 A RU 94041495/02A RU 94041495 A RU94041495 A RU 94041495A RU 94041495 A RU94041495 A RU 94041495A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- light
- projection
- light beam
- projection system
- materials
- Prior art date
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам обработки материалов световым лучом с проекционным формированием изображения и может использоваться в микроэлектронике, а именно в фотолитографии, и лазерной технологии, прежде всего лазерной маркировке. Цель: увеличение производительности процесса проекционной обработки. Сущность изобретения: шаблон, изображение которого переносится на обрабатываемый материал проекционной системой, выполняют в виде пространственно-временного модулятора света /ПВМС/ с отсутствующими постоянно прозрачными для света участками, при этом максимальную ширину постоянно непрозрачных для света участков ПВМС устанавливают в соответствии с условием b≅Ml, b - ширина постоянно непрозрачных для света участков, M - уменьшение проекционной системы, l- минимально разрешимый размер на обрабатываемом материале.
Claims (1)
- Изобретение относится к способам обработки материалов световым лучом с проекционным формированием изображения и может использоваться в микроэлектронике, а именно в фотолитографии, и лазерной технологии, прежде всего лазерной маркировке. Цель: увеличение производительности процесса проекционной обработки. Сущность изобретения: шаблон, изображение которого переносится на обрабатываемый материал проекционной системой, выполняют в виде пространственно-временного модулятора света /ПВМС/ с отсутствующими постоянно прозрачными для света участками, при этом максимальную ширину постоянно непрозрачных для света участков ПВМС устанавливают в соответствии с условием b≅Mlмин, b - ширина постоянно непрозрачных для света участков, M - уменьшение проекционной системы, lмин - минимально разрешимый размер на обрабатываемом материале.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU94041495/02A RU94041495A (ru) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Способ проекционной обработки материалов световым лучом |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU94041495/02A RU94041495A (ru) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Способ проекционной обработки материалов световым лучом |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU94041495A true RU94041495A (ru) | 1996-09-20 |
Family
ID=48449848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU94041495/02A RU94041495A (ru) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Способ проекционной обработки материалов световым лучом |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU94041495A (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2666201C1 (ru) * | 2016-08-02 | 2018-09-06 | Тойота Дзидося Кабусики Кайся | Способ лазерной сварки плоских проводов |
-
1994
- 1994-11-16 RU RU94041495/02A patent/RU94041495A/ru unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2666201C1 (ru) * | 2016-08-02 | 2018-09-06 | Тойота Дзидося Кабусики Кайся | Способ лазерной сварки плоских проводов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU95104233A (ru) | Способ обработки текстильных материалов, кожи и технических тканей и устройство для его осуществления | |
| EP0307874A3 (en) | Method for producing a mark on a spectacle lens | |
| SE8304816D0 (sv) | Recordings on cinematic film | |
| MX9710046A (es) | Procesamiento con laser de hojas sueltas de material. | |
| EP0747893A3 (en) | Optical head apparatus for different types of disks | |
| DE59705191D1 (de) | Lichtschranke oder Lichtvorhang mit Ausrichthilfe | |
| DE69531805D1 (de) | Inspektion einer Kontaktlinse mit einer Beleuchtung mit Doppelfokus | |
| AT388365B (de) | Vorrichtung zur aufbereitung von wasser | |
| DE69316544D1 (de) | System zum Abtasten von Körpern | |
| KR920013645A (ko) | 투영노광방법 | |
| ATE71826T1 (de) | Spaltlampengeraet zur laserbehandlung des auges. | |
| FR2669747B1 (fr) | Procede et appareil pour la production parametrique de lumiere dans l'infrarouge moyen par knbo3. | |
| DE3270794D1 (en) | Method to adjust and monitor a light spot | |
| RU94041495A (ru) | Способ проекционной обработки материалов световым лучом | |
| FR2677452B1 (fr) | Procede et appareil destines a determiner des repartitions de dimensions de particules en mesurant l'extinction de lumiere spectrale pendant la sedimentation. | |
| DE69839561D1 (de) | Bildverarbeitungsmethode, bildverarbeitungsvorrichtung und aufnahmemedium,welches gespeicherte bildverarbeitungsprogramme enthält | |
| RU93051056A (ru) | Способ проекционной обработки материалов световым лучом | |
| ATE109210T1 (de) | Vorrichtung zur oberflächenbehandlung von werkstücken mittels lichtstrahlen. | |
| EP0231112A3 (en) | Imageable material and process | |
| FR2669121B1 (fr) | Materiau ameliore et cellule pour la modulation de la lumiere et procede de fabrication. | |
| DE3852586D1 (de) | Methode und Apparat zur Verarbeitung von photographischen photoempfindlichen Lösungen. | |
| DE3783336D1 (de) | Verfahren zur gemeinsamen entwicklungsbehandlung zweier arten von lichtempfindlichem photographischen silberhalogenidmaterial. | |
| EP0770925A3 (en) | Photoprocessing method | |
| JPS5720727A (en) | Illumination apparatus for scanning | |
| JPS5745933A (en) | Heat treating method and device for semiconductor wafer |