RU93037824A -
METHOD OF LOCAL APPLICATION COATING ON SUBSTRATE
- Google Patents
METHOD OF LOCAL APPLICATION COATING ON SUBSTRATE
Info
Publication number
RU93037824A
RU93037824ARU93037824/07ARU93037824ARU93037824ARU 93037824 ARU93037824 ARU 93037824ARU 93037824/07 ARU93037824/07 ARU 93037824/07ARU 93037824 ARU93037824 ARU 93037824ARU 93037824 ARU93037824 ARU 93037824A
Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
Novosibirskij institut inzhenerov geodezii, aehrofotos"emki i kartografii
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии, Novosibirskij institut inzhenerov geodezii, aehrofotos"emki i kartografiifiledCriticalНовосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
Publication of RU93037824ApublicationCriticalpatent/RU93037824A/en
Изобретение относится к области технологии микро- и оптоэлектроники, в частности, к лазерно-активированным процессам получения тонкопленочных покрытий в виде рисунка. Задачей настоящего изобретения является расширение перечня использованных материалов покрытий и увеличение скорости нанесения покрытий. Поставленная задача достигается тем, что в состав соединений, создающих парогазовую атмосферу, вводят вещества, имеющие температуру кипения больше температуры их разложения, например, карбонилы рения, марганца, кобальта, родия, иридия, платины или смесь некоторых из этих веществ, а также вводят дополнительно вещества, температура кипения которых меньше температуры их разложения.The invention relates to the field of technology of micro-and optoelectronics, in particular, to laser-activated processes for producing thin-film coatings in the form of a picture. The present invention is to expand the list of materials used coatings and increase the speed of coating. The task is achieved by the fact that compounds having a boiling point higher than their decomposition temperature are introduced into compounds that create a vapor-gas atmosphere, for example, rhenium, manganese, cobalt, rhodium, iridium, platinum or a mixture of some of these substances, as well as substances whose boiling point is lower than their decomposition temperature.
RU93037824/07A1993-07-23
METHOD OF LOCAL APPLICATION COATING ON SUBSTRATE
RU93037824A
(en)