RU2645536C1 - Light-absorption material - Google Patents

Light-absorption material Download PDF

Info

Publication number
RU2645536C1
RU2645536C1 RU2016142909A RU2016142909A RU2645536C1 RU 2645536 C1 RU2645536 C1 RU 2645536C1 RU 2016142909 A RU2016142909 A RU 2016142909A RU 2016142909 A RU2016142909 A RU 2016142909A RU 2645536 C1 RU2645536 C1 RU 2645536C1
Authority
RU
Grant status
Grant
Patent type
Prior art keywords
temperature
light
carbon nanotubes
form
absorbing material
Prior art date
Application number
RU2016142909A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Аида Разим-кызы Караева
Екатерина Александровна Жукова
Никита Владимирович Казеннов
Владимир Зальманович Мордкович
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ФГБНУ ТИСНУМ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Grant date

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • B82B3/0009Forming specific nanostructures
    • B82B3/0014Array or network of similar nanostructural elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • B82B3/008Processes for improving the physical properties of a device
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/158Carbon nanotubes
    • C01B32/16Preparation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/182Graphene
    • C01B32/184Preparation
    • C01B32/186Preparation by chemical vapour deposition [CVD]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; MISCELLANEOUS COMPOSITIONS; MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K9/00Tenebrescent materials, i.e. materials for which the range of wavelengths for energy absorption is changed as result of excitation by some form of energy
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2202/00Structure or properties of carbon nanotubes
    • C01B2202/20Nanotubes characterized by their properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2204/00Structure or properties of graphene
    • C01B2204/20Graphene characterized by its properties

Abstract

FIELD: measuring equipment.
SUBSTANCE: invention can be used as absolutely black body in measuring technology, heat engineering and thermal physics. Light absorbing material obtained without auxiliary substrates by CVD method contains beams of small- and multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in form of chaotically oriented fragments of graphene with size of up to 10 nm, has ability to mold into ribbons with thickness of at least 2 mm and density of 0.4 g/cm3 with a light absorption coefficient of about 99.9 %.
EFFECT: measuring device is proposed.
1 cl, 9 dwg, 4 ex

Description

Изобретение относится к углеродным материалам, в частности к углеродным нанотрубкам, которые могут быть применены в качестве абсолютно черного тела в областях измерительной техники, теплофизике и теплотехнике. The invention relates to carbon materials, in particular for carbon nanotubes, which can be applied as a blackbody in the measuring fields of technology, thermal physics and thermal engineering.

Светопоглощающий материал в качестве абсолютно черного тела в основном применяют в области измерительной техники, в частности при измерениях фотометрических характеристик в теплофизике и теплотехнике. Flocking material as a blackbody is mainly used in the field of measuring technique, particularly when measuring the photometric characteristics in thermal physics and thermal engineering. Так, например, известны (ГОСТ 7601-78) способы определения коэффициентов теплового излучения измеряемого образца по соотношению измеренного теплового излучения исследуемого образца и измеренного теплового излучения светопоглощающего материала, нагретого до той же температуры, что и измеряемый образец. Thus, for example, are known (GOST 7601-78) methods of determining the emissivity of the measured sample measured by the ratio of the thermal radiation of the test sample and the measured thermal emission of light absorbing material is heated to the same temperature as the measured sample. Для этого измеряют тепловое излучение нагретого до определенной температуры образца. For this measure the thermal radiation from the heated sample to a certain temperature. Доводят светопоглощающий материал до этой же температуры и измеряют его тепловое излучение. Light-absorbing material is brought to the same temperature and its measured thermal radiation. Коэффициент излучения измеряемого образца получают разделив показание теплового излучения, нагретого до определенной температуры образца, на показание теплового излучения светопоглощающего материала. Emissivity measurement sample obtained by dividing the reading of the thermal radiation, the sample is heated to a certain temperature, the thermal radiation on the indication of light absorbing material.

Понятие «абсолютно черное тело» является абстрактным, поэтому часто применяются модели абсолютно черного тела. The concept of "blackbody" is abstract, so it is often used blackbody model. Существует ряд патентов, связанных с разработкой и применением модели абсолютно черного тела (МЧТ). There are a number of patents related to the development and application of a model of a blackbody (MCHT).

Изобретение патента RU 2148801, МПК G01J 5/02 от 25.08.1998, относится к технической физике в части создания модели черного тела, используемой в качестве эталонного источника излучения в пирометрических, фотометрических и радиометрических комплексах при температурах 2500-3200 K. Такая модель черного тела содержит излучающую и вспомогательную полости, образованные набором пирографитовых колец, которые имеют токоподводы. The invention RU patent 2148801, IPC G01J 5/02 of 25.08.1998, relates to a technical physics model creation part into a black body is used as a reference radiation source in the pyrometer, radiometric and photometric complexes at temperatures of 2500-3200 K. This model blackbody comprises radiating and auxiliary cavities formed pirografitovyh set of rings which have current leads. Подвижный токоподвод содержит подпружиненный пружиной подвижный цилиндр с гибкими токопроводами, связанными с торцом камеры МЧТ. The movable current feeder comprises a spring loaded movable spring cylinder with flexible conductors, associated with the end MCHT chamber. Другой торец камеры является вторым токоподводом. The other end of the chamber is the second current lead. Также дополнительно введена камера, которая закрывает конец цилиндра. Introduced additional chamber which closes the end of the cylinder. Камеры имеют единый газовый объем. The chambers have a single gas volume. Кольца в наборе имеют увеличивающиеся от кольца к кольцу от середины набора электросопротивления. Rings in the set have increased from ring to ring by the middle of the set of electrical resistance. Крайние значения сопротивлений к серединному не превышают величины два. The last resistance value for the middle do not exceed two. Набор колец окружен тепловым экраном, выполненным из пирографита на стороне, обращенной к набору колец. Set of rings is surrounded by a heat shield made of pyrolytic graphite on the side facing the set of rings.

Недостатком способа является весьма сложная конструкция, включающая применение дополнительной камеры, которая примыкает к торцу водонеохлаждаемой части основной камеры, образует с основной камерой единый газовый объем и охватывает выступающий из основной камеры противоположный кольцам конец подвижного цилиндра токоподвода, при этом торец, к которому примыкает дополнительная камера, необходимо электрически изолировать от обеих камер. A disadvantage of the method is very complicated structure involving the use of an additional chamber which is adjacent to the end face vodoneohlazhdaemoy portion of the main chamber forms a main chamber a single gas volume and covers projecting from the main chamber opposite the rings of the end of the cylinder of current supply, wherein the end face, which is adjoined by an additional camera must be electrically isolated from both cameras. Кроме того, пирографитовые кольца должны обладать разным электросопротивлением, где электрическое сопротивление каждого кольца относительно соседнего увеличивается от кольца к кольцу по мере удаления кольца от середины набора к его концам, причем отношение значений сопротивления каждого из крайних колец к серединному кольцу не больше двух, что также усложняет сборку модели черного тела. Furthermore, pirografitovye rings must have different electrical resistivity, wherein an electrical resistance of each ring relative to an adjacent increased from ring to ring as the distance of the ring from the middle set to its ends, wherein the ratio of each of the outer rings of resistance values ​​to the middle of the ring is not greater than two, which also It complicates the assembly of the black body model.

В патенте RU 2132549, МПК G01N 25/18 от 20.01.1998, описано изобретение для расчета теплофизических параметров, сущность которого заключается в том, что проводится предварительный нагрев до заданной температуры модели абсолютно черного тела, образованного двумя идентичными параллельно расположенными плоскими образцами совместно с боковыми и внутренними секционированными экранами, путем пропускания через образцы одинаковых электрических токов, измеряют силу токов и падения напряжения в центральной зоне каждого из образцов, температуры внешней пов In the patent RU 2132549, IPC G01N 25/18 on 20.01.1998, discloses an invention for calculating the thermal parameters, the essence of which is that the preheating is carried out to a predetermined temperature blackbody model formed by two identical parallel spaced planar samples with side and internal partitioned screens, by passing through the samples identical electrical currents measured force currents and voltage drop in the central region of each of the samples, the outer dressings temperature ерхности одного образца и внутренней поверхности второго образца, производят импульсное тепловое воздействие на внешнюю поверхность одного из образцов, одновременно регистрируя температуру противоположной поверхности этого же образца и, используя эти данные, рассчитывают такие параметры, как коэффициенты температуро- и теплопроводности, удельную теплоемкость, спектральную и интегральную степень черноты, удельное электросопротивление. erhnosti one sample and the inner surface of the second sample, produce pulsed thermal effect on the outer surface of one of the samples, while recording the temperature of the opposite surface of the same sample, and using these data, calculate parameters such as the coefficients of thermal diffusivity and thermal conductivity, specific heat capacity, spectral and integral emissivity, resistivity. Недостатком предложенного способа является достаточно сложная конструкция устройства, требующая использования идентичных по толщине и плотности, параллельно расположенных образцов, постоянный контроль температуры внутренней и наружной поверхности образцов фотопирометрами. A disadvantage of the method is rather complicated construction of the device, requiring the use of identical thickness and density, parallel samples, constant temperature control of the inner and outer surfaces fotopirometrami samples.

В патенте RU 2438103 С1, МПК G01J 5/08, G01K 15/00 от 16.06.2010, описано изобретение устройства, которое может быть использовано для калибровки многоканальных пирометров. Patent RU 2438103 C1, IPC G01J 5/08, G01K 15/00 on 16.06.2010, discloses the invention a device which can be used to calibrate the multichannel pyrometer. Недостатком данного устройства является сложность конструкции: устройство содержит модель абсолютного черного тела в виде электропечи с излучателем, установленную на основании, программный регулятор температуры, термопару регулирования температуры полости излучателя электропечи, поворотный котировочный механизм, усилитель фотосигналов и компьютер. The disadvantage of this device is the complexity of the design: the device model comprises a blackbody furnace as a radiator mounted on the base, a software temperature controller, thermocouple regulation cavities electric radiator temperature rotary quotation mechanism photosignals amplifier and computer. Компьютер электрически связан с поворотным котировочным механизмом и усилителем фотосигналов. A computer electrically connected to the rotary mechanism and quotation amplifier fotosignalov. Калибруемый пирометр скрепляют с котировочным механизмом и фиксируют на основании, которое сопряжено с выходным отверстием модели абсолютно черного тела. Calibrated thermometer fastened with quotation mechanism, and is fixed on the basis of which is associated with the outlet of blackbody model.

Для создания моделей абсолютно черного тела наиболее перспективно использовать углеродные материалы, такие как графит или углеродные нанотрубки (УНТ). To create a model of a blackbody is most promising to use carbon materials such as graphite or carbon nanotubes (CNTs).

В патенте US 9086327, МПК G01J 5/52, G01K 15/00 от 15.05.2013, описаны устройство и способ калибровки датчиков при помощи тонкой пленки из УНТ. In US Patent 9086327, IPC G01J 5/52, G01K 15/00 on 15.05.2013, describes an apparatus and method for calibrating the sensors using thin film nanotube. Недостатком данного устройства также является сложность конструкции: напряжение подают на первый слой из УНТ для получения первой температуры первого слоя УНТ. The disadvantage of this device is also the design complexity: the voltage applied to the first layer of CNTs to form a first temperature of the first layer of CNTs. Теплопроводный слой используют для обеспечения равномерного распределения температуры, связанной с температурой первого слоя УНТ, путем сглаживания пространственной вариации первой температуры. Thermally conductive layer is used to provide a uniform temperature distribution related to the temperature of the first CNT layer by smoothing the first spatial temperature variation. Второй слой УНТ обеспечивает равномерность распределения температуры и испускает первый спектр излучения черного тела для калибровки датчика. The second CNT layer ensures uniformity of temperature distribution and emits the first radiation spectrum of a black body for calibration of the sensor. Устройство может быть использовано, чтобы излучать второй спектр излучения черного тела путем изменения приложенного напряжения. The apparatus may be used to emit a second spectrum of black body radiation by changing the applied voltage. Следует отметить, что в патенте не указаны толщины пленок из УНТ. It should be noted that in the patent are not the film thickness of the CNT.

Также в патенте US 9459154, МПК G01J 3/10 от 19.03.2015, описаны устройство, способ и тонкопленочная структура для получения спектра абсолютно черного тела. Also in US patent 9459154, IPC G01J 3/10 of 03.19.2015, discloses an apparatus, a method and thin film structure to obtain a blackbody spectrum. Недостатком патента является сложность и трудоемкость способа: напряжение подают на первый слой из УНТ для получения первой температуры данного слоя УНТ. Patent is a disadvantage of complexity and laboriousness of the process: the voltage applied to the first layer of CNTs to form a first temperature of the CNT layer. Первый слой устройства выполнен с возможностью генерирования тепла в ответ на приложенное напряжение. The first layer of the device is configured to generate heat in response to an applied voltage. Второй слой выполнен с возможностью получения спектра излучения черного тела в ответ на тепло от первого слоя. The second layer is adapted to obtain the spectrum of black body radiation in response to heat from the first layer. Слой термического расширения, расположенный между первым и вторым слоем, содержит графеновый лист для уменьшения пространственной вариации теплоты в плоскости теплового слоя. A layer of thermal expansion between the first and the second layer comprises a graphene sheet to reduce spatial variations in heat of the thermal layer plane. В патенте не указаны толщины пленок из УНТ, закрепления графенового листа. The patent does not shown the film thickness of the CNT fastening graphene sheet.

В патенте RU 2503103 C1, МПК H01Q 17/00, B32B 27/00, B32B 27/06, C09D 5/32, B82B 3/00 от 27.12.2012, описано изобретение, которое относится к способу изготовления поглощающего покрытия. Patent RU 2503103 C1, IPC H01Q 17/00, B32B 27/00, B32B 27/06, C09D 5/32, B82B 3/00 of 27.12.2012, discloses an invention which relates to a method of making an absorbent coating. Такое покрытие обеспечивает поглощение в инфракрасном диапазоне длин волн для создания эталонов абсолютно черного тела в имитаторах излучения для аппаратуры дистанционного зондирования Земли со стабильными характеристиками. This coating provides the absorption in the infrared wavelength range for creating standards blackbody radiation simulators apparatus for remote sensing with stable characteristics. Способ изготовления такого покрытия является весьма трудоемким, что является его недостатком, представляет собой формирование на пластине-носителе последовательно адгезионного слоя. A method for producing such a coating is very time-consuming, which is its disadvantage is the formation on a carrier plate adhesion layer sequentially. Для этого методом центрифугирования или полива с последующей сушкой из раствора пиромилитового диангидрида и оксидианилина в полярном растворителе получают полиимидный слой с УНТ. For this method of irrigation or centrifugation, followed by drying of the solution piromilitovogo dianhydride and oxydianiline in a polar solvent to obtain a polyimide layer CNT. На высушенном слое формируют методом центрифугирования или полива слой из дисперсии УНТ в полярном растворителе: диметилформамиде или диметилацетамиде. On the dried layer is formed by spin coating or pouring a layer of a dispersion of CNTs in a polar solvent as dimethylformamide or dimethylacetamide. После чего проводят сушку и термоимидизацию полиимидного слоя с УНТ и с УНТ, полученными из дисперсии и внедренными частично в растворенный приповерхностный слой полиимида. Thereafter, drying and termoimidizatsiyu polyimide layer CNTs and CNT obtained from a dispersion and is partially embedded in the surface layer of the polyimide dissolved. Затем на слое из УНТ, внедренных и выступающих из полиимидного слоя, прошедшего термоимидизацию, формируют упрочняющий и поглощающий слой из нитрида кремния методом плазмохимического осаждения. Then the layer of CNTs that are embedded and protruding from the polyimide layer elapsed termoimidizatsiyu form a reinforcement and an absorbent layer of silicon nitride by plasma chemical deposition. Таким образом, получают воспроизводимый и стабильный во времени процесс изготовления покрытия с высокой поглощающей способностью инфракрасного излучения, работающего в широком диапазоне температур. Thus, a reproducible and stable over time coating process of producing highly absorbent of infrared radiation over a wide operating temperature range.

В патенте US 8895997, H01L 51/50, B82Y 30/00, H01L 51/52, H01L 29/26, H01K 1/06, H01L 27/15, H01L 51/00, B82Y 20/00, H01K 3/02, H01L 31/12, H01L 33/04, B82Y 10/00, H04B 10/80, H01L 33/00, H01K 1/10 от 28.04.2010, описано устройство светоизлучающих приборов с применением УНТ. In US Patent 8895997, H01L 51/50, B82Y 30/00, H01L 51/52, H01L 29/26, 1/06 H01K, H01L 27/15, H01L 51/00, B82Y 20/00, H01K 3/02, H01L 31/12, H01L 33/04, B82Y 10/00, H04B 10/80, H01L 33/00, H01K 1/10 of 28.04.2010, describes a device emitting devices using CNTs. Металлические УНТ, расположенные между электродами, генерируют тепло при прохождении тока к электродам и излучают световое излучение от черного тела таким образом, что излучаемый свет имеет широкий диапазон длин волн и может быть модулирован с высокой скоростью. Metallic nanotubes disposed between the electrodes, generating heat upon the passage of current to the electrodes and emit light from the black body so that the emitted light has a wide wavelength range and can be modulated at high speed. Это дает возможность реализовать источник света непрерывного спектра, который можно модулировать с высокой скоростью, подходящей для использования в информационном сообщении, в области электроники. This makes it possible to realize a continuous spectrum light source which can be modulated at high speed, suitable for use in an information message, in the field of electronics. Недостатком данного устройства является необходимость применения подложки для УНТ, чтобы излучение, генерируемое УНТ, было в направлении, перпендикулярном к поверхности подложки. The disadvantage of this device is the need for application of CNTs substrate to radiation generated by the CNT, it was in the direction perpendicular to the substrate surface.

В заявке на патент US 20090126783 A1, МПК G02B 5/22, H01L 31/00, B05D 5/06 от 12.11.2008, которая является прототипом данного патента, описано устройство оптического поглотителя, которое включает в себя покрытие, состоящее из вертикально ориентированных УНТ с ультранизким коэффициентом отражения менее 0,16% и эффективностью поглощения более чем 99,84%. In patent application US 20090126783 A1, IPC G02B 5/22, H01L 31/00, B05D 5/06 from 12.11.2008 which is a prototype of this patent, discloses an optical absorber device which includes a coating consisting of vertically aligned CNTs ultra reflectance less than 0.16%, and the absorption efficiency more than 99.84%. Покрытие состоит преимущественно из УНТ, а также содержит углеродные нанопроволоки (carbon nanowires) и нанорожки (carbon nanohorn). The coating consists essentially of CNT, and also contains carbon nanowires (carbon nanowires) and nanorozhki (carbon nanohorn). Трубчатые наноструктуры имеют очень высокое аспектное соотношение, обычно больше чем 10000. Данное покрытие на подложке получают методом химического осаждения из газовой фазы CVD (Chemical vapor deposition). The tubular nanostructure have a very high aspect ratio, typically greater than 10000. The coating on the substrate is obtained by chemical vapor deposition CVD (Chemical vapor deposition).

С помощью электронно-лучевого испарителя наносят депозит адгезионного слоя алюминия толщиной 10 нм и слой катализатора, активного компонента частиц железа, толщиной от 1 нм до 5 нм на поверхность кремниевой пластины. Using electron-beam evaporator applied deposit the adhesion layer of aluminum 10 nm thick, and the catalyst layer, the active component particles of iron having a thickness of 1 nm to 5 nm on the surface of the silicon wafer. Подложку помещают в CVD-реактор. The substrate is placed in a CVD-reactor. Этилен используют в качестве источника углерода, а 15% смесь водорода и аргона в качестве реакционного газа. Ethylene is used as a carbon source, and 15% of a mixture of hydrogen and argon as reaction gas. К моменту, когда температура в реакторе достигает примерно 750-800°C, поток газа устанавливают через CVD-реактор со скоростью около 300 мл/мин. By the time the reactor reaches a temperature of approximately 750-800 ° C, the gas flow is established through a CVD-reactor at a rate of about 300 ml / min. После того, как температуру CVD-реактора стабилизировали, скорость потока газа поднимают до 1300 мл/мин, второй поток инертного газа пробулькивают через воду при комнатной температуре со скоростью 80 мл/мин, одновременно с этим запускают этилен со скоростью 100 мл/мин. After the CVD-reactor temperature is stabilized, the gas flow rate is increased to 1300 ml / min, a second stream of inert gas is bubbled through water at room temperature at a rate of 80 ml / min, while simultaneously launching ethylene at a rate of 100 ml / min. Варьируя время синтеза от 5 с до 30 мин получают покрытие из УНТ с толщиной от 10 до примерно 800 мкм, т.е. By varying the synthesis of 5 seconds to 30 minutes, a coating of a CNT having a thickness of from 10 to about 800 microns, i.e., покрытие из УНТ толщиной, например, до нескольких миллиметров могут достигать благодаря более длительному времени получения. thick coating of CNTs, e.g., up to several millimeters can reach due to a longer time of receipt. Реактор охлаждают до комнатной температуры в атмосфере инертного газа. The reactor was cooled to room temperature in an inert gas atmosphere. Плотность полученных УНТ составляет 0,01-0,02 г/см 3 . The density of the obtained CNT is 0.01-0.02 g / cm3. Просвечивающая электронная микроскопия показала, что преимущественно состоит из многостенных УНТ, а в случае использования слоя катализатора-железа с толщиной около 1,5 нм образуются в основном двустенные УНТ. Transmission electron microscopy revealed that mainly consists of multi-walled CNTs, while in the case of iron catalyst layer with a thickness of about 1.5 nm are formed in substantially double-walled CNTs. Показатель преломления и константы поглощения полученных УНТ контролируют независимо друг от друга изменением расстояния между УНТ и их диаметром. The refractive index and absorption constant obtained CNT controlled independently by changing the distance between the CNT and the diameter thereof.

Задачей заявленного технического решения является получение светопоглощающего материала из пучков мало- и многостенных углеродных нанотрубок, полученных методом CVD, с повышенным коэффициентом светопоглощения, а также расширение технического применения данного материала в области технической физики и измерительной техники. The object of the claimed technical solution is to provide a light absorbing material of the beams of low and multi-walled carbon nanotubes produced by CVD, with high light absorption coefficient, and expanding the technical application of this material in the field of technical physics and measurement technology.

Для решения поставленной задачи предлагаем светопоглощающий материал в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок, полученных без применения вспомогательных подложек методом CVD. To solve this problem we propose light absorbing material in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes obtained without using intermediate substrates CVD method.

Углеродные нанотрубки получают методом CVD в газовой фазе при атмосферном давлении с использованием активного компонента - ферроцена в атмосфере водорода на лабораторной установке с проточным кварцевым CVD-реактором горизонтального типа, схема которого представлена на фиг.1. Carbon nanotubes obtained by CVD in a gas phase at atmospheric pressure using the active component - ferrocene in a hydrogen atmosphere in a laboratory quartz instantaneous horizontal-type CVD-reactor circuit is shown in Figure 1.

Условия получения светопоглощающего материала, такие как температура получения, скорость подачи реакционных газов, отсутствие подложки, отличаются от условий прототипа. Conditions for obtaining light-absorbing material, such as the temperature of receipt, the feed rate of the reaction gas, the absence of a substrate, different from the prototype conditions. Различия в изменении таких параметров (температура получения и скорость подачи реакционных газов) необходимы ввиду отличного способа подачи активного компонента при получении. The difference in the change of parameters (temperature and obtaining the feed rate of the reaction gases) are needed in view of excellent method for supplying the active ingredient in the preparation. В прототипе активный компонент нанесен на подложку, в предлагаемом техническом решении проводят получение материала с активным компонентом в газовой фазе. In the prototype, the active component is deposited on the substrate in the proposed technical solution is carried out to produce a material with the active component in the gas phase. Высокая светопоглощающая способность получаемого материала связана с некаталитическим образованием латеральных отложений углерода в виде хаотично ориентированных фрагментов графена. The high light-absorbing ability of the resulting material associated with lateral uncatalyzed formation of carbon deposits in the form of randomly oriented graphene fragments.

Совокупный набор оптимальных значений параметров, таких как состав и расход реакционной смеси газов, в том числе водорода, температура и продолжительность процесса, позволяет достигнуть поставленную цель и получить светопоглощающий материал, состоящий из пучков мало- и многостенных углеродных нанотрубок, обладающий способностью к формованию в ленты. The total set of optimum parameters, such as the composition and flow rate of the reaction gas mixture including hydrogen, the temperature and duration of the process, allows to achieve the set goal and obtain a light-absorbing material composed of bundles of small and multiwall carbon nanotubes having the ability to be molded into ribbons .

На фиг. FIG. 1-9 приведены схема и фотографии, поясняющие заявляемое изобретение: 1-9 shows a diagram and photographs illustrating the claimed invention:

на фиг. FIG. 1 приведена схема проточного кварцевого CVD-реактора горизонтального типа для получения светопоглощающего материала. 1 shows a flow diagram of a quartz horizontal type CVD-reactor to produce a light-absorptive material. Цифрами обозначены основные элементы: 1 - трубка подачи газов, 2 - высокотемпературная печь, 3 - термопара в алундовом чехле, 4 - реактор из кварцевой трубы; These numbers refer to basic elements: 1 - a gas supply pipe, 2 - high temperature furnace 3 - thermocouple sheath alundum, 4 - quartz reactor tube;

на фиг. FIG. 2 приведена фотография светопоглощающего материала, полученного в примере 1; 2 is a photograph of light absorbing material obtained in Example 1;

на фиг. FIG. 3 приведена микрофотография (увеличение ×20000), полученная с помощью растрового электронного микроскопа, светопоглощающего материала, полученного в примере 1; 3 shows a micrograph (magnification 20000 ×) obtained by the scanning electron microscope, light absorbing material obtained in Example 1;

на фиг.4 приведена фотография светопоглощающего материала, полученного в примере 2; Figure 4 shows a photograph of light absorbing material obtained in Example 2;

на фиг.5 приведена микрофотография (увеличение ×20000), полученная с помощью растрового электронного микроскопа, светопоглощающего материала, полученного в примере 2; Figure 5 is a micrograph (magnification 20000 ×) obtained by the scanning electron microscope, light absorbing material obtained in Example 2;

на фиг. FIG. 6 приведена фотография светопоглощающего материала, полученного в примере 3; 6 shows a photograph of light absorbing material obtained in Example 3;

на фиг. FIG. 7 приведена микрофотография (увеличение ×20000), полученная с помощью растрового электронного микроскопа, светопоглощающего материала, полученного в примере 3; 7 shows a micrograph (magnification 20000 ×) obtained by the scanning electron microscope, light absorbing material obtained in Example 3;

на фиг. FIG. 8 приведена фотография светопоглощающего материала, полученного в примере 4; 8 shows a photograph of light absorbing material obtained in Example 4;

на фиг. FIG. 9 приведена микрофотография (увеличение ×20000), полученная с помощью растрового электронного микроскопа, светопоглощающего материала, полученного в примере 4. 9 shows a micrograph (magnification 20000 ×) obtained by the scanning electron microscope, light absorbing material obtained in Example 4.

Светопоглощающий материал в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают методом CVD в газовой фазе на лабораторной установке с проточным кварцевым CVD-реактором горизонтального типа, схема которого представлена на фиг. Flocking material in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes produced by CVD in a gas phase in a laboratory quartz instantaneous horizontal-type CVD-reactor circuit is shown in FIG. 1. Получение светопоглощающего материала проводят при атмосферном давлении с использованием летучего активного компонента - ферроцена в атмосфере водорода. 1. Preparation of light-absorbing material is carried out at atmospheric pressure using a volatile active ingredient - ferrocene in a hydrogen atmosphere.

Светопоглощающий материал в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают при следующих условиях: Flocking material in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes prepared under the following conditions:

- Состав смеси реакционного раствора с активным компонентом: 96.5 вес. - Composition of the reaction solution mixture with the active ingredient: 96.5 wt. % этанол, 2.0 вес. % Ethanol, 2.0 wt. % тиофен, 1.5 вес. % Thiophene, 1.5 wt. % ферроцен. % Ferrocene.

- Расход реакционного раствора 1 мл/мин. - Flow of the reaction solution 1 ml / min.

- Расход газа-носителя водорода 500-1100 мл/мин. - Flow of the carrier gas hydrogen 500-1100 ml / min.

- Температура получения 1000-1100°C. - obtaining temperature 1000-1100 ° C.

- Продолжительность процесса получения 30 мин. - process duration Preparation 30 min.

Перед началом получения реактор (4) и подводящие к нему магистрали предварительно вакуумируют с помощью форвакуумного насоса с последующей продувкой через трубку подачи газов (1) аргоном в течение 20 минут с расходом 500 мл/мин, после чего подают водород с расходом 500 мл/мин и повышают температуру печи (2) до 1000-1100°C. Before starting the preparation reactor (4) and inlet thereto highway previously evacuated using roughing pump, followed by blowing through a tube gas supply (1) with argon for 20 minutes at a flow rate of 500 ml / min, and then fed hydrogen at a rate of 500 ml / min and increase the temperature of the furnace (2) up to 1000-1100 ° C. Постоянный контроль температуры в центральной зоне реактора осуществляют при помощи хромель-алюмелевой термопары, которая помещена внутрь алундового чехла (3). Constant monitoring of the temperature in the central zone of the reactor is carried out by means of a chromel-alumel thermocouple which is placed inside alundum cover (3). После стабилизации заданной температуры устанавливают расход водорода в интервале 500-1100 мл/мин, отключают подачу аргона в систему, подают реакционный раствор со скоростью 1 мл/мин. After stabilization predetermined temperature set hydrogen consumption in the range of 500-1100 ml / min, argon flow is switched off in the system, the reaction solution was fed at a rate of 1 ml / min. По завершении эксперимента через 30 мин прекращают подачу реакционного раствора и водорода, подключают подачу аргона. Upon completion of the experiment after 30 min the feed of the reaction solution and hydrogen, argon supply is connected.

В соответствии с литературными данными [1, 2, 3] и условиями синтеза, указанными в прототипе, а также с учетом максимально допустимой температуры эксплуатации кварцевого реактора, получение светопоглощающего материала в нижеследующих примерах проводят в интервале температур от 1000°C до 1100°C, скорость газа-носителя (водорода) - в интервале от 500 мл/мин до 1100 мл/мин. In accordance with the literature [1, 2, 3] and the synthesis conditions described in the prior art, as well as the maximum permissible temperature of the quartz reactor operation, receiving light absorbing material in the following examples is carried out in the 1000 ° C temperature range up to 1100 ° C, the carrier gas rate (hydrogen) - in the range from 500 ml / min to 1100 ml / min. В зависимости от температуры и скорости газа-носителя изменяются характеристики получаемого продукта (диаметр нанотрубок, количество выровненных УНТ и др.). Depending on the temperature and carrier gas velocity changing characteristics of the resulting product (the diameter of the nanotubes, the number of aligned CNT et al.).

Пример 1. Светопоглощающий материал (фиг. 2) в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают методом CVD с активным компонентом в газовой фазе на лабораторной установке с проточным кварцевым реактором горизонтального типа по методике, описанной выше. Example 1 Flocking material (FIG. 2) in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes is produced by CVD with the active component in the gas phase in a laboratory quartz reactor instantaneous horizontal type according to the procedure described above. Температура получения в данном примере составляет 1100°С, скорость подачи водорода 1000 мл/мин. obtaining temperature in this example is 1100 ° C, a hydrogen feed rate of 1000 ml / min. Описанным способом получают продукт, представляющий собой пучки углеродных нанотрубок длиною около 5 см, внешний диаметр нанотрубок составляет 4-17 нм (фиг. 3). The described method produces a product which is a carbon nanotube bundles length of about 5 cm, the outer diameter of the nanotube is 4-17 nm (FIG. 3). Полученный светопоглощающий материал характеризуется тем, что представляет собой пучки из мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм. The resulting light-absorbing material characterized in that it is a low- and bundles of multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm. Светопоглощающий материал формуют в ленты толщиной не менее 2 мм и плотностью 0,4 г/см 3 , коэффициент светопоглощения составляет около 99,9% в диапазоне длин волн 1,5-20 мкм. Flocking material is formed into a tape at least 2 mm and a density of 0.4 g / cm 3, a light absorption coefficient of about 99.9% in the wavelength range of 1.5-20 microns.

Пример 2. Светопоглощающий материал (фиг. 4) в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают, как в примере 1. Температура получения в данном примере составляет 1100°C, скорость подачи водорода 1100 мл/мин. Example 2. flocking material (FIG. 4) in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes prepared as in Example 1. The temperature of receipt in this example is 1100 ° C, a hydrogen feed rate of 1100 ml / min. Описанным способом получают продукт, представляющий собой пучки углеродных нанотрубок длиною около 5 см, внешний диаметр нанотрубок составляет 7-19 нм (фиг. 5). The described method produces a product which is a carbon nanotube bundles length of about 5 cm, the outer diameter of the nanotube is 7-19 nm (FIG. 5). Полученный светопоглощающий материал характеризуется тем, что представляет собой пучки из мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм. The resulting light-absorbing material characterized in that it is a low- and bundles of multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm. Светопоглощающий материал формуют в ленты, как в примере 1, коэффициент светопоглощения составляет около 99,9% в диапазоне длин волн 1,5-20 мкм. Flocking material is formed into tape as in Example 1, the light absorption coefficient is about 99.9% in the wavelength range of 1.5-20 microns.

Пример 3. Светопоглощающий материал (фиг.6) в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают, как в примере 1. Температура получения в данном примере составляет 1100°C, скорость подачи водорода 500 мл/мин. Example 3. flocking material (6) in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes prepared as in Example 1. The temperature of receipt in this example is 1100 ° C, a hydrogen feed rate of 500 ml / min. Описанным способом в процессе получения получается продукт, представляющий собой пучки углеродных нанотрубок длиною около 5 см, внешний диаметр нанотрубок составляет 10-22 нм (фиг.7). The described method is obtained in the process of obtaining the product as a carbon nanotube bundles length of about 5 cm, the outer diameter of the nanotubes is 10-22 nm (Figure 7). Полученный светопоглощающий материал характеризуется тем, что представляет собой пучки из мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм. The resulting light-absorbing material characterized in that it is a low- and bundles of multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm. Светопоглощающий материал формуют в ленты, как в примере 1, коэффициент светопоглощения составляет около 99,9% в диапазоне длин волн 1,5-20 мкм. Flocking material is formed into tape as in Example 1, the light absorption coefficient is about 99.9% in the wavelength range of 1.5-20 microns.

Пример 4. Светопоглощающий материал (фиг. 8) в виде пучков из мало- и многостенных углеродных нанотрубок получают, как в примере 1. Температура получения в данном примере составляет 1000°C, скорость подачи водорода 500 мл/мин. Example 4. flocking material (FIG. 8) in the form of bundles of small and multi-walled carbon nanotubes prepared as in Example 1. The temperature of receipt in this example is 1000 ° C, a hydrogen feed rate of 500 ml / min. Описанным способом в процессе получения получается продукт, представляющий собой пучки углеродных нанотрубок длиною около 5 см, внешний диаметр нанотрубок составляет 12-28 нм (фиг. 9). The described method is obtained in the process of obtaining the product as a carbon nanotube bundles length of about 5 cm, the outer diameter of the nanotubes is 12-28 nm (FIG. 9). Полученный светопоглощающий материал характеризуется тем, что представляет собой пучки из мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм. The resulting light-absorbing material characterized in that it is a low- and bundles of multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm. Светопоглощающий материал формуют в ленты, как в примере 1, коэффициент светопоглощения составляет около 99,9% в диапазоне длин волн 1,5-20 мкм. Flocking material is formed into tape as in Example 1, the light absorption coefficient is about 99.9% in the wavelength range of 1.5-20 microns.

Таким образом, светопоглощающий материал, получаемый методом CVD, представляет собой пучки мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм, который формуют в ленты толщиной не менее 2 мм и плотностью 0,4 г/см 3 , коэффициент светопоглощения составляет около 99,9% в диапазоне длин волн 1,5-20 мкм. Thus, the light-absorbing material obtained by CVD, is the low-beams and multi-walled carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm which is formed into a tape at least 2 mm and a density of 0.4 g / cm 3, a light absorption coefficient of about 99.9% in the wavelength range of 1.5-20 microns.

Получение данного материала не требует использования подложек, является упрощенным и ускоренным по сравнению с аналогами и прототипом. Preparation of this material does not require the use of substrates is a simplified and accelerated compared with the analogues and the prototype.

Технический результат - материал, состоящий из пучков углеродных нанотрубок, полученный методом CVD без применения вспомогательных подложек. The technical result - the material, consisting of bundles of carbon nanotubes obtained by CVD method without application of auxiliary substrates. Данный продукт можно формовать в виде лент без применения сложного вспомогательного оборудования, коэффициент светопоглощения материала составляет около 99,9%. This product can be molded in the form of ribbons without applying complicated auxiliary equipment, light absorption coefficient of the material is about 99.9%.

Источники информации Information sources

1. Y. Sun, R. Kitaura, J. Zhang, Y. Miyata, H. Shinohara, Metal catalyst-free mist flow chemical vapor deposition growth of single-wall carbon nanotubes using C60 colloidal solutions // Carbon, v. 1. Y. Sun, R. Kitaura, J. Zhang, Y. Miyata, H. Shinohara, Metal catalyst-free mist flow chemical vapor deposition growth of single-wall carbon nanotubes using C60 colloidal solutions // Carbon, v. 68, pp. 68, pp. 80-86 (2014). 80-86 (2014).

2. M. Khavarian, S.-P. 2. M. Khavarian, S.-P. Chai, SHTan, AR Mohamed. Chai, SHTan, AR Mohamed. Floating catalyst CVD synthesis of carbon nanotubes using iron (iii) chloride: influences of the growth parameters // NANO: Brief Reports and Reviews, v. Floating catalyst CVD synthesis of carbon nanotubes using iron (iii) chloride: influences of the growth parameters // NANO: Brief Reports and Reviews, v. 4, №6, 359-366 (2009). 4, №6, 359-366 (2009).

3. Q. Zhang. 3. Q. Zhang. Carbon Nanotubes and Their Applications // Pan Stanford Series on Carbon-Based Nanomaterials, v. Carbon Nanotubes and Their Applications // Pan Stanford Series on Carbon-Based Nanomaterials, v. 1, p. 1, p. 469 (2012). 469 (2012).

Claims (1)

  1. Светопоглощающий материал, содержащий углеродные нанотрубки, отличающийся тем, что материал содержит углеродные нанотрубки в виде пучков мало- и многостенных углеродных нанотрубок с латеральными отложениями в виде хаотично ориентированных фрагментов графена с размером до 10 нм, обладающих способностью к формованию в ленты толщиной не менее 2 мм и плотностью 0,4 г/см 3 с коэффициентом светопоглощения около 99,9%. Flocking material comprising carbon nanotubes, characterized in that the material comprises carbon nanotubes in the form of beams small and multiwall carbon nanotubes with lateral deposits in the form of randomly oriented graphene fragments with a size up to 10 nm, having an ability to be molded into strips of 2 mm thickness and a density of 0.4 g / cm 3 with a light absorption coefficient of about 99.9%.
RU2016142909A 2016-11-01 2016-11-01 Light-absorption material RU2645536C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016142909A RU2645536C1 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Light-absorption material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016142909A RU2645536C1 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Light-absorption material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2645536C1 true RU2645536C1 (en) 2018-02-21

Family

ID=61258906

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016142909A RU2645536C1 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Light-absorption material

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2645536C1 (en)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2132549C1 (en) * 1998-01-20 1999-06-27 Бронников Вадим Александрович Method and device for metering thermal characteristics of thin-layer materials
RU2148801C1 (en) * 1998-08-25 2000-05-10 Государственное предприятие Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений Black body model
US20090126783A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-21 Rensselaer Polytechnic Institute Use of vertical aligned carbon nanotube as a super dark absorber for pv, tpv, radar and infrared absorber application
US20100258111A1 (en) * 2009-04-07 2010-10-14 Lockheed Martin Corporation Solar receiver utilizing carbon nanotube infused coatings
RU2438103C1 (en) * 2010-06-15 2011-12-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг) Apparatus for calibrating multichannel pyrometers
US20130087758A1 (en) * 2010-04-28 2013-04-11 Keio University Carbon nanotube light emitting device, light source, and photo coupler
RU2503103C1 (en) * 2012-12-27 2013-12-27 Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") Method of making absorbent coating
US20140339407A1 (en) * 2013-05-15 2014-11-20 Raytheon Company Carbon nanotube blackbody film for compact, lightweight, and on-demand infrared calibration
US20150076373A1 (en) * 2013-05-15 2015-03-19 Raytheon Company Multi-layer advanced carbon nanotube blackbody for compact, lightweight, and on-demand infrared calibration

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2132549C1 (en) * 1998-01-20 1999-06-27 Бронников Вадим Александрович Method and device for metering thermal characteristics of thin-layer materials
RU2148801C1 (en) * 1998-08-25 2000-05-10 Государственное предприятие Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений Black body model
US20090126783A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-21 Rensselaer Polytechnic Institute Use of vertical aligned carbon nanotube as a super dark absorber for pv, tpv, radar and infrared absorber application
US20100258111A1 (en) * 2009-04-07 2010-10-14 Lockheed Martin Corporation Solar receiver utilizing carbon nanotube infused coatings
US20130087758A1 (en) * 2010-04-28 2013-04-11 Keio University Carbon nanotube light emitting device, light source, and photo coupler
RU2438103C1 (en) * 2010-06-15 2011-12-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг) Apparatus for calibrating multichannel pyrometers
RU2503103C1 (en) * 2012-12-27 2013-12-27 Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") Method of making absorbent coating
US20140339407A1 (en) * 2013-05-15 2014-11-20 Raytheon Company Carbon nanotube blackbody film for compact, lightweight, and on-demand infrared calibration
US20150076373A1 (en) * 2013-05-15 2015-03-19 Raytheon Company Multi-layer advanced carbon nanotube blackbody for compact, lightweight, and on-demand infrared calibration

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Itkis et al. Bolometric infrared photoresponse of suspended single-walled carbon nanotube films
Ciuparu et al. Synthesis of pure boron single-wall nanotubes
Malesevic et al. Field emission from vertically aligned few-layer graphene
Geohegan et al. In situ growth rate measurements and length control during chemical vapor deposition of vertically aligned multiwall carbon nanotubes
Mathur et al. Size‐dependent photoconductance in SnO2 nanowires
US20110051775A1 (en) Carbon nanotube temperature and pressure sensors
Hawaldar et al. Large-area high-throughput synthesis of monolayer graphene sheet by Hot Filament Thermal Chemical Vapor Deposition
Hofmann et al. Low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposition of carbon nanotubes
Chiashi et al. Cold wall CVD generation of single-walled carbon nanotubes and in situ Raman scattering measurements of the growth stage
Gautam et al. Gas sensing properties of graphene synthesized by chemical vapor deposition
Jakubinek et al. Thermal and electrical conductivity of tall, vertically aligned carbon nanotube arrays
Cantalini et al. NO2 gas sensitivity of carbon nanotubes obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition
US20070048211A1 (en) Apparatus and method for synthesizing a single-wall carbon nanotube array
US6303094B1 (en) Process for producing carbon nanotubes, process for producing carbon nanotube film, and structure provided with carbon nanotube film
Zhong et al. Semi-quantitative study on the fabrication of densely packed and vertically aligned single-walled carbon nanotubes
Wei et al. Comparative studies of multiwalled carbon nanotube sheets before and after shrinking
US20060279191A1 (en) Fabrication of high thermal conductivity arrays of carbon nanotubes and their composites
US20130187097A1 (en) Method for producing graphene at a low temperature, method for direct transfer of graphene using same, and graphene sheet
US20030048057A1 (en) Electron emitting device using carbon fiber; electron source; image display device; method of manufacturing the electron emitting device; method of manufacturing electron source using the electron emitting device; and method of manufacturing image display device
Seo et al. Control of morphology and electrical properties of self-organized graphenes in a plasma
US20050090024A1 (en) System and method for developing production nano-material
US20060007983A1 (en) Pyrolyzed thin film carbon
Shin et al. Planar catalytic combustor film for thermoelectric hydrogen sensor
US20110036829A1 (en) Planar heating element obtained using dispersion of fine carbon fibers in water and process for producing the planar heating element
Kang et al. Thickness-dependent thermal resistance of a transparent glass heater with a single-walled carbon nanotube coating