RU2554358C1 - Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation - Google Patents

Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2554358C1
RU2554358C1 RU2014101361/03A RU2014101361A RU2554358C1 RU 2554358 C1 RU2554358 C1 RU 2554358C1 RU 2014101361/03 A RU2014101361/03 A RU 2014101361/03A RU 2014101361 A RU2014101361 A RU 2014101361A RU 2554358 C1 RU2554358 C1 RU 2554358C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
cells
cell
dispenser
vacuum chamber
Prior art date
Application number
RU2014101361/03A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Рафаил Ионович Фишман
Дмитрий Иванович Севостьянов
Виталий Валентинович Васильев
Сергей Александрович Зибров
Александр Владимирович Сивак
Владимир Леонидович Величанский
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии"
Priority to RU2014101361/03A priority Critical patent/RU2554358C1/en
Priority to PCT/RU2014/000034 priority patent/WO2015108439A1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2554358C1 publication Critical patent/RU2554358C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
    • G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
    • G04F5/14—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks
    • G04F5/145—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks using Coherent Population Trapping
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0025—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam

Abstract

FIELD: metallurgy.
SUBSTANCE: manufacturing method of atomic cells involves heating of an opening and an end face of a cell workpiece, welding of the opening to one of the end faces of the workpiece and their annealing by emission of a CO2 laser, heat treatment of the workpiece, pumping-out and further filling with vapours of alkaline metal in vacuum. Then, the sputtered metal is evaporated from workpiece walls by means of the CO2 laser and the cell is sealed by installation of a transparent opening on the second end face of the cell workpiece and its welding to the end face by means of a laser. A device for filling in the cells with alkaline metal includes a vacuum chamber, pumps and a laser system. The vacuum chamber includes a carrousel with seats, a workpiece heater, a cover plate laying mechanism, and an opening transparent for laser emission.
EFFECT: invention allows obtaining miniature atomic cells with improved light transmission and operating properties, and allows saving an isotope of alkaline metal.
7 cl, 3 dwg

Description

Группа изобретений относится к способам получения малогабаритных атомных ячеек с парами атомов щелочных металлов и к устройствам для их изготовления и может быть использована при изготовлении квантовых магнитометров и малогабаритных атомных часов.The group of inventions relates to methods for producing small-sized atomic cells with pairs of alkali metal atoms and to devices for their manufacture and can be used in the manufacture of quantum magnetometers and small-sized atomic clocks.

Стеклянные ячейки, наполненные парами атомов щелочных металлов, применяют в малогабаритных атомных часах, стандартах частоты СВЧ- диапазона, ядерных гироскопах и квантовых магнитометрах с оптической накачкой. Для создания компактных приборов необходимы малогабаритные атомные ячейки.Glass cells filled with pairs of alkali metal atoms are used in small atomic clocks, microwave frequency standards, nuclear gyroscopes and optical pumped quantum magnetometers. To create compact devices, small-sized atomic cells are needed.

Наиболее близким аналогом предлагаемому является способ получения стеклянной ячейки, наполненной парами атомов щелочных металлов, представляющей собой изготовленную традиционным стеклодувным способом малогабаритную колбу цилиндрической или сферической формы с приваренным отростком (штенгелем), через который осуществляется заполнение ячейки парами щелочного металла и буферным газом и последующая герметизация ячейки путем отпайки (заваривания) штенгеля [Knappe S, Velichansky V, Robinson H G, Kitching J, Hollberg L, "Compact atomic vapor cells fabricated by laser induced heating of hollow-core glass fibers." Rev. Sci. Instrum. 74, 3142-5(2003)]. Способ изготовления таких ячеек включает приварку штенгеля из тонкостенной трубки к корпусу ячейки (колбы), представляющей собой тонкостенный стеклянный стаканчик, предварительный нагрев торца ячейки и окна, приварку окна к торцу ячейки и их совместный отжиг излучением CO2-лазера, подключение ячейки через штенгель к откачному посту, откачку ячейки и ее предварительную термообработку, заполнение термообработанной ячейки рубидием, заполнение смесью рабочих газов и герметизацию путем отпайки штенгеля, для чего штенгель нагревается как можно ближе к колбе до температуры размягчения стекла и заваривается благодаря разнице давления снаружи колбы (атмосферное давление) и внутри колбы (давление рабочих газов). Однако использование при стеклодувном изготовлении ячеек газовых горелок не позволяет изготовить ячейки с характерными размерами порядка нескольких миллиметров и качественными оптически однородными по всему сечению окнами, а также уменьшить длину штенгеля при отпайке от откачного поста до нескольких миллиметров, поскольку при этом размягчению и деформации подвергаются также колба и окна ячейки. Все это увеличивает габариты ячейки, по крайней мере, до значений, превышающих 8 мм, что снижает ее оптические свойства (возникает неоднородное по сечению преломление, и меняется поляризация проходящего через окна пучка света) и эксплуатационные свойства (наличие отростка требует особых технических подходов для размещения ячейки в аппаратуре, что зачастую увеличивает ее габариты), ухудшает весогабаритные характеристики и энергопотребление аппаратуры.The closest analogue to the proposed one is a method of producing a glass cell filled with pairs of alkali metal atoms, which is a small-sized cylindrical or spherical bulb made by the traditional glass-blowing method with a welded process (plug), through which the cell is filled with alkali metal vapors and buffer gas and the cell is subsequently sealed by desoldering (brewing) the caliper [Knappe S, Velichansky V, Robinson HG, Kitching J, Hollberg L, "Compact atomic vapor cells fabricated by laser induced heating of hollow-core glas s fibers. " Rev. Sci. Instrum. 74, 3142-5 (2003)]. A method of manufacturing such cells includes welding a plug from a thin-walled tube to the cell body (bulb), which is a thin-walled glass cup, preheating the cell end and the window, welding the window to the cell end and annealing them together with CO 2 laser radiation, connecting the cell through the plug to pumping station, pumping the cell and its preliminary heat treatment, filling the heat-treated cell with rubidium, filling it with a mixture of working gases and sealing by desoldering the ram, for which the ram is heated like m zhno closer to the flask to a glass softening temperature and is sealed through the pressure difference between the outside of the bulb (atmospheric pressure) and the inside of the flask (pressure working gas). However, the use of gas burners in the glass-blowing production of cells does not allow the manufacture of cells with characteristic dimensions of the order of several millimeters and high-quality optically uniform windows over the entire cross section, as well as reducing the length of the ram during soldering from the pumping station to several millimeters, since the bulb is also softened and deformed and cell windows. All this increases the cell’s dimensions, at least, to values exceeding 8 mm, which reduces its optical properties (there is a non-uniform cross-sectional refraction, and the polarization of the light beam passing through the windows changes) and operational properties (the presence of a shoot requires special technical approaches for placement cells in the equipment, which often increases its dimensions), worsens the weight and size characteristics and power consumption of the equipment.

Наиболее близким аналогом предлагаемому является устройство для изготовления ячеек, наполненных парами атомов щелочных металлов, включающее вакуумную камеру, ампулу, устройство для вскрытия ампулы, расположенные в отдельном вакуумированном отсеке, отделенном от вакуумной камеры затвором, устройство для перемещения ампулы из отсека в вакуумную камеру [Заявка на патент US 2012321433, опубл. 20.12.2012].The closest analogue to the proposed one is a device for manufacturing cells filled with pairs of alkali metal atoms, including a vacuum chamber, an ampoule, a device for opening an ampoule located in a separate evacuated compartment, separated from the vacuum chamber by a shutter, a device for moving the ampoule from the compartment into the vacuum chamber [Application Patent US 2012321433, publ. 12/20/2012].

Недостатками известного устройства являются неэкономичное использование и невозможность дозированного заполнения ячейки дорогостоящим изотопом щелочных металлов и невозможность их герметизации.The disadvantages of the known device are the uneconomical use and the impossibility of dosed filling the cell with an expensive isotope of alkali metals and the impossibility of sealing them.

Техническим результатом предлагаемой группы изобретений является миниатюризация стеклянной ячейки, улучшение светопропускания всех ее стенок, исключение пространственно неоднородного преломления и изменения поляризации проходящего через стенки пучка света, улучшение эксплуатационных свойств ячеек, что в итоге приводит к улучшению метрологических характеристик ячеек или аппаратуры с применением этих ячеек, в частности улучшению отношения полезного сигнала к шуму, повышению кратковременной и долговременной стабильности частоты (для атомных часов), чувствительности (для квантовых магнитометров), уменьшению весогабаритных показателей аппаратуры, а также экономии дорогостоящего изотопа щелочного металла.The technical result of the proposed group of inventions is the miniaturization of the glass cell, improving the light transmission of all its walls, eliminating spatially inhomogeneous refraction and changing the polarization of the light beam passing through the walls, improving the operational properties of the cells, which ultimately leads to an improvement in the metrological characteristics of the cells or equipment using these cells, in particular, improving the ratio of the useful signal to noise, increasing the short-term and long-term frequency stability (d For atomic clocks), sensitivity (for quantum magnetometers), a decrease in the weight and size parameters of the equipment, and also the saving of an expensive alkali metal isotope.

Указанный технический результат достигается тем, что в способе изготовления малогабаритных атомных ячеек с парами атомов щелочных металлов, включающем предварительный нагрев окна и торца заготовки ячейки, приварку окна к одному из торцов заготовки ячейки и их отжиг излучением CO2-лазера, предварительную термообработку заготовки ячейки, откачку и последующее ее заполнение парами щелочного металла, заполнение смесью буферных газов и герметизацию, предварительную термообработку заготовки ячейки и заполнение ее щелочным металлом проводят в вакууме, после заполнения термообработанной заготовки ячейки щелочным металлом напыленный металл с внутренних стенок заготовки ячейки, прилегающих ко второму его торцу, испаряют излучением CO2-лазера, проводят заполнение смесью буферных газов, а затем герметизируют ячейку путем установки прозрачного окна на втором торце заготовки ячейки и его приварки к этому торцу излучением CO2-лазера.The specified technical result is achieved by the fact that in the method of manufacturing small-sized atomic cells with pairs of alkali metal atoms, including pre-heating the window and the end face of the cell blank, welding the window to one of the ends of the cell blank and annealing it with CO 2 laser radiation, preliminary heat treatment of the cell blank, pumping and its subsequent filling with alkali metal vapors, filling with a mixture of buffer gases and sealing, preliminary heat treatment of the cell blank and filling it with alkali metal wire jat in vacuum, after filling the heat-treated blank of the cell with alkali metal, the sprayed metal from the inner walls of the blank of the cell adjacent to its second end face is evaporated by the radiation of a CO 2 laser, it is filled with a buffer gas mixture, and then the cell is sealed by installing a transparent window on the second end of the blank cell and its welding to this end by radiation of a CO 2 laser.

Указанный технический результат достигается также тем, что в качестве щелочного металла используют рубидий, цезий или калий.The indicated technical result is also achieved by the fact that rubidium, cesium or potassium are used as the alkali metal.

Указанный технический результат достигается также тем, что устройство для заполнения ячеек щелочным металлом, включающее вакуумную камеру, отделенную затвором от герметичного отсека для размещения дозатора и устройства для его вскрытия, механизм доставки дозатора из отсека в вакуумную камеру, вакуумные насосы, дополнительно содержит лазерную систему, а вакуумная камера содержит карусель с гнездами для заготовок ячеек, нагреватель заготовок ячеек, механизм укладки крышек, смотровое окно, окно, прозрачное для лазерного излучения, приводы для вращения заготовок ячеек и поворота карусели, натекатели для ввода в вакуумную камеру инертных газов и расположенные вне вакуумной камеры резервуары инертных газов.The specified technical result is also achieved by the fact that the device for filling the cells with alkali metal, including a vacuum chamber, separated by a shutter from the sealed compartment to accommodate the dispenser and a device for opening it, the mechanism for delivering the dispenser from the compartment to the vacuum chamber, vacuum pumps, further comprises a laser system, and the vacuum chamber contains a carousel with slots for blanks of cells, a heater for blanks of cells, a mechanism for stacking covers, a viewing window, a window transparent to laser radiation, a drive s for rotation cells preforms and rotation of the carousel, inlet valve to enter the vacuum chamber and the inert gas disposed outside the vacuum chamber reservoirs inert gases.

Указанный технический результат достигается также тем, что лазерная система содержит CO2-лазер, лазер-гид, смесительное зеркало, отражающее зеркало и фокусирующую линзу.The specified technical result is also achieved by the fact that the laser system contains a CO 2 laser, a laser guide, a mixing mirror, a reflecting mirror and a focusing lens.

Указанный технический результат достигается также тем, что дозатор выполнен в виде стеклянной ампулы с капиллярным выходом и круговой насечкой в месте вскрытия.The specified technical result is also achieved by the fact that the dispenser is made in the form of a glass ampoule with a capillary exit and a circular notch at the opening.

Указанный технический результат достигается также тем, что устройство для вскрытия дозатора выполнено в виде упора.The specified technical result is also achieved by the fact that the device for opening the dispenser is made in the form of a stop.

Указанный технический результат достигается также тем, что в качестве затвора используют шиберный затвор.The indicated technical result is also achieved by the fact that a slide gate is used as a shutter.

Сущность предлагаемой группы изобретений поясняется фиг.1-3.The essence of the proposed group of inventions is illustrated in figures 1-3.

На фиг.1 и 2 изображена схема заполнения малогабаритных атомных ячеек парами атомов щелочных металлов и инертными газами и герметизации заполненных ячеек, где 1 - вакуумная камера, 2 - дозатор, 3 - привод поворота карусели, 4 - карусель с гнездами для ячеек, 5 - окно, прозрачное для лазерного излучения, 6 - заготовка ячейки (стаканчик), 7 - пучок излучения CO2-лазера, 8 - крышка ячейки.Figures 1 and 2 show a diagram of filling small-sized atomic cells with pairs of alkali metal atoms and inert gases and sealing filled cells, where 1 is a vacuum chamber, 2 is a dispenser, 3 is a carousel rotation drive, 4 is a carousel with cell slots, 5 is a window transparent to laser radiation, 6 — a cell blank (glass), 7 — a radiation beam of a CO 2 laser, 8 — a cell lid.

На фиг.3 схематически изображено предлагаемое устройство, где 1 - вакуумная камера, 2 - дозатор, 3 - привод поворота карусели, 4 - карусель с гнездами для заготовок ячеек, 5 - окно, прозрачное для лазерного излучения, 6 - заготовка ячейки, 7 - пучок излучения CO2-лазера, 8 - крышка ячейки, 9 - привод вращения ячеек, 10 - устройство для вскрытия дозатора, 11 - механизм укладки крышек, 12 - вакуумный насос, 13 - натекатель, 14 - окно смотровое, 15 - вакуумированный отсек дозатора, 16 - CO2-лазер, 17 - лазер-гид, 18 - полупрозрачное смесительное зеркало, 19 - отражающее зеркало, 20 - фокусирующая линза, 21 - нагреватель заготовок ячеек, 22 - нагреватель дозатора, 23 - резервуар с инертным газом, 24 - шиберный затвор, 25 - устройство для подачи дозатора, 26 - шиберный затвор.Figure 3 schematically shows the proposed device, where 1 is a vacuum chamber, 2 is a dispenser, 3 is a carousel rotation drive, 4 is a carousel with slots for blanks of cells, 5 is a window transparent to laser radiation, 6 is a blank of a cell, 7 is radiation beam of a CO 2 laser, 8 — cell cover, 9 — cell rotation drive, 10 — device for opening the dispenser, 11 — mechanism for stacking covers, 12 — vacuum pump, 13 — leakage device, 14 — viewing window, 15 — evacuated dispenser compartment , 16 - CO 2 laser, 17 - laser guide, 18 - translucent mixing mirror, 19 - reflective mirror, 20 - focusing lens, 21 - cell blank heater, 22 - dispenser heater, 23 - inert gas reservoir, 24 - slide gate, 25 - dispenser supply device, 26 - slide gate.

Предлагаемое устройство содержит герметичный отсек 15 дозатора 2, вакуумную камеру 1 со смотровым окном 14 и окном 5, прозрачным для лазерного излучения. В отсеке дозатора 15 размещен дозатор 2 и устройство для вскрытия дозатора 10, выполненное в виде упора. Вакуумная камера 1, к которой подсоединен вакуумный насос 12, оснащена каруселью 4 с гнездами для заготовок ячеек 6, приводом поворота карусели 3 и приводом вращения заготовок ячеек 9, нагревателем ячеек 21, нагревателем дозатора 22. Для перемещения дозатора 2 из отсека 15 в вакуумную камеру 1 установка снабжена устройством подачи 25. Кроме того, предлагаемое устройство содержит лазерную систему, включающую CO2-лазер 16, лазер-гид 17, смесительное зеркало 18, совмещающее лучи силового лазера и лазера-гида, отражающее зеркало 19 и фокусирующую линзу 20, и систему для подвода в вакуумную камеру инертных газов, включающую резервуары 23 с инертными газами, натекателями 13 и шиберным затвором 24.The proposed device contains a sealed compartment 15 of the dispenser 2, a vacuum chamber 1 with a viewing window 14 and a window 5, transparent to laser radiation. In the compartment of the dispenser 15 there is a dispenser 2 and a device for opening the dispenser 10, made in the form of a stop. The vacuum chamber 1, to which the vacuum pump 12 is connected, is equipped with a carousel 4 with slots for blanks of cells 6, a drive for rotating the carousel 3 and a drive for rotating blanks of cells 9, a heater of cells 21, a heater of dispenser 22. To move the dispenser 2 from compartment 15 to the vacuum chamber 1, the apparatus is provided with a feeding device 25. In addition, the proposed device comprises a laser system including a CO 2 laser 16, a laser guide 17, a mixing mirror 18 combining the beams of a power laser and a laser guide, a reflecting mirror 19 and a focusing lens 20, and from system for supplying inert gases into the vacuum chamber, including reservoirs 23 with inert gases, leakages 13 and slide gate 24.

Предлагаемый способ осуществляют следующим образом:The proposed method is as follows:

На первом этапе длинную трубку из боросиликатного стекла нарезают с использованием лазера или специального станка с автоматической регулировкой подачи на маленькие полые цилиндры равной высоты.At the first stage, a long tube of borosilicate glass is cut using a laser or a special machine with automatic adjustment of the feed to small hollow cylinders of equal height.

Затем изготавливают заготовки ячеек 6 в виде тонкостенных цилиндрических стаканчиков, осуществляя предварительный их нагрев, сварку и отжиг стекла излучением CO2-лазера для снятия остаточных механических напряжений в донышке заготовки (одного из окон ячейки), которые могут приводить к нежелательному изменению поляризации лазерного излучения из-за наведенного двулучепреломления. Нагрев, сварку и отжиг производят при вращении свариваемых деталей вокруг их оси симметрии со скоростью несколько оборотов в секунду. Сварка заготовки ячейки может быть выполнена без создания вакуумных условий.Then, blanks of cells 6 are made in the form of thin-walled cylindrical cups, pre-heating, welding and annealing the glass by radiation of a CO 2 laser to relieve residual mechanical stresses in the bottom of the blank (one of the cell windows), which can lead to an undesirable change in the polarization of laser radiation from -for induced birefringence. Heating, welding and annealing is carried out during rotation of the welded parts around their axis of symmetry at a speed of several revolutions per second. Welding the cell blank can be done without creating vacuum conditions.

Полученную заготовку ячейки 6 размещают в вакуумной камере 1 (фиг.1-3). Проводят откачку и вакуумный отжиг. К заготовкам ячеек 6 манипулятором подводят дозатор 2 щелочного металла и с помощью этого дозатора производят их загрузку необходимым количеством щелочного металла. Для обеспечения эффузионного направленного потока атомов щелочного металла из дозатора 2 в заготовки ячеек 6 и требуемого для этого перепада температуры между капилляром дозатора 2 и заготовкой ячейки капилляр дозатора в процессе заполнения ячеек щелочным металлом прогревают лазерным излучением. В конце интервала загрузки на дне стакана и частично на его боковых стенках осаждается субмикронный слой металла. Не изменяя режима нагрева дозатора 2, производят поворот карусели 4 с заготовками ячеек 6 на определенный угол и подводят следующую заготовку под эффузионный поток атомов щелочного металла из сопла дозатора 2. Процедуру повторяют столько раз, сколько заготовок ячеек размещено в карусели 4, пока щелочной металл не окажется во всех ячейках.The resulting blank cell 6 is placed in a vacuum chamber 1 (Fig.1-3). Spend pumping and vacuum annealing. The alkali metal dispenser 2 is brought to the blanks of the cells 6 by the manipulator and with the help of this dispenser they are loaded with the necessary amount of alkali metal. To ensure an effusive directed flow of alkali metal atoms from the dispenser 2 to the blanks of the cells 6 and the temperature difference required for this between the capillary of the dispenser 2 and the blank of the cell, the capillary of the dispenser is heated by laser radiation in the process of filling the cells with alkali metal. At the end of the loading interval, a submicron metal layer is deposited on the bottom of the glass and partially on its side walls. Without changing the heating mode of the dispenser 2, rotate the carousel 4 with the blanks of the cells 6 by a certain angle and bring the next blank under the effusion stream of alkali metal atoms from the nozzle of the dispenser 2. The procedure is repeated as many times as the blanks of the cells are placed in the carousel 4 until the alkali metal will be in all cells.

В рабочей зоне сварки, куда через окно 5 вакуумной камеры 1 направляют излучение 7 CO2-лазера 16, включают привод 9, вращающий ось с ячейкой, излучением CO2-лазера подогревают верхний край заготовки ячейки и примерно в течение минуты освобождают его от осевшего щелочного металла. При этом с верхнего края стаканчика 6 часть металла осаждается в его нижней охлаждаемой области. Эту операцию производят со всеми заготовками ячеек.In the welding working zone, where the radiation of 7 CO 2 laser 16 is directed through the window 5 of the vacuum chamber 1, the drive 9, the rotary axis with the cell, is turned on, the upper edge of the cell blank is heated by radiation of the CO 2 laser and it is freed from the settled alkaline for about a minute metal. In this case, from the upper edge of the cup 6, a part of the metal is deposited in its lower cooled region. This operation is performed with all the blanks of the cells.

Далее вакуумную камеру 1 заполняют буферным газом с необходимым давлением (в пределах 5-200 Торр). Контроль давления осуществляется образцовым манометром. Сверху на заготовки ячеек 6 накладывают с помощью специального манипулятора окошки 8.Next, the vacuum chamber 1 is filled with buffer gas with the necessary pressure (within 5-200 Torr). Pressure control is carried out with an exemplary pressure gauge. On top of the blanks of cells 6 impose using a special manipulator windows 8.

Затем производят лазерную сварку заготовок ячеек 6 и стеклянных окошек 8. Для этого ячейка вращается вокруг своей оси, а лазерное излучение 7 фокусируется на стык цилиндрического стаканчика 6 с окошком 8. После окончания сварки вращение изготовленной ячейки останавливают, и ячейка в процессе перевода на следующую позицию механически выводится из контакта с вращающим приводом. Карусель 4 поворачивается, и в зоне сварки поочередно оказываются следующие ячейки.Then laser welding of the blanks of cells 6 and glass windows is performed. For this, the cell rotates around its axis, and the laser radiation 7 focuses on the junction of the cylindrical cup 6 with window 8. After the welding is completed, the rotation of the manufactured cell is stopped and the cell is transferred to the next position mechanically removed from contact with a rotary drive. The carousel 4 is rotated, and the following cells alternately appear in the welding zone.

Предлагаемое устройство (фиг.3) работает следующим образом.The proposed device (figure 3) works as follows.

При открытой крышке вакуумной камеры 1 заготовки ячеек 6 в виде стеклянных стаканчиков и крышек 8 размещают в гнездах карусели 4, причем эти элементы ячеек попарно располагают на одинаковом радиальном направлении карусели. Все гнезда для размещения ячеек установлены на осях и могут вращаться от внешнего привода 9 с регулируемой скоростью вращения или вручную. Привод 9 обеспечивает непрерывное вращение ячеек при сварке.With the lid of the vacuum chamber 1 open, the blanks of the cells 6 in the form of glass cups and lids 8 are placed in the nests of the carousel 4, and these cell elements are arranged in pairs on the same radial direction of the carousel. All slots for placing cells are mounted on the axes and can rotate from an external drive 9 with an adjustable speed of rotation or manually. The drive 9 provides continuous rotation of the cells during welding.

Крышку вакуумной камеры 1 герметически закрывают и производят откачку атмосферного воздуха вакуумными насосами 12. Если ампула дозатора 2 еще не вскрыта (используется первый раз), откачку производят при открытом шиберном затворе 26, перекрывающем вакуумированный отсек 15, в котором находится дозатор 2. Если сопло дозатора 2 уже открыто, шиберный затвор 26 открывают после полной откачки вакуумной камеры 1 до остаточного давления не более 10-5 Торр.The lid of the vacuum chamber 1 is hermetically closed and atmospheric air is pumped out by vacuum pumps 12. If the ampoule of dispenser 2 has not yet been opened (used for the first time), pumping is carried out with the slide gate 26 open, which covers the evacuated compartment 15 in which the dispenser 2 is located. If the dispenser nozzle 2 is already open, the slide gate 26 is opened after the vacuum chamber 1 is completely evacuated to a residual pressure of not more than 10 -5 Torr.

Перед напуском атмосферы дозатор 2 втягивают в отсек 15, который герметически закрывают шиберным затвором 26, и щелочной металл сохраняется в вакууме до изготовления следующей группы ячеек. Далее нагревателем 21 ячейки прогревают в режиме постоянной откачки насоса. После остывания ячеек дозатор 2 из отсека 15 перемещают в вакуумную камеру 1 с помощью устройства подачи 25. Если дозатор работает в первый раз, то при перемещении отпаянный кончик сопла дозатора 2 наталкивается на специальный упор и происходит его разлом по насечке. В результате сопло дозатора оказывается открытым.Before the atmosphere is poured, the dispenser 2 is pulled into the compartment 15, which is hermetically sealed with a slide gate 26, and the alkali metal is kept in vacuum until the next group of cells is manufactured. Next, the heater 21 cells are heated in the constant pumping mode. After cooling the cells, the dispenser 2 from the compartment 15 is moved to the vacuum chamber 1 using the feeder 25. If the dispenser is operated for the first time, then when moving the soldered tip of the nozzle of the dispenser 2 encounters a special stop and it breaks along the notch. As a result, the dispenser nozzle is open.

Сопло дозатора с помощью устройства подачи 25 устанавливают над ближайшей заготовкой ячейки 6. Контроль ведут через смотровое окно 14.Using the feed device 25, the nozzle of the dispenser is installed over the nearest blank of cell 6. Control is carried out through the viewing window 14.

Включают разогрев дозатора нагревателем 22 и дополнительный прогрев сопла, выступающего из прогреваемого объема, излучением CO2-лазера 16. Лазер находится вне вакуумной камеры, и его излучение после фокусирующей линзы 20, выполненной из селенида цинка, вводят внутрь камеры через окно 5, выполненное тоже из селенида цинка. Наведение невидимого излучения CO2-лазера на сопло дозатора осуществляется с помощью излучения лазера-гида 17. Оба луча совмещены на полупрозрачном зеркале 18. Температура дозатора 2 подбирается такой, чтобы время загрузки щелочным металлом не превышало 2 минут. Дозатор 2 работает в режиме эффузионного атомного пучка.The dispenser is heated by heater 22 and the nozzle protruding from the heated volume is additionally heated by radiation from a CO 2 laser 16. The laser is located outside the vacuum chamber, and its radiation after the focusing lens 20 made of zinc selenide is introduced into the chamber through window 5, also made from zinc selenide. The invisible radiation of a CO 2 laser is guided to the nozzle of the dispenser using the radiation of a laser guide 17. Both beams are aligned on a translucent mirror 18. The temperature of the dispenser 2 is selected so that the loading time of alkali metal does not exceed 2 minutes. Dispenser 2 operates in the effusion atomic beam mode.

В конце интервала загрузки на дне стакана и частично на его боковых стенках появляется зеркально отражающий тонкий (субмикронный) слой металла. Не изменяя режим нагрева дозатора 2, с помощью ручного привода 3, необходимого для дискретных поворотов карусели для повторения технологических операций с каждой из ячеек, производится поворот карусели 4 на определенный угол и под эффузионный поток атомов щелочного металла из сопла дозатора подводится следующая заготовка ячейки 6. Специальные углубления на диске карусели и фиксатор позволяют точно поворачивать карусель и устанавливать ячейку под загрузку. После загрузки процедура повторяется еще столько раз, сколько ячеек размещено в карусели, пока щелочной металл не окажется во всех ячейках. После загрузки всех ячеек дозатор 2 втягивают устройством подачи 25 назад в отсек 15 и шиберный затвор 26 перекрывают.At the end of the loading interval, a thin (submicron) metal layer appears on the bottom of the glass and partially on its side walls. Without changing the heating mode of the dispenser 2, using the manual drive 3 necessary for discrete rotations of the carousel to repeat technological operations from each of the cells, the carousel 4 is rotated by a certain angle and the next cell blank 6 is brought under the effusion flow of alkali metal atoms from the nozzle of the dispenser. Special recesses on the carousel disk and the latch allow you to precisely rotate the carousel and set the cell for loading. After loading, the procedure is repeated as many times as there are cells in the carousel until the alkali metal is in all cells. After loading all the cells, the dispenser 2 is pulled by the feeder 25 back into the compartment 15 and the slide gate 26 is closed.

Передвигают линзу 20 так, чтобы произвести фокусировку излучения CO2-лазера на верхний край ячейки. Это можно делать с помощью лазера-гида 17, который генерирует излучение видимого диапазона для облегчения наводки лазерного излучения ИК-диапазона на свариваемые или прогреваемые объекты внутри вакуумной камеры.The lens 20 is moved so as to focus the radiation of the CO 2 laser on the upper edge of the cell. This can be done using a laser guide 17, which generates visible radiation to facilitate directing the laser radiation of the infrared range on the welded or heated objects inside the vacuum chamber.

В рабочей зоне сварки, куда может быть направлено лазерное излучение, и где ранее производилась загрузка металла, включается привод 9, вращающий ось с ячейкой.In the welding working zone, where laser radiation can be directed, and where metal was previously loaded, a drive 9 is turned on, which rotates the axis with the cell.

Включают CO2-лазер 16, который в течение минуты подогревает верхний край ячейки и освобождает его от металла. При этом металл с верхнего края частично осаждается в нижней охлаждаемой области ячейки. Эту операцию производят со всеми ячейками.Turn on the CO 2 laser 16, which within a minute heats the upper edge of the cell and frees it from metal. In this case, metal from the upper edge is partially deposited in the lower cooled region of the cell. This operation is performed with all cells.

Перекрывают шиберный затвор 24, отсекающий систему откачки, открывают вентиль напуска буферного газа и через натекатель 13 производят напуск газа в вакуумную камеру 1 до необходимого давления в камере.The slide gate 24, which cuts off the pumping system, is closed, the buffer gas inlet valve is opened, and gas is let into the vacuum chamber 1 through the leakage 13 to the required pressure in the chamber.

Аналогичным образом производят напуск другого буферного газа из другого баллона, через его вентиль и натекатель 13. При этом в камере 1 и в ячейках устанавливается определенное процентное соотношение этих газов, влияющее на качество получаемых ячеек.In a similar way, another buffer gas is infused from another cylinder through its valve and leakage 13. In this case, a certain percentage of these gases is established in the chamber 1 and in the cells, which affects the quality of the obtained cells.

Вращением кулачкового механизма укладчика 11, расположенного рядом с соответствующей крышкой 8, крышку 8 надвигают сверху на заготовку ячейки 6 и закрывают ее.By rotating the cam mechanism of the stacker 11, located next to the corresponding cover 8, the cover 8 is pushed from above onto the blank of the cell 6 and closed.

Поворотом карусели 4 к укладчику подводят следующую заготовку ячейки 6, и она накрывается следующей крышкой 8. Эта операция повторяется еще столько раз, сколько в камере размещено ячеек и все они оказываются накрытыми крышками.By turning the carousel 4, the next blank of the cell 6 is brought to the stacker, and it is covered with the next lid 8. This operation is repeated as many times as there are cells in the chamber and all of them are covered with lids.

В рабочей зоне сварки, где ранее производилась загрузка металла и очистка верхнего края ячейки от металла, включают привод 9, вращающий ось с ячейкой, накрытой крышечкой. Затем включают CO2-лазер и поочередно осуществляют предварительный нагрев, сварку и отжиг ячейки. Вращение останавливается, и ось с ячейкой в процессе перевода на следующую позицию механически выводится из контакта с вращающим приводом.In the welding working zone, where metal was previously loaded and metal was cleaned from the upper edge of the cell, a drive 9 was turned on, a rotary axis with a cell covered with a lid. Then turn on the CO 2 laser and alternately carry out pre-heating, welding and annealing of the cell. The rotation stops, and the axis with the cell in the process of moving to the next position is mechanically removed from contact with the rotary drive.

Карусель поворачивается, и в зоне сварки поочередно оказываются следующие ячейки.The carousel is rotated, and the following cells alternately appear in the weld zone.

После герметизации всех ячеек в вакуумную камеру напускают атмосферный воздух, открывают крышку камеры и извлекают из нее готовые ячейки.After sealing all the cells, atmospheric air is let into the vacuum chamber, the chamber lid is opened and the finished cells are removed from it.

Ниже приведен конкретный пример использования предлагаемого способа.The following is a specific example of the use of the proposed method.

Изготавливают заготовки ячеек 6 в виде стаканчиков длиной 5 мм, диаметром 3,4 мм и толщиной стенки 0,7 мм с окном диаметром 3,4 мм и толщиной 0,5 мм, осуществляют предварительный их нагрев, сварку и отжиг стекла излучением CO2-лазера для снятия остаточных механических напряжений в окне заготовки ячейки. Нагрев, сварку и отжиг производят при вращении свариваемых деталей вокруг их оси симметрии со скоростью несколько оборотов в секунду. При сварке лазерным излучением управление лазерным пучком осуществляют фокусирующей линзой, а держатель вращают дополнительным приводом. Сварка заготовок ячеек может быть выполнена без создания вакуумных условий.They make blanks of cells 6 in the form of cups with a length of 5 mm, a diameter of 3.4 mm and a wall thickness of 0.7 mm with a window with a diameter of 3.4 mm and a thickness of 0.5 mm, pre-heat them, weld and anneal the glass with CO 2 radiation - laser to relieve residual mechanical stress in the cell blank window. Heating, welding and annealing is carried out during rotation of the welded parts around their axis of symmetry at a speed of several revolutions per second. When welding with laser radiation, the laser beam is controlled by a focusing lens, and the holder is rotated by an additional drive. Welding of cell blanks can be performed without creating vacuum conditions.

Полученную заготовку ячейки размещают в вакуумной камере. Вакуумная камера содержит карусель с размещенными на ней заготовками ячеек в держателях, нагреватель заготовок ячеек для их отжига, механизм укладки крышечек, смотровое окно, лазерное окно, приводы для вращения ячеек и карусели, резервуары и натекатели для ввода в вакуумную камеру инертных газов.The resulting cell blank is placed in a vacuum chamber. The vacuum chamber contains a carousel with blanks of cells in the holders placed on it, a heater for blanks of cells for their annealing, a mechanism for laying lids, an inspection window, a laser window, drives for rotating the cells and the carousel, reservoirs and leakages for introducing inert gases into the vacuum chamber.

Камеру герметично закрывают и откачивают до 5*10-6 Торр. Далее заготовки и окна обезгаживают при давлении не выше 10-5 Торр при температуре 300°C в течение 6 часов. Выключают подогрев заготовок, шиберным затвором открывают предварительно откачанный шлюз, в камеру вводят дозатор, выполненный в виде стеклянной ампулы с капиллярным выходом и круговой насечкой в месте вскрытия, и производят вскрытие сопла ампулы по насечке. Открытый конец сопла ампулы размещают над стаканчиком. Ампулу нагревают до температуры 130°C. В течение 3-х минут происходит загрузка 1±0,2 мкг изотопа рубидия 87Rb. После этого поворачивают карусель и под сопло подводят следующий стаканчик. После заполнения всех стаканчиков дозатор задвигают обратно в шлюз и отсекают от камеры шиберным затвором. С помощью CO2-лазера производится прогрев до температуры около 250°C и сублимация атомов рубидия с торцов всех стаканчиков. Далее в камеру (и стаканчики) напускают аргон до давления около 33 Торр и неон до давления около 66 Торр, контролируя давление образцовым манометром. После этого на открытые стаканчики надвигают крышки-окошки. В зоне сварки включают вращение заготовки ячейки вокруг ее оси (2 об/сек). После этого в три этапа осуществляют сварку окна и стаканчика. Первые 10 секунд (прогрев) мощность лазера составляет 3 Вт, затем в течение 3 сек происходит собственно сварка при мощности лазера 8 Вт и завершается процесс отжиг при мощности лазера 3 Вт (10 сек). Регулировка длительности и мощности каждого этапа производится программируемым контроллером, сигнал с которого поступает на блок управления CO2- лазера. Юстировку луча CO2-лазера производят с помощью излучения лазера видимого диапазона (0,5 мкм), которое распространяется соосно с невидимым излучением CO2-лазера (10 мкм).The chamber is sealed and pumped out to 5 * 10 -6 Torr. Next, blanks and windows are degassed at a pressure of no higher than 10 -5 Torr at a temperature of 300 ° C for 6 hours. The preheating of the blanks is turned off, the previously evacuated gateway is opened with a slide gate, a dispenser made in the form of a glass ampoule with a capillary exit and a circular notch at the opening point is introduced into the chamber, and the nozzle is opened through the notch. The open end of the ampoule nozzle is placed above the cup. The ampoule is heated to a temperature of 130 ° C. Within 3 minutes, a loading of 1 ± 0.2 μg of the rubidium isotope 87 Rb takes place. After this, the carousel is turned and the next cup is brought under the nozzle. After filling all the cups, the dispenser is pushed back into the gateway and cut off from the camera by a slide gate. Using a CO 2 laser, it is heated to a temperature of about 250 ° C and the rubidium atoms are sublimated from the ends of all the glasses. Then argon is poured into the chamber (and cups) to a pressure of about 33 Torr and neon to a pressure of about 66 Torr, controlling the pressure with an exemplary pressure gauge. After that, the lids-windows are pushed onto open cups. In the welding zone, the cell blank is rotated around its axis (2 rpm). After that, the window and cup are welded in three stages. For the first 10 seconds (warming up), the laser power is 3 W, then within 3 seconds the welding itself occurs at a laser power of 8 W and the annealing process is completed at a laser power of 3 W (10 sec). The duration and power of each stage are adjusted by a programmable controller, the signal from which is fed to the control unit of the CO 2 laser. The alignment of the beam of the CO 2 laser is performed using visible laser radiation (0.5 μm), which is distributed coaxially with the invisible radiation of the CO 2 laser (10 μm).

Процедуру герметизации повторяют столько раз, сколько ячеек размещено в карусели.The sealing procedure is repeated as many times as there are cells in the carousel.

В камеру напускается атмосфера, снимается крышка, извлекаются готовые ячейки. Производятся их визуальный осмотр, оптический и метрологический контроль.The atmosphere is poured into the chamber, the lid is removed, the finished cells are removed. Visual inspection, optical and metrological control are carried out.

Предлагаемая группа изобретений позволяет получать миниатюрные цилиндрические ячейки со следующими размерами: длина ячейки 6 мм, диаметр 3,4 мм, толщина стенки 0,7 мм, с улучшенным светопропусканием и эксплуатационными свойствами, а также достигается экономия дорогостоящего изотопа щелочного металла за счет дозированного заполнения им ячейки.The proposed group of inventions allows to obtain miniature cylindrical cells with the following dimensions: cell length 6 mm, diameter 3.4 mm, wall thickness 0.7 mm, with improved light transmission and operational properties, and also saves expensive alkali metal isotope due to dosed filling them cells.

Claims (7)

1. Способ изготовления малогабаритных атомных ячеек с парами атомов щелочных металлов, включающий предварительный нагрев окна и торца заготовки ячейки, приварку окна к одному из торцов заготовки ячейки и их отжиг излучением CO2-лазера, откачку, предварительную термообработку заготовки ячейки и последующее ее заполнение парами щелочного металла, заполнение смесью буферных газов и герметизацию, отличающийся тем, что предварительную термообработку заготовки ячейки, заполнение ее щелочным металлом проводят в вакууме, после заполнения термообработанного стаканчика щелочным металлом напыленный металл с внутренних стенок заготовки ячейки, прилегающих ко второму ее торцу, испаряют излучением CO2-лазера, проводят заполнение смесью буферных газов, а затем герметизируют ячейку путем установки прозрачного окна на втором торце заготовки ячейки и его приварки к этому торцу.1. A method of manufacturing small-sized atomic cells with pairs of alkali metal atoms, comprising pre-heating the window and the end face of the cell blank, welding the window to one of the ends of the cell blank and annealing them with CO 2 laser radiation, pumping out, preliminary heat treatment of the cell blank and its subsequent filling with pairs alkali metal, filling with a mixture of buffer gases and sealing, characterized in that the preliminary heat treatment of the cell blank, filling it with alkali metal is carried out in vacuum, after filling oobrabotannogo cup alkali metal sputtered metal with the inner walls of the blank cell adjacent to its second end, vaporized CO 2 laser irradiation, filling is carried out with a mixture of buffer gas and then seal the cell by setting a transparent window at the second end of the blank cell and its welding to the end . 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве щелочного металла используют рубидий, или цезий, или калий.2. The method according to claim 1, characterized in that the rubidium or cesium or potassium is used as the alkali metal. 3. Устройство для заполнения ячеек щелочным металлом, включающее вакуумную камеру, отделенную затвором от герметичного отсека для размещения дозатора и устройства для его вскрытия, механизм доставки дозатора из отсека для размещения дозатора в вакуумную камеру, вакуумные насосы, отличающееся тем, что устройство дополнительно содержит лазерную систему, а вакуумная камера содержит карусель с гнездами для заготовок ячеек, нагреватель заготовок ячеек, механизм укладки крышек, смотровое окно, окно, прозрачное для лазерного излучения, приводы для вращения заготовок ячеек и поворота карусели, натекатели для ввода в вакуумную камеру инертных газов и расположенные вне вакуумной камеры резервуары инертных газов.3. A device for filling cells with an alkali metal, including a vacuum chamber separated by a shutter from the pressurized compartment to accommodate the dispenser and a device for opening it, a dispenser delivery mechanism from the compartment for placing the dispenser into the vacuum chamber, vacuum pumps, characterized in that the device further comprises a laser the system, and the vacuum chamber contains a carousel with slots for blanks of cells, a heater for blanks of cells, a mechanism for stacking covers, a viewing window, a window transparent to laser radiation, a drive s for rotation of the blanks of the cells and rotation of the carousel, leakages for introducing inert gases into the vacuum chamber and inert gas reservoirs located outside the vacuum chamber. 4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что лазерная система содержит CO2-лазер, лазер-гид, смесительное зеркало, отражающее зеркало и фокусирующую линзу.4. The device according to claim 3, characterized in that the laser system contains a CO 2 laser, a laser guide, a mixing mirror, a reflecting mirror and a focusing lens. 5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что дозатор выполнен в виде стеклянной ампулы с капиллярным выходом и круговой насечкой в месте вскрытия.5. The device according to claim 3, characterized in that the dispenser is made in the form of a glass ampoule with a capillary exit and a circular notch at the opening. 6. Устройство по п.3, отличающееся тем, что устройство для вскрытия дозатора выполнено в виде упора.6. The device according to claim 3, characterized in that the device for opening the dispenser is made in the form of a stop. 7. Устройство по п.3, отличающееся тем, что в качестве затвора используют шиберный затвор. 7. The device according to claim 3, characterized in that a slide gate is used as a shutter.
RU2014101361/03A 2014-01-17 2014-01-17 Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation RU2554358C1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014101361/03A RU2554358C1 (en) 2014-01-17 2014-01-17 Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation
PCT/RU2014/000034 WO2015108439A1 (en) 2014-01-17 2014-01-21 Method of manufacturing small atomic cells and device for implementing same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014101361/03A RU2554358C1 (en) 2014-01-17 2014-01-17 Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2554358C1 true RU2554358C1 (en) 2015-06-27

Family

ID=53498461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014101361/03A RU2554358C1 (en) 2014-01-17 2014-01-17 Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2554358C1 (en)
WO (1) WO2015108439A1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2676296C1 (en) * 2018-04-25 2018-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Method of manufacturing small-sized nuclear cells with alkali metal atom vapors
RU2677154C1 (en) * 2018-04-25 2019-01-15 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small-sized nuclear cells with alkali metals atoms vapors manufacturing method
RU187339U1 (en) * 2018-04-26 2019-03-01 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small atomic cell
RU2683455C1 (en) * 2018-04-25 2019-03-28 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small-size atomic cell
WO2019133985A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-04 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
WO2019133984A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-04 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
US11796967B2 (en) 2017-12-29 2023-10-24 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10539630B2 (en) 2016-12-02 2020-01-21 Texas Instruments Incorporated Package for chip scale magnetometer or atomic clock
CN108002343B (en) * 2017-11-30 2020-06-30 北京大学 Compound-eye type stacked dense multi-bubble-structure atomic gas chamber and preparation method thereof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2011129981A (en) * 2011-07-19 2013-01-27 Открытое акционерное общество "Российский институт радионавигации и времени" QUANTUM DISCRIMINATOR ON A GAS CELL

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5499417B2 (en) * 2010-02-22 2014-05-21 国立大学法人大阪大学 Alkali metal introduction device and alkali metal introduction method
US8624682B2 (en) * 2011-06-13 2014-01-07 Honeywell International Inc. Vapor cell atomic clock physics package

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2011129981A (en) * 2011-07-19 2013-01-27 Открытое акционерное общество "Российский институт радионавигации и времени" QUANTUM DISCRIMINATOR ON A GAS CELL

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Knappe S, Velichansky V, Robinson H G, Kitching J, Hollberg L, "Compact atomic vapor cells fabricated by laser induced heating of hollow-core glass fibers." Rev. Sci. Instrum. 74, 3142-3145,2003. *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019133985A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-04 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
WO2019133984A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-04 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
US10649408B2 (en) 2017-12-29 2020-05-12 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
US10859980B2 (en) 2017-12-29 2020-12-08 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
US10976708B2 (en) 2017-12-29 2021-04-13 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
US11796967B2 (en) 2017-12-29 2023-10-24 Texas Instruments Incorporated Molecular atomic clock with wave propagating rotational spectroscopy cell
RU2676296C1 (en) * 2018-04-25 2018-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Method of manufacturing small-sized nuclear cells with alkali metal atom vapors
RU2677154C1 (en) * 2018-04-25 2019-01-15 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small-sized nuclear cells with alkali metals atoms vapors manufacturing method
RU2683455C1 (en) * 2018-04-25 2019-03-28 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small-size atomic cell
RU187339U1 (en) * 2018-04-26 2019-03-01 Общество с ограниченной ответственностью "Атомикс" Small atomic cell

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015108439A1 (en) 2015-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2554358C1 (en) Manufacturing method of small-sized atomic cells with vapours of atoms of alkaline metals and device for its implementation
RU2578890C1 (en) Method of producing small-size optical resonance cells with vapours of alkali metal atoms and device therefor
CN106583726B (en) Laser multiple beam cladding apparatus
US20150114043A1 (en) Mold, process and apparatus for laser-assisted glass forming
US11904410B2 (en) Laser surface preparation of coated substrate
FR3042790A1 (en) PROCESS FOR THE PRODUCTION OF A CERAMIZABLE RAW GLASS COMPONENT, AS WELL AS A CERAMIZABLE RAW GLASS COMPONENT AND A VITROCERAMIC OBJECT
WO2020050143A1 (en) Hollow glass body and use of a hollow glass body
DE10260320B4 (en) Glazed SiO 2 shaped bodies, process for its production and apparatus
RU2187475C2 (en) Apparatus for manufacture of optical fiber blank and method for shrinking and joining of deposited pipe
US7178366B2 (en) Method for the production of an internally vitrified SiO2 crucible
JP2007099602A (en) Floating zone melting device
RU2677154C1 (en) Small-sized nuclear cells with alkali metals atoms vapors manufacturing method
RU140986U1 (en) INSTALLATION FOR FILLING CELLS WITH ALKALI METAL
CN205420534U (en) Improve device of pulsed laser deposition uniformity of film
RU2683455C1 (en) Small-size atomic cell
EP3090072B1 (en) Multi-layer assembly and method of coating
Losev et al. Production of miniature glass cells with rubidium for chip scale atomic clock
RU2676296C1 (en) Method of manufacturing small-sized nuclear cells with alkali metal atom vapors
JP6920310B2 (en) Laser fillerment
RU187339U1 (en) Small atomic cell
US9230771B2 (en) Method of manufacturing an electrodeless lamp envelope
US20050275349A1 (en) Method and apparatus for producing a lamp
WO2023184645A1 (en) Fully equiaxed grain component and method for manufacturing fully equiaxed grain component by means of laser additive
CN114107962A (en) Film forming apparatus and method for manufacturing member having silicon-containing film
JPH091373A (en) Laser beam machine

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20161006

QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE

Effective date: 20161004

PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20180710

QC41 Official registration of the termination of the licence agreement or other agreements on the disposal of an exclusive right

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20161004

Effective date: 20190531