RU2065149C1

RU2065149C1 - Способ регистрации изменений порядка интерференции

Info

Publication number: RU2065149C1
Application number: RU94019774A
Authority: RU
Inventors: Юрий Викторович Мищенко
Original assignee: Юрий Викторович Мищенко
Priority date: 1994-05-26
Filing date: 1994-05-26
Publication date: 1996-08-10
Also published as: RU94019774A

Abstract

Использование: изобретение относится к области измерительной техники, в частности к измерению оптической разности хода, и может быть использовано в устройствах интерференционного типа. Сущность изобретения: способ заключается в осуществлении интерференционной модуляции с выделением одного интервала измерения, формировании одной интерференционной картины с преобразованием ее в одну последовательность электрических импульсов, регистрации фронтов в этой последовательности, определении трех временных интервалов на каждом периоде модуляции и фиксации изменений порядка интерференции в конце последнего периода модуляции по результатам регистрации фронтов и определения временных интервалов. При этом дополнительно формируют вторую интерференционную картину, сдвинутую относительно первой на четверть периода интерференции, и преобразуют ее во вторую последовательность электрических импульсов, фронты в первой последовательности регистрируют с учетом наличия импульсов во второй последовательности, выделяют на каждом периоде модуляции второй интервал измерения, для каждого интервала измерения определяют по четыре временных интервала, с учетом числа зарегистрированных фронтов и определенных временных интервалов рассчитывают результирующее измерение порядка интерференции. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности, к измерению оптической разности хода, и может быть использовано в интерференционных устройствах, в частности в интерференционных рефрактометрах.

Известен способ регистрации малых изменений порядка интерференции (1), предусматривающий осуществление периодической модуляции порядка интерференции, преобразование освещенности полос интерференционных картин в две последовательности электрических импульсов, регистрацию в этих последовательностях передних и задних фронтов импульсов, определение дробной части порядка интерференции δ путем измерения первого Т₁ и второго T₂ временных интервалов и периода T_э последовательности, по соотношению
d = (T₁+T₂)2T_э..

Известный способ предусматривает осуществление регистрации в условиях двухканальной схемы лазерного устройства (рефрактометра) и не позволяет осуществлять регистрацию в одноканальной схеме. Кроме того, этот способ не позволяет регистрировать целую часть порядка интерференции.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ регистрации изменений порядка интерференции по смещению полос интерференционной картины, заключающийся в осуществлении периодической гармонической модуляции порядка интерференции с амплитудой М и периодом Т относительно нулевого уровня, формировании первого и второго уровней напряжения, выделении на каждом периоде Т первого временного интервала измерения между моментами достижения сигналом гармонической модуляции последовательно первого и второго уровней напряжения, преобразовании освещенности полос интерференционной картины в последовательность электрических импульсов, регистрации в этой последовательности передних и задних фронтов импульсов, определении целой части порядка интерференции Q по соотношению
Q A B,
где А число зарегистрированных передних фронтов импульсов в последовательности, B число зарегистрированных задних фронтов импульсов в последовательности, определении дробной части порядка интерференции δ путем измерения первого Т₁ и второго Т₂ временных интервалов и периода Т_э последовательности на первом временном интервале измерения каждого периода Т и определении результирующих измерений порядка интерференции по целой части порядка интерференции Q в момент нуля периодической гармонической модуляции в конце последнего периода Т регистрации и дробной части порядка интерференции d. Недостатком указанного способа (2) является его невысокая точность регистрации изменений дробной части порядка интерференции, низкая достоверность регистрации изменений порядка интерференции, а также его относительная сложность реализации.

Целью настоящего изобретения является повышение достоверности и точности при регистрации изменений порядка интерференции в условиях использования одноканальных интерференционных устройств (рефрактометров) с повышенными показателями быстродействия.

Поставленные цели в рамках способа-прототипа, заключающегося в преобразовании и формировании первого и второго уровней напряжения осуществлении периодической гармонической модуляции порядка интерференции с амплитудой М и периодом Т относительно нулевого уровня, выделении на каждом периоде Т первого временного интервала измерения между моментами достижения сигналом гармонической модуляции последовательно первого и второго уровней напряжения, преобразовании освещенности полос интерференционной картины в первую последовательность электрических импульсов, регистрации в этой последовательности передних и задних фронтов импульсов, определении целой части порядка интерференции Q по соотношению
Q A B,
где А и B соответственно числа передних и задних фронтов импульсов в последовательности, определении дробной части порядка интерференции о путем измерения первого Т₁ и второго Т₂ временных интервалов и периода Т_э1 последовательности на первом временном интервале измерения каждого периода Т и определении результирующих изменений порядка интерференции Р по целой части порядка интерференции Q в момент нуля периодической гармонической модуляции в конце последнего периода Т регистрации и дробной части порядка интерференции d, достигаются за счет того, что дополнительно преобразуют освещенность интерференционной картины во вторую последовательность электрических импульсов, смещенную по фазе на p/2/ относительно первой последовательности электрических импульсов, регистрируют число А передних и число B задних фронтов импульсов в первой последовательности в отсутствие импульсов во второй последовательности электрических импульсов, выделяют на каждом периоде Т второй временной интервал измерения между моментами достижения сигналом гармонической модуляции последовательно второго и первого уровней напряжения, измеряют длительности первого Т_и1 и второго Т_и2 интервалов измерения, на каждом втором временном интервале измерения измеряют третий T₃ и четвертый Т₄ временные интервалы и период Т_э2 последовательности, измерения первого Т₁ и третьего Т₃ временных интервалов производят между началом соответствующего временного интервала измерения и первым очередным передним фронтом импульса в последовательности, измерения второго Т₂ и четвертого Т₄ временных интервалов производят между началом соответствующего временного интервала измерения и первым очередным задним фронтом импульса в последовательности, следующим за соответствующим зарегистрированным передним фронтом импульса, первый и второй уровни напряжения задают с различными знаками относительно нулевого уровня, для каждого периода Т определяют корректирующий коэффициент К по соотношению
K (Т_и1 + T_и2)(T_э2 T_э1)/2T_э2T_э1, (1)
и вторую величину дробной части порядка интерференции x по соотношению

, (2)
первую величину дробной части порядка интерференции о определяют по соотношению
δ = (T₁+T₂)2T_э1-0,25,, (3)
а величину изменений порядка интерференции Р определяют по соотношению
P = Q+δ_п-δ₁-ξ_п+ξ₁-K_п+K₁,, (4)
где δ_п, ξ_п,, К_п соответственно значения первой и второй дробной части порядка интерференции и коэффициента К для последнего периода регистрации, а δ₁, ξ₁, К₁ соответственно значения первой и второй дробной части порядка интерференции и коэффициента К для первого периода регистрации.

На фиг. 1 приведено устройство, реализующее предлагаемый способ регистрации; на фиг.2,3 приведены временные диаграммы, поясняющие принцип регистрации целых порядков интерференции (ЦПИ) и дробной части порядка интерференции (ДЧПИ), а также иллюстрирующие принцип работы устройства фиг.1.

Устройство в соответствии с предлагаемым способом регистрации (см.фиг.1) состоит из лазера 1, рефрактометра 2, включающего оптически связанные между собой и лазером 1 светоделительную пластину 3, установленную в кювете 4 (с возможностью перемещения) отражающую поверхность 5, зеркало 6, установленное на модуляторе 7, светоделительную фазосдвигающую пластину 8, первый 9 и второй 10 фотопреобразователи. Рефрактометр 2 является одноканальным устройством, а исследования проводятся при кювете 4, заполненной контролируемым веществом. Интерференционные картины, формирующиеся в плоскостях регистрации фотопреобразователей 9,10 характеризуются взаимным пространственным сдвигом на четверть периода интерференции, в результате чего фотопреобразователи обеспечивают формирование двух электрических сигналов в квадратурах.

Устройство также содержит блок регистрации 11, предназначенный для регистрации ЦПИ и включающий схему 12 выделения передних фронтов импульсов и схему 13 выделения задних фронтов импульсов, подключенные входами к выходу фотопреобразователя 9, схему 14 регистрации передних фронтов импульсов, первым входом подключенную к выходу схемы 12, а вторым входом к выходу фотопреобразователя 10, схему 15 регистрации задних фронтов импульсов, первым входом подключенную к выходу схемы 13, а вторым входом к выходу фотопреобразователя 10, и реверсивный счетчик 16, входом суммирования подключенный к выходу схемы 14, а входом вычитания подключенный к выходу схемы 15.

Устройство содержит также блок измерения 17, предназначенный для определения изменений дробной части порядка интерференции и включающий первый фазометр 18, второй фазометр 19, входом подключенный к выходу схемы 13 блока 11, третий 20 и четвертый 21 фазометры, первыми входами подключенные к выходу схемы 12 блока 11, а также схему вычислений 22, четырьмя входами подключенную к выходам фазометров 18-21.

Кроме того, устройство содержит блок управления 23, предназначенный для синхронизации и управления процессом измерения и включающий генератор 24 гармонического сигнала, связанный выходом с модулятором 7 рефрактометра 2, а также со схемой 25 фиксации нулевого уровня, обеспечивающей регистрацию моментов начала и конца каждого периода модуляции (нуля гармонического сигнала модуляции) и формирователем 26 временных интервалов измерения, при этом второй вход формирователя 26 подключен к выходу схемы 27 формирования положительного уровня напряжения (второй уровень +U_р), третий вход формирователя подключен к выходу схемы 28 формирования отрицательного уровня напряжения (первый уровень -U_р), а его выход соединен со входом фазометра 18 и вторыми входами фазометров 19-21 блока 17, а также блок индикации 29, связанный тремя входами с выходами коммутатора 25 блока 23, счетчика 16 блока 11 и схемы 22 блока 17.

Предлагаемый способ регистрации состоит в следующем.

В ходе регистрации способ предусматривает осуществление принудительной периодической гармонической модуляции порядка интерференции с амплитудой М и периодом Т относительно некоторого нулевого уровня (см.сигнал С на фиг.2а, а также фиг. 3а), при этом на первом этапе регистрации (или непосредственно перед ним) величина амплитуды М задается из соотношения
I_o(2πM)=0. (5)
где I_o(Z) функция Бесселя первого рода нулевого порядка от аргумента Z.

В результате эффектов интерференции в плоскостях анализа первого и второго фотопреобразователей (9,10) формируются первая и вторая интерференционные картины с периодически чередующимися в них полосами, при этом пространственная фаза второй интерференционной картины (10) опережают фазу первой интерференционной картины на четверть периода интерференции. Предусматривается преобразование освещенности полос интерференционной картины (обеих картин) в непрерывные последовательности электрических сигналов фототока, характеризующихся взаимным фазовым сдвигом π/2, (см.фиг.2в,г), которые в дальнейшем посредством компарирования по нулевому уровню преобразуются в первую и вторую последовательности электрических импульсов (см.фиг.2д,е). В первой из упомянутых последовательностей производится выделение и регистрация передних и задних фронтов импульсов, при этом регистрация фронтов производится только в моменты отсутствия импульсов во второй последовательности импульсов.

На каждом (j-ом) периоде модуляции осуществляется регистрация изменений ЦПИ Q_j. Для этого осуществляется суммирование числа всех зарегистрированных на этом периоде модуляции передних фронтов A_j и вычитание числа всех зарегистрированных на этом периоде модуляции задних фронтов B_j
Q_j A_j B_j. (6)
Следует отметить, что определение величины Q_j производится для момента нуля сигнала гармонической модуляции (в конце соответствующего периода модуляции). Результирующее значение ЦПИ Q для первого и последнего, I-го, периода регистрации определяется по соотношению

. (7)
На фиг. 2 проиллюстрированы три принципиально различные ситуации: когда спонтанные изменения порядка интерференции в интерференционном устройстве отсутствуют (характерные моменты в начале и в конце процесса регистрации, см.также рис.3а, 1), когда эти изменения оказываются сравнительно небольшими (II) и когда эти изменения превалируют над принудительными изменениями порядка интерференции (III). Следует отметить, что роль "нулевого уровня" для трех характерных ситуаций играет сигнал D, см.фиг.2а. Соответствующие временные диаграммы для сигналов фототока для данных ситуаций оказываются различными (см. фиг.2в,г); так, для ситуаций I и II ясно прослеживаются интервалы реверсирования, тогда как для ситуации III подобный интервал отсутствует. Соответственно различными оказываются и результаты регистрации величины Q_j для этих трех ситуаций (0,2 и 7 соответственно).

Кроме того, на каждом (j-ом) периоде модуляции способ предусматривает определение первого δ и второго x значений ДЧПИ. Для этих целей формируются два уровня напряжения, задающиеся с различными знаками относительно нулевого уровня (в данном случае временной оси, например ± U_р). На каждом периоде модуляции выделяются первый и второй временные интервалы измерения, при этом первый временной интервал формируется между моментами прохождения сигналом гармонической модуляции последовательно первого (-U_р) и второго (+U_р) уровней напряжения, а второй временной интервал формируется между моментами прохождения сигналом гармонической модуляции последовательно второго (+U_р) и первого (-U_р) уровней напряжения, см.фиг.3б.

На первом интервале измерения предусматривается определение трех временных интервалов: T₁,T₂,T_э1, при этом первый интервал T₁ определяется между началом первого временного интервала измерения и моментом регистрации первого переднего фронта импульса в первой последовательности импульсов, второй интервал T₂ определяется между началом первого временного интервала измерения и моментом регистрации первого заднего фронта импульса непосредственно после регистрации указанного переднего фронта (в той же самой последовательности импульсов), а третий интервал T_э1 определяется между двумя последовательными моментами регистрации передних фронтов импульсов в первой последовательности импульсов, см. фиг. 3г, и фактически соответствует периоду сигнала фототока на первом временном интервале измерения. Одновременно предусматривается измерение длительности самого временного интервала измерения Т_и1. После этого величина ДЧПИ d определяется по соотношению (3).

На втором интервале измерения также предусматривается определение трех временных интервалов: T₃, T₄,T_э2, при этом интервал T_э2 определяется точно так же, как и интервал T_э1 (и играет роль периода сигнала фототока на втором временном интервале измерения), а процесс определения интервалов T₃,T₄ отличается от процесса определения интервалов T₁, T₂ только тем, что отсчет ведется от начала второго интервала измерения. Одновременно предусматривается измерение длительности самого временного интервала измерения Т_и2. После этого определяют величину ДЧПИ x по соотношению (2), а величину коэффициента К по соотношению (1).

Результирующее значение изменения порядка интерференции Р определяют по окончанию последнего (j-го) периода модуляции по соотношению (4).

Следует особо отметить, что регистрация значений Q, d,ξ, К на каждом (j-ом) периоде модуляции позволяет сделать процесс измерения более гибким, в частности, варьировать характер и объем исследований (а следовательно, и самого процесса регистрации). Подобной гибкости было бы сложно достичь при регистрации этих значений только для первого (1-го) и фиксированного последнего (I-го) периодов модуляции, как это предполагает соотношение (4).

Устройство, реализующее предложенный способ регистрации, работает следующим образом, см. фиг.1-3.

Луч лазера 1 поступает в схему рефрактометра 2, где отражается от пластинки 3 и распространяется внутрь кюветы 4, содержащей исследуемую среду; далее этот луч отражается от поверхности 5 и возвращается к пластине 3. Луч лазера 1, прошедший пластину 3, отражается от зеркала 6, установленного на модуляторе 7 оптической разности хода (порядка интерференции), возвращается к пластине 3 и, накладываясь на первый луч, интерферирует с ним. Затем два проинтерферировавших луча лазера 1 делятся фазосдвигающей пластинкой 8 с образованием в плоскостях анализа фотопреобразователей 9, 10 двух интерференционных картин, характеризующихся взаимным сдвигом на четверть периода интерференции. Перемещения поверхности 5 в кювете 4 приводят к спонтанным изменениям порядка интерференции в канале рефрактометра и к смещениям полос (синхронным) в обеих интерференционных картинах. Периодические смещения модулятора 7 с зеркалом 6 обеспечивают в интерференционном канале принудительную модуляцию порядка интерференции (с амплитудой М и периодом Т). Предварительно в процессе настройки величина М задается исходя из условия (5).

Фотопреобразователи 9, 10 осуществляют преобразование освещенности полос в интерференционных картинах в электрические сигналы фототока непрерывного типа, фильтрацию постоянных составляющих в этих сигналах см. фиг.2в,г и 3в, а также формирование из этих сигналов посредством компарирования по нулевому уровню двух последовательностей электрических импульсов см. фиг.2д,е, 3г.

Для каждого периода модуляции Т осуществляют выделение двух временных интервалов измерения; для этого предварительно с помощью схем 27, 28 блока 23 формируют два разрешающих уровня напряжения (± U_р) и с использованием этих уровней по вышеописанному алгоритму формируют указанные временные интервалы с помощью формирователя 26.

Определение величин δ и ξ на каждом периоде модуляции осуществляется посредством измерения первого Т₁ и второго T₂ временных интервалов фазометрами 20 и 19, а также периода T_э1 фазометром 21 на первом временном интервале измерения; одновременно фазометром 18 определяется длительность этого временного интервала T_и1. После этого осуществляют измерение третьего T₃ и четвертого T₄ временных интервалов фазометрами 20 и 19, а также периода T_э2 фазометром 21 на втором временном интервале измерения; при этом одновременно фазометром 18 измеряют длительность второго временного интервала T_и2. По завершении измерений определяются величины d,ξ и К в соответствии с соотношениями (3), (2) и (1); расчет производится схемой 22, которая одновременно определяет и изменения соответствующих значений (d,ξ и К) по отношению к первому периоду регистрации.

Регистрация изменений ЦПИ Q на каждом периоде модуляции осуществляется с помощью блока 11. Регистрация производится с помощью схем 12, 13 выделения фронтов импульсов и схем 14, 15 их регистрации. Регистрация фронтов производится в первой последовательности импульсов в условиях отсутствия импульсов во второй последовательности импульсов. При регистрации соответствующих фронтов на выходах схем 14, 15 будут формироваться импульсы, поступающие на вход суммирования (+) или вычитания (-) счетчика 16. В результате в конце каждого периода модуляции в счетчике будет прибавляться величина Q, соответствующая изменению ЦПИ за этот период модуляции.

Управление модулятором 7 рефрактометра 2 осуществляется с помощью генератора 24 гармонического сигнала (блока 23). Синхронизация работы блока 11 осуществляется с помощью схемы 25 этого блока (см. фиг.2б), при этом формируемые схемой 25 короткие импульсы поступают на блок индикации, в результате чего информация о величине ЦПИ и изменениях ДЧПИ может переписываться в регистры этого блока и индицироваться в виде промежуточного или результирующего значения изменения порядка интерференции Р, например, в соответствии с соотношением (4).

Остановимся кратко на сравнении возможностей способа-прототипа и предлагаемого способа.

Следует отметить, что в рамках известных способов регистрации изменений порядка интерференции (/1, 2/ и т.д.) при использовании реальных модуляторов с реальными характеристиками (например, пьезомодуляторов, характеризующихся ограниченным частотным диапазоном и гистерезисом) и организации счета передних и задних фронтов импульсов с привязкой к полупериодам электрического сигнала управления модулятором из-за смещения реальной модуляционной характеристики по отношению к идеальной характеристике (на основе которой фактически и рекомендуется осуществлять реверсирование в рамках способа-прототипа /2/) могут возникать значительные ошибки регистрации ЦПИ (учет лишних фронтов и т.д.), которые ведут к значительному ухудшению достоверности получаемой информации. Этот недостаток устраняется в рамках описанного выше способа-прототипа, когда реверсирование фактически предлагается осуществлять в соответствии с видом реального электрического сигнала фототока (т.е. в соответствии с видом реальной модуляционной характеристики). Следует особо отметить, что в рамках предлагаемого способа одновременно сохраняется высокое быстродействие регистрации, что выгодно отличает способ-прототип от других известных способов регистрации. В результате удается в условиях сохранения высокого быстродействия полностью исключить подобные ошибки регистрации и тем самым повысить достоверность получаемой информации относительно изменений порядка интерференции.

Кроме того, предлагаемый способ предусматривает предварительное задание амплитуды модуляции М из условия (5). Как отмечалось в /4/, при использовании гармонического сигнала модуляции в электрическом сигнале фототока присутствует постоянная составляющая, по величине пропорциональная I_o ((2πM),), поэтому в условиях неравенства этой составляющей О при осуществлении низкочастотной фильтрации могут появляться искажения импульсов в последовательностях электрических импульсов, что может приводить к неправильной фиксации фронтов импульсов и снижению общей достоверности при регистрации изменений порядка интерференции. При выполнении соотношения (5) удается избежать подобных искажений импульсов и устранить возникновение соответствующих типов сбоев, т. е. также обеспечить повышение достоверности регистрации изменений порядка интерференции.

Следует также отметить, что предлагаемый способ предназначен для регистрации изменений порядка интерференции в условиях одноканальной схемы интерференционного устройства (рефрактометра), когда практически исключается возможность непосредственного использования для целей точного измерения ДЧПИ способа (1). Для организации прецизионных и достоверных измерений изменений ДЧПИ в рамках данного способа предлагается измерять восемь характерных временных интервалов, предварительно выделяя в сигнале гармонической модуляции квазилинейные интервалы (по два на каждом периоде модуляции) с последующим определением по результатам проведенных измерений двух значений ДЧПИ и корректирующего коэффициента К по оригинальным соотношениям. Следует особо подчеркнуть что принцип определения временных интервалов и их число координально отличаются от принципов определения и числа измеряемых (за период модуляции) временных интервалов для способа (1) или каких-либо других известных способов. Подобный подход к формированию временных интервалов измерения позволяет, с одной стороны, повысить линейность преобразования и более эффективно использовать сигнал гармонической модуляции, а с другой стороны, несколько уменьшить амплитуду (М) модуляции и, возможно, упростить процесс формирования самого модуляционного сигнала. Одновременно подобный подход позволяет исключить влияние на результат измерения нестабильности самих формируемых уровней напряжения (при продолжительных измерениях). Так, если в рамках способа-прототипа из-за флуктуаций формируемого нулевого уровня могли наблюдаться смещения положений регистрируемых фронтов, то в предлагаемом способе флуктуации уровней (± U_р) могут приводить к флуктуации начала отсчета при определении параметров T₁, T₂, T₃, T₄, использующихся для расчета ДЧПИ. Последнее могло бы приводить к значительным ошибкам измерения и снижению точности регистрации. Для устранения этих ошибок в соотношение для расчета результирующего значения (4) введен дополнительный коэффициент К, присутствие которого позволяет полностью компенсировать любые изменения параметров T₁-T₄, связанные с нестабильностью формируемых уровней напряжения. Последнее позволяет повысить точность регистрации ДЧПИ (а также изменений ДЧПИ) в рамках предлагаемого способа и обеспечить ее на уровне 0,003-0,005 порядка интерференции, т.е. не хуже, чем для метода (1).

Таким образом, использование предложенного способа регистрации позволяет повысить точность измерения ДЧПИ (а также изменений ДЧПИ) в условиях использования для целей исследований одноканальных интерференционных устройств (в частности, в условиях продолжительных измерений), а также повысить достоверность и надежность регистрации ЦПИ в условиях использования реальных интерференционных модуляторов. Повышение точности и достоверности регистрации достигается в условиях сохранения высокими показателей быстродействия предлагаемого метода, когда, так же, как и в случае способа-прототипа, показатели быстродействия в основном определяются частотными свойствами фотопреобразователей. Появляется также возможность некоторого алгоритмического и схемного упрощения за счет отсутствия необходимости подключения и отключения сигнала модуляции при возникновении характерных условий.

Claims

Способ регистрации изменений порядка интерференции по смещению полос интерференционной картины, заключающийся в осуществлении периодической гармонической модуляции порядка интерференции относительно нулевого уровня с помощью сигнала гармонической модуляции с амплитудой М и периодом Т, формировании первого и второго уровней напряжения, выделении на каждом периоде Т первого временного интервала измерения между моментами достижения сигналом гармонической модуляции последовательно первого и второго уровней напряжения, преобразовании освещенности полос интерференционной картины в первую последовательность электрических импульсов, регистрации в этой последовательности передних и задних фронтов импульсов, определении целой части порядка интерференции Q по соотношению
Q A B,
где A число зарегистрированных передних фронтов импульсов в первой последовательности;
B число зарегистрированных задних фронтов импульсов в первой последовательности,
определении первой величины дробной части порядка интерференции δ путем измерения первого Т₁ и второго Т₂ временных интервалов и периода Т_э1 первой последовательности на первом временном интервале измерения каждого периода Т и определении результирующего изменения порядка интерференции для первого и последнего периодов регистрации по целой части порядка интерференции Q в момент нуля периодической гармонической модуляции в конце последнего периода Т регистрации и первой величине дробной части порядка интерференции d для этого периода Т, отличающийся тем, что дополнительно преобразуют освещенность интерференционной картины во вторую последовательность электрических импульсов, опережающую по фазе на p/2 первую последовательность электрических импульсов, регистрируют число А передних и число В задних фронтов импульсов в первой последовательности в отсутствии импульсов во второй последовательности электрических импульсов, на каждом периоде Т выделяют второй временной интервал измерения между моментами достижения сигналом гармонической модуляции последовательно второго и первого уровней напряжения и измеряют длительность первого Т_и1 и второго Т_и2 интервалов измерения, измеряют на каждом втором временном интервале измерения третий Т₃ и четвертый Т₄ временные интервалы и период Т_э2 первой последовательности, измерение первого временного интервала Т₁ производят между началом первого временного интервала измерения и первым очередным передним фронтом импульсов в первой последовательности, измерение второго временного интервала Т₂ производят между началом первого временного интервала измерения и первым очередным задним фронтом импульса в последовательности, следующим сразу за первым передним фронтом импульса этой последовательности, измерение третьего временного интервала Т₃ производят между началом второго временного интервала измерения и первым очередным передним фронтом импульса в первой последовательности, измерение четвертого временного интервала Т₄ производят между началом второго временного интервала измерения и первым очередным задним фронтом импульса в последовательности, следующим сразу за первым передним фронтом импульса этой последовательности, первый и второй уровни напряжения задают с разными знаками по отношению к нулевому уровню, для каждого периода Т определяют корректирующий коэффициент К по соотношению
К (Т_и1 + Т_и2) (Т_э2 Т_э1) / 2 Т_э1Т_э2
и вторую величину дробной части порядка интерференции ξ по соотношению
x=(T₃+T₄)/T_э2-0,25,
первую величину дробной части порядка интерференции δ определяют по соотношению
d=(T₁+T₂)/T_э2-0,25,
а результирующее изменение порядка интерференции Р определяют по соотношению
P=Q+δ_п-δ₁-ξ_п+ξ₁-K_п+K₁,
где
соответственно значения первой δ и второй x величин дробной части порядка интерференции и коэффициента К для последнего периода регистрации;
d₁, ξ₁, K₁ соответственно значения первой δ и второй x величин дробной части порядка интерференции и коэффициента К для первого периода регистрации,
а величину амплитуды модуляции М предварительно задают в соответствии с соотношением
I₀ (2 M)=0,
где I₀(Z) функция Бесселя первого рода нулевого порядка от аргумента Z.