RU2018149C1

RU2018149C1 - Beam tester

Info

Publication number: RU2018149C1
Authority: RU
Inventors: Владимир Витальевич Рыбалко
Original assignee: Владимир Витальевич Рыбалко
Priority date: 1990-09-24
Filing date: 1990-09-24
Publication date: 1994-08-15

Abstract

FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: tester has probe-forming system 1 with power unit 2, object holder 3, displacement gear 4, control unit 5, special-purpose computing unit 6, sweep generator 7, video signal conversion unit 8, deflecting coil 9, comparison unit 10. EFFECT: simplified design due to dispensing with complex precision devices for positioning and displacement of object holder by replacing them with simple, non-expensive and reliable components. 6 cl, 6 dwg

Description

Изобретение относится к средствам высоколокального внутрисхемного контроля и измерений параметров, интегральных схем, например, лазеросканам, электронно- и ионно-лучевым диагностическим системам. The invention relates to means of high-level in-circuit monitoring and measurement of parameters, integrated circuits, for example, laser scans, electron and ion-beam diagnostic systems.

Аналогом изобретения является устройство, состоящее из зондоформирующей системы с блоком питания, объектодержателя с механизмом перемещения, генератора разверток с элементами отклонения луча, преобразователя информационного сигнала и индикаторный блок. An analogue of the invention is a device consisting of a probe-forming system with a power supply, an object holder with a movement mechanism, a scan generator with beam deflection elements, an information signal converter, and an indicator unit.

Недостатком аналога является сложность диагностики чипов на полупроводниковой пластине до ее разделения. Это обстоятельство обусловлено тем, что прототип не снабжен системой контроля и управления позиционированием объекта контроля. The disadvantage of the analogue is the complexity of the diagnosis of chips on a semiconductor wafer before its separation. This circumstance is due to the fact that the prototype is not equipped with a control system and control the positioning of the control object.

Прототипом изобретения является устройство, состоящее из зондоформирующей системы с блоком питания, объектодержателя с механизмом перемещения и блоком управления специализированного вычислительного устройства, генератора разверток с отклоняющими катушками и блока преобразования видеосигнала. The prototype of the invention is a device consisting of a probe-forming system with a power supply, an object holder with a movement mechanism and a control unit of a specialized computing device, a sweep generator with deflecting coils and a video signal conversion unit.

Прототипу присущ ряд недостатков. Позиционирование объектодержателя относительно луча осуществляется механически с помощью привода. Такое позиционирование, кроме большой ошибки (порядка десятых долей мкм), характеризуется также низкой производительностью и сложностью конструктивного выполнения, требующего применения в составе прототипа сложных и дорогостоящих систем термостабилизации и устройств определения погрешности позиционирования с обратной связью. Как правило, в качестве таких датчиков используют лазерный интерферометр. Для достижения точностей позиционирования порядка десятых долей мкм прототип должен быть снабжен крайне сложным и дорогостоящим электромеханическим приводом, обеспечивающим такую точность. The prototype has a number of disadvantages. The positioning of the object holder relative to the beam is carried out mechanically by means of a drive. Such positioning, in addition to a large error (of the order of tenths of a micron), is also characterized by low productivity and the complexity of the structural implementation, which requires the use of complex and expensive thermal stabilization systems and devices for determining the positioning error with feedback. As a rule, a laser interferometer is used as such sensors. To achieve positioning accuracy of the order of tenths of a micron, the prototype must be equipped with an extremely complex and expensive electromechanical drive that provides such accuracy.

Целью изобретения является повышение точности тестера и упрощение его конструкции. The aim of the invention is to improve the accuracy of the tester and simplify its design.

На фиг.1 приведена структурная схема лучевого тестера; на фиг.2 - структурная схема специализированного вычислительного устройства, входящего в состав тестера; на фиг. 3 - структурная схема варианта выполнения блока преобразования; на фиг.4 - структурная схема варианта выполнения блока управления устройства перемещения объектодержателя; на фиг.5 и 6 - варианты выполнения блока сравнения. Figure 1 shows the structural diagram of a radiation tester; figure 2 is a structural diagram of a specialized computing device that is part of the tester; in FIG. 3 is a block diagram of an embodiment of a transform block; figure 4 is a structural diagram of an embodiment of a control unit of a device for moving an object holder; 5 and 6 are embodiments of a comparison unit.

На фигурах обозначены: зондоформирующая система 1 с блоком питания 2, объектодержатель 3, механизм перемещения 4 объектодержателя 3 с блоком управления 5, специализированное вычислительное устройство (СВУ) 6, генератор разверток 7, блок преобразования видеосигнала 8, отклоняющие катушки 9, блок сравнения 10, цифроаналоговые преобразователи (ЦАП) 11-15, аналого-цифровые преобразователи 16, 17, контроллеры 18, 19, центральный процессор 20, блок внешней памяти 21, преобразователь информационного сигнала 22, управляемый блок питания 23, усилитель 24, набор корректирующих цепочек 25, умощнители 26-28, генераторы рабочих импульсов 29-31, блок контроллера корректировки 32, индикаторный кинескоп 33, растровые катушки 34, модулятор 35, источники постоянной составляющей токов 36, 37 отклоняющих катушек, компаратор 38, предусилитель 39, оконечный усилитель 40, счетчик строк 41, счетчик нулей 42, компаратор 43, аналого-цифровой преобразователь 44, блок памяти одного кадра 45, схема считывания 46. The figures indicate: a probe-forming system 1 with a power supply 2, an object holder 3, a movement mechanism 4 of an object holder 3 with a control unit 5, a specialized computing device (IED) 6, a scan generator 7, a video signal conversion unit 8, deflecting coils 9, a comparison unit 10, digital-to-analog converters (DACs) 11-15, analog-to-digital converters 16, 17, controllers 18, 19, a central processor 20, an external memory unit 21, an information signal converter 22, a controlled power supply 23, an amplifier 24, a set of coding chains 25, amplifiers 26-28, impulse generators 29-31, correction controller block 32, picture tube 33, raster coils 34, modulator 35, DC components 36, 37 deflection coils, comparator 38, preamplifier 39, terminal amplifier 40, line counter 41, counter of zeros 42, comparator 43, analog-to-digital converter 44, memory unit of one frame 45, readout circuit 46.

Предложенное устройство работает следующим образом: зондоформирующая система (ЗФС) 1 генерирует электронный пучок при подаче на нее питающих напряжений от блока питания 2. Этот пучок используют для зондоформирования полупроводниковой пластины, установленной на объектодержателе 3. Для установки контролируемого чипа пластины, объектодержатель 3 с помощью механизма перемещения 4 перемещают в нужное положение. Для этого на вход блока управления 5 механизма 4 подают управляющий сигнал от СВУ 6. СВУ может представлять собой набор ЦАП 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 контроллеров, выполняющих функции управления 18 блоками прибора и обработки текущей информации 19, центрального процессора 20 и устройства внешней памяти 21, в которой хранится эталонная топология контролируемых чипов и программы тестирования. Конструктивнo ЦАПы 11, 12, 14, 15 могут входить в состав соответственно блоков 2, 7, 10 и 5. После позиционирования объектодержателя 3 со второго и третьего выходов СВУ 6 подается сигнал на вход генератора разверток 7 и блока питания 2 ЗФС 1. При этом включается и фокусируется в плоскости объектодержателя 3 электронный пучок, который под действием сигналов, поступающих с генератора разверток 7 сканируется по поверхности объекта контроля. Возникающее при этом информационное излучение, например, поток вторичных электронов, индуционированный ток и др., с помощью блока преобразования 8 преобразуются в видеосигнал, который поступает на вход блока сравнения 10. Блок преобразования 8 может включать в себя кроме непосредственно преобразователя 22 также блок питания 23, усилитель 24 и набор корректирующих цепочек 25, например, дифференцирующих. Управляющий сигнал от СВУ 6 поступает на вход управляемого блока питания 23, который задает порог тормозного поля преобразователя 22 и/или коэффициент усиления усилителя 24. Преобразованный сигнал с выхода блока 22 через усилитель 24 поступает на блок сравнения 10 либо непосредственно, либо через корректирующую цепочку 25. При непосредственной передаче видеосигнала на блок 10 корректирующая цепочка шунтируется. The proposed device operates as follows: a probe-forming system (PFS) 1 generates an electron beam when power is supplied to it from a power supply 2. This beam is used to probe a semiconductor wafer mounted on an object holder 3. To install a controlled chip of the plate, the object holder 3 using a mechanism movements 4 are moved to the desired position. To this end, a control signal from the VCA 6 is fed to the input of the control unit 5 of the mechanism 4; the VCA can be a set of DACs 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 controllers that perform the functions of controlling 18 units of the device and processing current information 19, central the processor 20 and the external memory device 21, which stores the reference topology of the controlled chips and test programs. Structurally, the DACs 11, 12, 14, 15 can be part of blocks 2, 7, 10, and 5, respectively. After positioning the object holder 3 from the second and third outputs of the VCA 6, a signal is fed to the input of the scan generator 7 and power supply unit 2 of the ZFS 1. an electron beam is turned on and focused in the plane of the object holder 3, which, under the action of signals coming from the scan generator 7, is scanned along the surface of the control object. The information radiation arising from this, for example, the stream of secondary electrons, the induced current, etc., is converted using the conversion unit 8 into a video signal, which is input to the comparison unit 10. The conversion unit 8 may include, in addition to the converter 22 directly, a power supply 23 , amplifier 24 and a set of corrective chains 25, for example, differentiators. The control signal from the VCA 6 is fed to the input of the controlled power supply 23, which sets the threshold of the brake field of the converter 22 and / or the gain of the amplifier 24. The converted signal from the output of the block 22 through the amplifier 24 is fed to the comparison unit 10 either directly or through the correction circuit 25 . When the video signal is transmitted directly to block 10, the correction chain is bridged.

На второй вход блока сравнения 10 поступает эталонный видеосигнал тестового изображения контролируемого чипа с четвертого выхода СВУ 6. В блоке сравнения 10 происходит автоматическое или полуавтоматическое определение сдвига одного изображения относительно другого. Например, при полуавтоматическом режиме работы блок сравнения 10 может быть выполнен в виде схемы, приведенной на фиг. 5. На экране индикаторного кинескопа 33 формируется изображение реального типа (сигнал поступает на модулятор 35 от блока 8) и тестовое изображение (сигнал от СВУ 6 через предусилитель 39 и оконечный усилитель 40 поступает на модулятор 35). С помощью блоков 36 и 37, на генератор разверток подаются регулируемые постоянные токовые сигналы, обеспечивающие сдвиг поля растра по поверхности объектодержателя. То есть, используя регулировочные элементы Х и Y блоков 36 и 37, можно добиться совмещения на экране тестового и реального изображений. Соответствующие им видеосигналы поступают на входы компаратора 38, который введен для устранения органолептических ошибок совмещения, обусловленных индивидуальными особенностями зрения оператора. Амплитудное согласование видеосигналов в компараторе обеспечивается предусилителем 39, а на экран оконечным усилителем 40. При совпадении изображений соответствующий сигнал с компаратора 38 будет поступать на вход СВУ 6 в течение времени, намного превосходящего длительность развертки одной строки растра. Это состояние фиксируется СВУ 6, которое дает остановку перемещения растра и переводит тестер в режим измерения. The second input of the comparison unit 10 receives the reference video signal of the test image of the controlled chip from the fourth output of the VCA 6. In the comparison unit 10, the shift of one image relative to another is automatically or semi-automatically detected. For example, in the semi-automatic mode of operation, the comparison unit 10 can be made in the form of a circuit shown in FIG. 5. On the screen of the kinescope indicator 33, an actual type image is generated (the signal is supplied to the modulator 35 from block 8) and a test image (the signal from the IED 6 through the preamplifier 39 and the terminal amplifier 40 is supplied to the modulator 35). Using blocks 36 and 37, adjustable constant current signals are supplied to the scan generator, which provide a shift of the raster field along the surface of the object holder. That is, using the adjusting elements X and Y of blocks 36 and 37, it is possible to achieve a combination of test and real images on the screen. The corresponding video signals are fed to the inputs of the comparator 38, which is introduced to eliminate the organoleptic errors of combination, due to the individual characteristics of the operator’s vision. The amplitude matching of the video signals in the comparator is provided by the preamplifier 39, and on the screen by the terminal amplifier 40. When the images match, the corresponding signal from the comparator 38 will be fed to the input of the VCA 6 for a time much longer than the scan duration of one line of the raster. This state is fixed by the VCA 6, which gives a stop to the movement of the raster and puts the tester in measurement mode.

Описанные операции эквивалентны подаче корректирующего сигнала с выхода блока сравнения 10 на вход генератора разверток 7, который, подавая соответствующий сигнал на отклоняющие катушки 9, входящие в состав ЗФС 1, смещает электронный пучок. Аналогично при автоматическом сравнении двух видеосигналов, блок 10 вырабатывает корректирующий сигнал, который с его выхода поступает на вход генератора разверток 7. Кроме того, со второго выхода блока 10 соответствующий сигнал рассогласования подается либо на вход СВУ 6, либо на вход блока управления 5, который при переходе к следующему чипу подает соответственно меньшее или большее (скорректированное) число шаговых импульсов на механизм 4 перемещения объектодержателя 3. The described operations are equivalent to supplying a correction signal from the output of the comparison unit 10 to the input of the scan generator 7, which, by supplying the corresponding signal to the deflecting coils 9, which are part of the ZFS 1, biases the electron beam. Similarly, when automatically comparing two video signals, block 10 generates a correction signal, which is output from its output to the input of the scan generator 7. In addition, from the second output of block 10, the corresponding error signal is supplied either to the input of the VCA 6 or to the input of the control unit 5, which when moving to the next chip, it supplies, respectively, a smaller or larger (corrected) number of step pulses to the mechanism 4 for moving the object holder 3.

В первом варианте предусматривается традиционное выполнение блока управления 5, содержащего генераторы рабочих импульсов 29, 30, 31, которые вырабатывают под действием внешней команды шаговые импульсы для управления шаговыми двигателями (ШД), осуществляющими перемещение объектодержателя 3 по трем координатам. Для электрического согласования ШД и блоков 29-31, на выходах последних размещают умножители 26-28. В этом случае электрическая связь блоков 5 и 10 отсутствует, а корректировка числа шагов следующего перемещения осуществляется с помощью СВУ 6. In the first embodiment, the traditional implementation of the control unit 5 is provided, containing the working pulse generators 29, 30, 31, which generate step pulses for controlling stepper motors (ST), which move the holder 3 in three coordinates under the action of an external command. For the electrical coordination of ШД and blocks 29-31, multipliers 26-28 are placed at the outputs of the latter. In this case, there is no electrical connection between blocks 5 and 10, and the adjustment of the number of steps of the next movement is carried out using the VCA 6.

Во втором варианте выполнения блока 5, в соответствии с фиг.4 в состав блока 5 введен процессорный блок 32. Управляющий сигнал на перемещение объектодержателя 3, поступающий в блок 32, корректируется сигналом, подаваемым в него от блока 10, а объектодержатель 3 перемещают с учетом погрешности позиционирования предшествующего перемещения. In the second embodiment of block 5, in accordance with FIG. 4, the processor block 32 is introduced into the block 5. The control signal for moving the object holder 3 entering the block 32 is corrected by the signal supplied to it from the block 10, and the object holder 3 is moved taking into account positioning errors of the previous movement.

При выполнении блока сравнения 10 в соответствии с фиг.6, устройство работает следующим образом. По команде от СВУ 6 генератор разверток 7 вырабатывает сигнал сканирования n-ой строки. Возникающее при этом информационное излучение с помощью блока 8 и АЦП 44 преобразуется в цифровой видеосигнал, который в форме последовательности, состоящей из М (М - число элементов разложения строки) электрических импульсов, заносится в ячейки блока памяти одной строки 45. Далее с помощью схемы считывания 46 эти сигналы последовательно считываются из блока 45 и поступают в компаратор 43. На второй вход компаратора 43 синхронно с последовательностью импульсов реального видеосигнала от СВУ 6 поступает последовательность импульсов эталонного видеосигнала. Компаратором 43 может быть схема вычитания. На выходе компаратора размещен счетчик нулей 42, который подсчитывает число последовательно поступивших "0", возникающих при совпадении амплитуд импульсов. Если их число менее некоторого начально заданного значения i_o при i_o < M, то на устройство считывания 46 от СВУ 6 поступает сигнал и считывание, и сравнение последовательностей импульсов реального видеосигнала повторяется, начиная со второго его элемента (импульса) и так до М - i_о. Если и в этом случае i < i_o, то для этой же строки все повторяется, но каждый следующий цикл считывания осуществляется с задержкой подачи импульсов реального видеосигнала на время, равное считыванию одного, двух и т.д. импульсов видеосигнала из блока 45. И так до M - i_o раз. Если и в этом случае i < i_o, то это говорит о том, что позиционирование осуществлено с ошибкой в направлении, совпадающем с кадровой разверткой растра. Тогда от 6 поступает сигнал на 7 и сканируется n+1 строка и операции повторяются вплоть до n+n_o (n_o не более числа строк разложения растра N_p). Если и в этом случае i < i_o, то по сигналу от 6 генератор 7 начинает перебор строк в другую сторону, т.е. сканируются последовательно n-1; n-2; n-3 и т.д. строки с выполнением всех перечисленных выше операций. В результате будет найдена строка N_c = n+k и сдвиг строк Δ i = M - i_c, при котором число последовательно поступивших на блок 42 нулей (т.е. совпадение видеосигналов) i ≥ i_o. Это значит, что объектодержатель 3 позиционирован с погрешностью в направлении кадровой развертки δ_k = k ˙ H_k/N_p и в направлении строчной развертки
δ_c = Δ i ˙ H_c/M, где Н_к и Н_с - протяженность растра на поверхности тестируемого объекта в направлении кадровой и строчной разверток;
N_p, M - число строк в растре и число элементов разложения строки соответственно.When executing the comparison unit 10 in accordance with Fig.6, the device operates as follows. On command from the VCA 6, the scan generator 7 generates a scan signal of the nth row. The information radiation arising in this case is converted by means of block 8 and ADC 44 into a digital video signal, which, in the form of a sequence consisting of M (M is the number of line decomposition elements) of electrical pulses, is entered into the cells of the memory block of one line 45. Next, using the readout circuit 46, these signals are sequentially read from block 45 and fed to comparator 43. At the second input of comparator 43, in synchronization with the pulse sequence of the real video signal, from the VCA 6, the pulse train of the reference deosignala. The comparator 43 may be a subtraction circuit. At the output of the comparator there is a counter of zeros 42, which counts the number of consecutively received "0" arising from the coincidence of the pulse amplitudes. If their number is less than some initial set value i _o for i _o <M, then a signal and readout are sent to reader 46 from IED 6, and the comparison of pulse sequences of a real video signal is repeated, starting from its second element (pulse) and so on to M - i _about . If in this case i <i _o , then for the same line everything is repeated, but each subsequent reading cycle is carried out with a delay in the supply of pulses of the real video signal for a time equal to reading one, two, etc. pulses of the video signal from block 45. And so up to M - i _o times. If in this case i <i _o , then this indicates that the positioning was carried out with an error in the direction coinciding with the frame scan of the raster. Then from 6 a signal arrives at 7 and the n + 1 line is scanned and the operations are repeated up to n + n _o (n _o no more than the number of lines of the raster decomposition N _p ). If in this case i <i _o , then, according to the signal from 6, the generator 7 starts iterating over the lines in the other direction, i.e. scanned sequentially n-1; n-2; n-3 etc. strings with all of the above operations. As a result, the line N _c = n + k and the line shift Δ i = M - i _{c are found} , at which the number of zeros arriving at the block 42 in succession (i.e., the coincidence of the video signals) i ≥ i _o . This means that the object holder 3 is positioned with an error in the direction of vertical scanning δ _k = k ˙ H _k / N _p and in the direction of horizontal scanning
δ _c = Δ i ˙ H _c / M, where Н _к and Н _с are the length of the raster on the surface of the test object in the direction of vertical and horizontal scans;
N _p , M - the number of lines in the raster and the number of elements of line decomposition, respectively.

Установление величин k и Δ i фиксируется СВУ 6, которое генерирует соответствующие корректирующие сигналы и подает их на блок 7 для совмещения растра с объектом контроля. The establishment of the values of k and Δ i is fixed by the VCA 6, which generates the corresponding corrective signals and feeds them to block 7 for combining the raster with the control object.

После завершения операции по точному установлению электронного пучка относительно механически позиционированного объектодержателя 3 с выхода блока сравнения 10 командный сигнал поступает на вход СВУ 6, которое, в свою очередь, запускает программу тестирования, подавая управляющие сигналы на блок питания 2 и генератор разверток 7. При этом включается пучок, который по командам с СВУ 6 облучает тестируемые участки объекта, а зарегистрированные информационные сигналы преобразуются в блоке преобразования 8 в видеосигнал, а функция преобразования последнего задается управляющей программой, заложенной в СВУ 6, для чего с выхода последнего поступает соответствующий сигнал на вход блока преобразования 8. После облучения всех заданных точек (узлов чипа) в рамках одного растра, с СВУ 6 поступает прерывающий пучок сигнал на вход блока 2 и управляющий сигнал на вход блока 5, под действием которого объектодержатель 3 перемещается в следующее положение для контроля следующего участка чипа или нового чипа. After the operation is completed to precisely establish the electron beam relative to the mechanically positioned object holder 3 from the output of the comparison unit 10, the command signal is fed to the input of the IED 6, which, in turn, starts the testing program by supplying control signals to the power supply 2 and the scan generator 7. the beam is turned on, which, upon commands from the VCA 6, irradiates the tested sections of the object, and the registered information signals are converted in the conversion unit 8 into a video signal, and the conversion function of the latter is set by the control program embedded in the VCA 6, for which the output of the latter receives the corresponding signal to the input of the conversion unit 8. After irradiating all the specified points (chip nodes) within one raster, the VCA 6 receives the interrupt beam to the input of the block 2 and a control signal to the input of block 5, under which the object holder 3 moves to the next position to control the next section of the chip or a new chip.

Предложенное техническое решение позволяет исключить из состава тестера сложные и прецизионные устройства позиционирования и перемещения объектодержателя, заменив их более простыми, дешевыми и надежными элементами. The proposed technical solution allows to exclude from the tester complex and precision devices for positioning and moving the object holder, replacing them with simpler, cheaper and more reliable elements.

Claims

1. BEAM TESTER, consisting of a tester control unit connected through a power supply unit with a probe forming system, through a sweep generator with deflecting coils, through a drive mechanism control unit and a movement mechanism with an object holder, with an object holder positioning error determination unit and through a sweep generator with an indicator unit , which in turn is connected to the video signal conversion unit, characterized in that, in order to increase the accuracy of the tester and simplify its design, the op The determination of the positioning error of the object holder is made in the form of a comparison unit, the inputs of which are connected to the outputs of the video signal conversion unit, the scan generator, and the outputs are connected to the inputs of the scan generator and the control unit of the drive mechanism.

2. The tester according to claim 1, characterized in that the comparison unit consists of an indicator picture tube with a modulator and raster coils, two direct current sources of deflecting coils equipped with adjusting elements, a comparator, preamplifier and terminal amplifier, and the outputs of the direct current sources are connected to the inputs scan generator, the output of which is connected to raster coils and a comparator, the output of which is connected to the input of the control unit, and the output of the latter through series-connected preamplifier and end amplifier connected to the modulator, which is coupled to an output video signal converting unit, the second output of the preamplifier is coupled to an input of the comparator.

3. The tester according to claim 1, characterized in that, in order to improve the accuracy and speed of the tester, the comparison unit includes a line counter, a zero counter, an analog-to-digital converter, a comparator, a single line memory block and a readout unit, the input being analog -digital converter is connected to the output of the video signal conversion unit, and its output through series-connected memory block of one line, a reader, a comparator and a zero counter is connected to the input of a specialized computing device, the second input d is connected to output lines of the counter, the input of which is electrically connected to the output sweep generator control unit outputs a tester connected to the second inputs of the comparator and the reading unit and the second output of the last - to a second input of the storage unit of one line.

4. The tester according to claim 1, characterized in that the tester control unit consists of an external memory unit connected to a central processor, which is connected through a tester control controller to five digital-to-analog converters, the outputs of which are connected to power supplies of the probe-forming system, and a control unit for the movement mechanism an object holder, a scan generator, a video signal conversion unit and a comparison unit, and through an information processing controller, the central processor is connected to two analog-to-digital and converters, which in turn are connected to the outputs of the power supply unit of the probe-forming system and the comparison unit.

5. The tester according to claim 1, characterized in that the video signal conversion unit consists of an information signal converter with a controlled power supply, an amplifier and a set of correction chains, the inputs of the converter and amplifier being connected in series to the outputs of the controlled power supply, and the input of the latter being connected to the output of the control unit of the tester, the output of the amplifier through a set of corrective chains is connected to the input of the comparison unit.

6. The tester according to claim 1, characterized in that, in order to increase the convenience of operation, the control unit of the drive mechanism of the object holder contains three power amplifiers, three working pulse generators and a correction controller unit, one input of the latter being connected to the output of the comparison unit, and the second - with the output of the control unit of the tester, with the other output of which the input of the working pulse generator is connected, two inputs of the correction controller block are connected to the input of the working pulse generators of the drives, the outputs of the working pulses x pulses through power amplifiers are connected to their respective drives.