RU2013133759A

RU2013133759A - Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя

Info

Publication number: RU2013133759A
Application number: RU2013133759/07A
Authority: RU
Inventors: Николай Иванович Козлов
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью "Научно - производственная фирма "Прогресс"
Priority date: 2013-07-22
Filing date: 2013-07-22
Publication date: 2015-01-27
Also published as: RU2554104C2

Abstract

1. Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя, содержащий вакуумную камеру с присоединительными фланцами, внутри которой размещены: источник ионов пробного газового вещества, состоящий из источника электронов и камеры ионизации; магнитная система, обеспечивающая разделение ионов по массам; приемник ионов, отличающийся тем, что в качестве источника электронов использован плазменный катод на основе плазмы тлеющего разряда, представляющий собой помещенную в аксиальное магнитное поле ячейку Пеннинга с эмиттером электронов, выполненным в виде щели для формирования ленточного электронного пучка в антикатоде ячейки, со стороны камеры ионизации.2. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в центральной части анода ячейки Пеннинга выполнены отверстия для «подкачки» остаточного газа из вакуумной камеры.3. Масс-спектрометрический анализатор по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что дополнительно содержит установленный напротив выходного окна камеры ионизации отражающий электрод, находящийся под потенциалом плазменного катода (виртуальный катод), обеспечивающий отражение (осцилляции) поставляемых от плазменного катода электронов.4. Масс-спектрометрический анализатор по п. 3, отличающийся тем, что в качестве отражающего электрода использована металлическая пластина, или второй плазменный катод, или нить накаливаемого термокатода, установленные симметрично плазменному катоду с противоположной стороны камеры ионизации и создающие отражающее электроны.5. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что корпус вакуумной камеры выполнен в виде моноблока с присоедин

Claims

1. Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя, содержащий вакуумную камеру с присоединительными фланцами, внутри которой размещены: источник ионов пробного газового вещества, состоящий из источника электронов и камеры ионизации; магнитная система, обеспечивающая разделение ионов по массам; приемник ионов, отличающийся тем, что в качестве источника электронов использован плазменный катод на основе плазмы тлеющего разряда, представляющий собой помещенную в аксиальное магнитное поле ячейку Пеннинга с эмиттером электронов, выполненным в виде щели для формирования ленточного электронного пучка в антикатоде ячейки, со стороны камеры ионизации.

2. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в центральной части анода ячейки Пеннинга выполнены отверстия для «подкачки» остаточного газа из вакуумной камеры.

3. Масс-спектрометрический анализатор по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что дополнительно содержит установленный напротив выходного окна камеры ионизации отражающий электрод, находящийся под потенциалом плазменного катода (виртуальный катод), обеспечивающий отражение (осцилляции) поставляемых от плазменного катода электронов.

4. Масс-спектрометрический анализатор по п. 3, отличающийся тем, что в качестве отражающего электрода использована металлическая пластина, или второй плазменный катод, или нить накаливаемого термокатода, установленные симметрично плазменному катоду с противоположной стороны камеры ионизации и создающие отражающее электроны.

5. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что корпус вакуумной камеры выполнен в виде моноблока с присоединительными фланцами, а приемник ионов и источник ионов установлены на присоединительных фланцах, на специальных кронштейнах.

6. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что источник и приемник ионов пробного газового вещества расположены в межполюсном зазоре постоянных магнитов из NeFeB с напряженностью магнитного поля от 0,01 до 1,00 Тл.

7. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пробного газового вещества использован гелий ₄Не⁺.

8. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пробного газа использован любой газ,на который настроены величины магнитного поля и ускоряющего ионы напряжение.