RU2012132557A

RU2012132557A - Способ определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела при внешнем воздействии на поверхность

Info

Publication number: RU2012132557A
Application number: RU2012132557/28A
Authority: RU
Inventors: Валерий Александрович Курнаев; Никита Вадимович Мамедов; Дмитрий Николаевич Синельников
Original assignee: Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Priority date: 2012-07-30
Filing date: 2012-07-30
Publication date: 2014-02-10
Also published as: RU2522667C2

Abstract

1. Способ определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела при внешнем воздействии на поверхность, заключающийся в измерении энергетических спектров ионов, отраженных и выбитых из поверхности твердого тела, отличающийся тем, что измеряют энергетические спектры непосредственно в процессе внешнего воздействия на поверхность твердого тела или сразу после него путем поочередного облучения во времени поверхности твердого тела масс-сепарированными по отношению масс к заряду ионами водорода и ионами инертных газов путем подачи соответствующего ускоряющего напряжения на ионный источник, работающего на смеси инертных газов и водорода, при этом об элементном составе поверхностного слоя твердого тела судят по энергетическим спектрам отраженных ионов инертных газов, а о толщине пленки - по энергетическим спектрам отраженных ионов водорода.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве ионов инертных газов используют гелий, неон, аргон или ксенон.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что внешнее воздействие осуществляют путем травления ионным пучком, или путем напыления с помощью ионных пучков, или путем облучения плазмой, или путем воздействия атомов или молекул газовой среды, или с помощью нагрева.

Claims

1. Способ определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела при внешнем воздействии на поверхность, заключающийся в измерении энергетических спектров ионов, отраженных и выбитых из поверхности твердого тела, отличающийся тем, что измеряют энергетические спектры непосредственно в процессе внешнего воздействия на поверхность твердого тела или сразу после него путем поочередного облучения во времени поверхности твердого тела масс-сепарированными по отношению масс к заряду ионами водорода и ионами инертных газов путем подачи соответствующего ускоряющего напряжения на ионный источник, работающего на смеси инертных газов и водорода, при этом об элементном составе поверхностного слоя твердого тела судят по энергетическим спектрам отраженных ионов инертных газов, а о толщине пленки - по энергетическим спектрам отраженных ионов водорода.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве ионов инертных газов используют гелий, неон, аргон или ксенон.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что внешнее воздействие осуществляют путем травления ионным пучком, или путем напыления с помощью ионных пучков, или путем облучения плазмой, или путем воздействия атомов или молекул газовой среды, или с помощью нагрева.