RU2006111358A - Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом - Google Patents

Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом

Info

Publication number
RU2006111358A
RU2006111358A RU2006111358/02A RU2006111358A RU2006111358A RU 2006111358 A RU2006111358 A RU 2006111358A RU 2006111358/02 A RU2006111358/02 A RU 2006111358/02A RU 2006111358 A RU2006111358 A RU 2006111358A RU 2006111358 A RU2006111358 A RU 2006111358A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
matrix
abrasive
tool
coordinate values
abrasive grain
Prior art date
Application number
RU2006111358/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2320472C2 (ru
Inventor
Ричард В.Ж. ХЭЛЛ (US)
Ричард В.Ж. ХЭЛЛ
Дженс М. МОЛТЕР (DE)
Дженс М. МОЛТЕР
Чарльз А. БЭТМЕН (US)
Чарльз А. БЭТМЕН
Original Assignee
Сэнт-Гобэн Эбрейзивз, Инк. (Us)
Сэнт-Гобэн Эбрейзивз, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сэнт-Гобэн Эбрейзивз, Инк. (Us), Сэнт-Гобэн Эбрейзивз, Инк. filed Critical Сэнт-Гобэн Эбрейзивз, Инк. (Us)
Publication of RU2006111358A publication Critical patent/RU2006111358A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2320472C2 publication Critical patent/RU2320472C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
    • B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D18/00—Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
    • Y10T428/24372—Particulate matter

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Claims (50)

1. Способ изготовления абразивных инструментов, имеющих выбранную исключающую зону вокруг каждого абразивного зерна, включающий следующие операции:
(a) выбор двумерной плоской области, имеющей заданные размер и форму;
(b) выбор желательного размера абразивного зерна и концентрации зерен для плоской области;
(c) случайное генерирование серий двумерных координатных значений;
(d) ограничение каждой пары случайно генерированных координатных значений координатными значениями, отличающимися от любой ближайшей пары координатных значений на минимальное значение (k);
(e) генерирование матрицы ограниченных, случайно генерированных координатных значений, имеющей достаточное число пар, нанесенных как точки на графике, чтобы получить желательную концентрацию абразивных зерен для выбранной двумерной плоской области и получить выбранный размер абразивного зерна; и
(f) центрирование абразивного зерна в каждой точке на матрице.
2. Способ по п.1, дополнительно включающий операцию сцепления матрицы абразивных зерен при помощи абразивного связующего материала для закрепления абразивного зерна в каждой точке матрицы.
3. Способ по п.2, дополнительно включающий операцию сцепления матрицы абразивных зерен с основой с образованием абразивного инструмента.
4. Способ по п.3, в котором основа выбрана из группы, в которую входят заготовка жесткого инструмента и гибкая подложка, а также их комбинации.
5. Способ по п.4, в котором заготовка жесткого инструмента имеет геометрическую форму, имеющую одну ось осевой симметрии.
6. Способ по п.4, в котором геометрическая форма заготовки жесткого инструмента выбрана из группы, в которую входят круг, обод, кольцо, цилиндр и конфигурации в виде усеченного конуса, а также их комбинации.
7. Способ по п.4, в котором гибкая подложка выбрана из группы, в которую входят пленки, фольга, ткань, нетканые листы, ленты, сетки, перфорированные листы, слоистые материалы, а также их комбинации.
8. Способ по п.7, в котором гибкая подложка преобразована в форму, выбранную из группы, в которую входят ленты, круги, листы, полировальники, рулоны и полоски.
9. Способ по п.2, включающий следующие операции:
a) впечатывание матрицы ограниченных, случайно генерированных координатных значений, нанесенных как точки на графике, на основу инструмента; и
b) закрепление абразивного зерна в каждой точке матрицы на основе инструмента при помощи абразивного связующего материала.
10. Способ по п.2, включающий следующие операции:
a) впечатывание матрицы ограниченных, случайно генерированных координатных значений, нанесенных как точки на графике, на шаблон;
b) закрепление абразивного зерна в каждой точке матрицы на шаблоне с образованием матрицы абразивных зерен;
c) перенос матрицы абразивных зерен на основу инструмента; и
d) сцепление матрицы абразивных зерен с основой инструмента при помощи абразивного связующего материала.
11. Способ по п.10, дополнительно включающий операцию удаления шаблона из основы инструмента.
12. Способ по п.10, дополнительно включающий операцию сцепления шаблона, несущего матрицу абразивных зерен, с основой инструмента с образованием абразивного инструмента.
13. Способ по п.2, в котором абразивный связующий материал выбран из группы, в которую входят клеи, припои, электроосаждаемые материалы, электромагнитные материалы, электростатические материалы, застеклованные материалы, металлопорошковые связующие материалы, полимерные материалы и смолы, а также их комбинации.
14. Способ по п.1, в котором матрица задана набором прямоугольных координат (x, y).
15. Способ по п.1, в котором матрица задана набором полярных координат (r, θ).
16. Способ по п.15, в котором матрица задана дополнительным набором прямоугольных координат (x, y).
17. Способ по п.1, в котором минимальное значение (k) превышает максимальный диаметр абразивного зерна.
18. Способ по п.17, в котором минимальное значение (k) по меньшей мере в 1.5 раза превышает максимальный диаметр абразивного зерна.
19. Способ по п.2, дополнительно включающий в себя операцию преобразования матрицы абразивных зерен из двумерной структуры в трехмерную структуру за счет свертывания матрицы абразивных зерен в концентрический рулон.
20. Способ изготовления абразивных инструментов, имеющих выбранную исключающую зону вокруг каждого абразивного зерна, включающий следующие операции:
(a) выбор двумерной плоской области, имеющей заданные размер и форму;
(b) выбор желательного размера абразивного зерна и концентрации зерен для плоской области;
(c) выбор серий пар координатных значений (x1, y1), таким образом, что координатные значения вдоль по меньшей мере одной оси ограничены числовой последовательностью, в которой каждое значение отличается от следующего значения на постоянную величину;
(d) разделение каждой выбранной пары координатных значений (x1, y1), чтобы получить набор выбранных x значений и набор выбранных y значений;
(e) случайный выбор из наборов x и y значений серий случайных пар координатных значений (x1, y1), причем каждая такая пара имеет координатные значения, отличающиеся от координатных значений любой соседней пары координатных значений на минимальное значение (k);
(f) генерирование матрицы случайно выбранных пар координатных значений, имеющих достаточное число пар, нанесенных как точки на графике, чтобы получить желательную концентрацию абразивного зерна для выбранной двумерной плоской области и получить выбранный размер абразивного зерна; и
(g) центрирование абразивного зерна в каждой точке на матрице.
21. Способ по п.20, дополнительно включающий операцию сцепления абразивным связующим материалом матрицы абразивных зерен, чтобы закрепить абразивное зерно в каждой точке матрицы.
22. Способ по п.20, дополнительно включающий операцию сцепления матрицы абразивных зерен с основой с получением абразивного инструмента.
23. Способ по п.22, в котором основу выбирают из группы, в которую входят заготовка жесткого инструмента и гибкая подложка, а также их комбинации.
24. Способ по п.23, в котором заготовка жесткого инструмента имеет геометрическую форму с одной осью осевой симметрии.
25. Способ по п.23, в котором геометрическая форма заготовки жесткого инструмента выбрана из группы, в которую входят круг, обод, кольцо, цилиндр и конфигурации в виде усеченного конуса, а также их комбинации.
26. Способ по п.23, в котором гибкая подложка выбрана из группы, в которую входят пленки, фольга, ткань, нетканые листы, ленты, сетки, перфорированные листы, слоистые материалы а также их комбинации.
27. Способ по п.23, в котором гибкая подложка преобразована в форму, выбранную из группы, в которую входят ленты, круги, листы, полировальники, рулоны и полоски.
28. Способ по п.21, включающий следующие операции:
a) впечатывание матрицы ограниченных, случайно генерированных координатных значений, нанесенных как точки на графике, на основу инструмента; и
b) закрепление абразивного зерна в каждой точке матрицы на основе инструмента при помощи абразивного связующего материала.
29. Способ по п.21, включающий следующие операции:
a) впечатывание матрицы ограниченных, случайно генерированных координатных значений, нанесенных как точки на графике, на шаблон;
b) закрепление абразивного зерна в каждой точке матрицы на шаблоне с образованием матрицы абразивных зерен;
c) перенос матрицы абразивных зерен на основу инструмента; и
d) сцепление матрицы абразивных зерен с основой инструмента при помощи абразивного связующего материала.
30. Способ по п.29, дополнительно включающий операцию удаления шаблона из основы инструмента.
31. Способ по п.29, дополнительно включающий операцию сцепления шаблона, несущего матрицу абразивных зерен, с основой инструмента с получением абразивного инструмента.
32. Способ по п.21, в котором абразивный связующий материал выбран из группы, в которую входят клеи, припои, электроосаждаемые материалы, электромагнитные материалы, электростатические материалы, застеклованные материалы, металлопорошковые связующие материалы, полимерные материалы и смолы, а также их комбинации.
33. Способ по п.20, в котором матрица задана набором прямоугольных координат (x, y).
34. Способ по п.20, в котором матрица задана набором полярных координат (r, θ).
35. Способ по п.34, в котором матрица задана дополнительным набором прямоугольных координат (x, y).
35. Способ по п.20, в котором минимальное значение (k) превышает максимальный диаметр абразивного зерна.
36. Способ по п.35, в котором минимальное значение (k) по меньшей мере в 1,5 раза превышает максимальный диаметр абразивного зерна.
37. Способ по п.21, дополнительно включающий операцию преобразования матрицы абразивных зерен из двумерной структуры в трехмерную структуру за счет свертывания матрицы абразивных зерен в концентрический рулон.
38. Способ по п.1, в котором абразивное зерно выбирают из группы, в которую входят единичные абразивные частицы, пирамиды и композиты, которые содержат множество абразивных частиц, а также их комбинации.
39. Способ по п.20, в котором абразивное зерно выбирают из группы, в которую входят единичные абразивные частицы, пирамиды и композиты, которые содержат множество абразивных частиц, а также их комбинации.
40. Абразивный инструмент, содержащий абразивные зерна, связующий материал и основу, причем абразивные зерна имеют выбранный максимальный диаметр и выбранный размерный диапазон и сцеплены в единичном слое матрицы с основой при помощи связующего материала, отличающийся тем, что:
(a) абразивные зерна ориентированы в матрице в соответствии с неоднородной картиной, имеющей исключающую зону вокруг каждого абразивного зерна; и
(b) каждая исключающая зона имеет максимальный радиус, который превышает максимальный радиус желательного размера абразивного зерна.
41. Абразивный инструмент по п.40, в котором каждое абразивное зерно расположено в точке матрицы, которая задана при помощи ограниченных случайно выбранных серий точек на двумерной плоскости, так что каждая точка отделена от каждой другой точки минимальным значением (k), которое по меньшей мере в 1.5 раза превышает максимальный диаметр абразивного зерна.
42. Абразивный инструмент по п.40, в котором каждое абразивное зерно расположено в точке матрицы, которая задана
(a) ограничением серий пар координатных значений (x1, y1) таким образом, что координатные значения вдоль по меньшей мере одной оси ограничены числовой последовательностью, в которой каждое значение отличается от следующего значения на постоянную величину;
(b) разделением каждой выбранной пары координатных значений (x1, y1), чтобы получить набор выбранных x значений и набор выбранных y значений;
(c) случайным выбором из наборов x и y значений серий случайных пар координатных значений (x, y), причем каждая такая пара имеет координатные значения, которые отличаются от координатных значений любой соседней пары координатных значений на минимальное значение (k); и
(d) генерированием матрицы случайно выбранных пар координатных значений, имеющей достаточное число пар, нанесенных как точки на графике, чтобы получить исключающую зону вокруг каждого абразивного зерна.
43. Способ по п.40, в котором основу выбирают из группы, в которую входят заготовка жесткого инструмента и гибкая подложка, а также их комбинации.
44. Способ по п.43, в котором заготовка жесткого инструмента имеет геометрическую форму с одной осью осевой симметрии.
45. Способ по п.44, в котором геометрическая форма заготовки жесткого инструмента выбрана из группы, в которую входят круг, обод, кольцо, цилиндр и конфигурации в виде усеченного конуса, а также их комбинации.
46. Способ по п.43, в котором гибкая подложка выбрана из группы, в которую входят пленки, фольга, ткань, нетканые листы, ленты, сетки, перфорированные листы, слоистые материалы, а также их комбинации.
47. Способ по п.46, в котором гибкая подложка преобразована в форму, выбранную из группы, в которую входят ленты, круги, листы, полировальники, рулоны и полоски.
48. Способ по п.40, в котором связующий материал выбран из группы, в которую входят клеи, припои, электроосаждаемые материалы, электромагнитные материалы, электростатические материалы, застеклованные материалы, металлопорошковые связующие материалы, полимерные материалы и смолы, а также их комбинации.
49. Способ по п.41, который дополнительно включает в себя операцию преобразования матрицы абразивных зерен из двумерной структуры в трехмерную структуру за счет свертывания матрицы абразивных зерен в концентрический рулон.
50. Способ по п.40, в котором абразивное зерно выбрано из группы, в которую входят единичные абразивные частицы, пирамиды и композиты, которые содержат множество абразивных частиц, а также их комбинации.
RU2006111358/02A 2003-10-10 2004-09-07 Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом RU2320472C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/683,486 US20050076577A1 (en) 2003-10-10 2003-10-10 Abrasive tools made with a self-avoiding abrasive grain array
US10/683,486 2003-10-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006111358A true RU2006111358A (ru) 2007-11-27
RU2320472C2 RU2320472C2 (ru) 2008-03-27

Family

ID=34377597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006111358/02A RU2320472C2 (ru) 2003-10-10 2004-09-07 Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом

Country Status (25)

Country Link
US (4) US20050076577A1 (ru)
JP (1) JP4520465B2 (ru)
KR (1) KR100796184B1 (ru)
CN (1) CN1867428B (ru)
AT (1) AT502328B1 (ru)
BE (1) BE1016293A4 (ru)
BR (1) BRPI0415196A (ru)
CA (1) CA2540733C (ru)
DE (1) DE112004001912T5 (ru)
ES (1) ES2306591B1 (ru)
FI (1) FI20060341A (ru)
FR (1) FR2860744B1 (ru)
GB (1) GB2423491B (ru)
HK (1) HK1094176A1 (ru)
HU (1) HUP0600297A2 (ru)
IL (1) IL174805A (ru)
IT (1) ITMI20041858A1 (ru)
MX (1) MXPA06004041A (ru)
MY (1) MY136988A (ru)
NL (1) NL1027081C2 (ru)
PL (1) PL204960B1 (ru)
RU (1) RU2320472C2 (ru)
SK (1) SK50362006A3 (ru)
TW (1) TWI278928B (ru)
WO (1) WO2005039828A1 (ru)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9199357B2 (en) * 1997-04-04 2015-12-01 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making the same
US9409280B2 (en) 1997-04-04 2016-08-09 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making the same
US9221154B2 (en) 1997-04-04 2015-12-29 Chien-Min Sung Diamond tools and methods for making the same
US9238207B2 (en) 1997-04-04 2016-01-19 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making the same
US9463552B2 (en) 1997-04-04 2016-10-11 Chien-Min Sung Superbrasvie tools containing uniformly leveled superabrasive particles and associated methods
US9868100B2 (en) 1997-04-04 2018-01-16 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making the same
US20060254154A1 (en) * 2005-05-12 2006-11-16 Wei Huang Abrasive tool and method of making the same
US9138862B2 (en) 2011-05-23 2015-09-22 Chien-Min Sung CMP pad dresser having leveled tips and associated methods
US9724802B2 (en) 2005-05-16 2017-08-08 Chien-Min Sung CMP pad dressers having leveled tips and associated methods
US8678878B2 (en) 2009-09-29 2014-03-25 Chien-Min Sung System for evaluating and/or improving performance of a CMP pad dresser
US8393934B2 (en) 2006-11-16 2013-03-12 Chien-Min Sung CMP pad dressers with hybridized abrasive surface and related methods
US20070175765A1 (en) * 2006-02-01 2007-08-02 Kosta George Method of fabricating monolayer abrasive tools
ATE488328T1 (de) * 2006-03-03 2010-12-15 Sandro Giovanni Giuseppe Ferronato System zur anzeige des grades eines schleifmittels
FI121654B (sv) 2006-07-10 2011-02-28 Kwh Mirka Ab Oy Förfarande för tillverkning av en flexibel sliprondell och en flexibel sliprondell
KR101160064B1 (ko) * 2006-07-14 2012-06-26 생-고벵 아브라시프 기재를 갖지 않는 연마재 제품 및 광학 매체의 보수 방법
US20080271384A1 (en) * 2006-09-22 2008-11-06 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Conditioning tools and techniques for chemical mechanical planarization
JP5121315B2 (ja) * 2007-06-07 2013-01-16 豊田バンモップス株式会社 砥粒貼着装置、及び砥粒貼着プログラム
FI20075533L (fi) * 2007-07-10 2009-01-11 Kwh Mirka Ab Oy Hiomatuote ja menetelmä tämän valmistamiseksi
CN101778718B (zh) * 2007-08-13 2013-07-31 3M创新有限公司 涂覆层压磨盘及其制备方法
WO2009026419A1 (en) * 2007-08-23 2009-02-26 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Optimized cmp conditioner design for next generation oxide/metal cmp
CN101376234B (zh) * 2007-08-28 2013-05-29 侯家祥 一种研磨工具磨料颗粒有序排列的方法
JP5171231B2 (ja) * 2007-12-03 2013-03-27 豊田バンモップス株式会社 超砥粒のセッティング装置
JP5121423B2 (ja) * 2007-12-03 2013-01-16 豊田バンモップス株式会社 超砥粒のセッティング方法
KR101292032B1 (ko) * 2007-12-12 2013-08-01 생-고벵 아브라시프 연마 공구의 제조방법
KR20130038416A (ko) * 2008-06-23 2013-04-17 생-고벵 아브라시프 고공극율 유리질 초연마 제품들 및 그 제조 방법
JP5065197B2 (ja) * 2008-07-31 2012-10-31 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ビトリファイド砥石
CN102341215B (zh) 2009-03-24 2014-06-18 圣戈班磨料磨具有限公司 用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具
EP2419243A1 (en) * 2009-04-17 2012-02-22 3M Innovative Properties Company Metal particle transfer article, metal modified substrate, and method of making and using the same
CN102484054A (zh) * 2009-06-02 2012-05-30 圣戈班磨料磨具有限公司 耐腐蚀性cmp修整工件及其制造和使用方法
US20110097977A1 (en) * 2009-08-07 2011-04-28 Abrasive Technology, Inc. Multiple-sided cmp pad conditioning disk
CA2770505C (en) 2009-08-14 2015-07-21 Susanne Liebelt Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body
EP2464486A2 (en) 2009-08-14 2012-06-20 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body, and methods of forming thereof
EP2474025A2 (en) * 2009-09-01 2012-07-11 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Chemical mechanical polishing conditioner
US8784519B2 (en) 2009-10-27 2014-07-22 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Vitrious bonded abbrasive
WO2011056671A2 (en) 2009-10-27 2011-05-12 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Resin bonded abrasive
MX2012007288A (es) * 2009-12-29 2012-07-30 Saint Gobain Abrasifs Sa Metodo para limpiar una superficie domestica.
JP5769735B2 (ja) 2010-03-03 2015-08-26 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 結合した研磨ホイール
US20110306275A1 (en) * 2010-06-13 2011-12-15 Nicolson Matthew D Component finishing tool
DE102010038324B4 (de) * 2010-07-23 2012-03-22 Hilti Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Positionieren von Schneidpartikeln
TWI454342B (zh) 2010-08-16 2014-10-01 Saint Gobain Abrasives Inc 用於對超級磨料工件進行磨削之磨料物品
TWI453089B (zh) * 2010-08-16 2014-09-21 Saint Gobain Abrasives Inc 對包含超級磨料材料的工件進行磨削之方法
TWI466990B (zh) 2010-12-30 2015-01-01 Saint Gobain Abrasives Inc 磨料物品及形成方法
CA2827223C (en) 2011-02-16 2020-01-07 3M Innovative Properties Company Coated abrasive article having rotationally aligned formed ceramic abrasive particles and method of making
CN102198641B (zh) * 2011-05-12 2013-05-01 沈阳理工大学 叶序排布磨料端面超硬磨料砂轮及其生产方法
CN103329253B (zh) 2011-05-23 2016-03-30 宋健民 具有平坦化尖端的化学机械研磨垫修整器
TW201300199A (zh) * 2011-06-30 2013-01-01 Saint Gobain Abrasives Inc 磨料物品及製造方法
EP2755803A4 (en) 2011-09-16 2015-12-30 Saint Gobain Abrasives Inc GRINDING MATERIAL AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
KR20140075717A (ko) 2011-09-29 2014-06-19 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 배리어층이 있는 신장 기재 몸체 결합 연마 입자를 포함하는 연마 물품, 및 이를 형성하는 방법
US9266220B2 (en) 2011-12-30 2016-02-23 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and method of forming same
DE212012000041U1 (de) 2011-12-31 2013-10-14 Saint-Gobain Abrasifs S.A. Schleifartikel, der eine ungleichförmige Verteilung von Öffnungen aufweist
US9242342B2 (en) * 2012-03-14 2016-01-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Manufacture and method of making the same
CA2773197A1 (en) * 2012-03-27 2013-09-27 Yundong Li Electroplated super abrasive tools with the abrasive particles chemically bonded and deliberately placed, and methods for making the same
CN102717325B (zh) * 2012-06-08 2014-06-11 浙江工业大学 一种基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法
TW201402274A (zh) 2012-06-29 2014-01-16 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI477343B (zh) 2012-06-29 2015-03-21 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TW201404527A (zh) 2012-06-29 2014-02-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
CN108015685B (zh) * 2012-10-15 2020-07-14 圣戈班磨料磨具有限公司 具有特定形状的磨粒
TW201441355A (zh) 2013-04-19 2014-11-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨製品及其形成方法
TWI589404B (zh) * 2013-06-28 2017-07-01 聖高拜磨料有限公司 基於向日葵圖案之經塗佈的研磨製品
US20160221140A1 (en) * 2013-09-13 2016-08-04 Stora Enso Oyj Method for creating a grit pattern on a grindstone
TWI664057B (zh) 2015-06-29 2019-07-01 美商聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
US10513026B1 (en) 2017-07-14 2019-12-24 United States Of America As Represented By The Administrator Of Nasa Surface grinding tool
CA3071501A1 (en) 2017-07-31 2019-02-07 3M Innovative Properties Company Floor pad with variable abrasive distribution
WO2019025882A1 (en) * 2017-07-31 2019-02-07 3M Innovative Properties Company PLACING ABRASIVE PARTICLES TO OBTAIN SCRATCHES INDEPENDENT FROM ORIENTATION AND MINIMIZING OBSERVABLE MANUFACTURING DEFECTS
DE102018109528A1 (de) * 2018-04-20 2019-10-24 Rhodius Schleifwerkzeuge Gmbh & Co. Kg Abrasive Scheibe für handgeführte Werkzeugmaschinen mit unterschiedlichen Arbeitsbereichen
CA3107406A1 (en) 2018-07-23 2020-01-30 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article and method for forming
CN114630725A (zh) * 2019-10-23 2022-06-14 3M创新有限公司 在多条边中的一条边内具有凹形空隙的成形磨料颗粒
WO2021161332A1 (en) * 2020-02-11 2021-08-19 INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY MADRAS (IIT Madras) System and method for developing uni-layer brazed grinding wheels by placing grit in a pre-defined array
CN112518561B (zh) * 2020-10-23 2022-04-22 湖南科技大学 光-剪切联合诱导增稠效应的光流变抛光方法及装置

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US19794A (en) * 1858-03-30 Improvement in railroad-car couplings
US36341A (en) * 1862-09-02 Joseph defossez
US26879A (en) * 1860-01-24 Lard-expresser
US2194472A (en) * 1935-12-30 1940-03-26 Carborundum Co Production of abrasive materials
USRE26879E (en) 1969-04-22 1970-05-19 Process for making metal bonded diamond tools employing spherical pellets of metallic powder-coated diamond grits
JPS63251170A (ja) * 1987-04-06 1988-10-18 Mikurotetsuku Tsuuwan:Kk 研削工具に適する研削面及びその形成方法
US4931069A (en) 1987-10-30 1990-06-05 Wiand Ronald C Abrasive tool with improved swarf clearance and method of making
US5049165B1 (en) * 1989-01-30 1995-09-26 Ultimate Abrasive Syst Inc Composite material
US4925457B1 (en) 1989-01-30 1995-09-26 Ultimate Abrasive Syst Inc Method for making an abrasive tool
US5014468A (en) * 1989-05-05 1991-05-14 Norton Company Patterned coated abrasive for fine surface finishing
US5152917B1 (en) 1991-02-06 1998-01-13 Minnesota Mining & Mfg Structured abrasive article
US5817204A (en) 1991-06-10 1998-10-06 Ultimate Abrasive Systems, L.L.C. Method for making patterned abrasive material
US5472461A (en) * 1994-01-21 1995-12-05 Norton Company Vitrified abrasive bodies
US5492771A (en) * 1994-09-07 1996-02-20 Abrasive Technology, Inc. Method of making monolayer abrasive tools
TW383322B (en) * 1994-11-02 2000-03-01 Norton Co An improved method for preparing mixtures for abrasive articles
EP0830237A1 (en) 1995-06-07 1998-03-25 Norton Company Cutting tool having textured cutting surface
JP3020443B2 (ja) * 1996-03-01 2000-03-15 旭ダイヤモンド工業株式会社 ツルーア及びその製造方法
US6371838B1 (en) 1996-07-15 2002-04-16 Speedfam-Ipec Corporation Polishing pad conditioning device with cutting elements
US5842912A (en) * 1996-07-15 1998-12-01 Speedfam Corporation Apparatus for conditioning polishing pads utilizing brazed diamond technology
US5833724A (en) 1997-01-07 1998-11-10 Norton Company Structured abrasives with adhered functional powders
US5863306A (en) 1997-01-07 1999-01-26 Norton Company Production of patterned abrasive surfaces
US6679243B2 (en) 1997-04-04 2004-01-20 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making
US6286498B1 (en) * 1997-04-04 2001-09-11 Chien-Min Sung Metal bond diamond tools that contain uniform or patterned distribution of diamond grits and method of manufacture thereof
US7124753B2 (en) * 1997-04-04 2006-10-24 Chien-Min Sung Brazed diamond tools and methods for making the same
US6368198B1 (en) * 1999-11-22 2002-04-09 Kinik Company Diamond grid CMP pad dresser
TW394723B (en) 1997-04-04 2000-06-21 Sung Chien Min Abrasive tools with patterned grit distribution and method of manufacture
US6537140B1 (en) 1997-05-14 2003-03-25 Saint-Gobain Abrasives Technology Company Patterned abrasive tools
US6358133B1 (en) 1998-02-06 2002-03-19 3M Innovative Properties Company Grinding wheel
US6159087A (en) * 1998-02-11 2000-12-12 Applied Materials, Inc. End effector for pad conditioning
US6123612A (en) * 1998-04-15 2000-09-26 3M Innovative Properties Company Corrosion resistant abrasive article and method of making
US6158133A (en) * 1998-12-23 2000-12-12 Fiskars Inc. Oval cutter
FR2788457B1 (fr) 1999-01-15 2001-02-16 Saint Gobain Vitrage Procede d'obtention d'un motif sur un substrat en materiau verrier
TW467802B (en) 1999-10-12 2001-12-11 Hunatech Co Ltd Conditioner for polishing pad and method for manufacturing the same
CA2288462A1 (en) * 1999-11-03 2001-05-03 Patrick Renaud Connecting member for a pump
US6293980B2 (en) 1999-12-20 2001-09-25 Norton Company Production of layered engineered abrasive surfaces
US6096107A (en) 2000-01-03 2000-08-01 Norton Company Superabrasive products
KR100360669B1 (ko) * 2000-02-10 2002-11-18 이화다이아몬드공업 주식회사 연마드레싱용 공구 및 그의 제조방법
US6572446B1 (en) * 2000-09-18 2003-06-03 Applied Materials Inc. Chemical mechanical polishing pad conditioning element with discrete points and compliant membrane
DK1208945T3 (da) 2000-11-22 2005-10-31 Listemann Ag Werkstoff Und Wae Fremgangsmåde til fremstilling af slibende værktöjer
JP3947355B2 (ja) * 2000-12-15 2007-07-18 旭ダイヤモンド工業株式会社 砥粒工具及びその製造方法
US6575353B2 (en) 2001-02-20 2003-06-10 3M Innovative Properties Company Reducing metals as a brazing flux
JP4508514B2 (ja) 2001-03-02 2010-07-21 旭ダイヤモンド工業株式会社 Ｃｍｐコンディショナ及びその製造方法
US6511713B2 (en) 2001-04-02 2003-01-28 Saint-Gobain Abrasives Technology Company Production of patterned coated abrasive surfaces
US6514302B2 (en) * 2001-05-15 2003-02-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Methods for producing granular molding materials for abrasive articles
JP2003053665A (ja) 2001-08-10 2003-02-26 Mitsubishi Materials Corp ドレッサー
KR100428947B1 (ko) 2001-09-28 2004-04-29 이화다이아몬드공업 주식회사 다이아몬드 공구
US7258708B2 (en) 2004-12-30 2007-08-21 Chien-Min Sung Chemical mechanical polishing pad dresser

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005039828A8 (en) 2006-05-11
IE20040623A1 (en) 2005-04-20
US7993419B2 (en) 2011-08-09
DE112004001912T5 (de) 2006-08-24
PL379550A1 (pl) 2006-10-16
JP2007508153A (ja) 2007-04-05
FI20060341A (fi) 2006-04-07
KR20060085656A (ko) 2006-07-27
CN1867428B (zh) 2012-01-11
SK50362006A3 (sk) 2006-09-07
JP4520465B2 (ja) 2010-08-04
US20090202781A1 (en) 2009-08-13
AT502328A2 (de) 2007-03-15
BE1016293A4 (fr) 2006-07-04
FR2860744B1 (fr) 2006-01-13
GB2423491A (en) 2006-08-30
CN1867428A (zh) 2006-11-22
ES2306591A1 (es) 2008-11-01
BRPI0415196A (pt) 2006-12-05
IL174805A0 (en) 2006-08-20
CA2540733C (en) 2013-12-17
US7507267B2 (en) 2009-03-24
ES2306591B1 (es) 2009-10-02
CA2540733A1 (en) 2005-05-06
NL1027081A1 (nl) 2005-04-12
AT502328A5 (de) 2009-12-15
TW200522188A (en) 2005-07-01
KR100796184B1 (ko) 2008-01-21
GB2423491B (en) 2008-04-16
US20060010780A1 (en) 2006-01-19
GB0609169D0 (en) 2006-06-21
NL1027081C2 (nl) 2005-10-11
HUP0600297A2 (en) 2007-07-30
HK1094176A1 (en) 2007-03-23
PL204960B1 (pl) 2010-02-26
TWI278928B (en) 2007-04-11
ITMI20041858A1 (it) 2004-12-29
FR2860744A1 (fr) 2005-04-15
MY136988A (en) 2008-12-31
US20110252710A1 (en) 2011-10-20
RU2320472C2 (ru) 2008-03-27
MXPA06004041A (es) 2006-06-28
US20050076577A1 (en) 2005-04-14
WO2005039828A1 (en) 2005-05-06
AT502328B1 (de) 2010-03-15
IL174805A (en) 2009-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006111358A (ru) Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом
WO2019025882A1 (en) PLACING ABRASIVE PARTICLES TO OBTAIN SCRATCHES INDEPENDENT FROM ORIENTATION AND MINIMIZING OBSERVABLE MANUFACTURING DEFECTS
EP0331344B1 (en) Abrasive sheeting having individually positioned abrasive granules
CN1179825C (zh) 用于化学机械抛光的研磨垫
CN1942283A (zh) 非织造磨料制品及其制作方法
RU2008110905A (ru) Инструмент с полирующей поверхностью из спеченного вещества и способ его изготовления
CN102615554B (zh) 一种微型球面或非球面透镜阵列的加工方法
TH39054B (th) เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง
TH69797A (th) เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง
CN210879281U (zh) 一种砂布抛磨轮
KR101935807B1 (ko) 확장 가능한 연마 패드
JPH04135181A (ja) 研磨布紙
IE84217B1 (en) Abrasive tools made with a self-avoiding abrasive grain array
JPH0457678A (ja) 研磨布紙
TW200843902A (en) A flexible lapping tool and its manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150908