NL1002598C2 - Method and device for the processing of substrate. - Google Patents

Method and device for the processing of substrate. Download PDF

Info

Publication number
NL1002598C2
NL1002598C2 NL1002598A NL1002598A NL1002598C2 NL 1002598 C2 NL1002598 C2 NL 1002598C2 NL 1002598 A NL1002598 A NL 1002598A NL 1002598 A NL1002598 A NL 1002598A NL 1002598 C2 NL1002598 C2 NL 1002598C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
laser beam
substrate
treatment medium
method according
medium
Prior art date
Application number
NL1002598A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
Gerrit Bootsman
Original Assignee
Bootsman Holding Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bootsman Holding Bv filed Critical Bootsman Holding Bv
Priority to NL1002598 priority Critical
Priority to NL1002598A priority patent/NL1002598C2/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1002598C2 publication Critical patent/NL1002598C2/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles

Description

Werkwijze en inrichting voor het bewerken van substraat. Method and device for the processing of substrate.

De uitvinding begeeft zich op het gebied van het met energie uit laserlicht en behandelingsmedium veranderen van de aard 5 van een substraat. The invention is embarking on the area of ​​the energy from laser light and alter treatment medium of the type 5 of a substrate. Heer in het bijzonder, doch niet exclusief, heeft de uitvinding betrekking op het lokaal wijzigen van het oppervlak of de oppervlaktelaag van een substraat, bijvoorbeeld teneinde daarin een patroon aan te brengen. More particularly, but not exclusively, has to change, the invention relates to the local of the surface or the surface layer of a substrate, for example in order to apply a pattern to therein.

Bekend is het bijvoorbeeld, een substraat in een kamer met een 10 gecontroleerde atmosfeer te brengen, en van buitenaf die kamer met een of meer laserstralen op het substraat te schijnen, teneinde het oppervlak lokaal sterk te verhitten. It is known, for example, a substrate to be put in a chamber 10 with a controlled atmosphere, and that chamber from the outside with one or more laser beams onto the substrate to light, so as to locally heat the surface strongly. Een of meer stoffen uit de atmosfeer in de kamer zijn geselecteerd om een verandering in de aard van het oppervlak van het substraat te 15 bereiken, zodat een patroon in of op het substraat ontstaat. One or more substances selected from the atmosphere in the chamber to achieve a change in the nature of the surface of the substrate to be 15, so that a pattern is created in or on the substrate. Nadeel van dit bekende is de noodzaak, een kamer met een gecontroleerde atmosfeer te gebruiken. The disadvantage of this known is the need, a chamber with a controlled atmosphere use. De kamer is voor het plaasten en verwijderen van het substraat lastig. The chamber is for Placing and removing the substrate difficult. De kamer beperkt de afmetingen en de aard van het substraat. The chamber is limited, the dimensions and nature of the substrate. De kamer 20 leidt ten minste tot overmatig verlies van behandelingsmedium. The chamber 20 leads, at least to excessive loss of treatment medium. De kamer vereist bijzondere voorzorgsmaatregelen teneinde de gecontroleerde atmosfeer te bereiken. The room requires special precautions in order to achieve the controlled atmosphere.

Ook is bekend, een afschermgas concentrisch rond de laserstraal toe te voeren aan het substraat. It is also known, a shielding gas to be fed concentrically around the laser beam to the substrate. Hiertoe zijn 25 bijzondere toevoer-mondstukken voor het afschermgas vereist. To this end, 25 special feed-nozzles required for the shielding gas. Enerzijds zijn die relatief duur, anderzijds beperken zij het gebied dat door de laserstraal kan worden bestreken. On the one hand which are relatively expensive, on the other hand, they restrict the area that can be covered by the laser beam. Het aandeel afschermgas dat werkzaam wordt besteed, is gering. The proportion shielding operatively spent is small. Het afschermgas kan relatief gemakkelijk naar de omgeving 30 ontwijken. The shielding can be relatively easy to dodge around 30.

De uitvinding beoogt, nadelen, zoals een of meer van de bovenbedoelde nadelen, van de stand van de techniek op te heffen. The invention aims, disadvantages, such as one or more of the above-mentioned drawbacks of the state of the art to lift.

Hiertoe worden een werkwijze volgens conclusie 1 en een 35 inrichting volgens conclusie 7 voorgesteld. To this end, a method according to claim 1 and a device 35 represented as claimed in claim 7. Voordelige verdere ontwikkelingen zijn in de volgconclusies gegeven. Advantageous developments are given in the dependent claims.

Aan de uitvinding ligt het inzicht ten grondslag, dat door het binnen de laserstraal toevoeren van het behandelingsmedium, enerzijds er een betere voorzorg is tegen ongewild naar de 1002598 - 2 - omgeving ontwijken van behandelingsmedium. The invention is based on the insight that, by the laser beam within the feeding of the treatment medium, on the one hand there is a better precaution against unintentional to the 1002598-2 - surroundings escape of treatment medium. Anderzijds is er een groter contactgebied tussen de laserstraal en het behandelingsmedium bereikt, zodat het behandelingsmedium doelmatiger wordt besteed. On the other hand, there is a larger contact area achieved between the laser beam and the treatment medium, so that the treatment medium is allocated more efficiently. Voorts hindert de toevoer van 5 behandelingsmedium het werkgebied van de laserstraal niet. Furthermore, the supply of treatment medium 5 does not interfere with the working area of ​​the laser beam. Gebleken is, dat het niet nodig is om een afzonderlijke dichte kamer te gebruiken, waarbinnen het substraat aan het behandelingsmedium wordt blootgesteld. It has been found, that it is not necessary to separate a tight chamber to be used, in which the substrate is exposed to the treatment medium. Met de uitvinding kan die dichte kamer integraal met het toevoerelement voor de 10 laserstraal en het behandelingsmedium zijn uitgevoerd. With the invention, tight chamber which is integral with the feeder element 10 for the laser beam and the treatment medium are carried out.

In een voorkeursuitvoering is de laserstraal hol. In a preferred embodiment, the laser beam is hollow. Met "hol" wordt hier bedoeld, zodanig dat een kerngebied van de laserstraal in wezen geen laser-energie voert. The term "concave" is meant here, such that performs a core region of the laser beam, in essence, no laser energy. In plaats daarvan stroomt door dat "holle" gebied het behandelingsmedium 15 naar de plaats waar de laserstraal het substraat treft. Instead, it flows through the "hollow" region, the treatment medium 15 to the place where the laser beam strikes the substrate.

Onder behandelingsmedium wordt hier bedoeld een gas of een vloeistof, of een mengsel van die twee. Under treatment medium is here understood to mean a gas or a liquid, or a mixture of the two. Het kunnen een of meer afschermstoffen zijn, of een of meer stoffen die chemisch reageren met het materiaal van het substraat, of combinaties 2 0 daarvan. It may be one or more shielding agents, or one or more substances that react chemically with the material of the substrate, or combinations thereof, 0 2.

Met substraat wordt hier bedoeld elk materiaal dat geschikt is voor bewerking of behandeling met een laserstraal en een of meer behandelingsmedia. With substrate is here meant any material that is suitable for processing or treatment with a laser beam, and one or more treatment media. Tot die materialen behoren verschillende kunststoffen, zoals Polivivylchloride (PVC), 25 (poly-)ethylenen en -ethenen en metalen, zoals ijzer- en aluminium legeringen, maar ook keramische materialen. Such materials include various plastics, such as Polivivylchloride (PVC), 25 (poly-) ethylenes and -ethenen and metals, such as iron and aluminum alloys, but also ceramic materials.

De holle laserstraal kan op verschillende manieren worden bereikt. The hollow laser beam can be achieved in different ways. Bijvoorbeeld met een of meer spiegels of lenzen of combinaties van een of meer spiegels en lenzen. For example, with one or more mirrors or lenses or combinations of one or more mirrors and lenses. Of met een of 30 meer optische vezels. Or with one or more optical fibers 30. Bijvoorbeeld met een bundel optische vezels, bijvoorbeeld glasvezels, waarvan de naar het substraat gekeerde uiteinden in een ringpatroon zijn opgesteld. For example, with a bundle of optical fibers, for example glass fibers, of which the ends facing the substrate are arranged in a ring pattern. Of een of meer vezels hebben een kerngebied dat in hoofdzaak geen laserlicht geleidt. Or one or more fibers have a core region that does not conduct laser light substantially. Bijvoorbeeld is zo'n vezel hol, en door de 35 holte wordt het behandelmedium gestuurd. For example, such a fiber is hollow, and the treatment medium is passed through the cavity 35.

Vanzelfsprekend is het ook mogelijk, langs een andere weg verder medium, bijvoorbeeld een afschermgas, toe te voeren aan Ό 0 2 5 9 8 - 3 - de plaats waar de laserstraal het substraat treft. Of course, it is also possible, by a different route further medium, such as a shielding gas, to be supplied to Ό 0 2 5 9 8-3 - the location where the laser beam strikes the substrate. Daartoe is er bijvoorbeeld een buis buiten de laserstraal, welke dat verdere medium toevoert, en vlak boven het substraat uitmondt, en bijvoorbeeld met de laserstraal mee beweegt ten opzichte 5 van het substraat. To this end, there is, for example, a tube outside the laser beam, which medium is fed further, and just above the substrate debouches, for example, and moves along with the laser beam relative to 5 of the substrate.

Tot de uitvinding behoort ook de toepassing, waarbij geen bijzondere voorzieningen aan de aard van de laserstraal zijn voorgenomen, en toch de mogelijkheid is bereikt, samen met de laserstraal het behandelingsmedium toe te voeren, waarbij de 10 laserstraal het behandelingsmedium als het ware "geleid" en het behandelingsmedium zich binnen de laserstraal bevindt. The invention also includes the application, wherein no special provisions have been proposed to the nature of the laser beam, and yet the possibility has been reached, together with the laser beam for supplying the treatment medium, in which the 10 laser beam, the treatment medium, as it were "led" and the treatment medium is located within the laser beam.

In een verdere uitvoering van de uitvinding wordt ervoor gezorgd, dat de energie van de laserstraal in het buitenomtreksgebied wordt geconcentreerd en ruimte vrij 15 gehouden wordt in een kerngebied met ten minste een aanzienlijk geringere energie-dichtheid. In a further embodiment of the invention, it is ensured, that the energy of the laser beam is concentrated in the outer peripheral region, and space 15 is maintained in a core region having at least a substantial lower energy density.

Met laserstraal wordt hier bedoeld elke bundel- of straalvorm van electromagnetische golfenergie van bij voorkeur coherente aard en met in hoofdzaak evenwijdige, divergerende of 20 convergerende voortplanting, waarbij de straling een golflengte heeft bij voorkeur in het Infrarood-gebied. With laser beam is here meant any beam or beam shape of the electromagnetic wave energy of, preferably, cohesive nature and having substantially parallel, diverging or converging propagation 20, wherein the radiation has a wavelength preferably in the infrared region.

Een momenteel voordelige toepassing is het aanbrengen van tekens op het oppervlak van een substraat. A presently advantageous application is the application of marks on the surface of a substrate. Met tekens wordt bedoeld een afbeelding van bijv. een voorwerp, maar ook 25 letters, cijfers, woorden, een tekening, enz.. Daartoe strijkt de laserstraal volgens een voorafbepaald patroon over het substraat-oppervlak. With symbols it is meant an image of e.g. an object, as well as 25 letters, numbers, words, drawings, etc .. To this end, the laser beam strokes according to a predetermined pattern over the substrate surface. Bijvoorbeeld wordt daartoe, bij een ruimtelijk vaste laserstraal, het substraat geroteerd en/of getransleerd. For example, for this purpose, is rotated at a spatially fixed laser beam, the substrate and / or translated. Andersom kan, bij ruimtelijk vast substraat, de 30 laserstraal daaroverheen worden bewogen. Conversely, when spatially solid substrate, the laser beam 30 are moved thereover. Bijvoorbeeld door op een vooraf bepaalde wijze de laserstraal af te buigen. For example, by deflecting in a predetermined manner the laser beam. Of door de laserstraal-generator te verplaasten. Or by the laser beam generator to verplaasten. Ook combinaties van het bewegen van de laserstraal en van het substraat zijn mogelijk. Also combinations of the movement of the laser beam and of the substrate are possible. Voor de vakman zullen verdere mogelijkheden voor het 35 over het substraat laten strijken van de laserstraal voor de hand liggen. For the skilled person will further possibilities for the 35 Ironing of the laser beam lying in front of the hand over the substrate.

Terwijl de laserstraal over het substraatoppervlak strijkt, 1007598 - 4 - wordt dat substraatoppervlak blootgesteld aan de straling en/of de warmte afkomstig van de laserstraal. As the laser beam sweeps over the substrate surface, 1007598 to 4 - the substrate surface is exposed to the radiation and / or the heat coming from the laser beam. Afhankelijk van het materiaal waaruit het substraat bestaat, kan door de inwerking van de laserstraal zich reeds een wijziging voordoen 5 in de aard van het oppervlak of de oppervlakte laag van het substraat. Depending on the material making up the substrate, can be done by the action of the laser beam is already a change occurring 5 in the nature of the surface or the surface layer of the substrate. Dan dient het behandelingsmedium er bijvoorbeeld toe, die wijziging te besturen. For example the treatment medium should ensure that control change. Bijvoorbeeld is het behandelingsmedium dan een afschermstof, om een ongewenste wijziging als gevolg van inwerking van een of meer stoffen uit 10 het omgevende milieu (gewoonlijk de atmosfeer) te verhinderen. For example, the treatment medium over a shielding material, in order to prevent an undesirable change as a result of the action of one or more substances from the surrounding medium 10 (usually the atmosphere). Ook is denkbaar, dat de laserstraal het substraatoppervlak voorbereidt, bijvoorbeeld smelt of heet genoeg maakt, en de met de laserstraal toegevoerde behandelingsstof werkt dan in op het substraat. It is also conceivable that the laser beam is preparing the substrate surface, for example, hot melt, or is enough, and the work feed fabric treatment with the laser beam than on the substrate.

15 In plaats van het behandelen van een oppervlaktelaag is ook het behandelen van een dieper gelegen laag van het substraat denkbaar. 15, instead of treating a surface layer is also the treatment of a deeper-lying layer of the substrate are conceivable. Bijvoorbeeld worden daartoe twee laserstralen gericht op hetzelfde punt beneden de oppervlaktelaag van het substraat. For example, for this purpose two laser beams directed at the same point below the surface layer of the substrate. Behandelingsmedium kan via een van de twee, of 20 beide, laserstralen toegevoerd worden. Treatment medium can be fed using one of the two, or both 20, laser beams. Bijvoorbeeld dient het behandelingsmedium er dan toe, de oppervlaktelaag van het substraat, die immers eveneens is blootgesteld aan de laserstraal, te beschermen tegen ongewenste wijziging. For example, there is then the treatment medium serves, the surface layer of the substrate, which, after all, is also exposed to the laser beam to protect against unwanted modification.

Als behandelingsmedium kan bijvoorbeeld gebruik gemaakt worden 25 van halogenen. As a treatment medium can be, for example, using 25 of halogens. Ook andere stoffen zijn denkbaar. Also, other substances are also conceivable.

Het zal voor de vakman duidelijk zijn, hoe de uitvinding in de praktijk toepasbaar is. It will be apparent to those skilled in the art, how the invention is applicable in practice. Er is geen kamer meer nodig, waarin het substraat is blootgesteld aan een gecontroleerd milieu. There is no need more room, in which the substrate is exposed to a controlled environment. In feite vormt de laserstraal een dergelijke kamer lokaal. In fact, the laser beam forms such a chamber locally. Er is 30 een voorziening nodig om het substraat op te stellen. There are 30 required a provision to allow the substrate to be on. Er is een generator voor een laserstraal nodig, welke de laserstraal van de gewenste aard voortbrengt. There is a need for a laser beam generator, which produces the laser beam of the desired nature. Er is een bron voor behandelingsgas nodig. There is a resource for process gas required. Er is een voorziening nodig om het behandelingsgas samen met de laserstraal toe te voeren op de 35 wijze zoals met de uitvinding beoogt. There is needed a means for feeding the treatment gas, together with the laser beam 35 is designed in the manner such as with the present invention. En er is een voorziening nodig om te zorgen dat de laserstraal het substraat op de gewenste plaats treft. And we need a provision to ensure that the laser beam to the substrate at the desired location affects.

1002598 - 5 - 1002598-5 -

Nu volgt een beschrijving van een momenteel voordelige uitvoering, onder verwijzing naar de bijgevoegde tekening. There now follows a description of a presently preferred embodiment, with reference to the accompanying drawings. De tekening toont in fig. 1 een schematisch zij-aanzicht van eeninrichting volgens de uitvinding. The drawing shows in Fig. 1 is a schematic side view of eeninrichting according to the invention. In fig. 2 en 3 zijn 5 doorsnede-aanzichten volgens de lijn II-II resp. In FIG. 2, 3, and 5 are sectional views taken along the line II-II, respectively. III-III in fig. 1 getoond. III-III in fig. 1 is shown.

Fig. Fig. 1 toont een substraat 1, te bewerken met een inrichting 2. Deze inrichting 2 heeft een laserstraal-generator 3, een bundel optische glasvezels 4 en een toevoerbuis 5 voor 10 behandelingsmedium. 1 shows a substrate 1, to be processed by a device 2. This device 2 has a laser beam generator 3, a bundle of optical fibers 4 and a feed tube 5 for 10 treatment medium. Het substraat is vastgezet op een bewerkings-tafel, welke in zijn vlak beweegbaar is ten opzichte van de inrichting 2, teneinde de laserstraal over het substraat 1 te laten bewegen. The substrate is fixedly put on a processing table, which is movable in its plane relative to the device 2, so as to move the laser beam over the substrate 1.

Dicht bij de generator 3 is de bundel 4 "massief", dwz, de 15 afzonderlijke vezels zijn met zo gering mogelijke tussenruimte tot een in hoofdzaak cirkelvormig profiel opeen gepakt (zie fig. 2) . Close to the generator 3, the beam 4 is "solid", that is to say, the individual fibers are 15 with the smallest possible intermediate space to a packed substantially circular profile in succession (see Fig. 2). Aldus wordt alle energie van de generator door de bundel opgevangen en verder gtransporteerd. Thus, all of the energy from the generator is absorbed by the beam, and further gtransporteerd. De vorm en afmeting van de bundel 4 is daartoe aangepast aan de 20 laserstraal die uit de generator 3 naar buiten komt. The shape and size of the beam 4 is for this purpose adapted to the laser beam 20 which exits from the generator 3. Heer in de richting van het substraat 1 zijn de afzonderlijke vezels gehergroepeerd, teneinde een holle kern te bereiken (zie fig. Lord, in the direction of the substrate 1 are grouped together the individual fibers, in order to achieve a hollow core (see FIG.

3). 3). In die holte loopt de buis 5. Op voor de vakman duidelijke wijze is de buis 5 bij 6 op geschikte wijze van buitenaf 25 doorgevoerd door de bundel 4. Op basis van de Gaussische energie-verdeling van een laserstraal, is een geschikte hergroepering van de afzonderlijke vezels rondom de buis 5 nagestreefd. In such cavity passes the tube 5. On skilled in the art a clear manner, the tube 5 at 6 in a suitable manner from the outside 25, passed through the beam 4. On the basis of the Gaussian energy distribution of a laser beam, is a convenient grouping of the individual fibers pursued around the tube 5. Daarmee kan bijvoorbeeld een gelijkmatige energie-verdeling langs de omtrek van de bundel 4 worden 30 bereikt. Thus, for example, a uniform energy distribution along the periphery of the bundle 4 can be reached 30. Alternatief kan een voorafbepaalde verandering in de energie-verdeling langs de omtrek van de bundel worden nagestreefd. Alternatively, it may be pursued a predetermined change in the energy distribution along the periphery of the bundle. De buis 5 en de bundel 4 eindigen relatief dicht boven het substraat-oppervlak. The tube 5 and the beam 4 relatively close to end above the substrate surface. Die afstand is zodanig gekozen, dat uit de buis 5 stromend behandelingsmedium voornamelijk 35 over het substraat-oppervlak uitstroomt om zijn beoogde werk te doen. This distance is chosen so that from the pipe 5 flowing treating medium over the substrate 35 mainly flows out surface for its intended work to do.

De bundel 4 eindigt op een afstand van het substraat 1 welke 1002598 - 6 - zodanig is gekozen, bij voorkeur als functie van de uitstroomsnelheid en -druk en een of meer fysische eigenschappen van het behandelingsmedium, zoals viscositeit, dat in wezen alle uit de bundel 4 uitstromende 5 behandelingsmedium eerst het substraat raakt, alvorens de laserstraal te verlaten, mocht van dat behandelingsmedium nog iets resteren na contact met het substraat. The beam 4 terminates at a distance from the substrate 1, which 1002598-6 - is chosen in such a way, preferably as a function of the flow rate and pressure, and one or more physical properties of the treatment medium, such as viscosity, that substantially all of the beam 4 5 outflowing treatment medium is first touches the substrate, before the laser beam to exit, if that treating medium still remaining slightly upon contact with the substrate. Deze spleetgrootte kan proefondervindelijk worden vastgesteld. This gap size can be determined experimentally.

Naast de hier getoonde en beschreven variant, zijn 10 vanzelfsprekend verdere varianten volgens de uitvinding denkbaar. In addition to the variant shown and described here, are 10, of course, further variants of the invention are conceivable. Bijvoorbeeld kan ervoor worden gezorgd dat de bundel 4 in hoofdzaak medium-dicht is. For example, it can be ensured that the beam 4 is in substantially medium-tight. Het is dan niet meer nodig, dat de buis 5 door de bundel 4 loopt. It is then no longer necessary, in that the tube 5 passes through the beam 4. Of de buis 5 kan op ruime afstand van het substraat 1 binnen de bundel 4 eindigen. Or, the tube 5 may, on some distance of the substrate 1 within the bundle 4 finish. 15 Door de bundel 4 gemakkelijk buigzaam uit te voeren, kan daarmee het over het substraat bewegen van de laserstraal worden nagestreefd. 15 by the beam 4 readily flexible to carry out, it can thus move over the substrate of the laser beam to be pursued. Afhankelijk van de uitvoering is dan ook de buis 5 of de toevoerleiding naar de buis 5 gemakkelijk buigzaam uit te voeren. Depending on the model is, therefore, readily flexible to carry out the pipe 5 or the supply line to the tube 5. In een andere variant kan de bundel 4 20 over zijn gehele lengte zijn uitgeveord volgens de doorsnede-weergave van fig. 2., en zijn omgeven door een medium-dichte mantel. In another variation, the beam 4 20 over its entire length are uitgeveord according to the cross-sectional view of FIG. 2, and are surrounded by a fluid-tight sheath. Het behandelingsmedium kan dan in de ruimten tussen de naast elkaar liggende afzonderlijke vezels van de bundel 4 naar het substraat 1 stromen. The treatment medium may then into the spaces between the individual fibers of the bundle 4 to the substrate 1 to flow adjacent to each other. In plaats van een bundel 4 met 25 cirkelvormig profiel kan naar keuze ook een andere profielvorm worden gekozen. Instead of a beam 4 having circular profile 25 may also optionally be selected a different profile shape.

Bij toepassing van laserlicht geleidende glasvezelbundels kan het partoon waarin het laserlicht op het substraat schijnt, bijvoorbeeld nog worden aangepast door het uit de 30 afzonderlijke glasvezels afkomstige licht gebiedsgewijs te focusseren, teneinde op het substraat gebieden te bereiken waarin laserlicht gebundeld is, afgewisseld door gebieden waarin de intensiteit van het laserlicht aanzienlijk zwakker is. With the use of laser light-conducting glass-fiber bundles of the bit pattern is can in which the laser light shines on the substrate, for example, still be adjusted by the out of the 30 individual glass fibers from light-focusing region-wise manner to, in order to achieve on the substrate regions in which laser light is bundled, interspersed with regions in which the intensity of the laser light is considerably weaker. Bijvoorbeeld is daarmee een ringpartoon te bereiken, 35 waarbij de intensiteit van de laser energie, gaande langs het patroon, belangrijk varieert. For example, it is thereby to achieve a ringpartoon, 35 where the intensity of the laser energy, going along the pattern, varies important.

1002598 1002598

Claims (14)

1. Werkwijze, waarbij een substraat onder toevoer van energie uit een laserstraal aan behandelingsmedium wordt 5 blootgesteld, en waarbij behandelingsmedium eerst in de laserstraal wordt gebracht, dan met de laserstraal naar het substraat wordt gevoerd, en vervolgens met het substraat in contact wordt gebracht. CLAIMS 1. A method, wherein a substrate is exposed to 5 with the supply of energy from a laser beam for treatment medium, and wherein said treatment medium is first introduced into the laser beam, then it is conducted with the laser beam to the substrate, and then is brought into contact with the substrate.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de laserstraal een of meer in zijn lengterichting lopende holten heeft, en behandelingsmedium via een of meer van die holten aan het substraat wordt toegevoerd. 2. A method according to claim 1, wherein the laser beam has one or more cavities running in its longitudinal direction, and treatment medium through one or more of said cavities is applied to the substrate.
3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, waarbij de laserstraal een spleet tot het substraat overbrugt, van welke spleet de afmeting zodanig is, dat in wezen geen behandelingsmedium de laserstraal verlaat, alvorens het substraat te treffen. 3. A method according to claim 1 or 2, wherein the laser beam spans a gap from the substrate, the size of which gap is such that essentially no treatment medium leaves the laser beam, before hitting the substrate. 20 20
4. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, waarbij het oppervlak of een oppervlaktelaag van het substraat met een geschikt behandelingsmedium wordt behandeld teneinde de een of meer eigenschappen daarvan te veranderen. 4. A method according to any one of the preceding claims, wherein the surface is treated, or a surface layer of the substrate with a suitable treatment medium so as to change the one or more properties thereof. 25 25
5. Werkwijze volgens conclusie 4, waarbij de laserstraal in een voorafbepaald patroon over het substraat wordt bewogen voor het op het substraat aanbrengen van een teken. 5. A method according to claim 4, wherein the laser beam in a predetermined pattern on the substrate is moved for applying a mark on the substrate. 30 30
6. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, uitgevoerd in de vrije ruimte. 6. A method according to any one of the preceding claims, carried out in the free space.
7. Substraatbehande1inrichting, met een 35 substraatbevestiging, een laserstraalgenerator en een behandelingsmediumbron, waarbij de laserstraalgenerator is ingericht om een laserstraal voor te brengen zodanig, dat 100^598 - 8 - behandelingsmedium uit de behandelingsmediumbron met de laserstraal meegevoerd naar het substraat kan worden. 7. Substraatbehande1inrichting, with a 35 substrate mounting, a laser beam generator, and a treatment medium source, wherein the laser beam generator is adapted to apply for a laser beam in such a way that 100 ^ 598-8 - treatment medium from the treatment medium source with the laser beam entrained to the substrate can be.
8. Inrichting volgens conclusie 7, waarbij een holle 5 laserstraal kan worden voortgebracht, en voorzieningen zijn getroffen teneinde behandelingsmedium in de holle laserstraal te brengen en met de laserstraal naar het substraat te voeren. 8. A device according to claim 7, wherein a hollow fifth laser beam can be produced, and provisions are made so as to bring treatment medium into the hollow with laser beam and to conduct the laser beam to the substrate.
9. Inrichting volgens conclusie 7 of 8, waarbij er een 10 of meer optische vezels zijn, uitgevoerd voor het ontwikkelen van de geschikte laserstraal. 9. A device according to claim 7 or 8, wherein a 10 or more optical fibers have been carried out for the development of the appropriate laser beam.
10. Inrichting volgens conclusie 9, waarbij er een of meer holten zijn in lengterichting van die ene of meer vezels, 15 waarin een toevoer voor behandelingsmedium uitmondt. 10. A device according to claim 9, wherein there are one or more cavities are in the longitudinal direction of said one or more fibers, 15, which debouches an inlet for treatment medium.
11. Inrichting volgens conclusie 10, waarbij verschillende van die vezels met hun respectieve, naar het substraat te richten uiteinde in een ringpatroon zijn opgesteld, teneinde 20 een holle laserstraal voort te brengen. 11. Apparatus according to claim 10, wherein several of those fibers with their respective focusing end to the substrate are arranged in a ring pattern, so as to 20 produce a hollow laser beam.
12. Inrichting volgens conclusie 9, 10 of 11, waarbij de bundel van optische vezels in hoofdzaak medium-dicht is uitgevoerd, teneinde het behandelingsmedium in hoofdzaak 25 verliesvrij daardoorheen te voeren. 12. An apparatus as claimed in claim 9, 10 or 11, wherein the bundle of optical fibers is carried out in substantially medium-tight, in order to perform the treatment medium 25 is substantially loss-free through it.
13. Inrichting volgens conclusie 7 of 8, eventueel in combinatie met een der conclusies 9 t/m 11, waarbij een of meer optische elementen, zoals lenzen en/of spiegels, zijn 30 opgesteld voor het voortbrengen van de geschikte laserstraal. 13. An apparatus according to claim 7 or 8, optionally in combination with one of claims 9 t / m 11, wherein one or more optical elements, such as lenses and / or mirrors, 30 are arranged for the generation of the appropriate laser beam.
14. Inrichting volgens een der conclusies 8 t/m 13, waarbij er een voorziening is om de laserstraal volgens een voorafbepaald patroon over het substraat te laten bewegen. 14. A device according to any one of claims 8 / to 13, wherein there is a provision to move the laser beam in accordance with a predetermined pattern over the substrate. 1002598 1002598
NL1002598A 1996-03-13 1996-03-13 Method and device for the processing of substrate. NL1002598C2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1002598 1996-03-13
NL1002598A NL1002598C2 (en) 1996-03-13 1996-03-13 Method and device for the processing of substrate.

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1002598A NL1002598C2 (en) 1996-03-13 1996-03-13 Method and device for the processing of substrate.
PCT/NL1997/000129 WO1997033715A1 (en) 1996-03-13 1997-03-13 Method and device for treating a substrate
AU20463/97A AU2046397A (en) 1996-03-13 1997-03-13 Method and device for treating a substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1002598C2 true NL1002598C2 (en) 1997-09-17

Family

ID=19762491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1002598A NL1002598C2 (en) 1996-03-13 1996-03-13 Method and device for the processing of substrate.

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2046397A (en)
NL (1) NL1002598C2 (en)
WO (1) WO1997033715A1 (en)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7921855B2 (en) 1998-01-07 2011-04-12 Asthmatx, Inc. Method for treating an asthma attack
US8181656B2 (en) 1998-06-10 2012-05-22 Asthmatx, Inc. Methods for treating airways
US7027869B2 (en) 1998-01-07 2006-04-11 Asthmatx, Inc. Method for treating an asthma attack
US8251070B2 (en) 2000-03-27 2012-08-28 Asthmatx, Inc. Methods for treating airways
US6634363B1 (en) 1997-04-07 2003-10-21 Broncus Technologies, Inc. Methods of treating lungs having reversible obstructive pulmonary disease
US7992572B2 (en) 1998-06-10 2011-08-09 Asthmatx, Inc. Methods of evaluating individuals having reversible obstructive pulmonary disease
US7104987B2 (en) 2000-10-17 2006-09-12 Asthmatx, Inc. Control system and process for application of energy to airway walls and other mediums
US7198635B2 (en) 2000-10-17 2007-04-03 Asthmatx, Inc. Modification of airways by application of energy
US20040226556A1 (en) 2003-05-13 2004-11-18 Deem Mark E. Apparatus for treating asthma using neurotoxin
US7949407B2 (en) 2004-11-05 2011-05-24 Asthmatx, Inc. Energy delivery devices and methods
US20070093802A1 (en) 2005-10-21 2007-04-26 Danek Christopher J Energy delivery devices and methods
US8235983B2 (en) 2007-07-12 2012-08-07 Asthmatx, Inc. Systems and methods for delivering energy to passageways in a patient
US8483831B1 (en) 2008-02-15 2013-07-09 Holaira, Inc. System and method for bronchial dilation
EP2662046A1 (en) 2008-05-09 2013-11-13 Holaira, Inc. Systems, assemblies, and methods for treating a bronchial tree
CN104856757B (en) 2009-10-27 2017-06-23 赫莱拉公司 Delivery apparatus with coolable energy transmitting device
EP2498705B1 (en) 2009-11-11 2014-10-15 Holaira, Inc. Device for treating tissue and controlling stenosis
US8911439B2 (en) 2009-11-11 2014-12-16 Holaira, Inc. Non-invasive and minimally invasive denervation methods and systems for performing the same
US9770293B2 (en) 2012-06-04 2017-09-26 Boston Scientific Scimed, Inc. Systems and methods for treating tissue of a passageway within a body
US9592086B2 (en) 2012-07-24 2017-03-14 Boston Scientific Scimed, Inc. Electrodes for tissue treatment
US9272132B2 (en) 2012-11-02 2016-03-01 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical device for treating airways and related methods of use
WO2014071372A1 (en) 2012-11-05 2014-05-08 Boston Scientific Scimed, Inc. Devices for delivering energy to body lumens
US9398933B2 (en) 2012-12-27 2016-07-26 Holaira, Inc. Methods for improving drug efficacy including a combination of drug administration and nerve modulation
US9814618B2 (en) 2013-06-06 2017-11-14 Boston Scientific Scimed, Inc. Devices for delivering energy and related methods of use
JP6479005B2 (en) 2013-08-09 2019-03-06 ボストン サイエンティフィック サイムド,インコーポレイテッドBoston Scientific Scimed,Inc. Medical instruments

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141392A (en) * 1979-04-23 1980-11-05 Agency Of Ind Science & Technol Laser processing head
JPS5987994A (en) * 1982-11-10 1984-05-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Laser welding device
JPS5987995A (en) * 1982-11-10 1984-05-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Laser and gas cutter
DE3906571A1 (en) * 1989-03-02 1990-09-06 Festo Kg Light guide (optical guide)
WO1993019888A1 (en) * 1992-03-31 1993-10-14 Cauldron Limited Partnership Removal of surface contaminants by irradiation
DE4415783A1 (en) * 1994-02-04 1995-08-10 Ruediger Prof Dr Ing Rothe Free forming of workpieces, esp. prototypes and articles in small series

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141392A (en) * 1979-04-23 1980-11-05 Agency Of Ind Science & Technol Laser processing head
JPS5987994A (en) * 1982-11-10 1984-05-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Laser welding device
JPS5987995A (en) * 1982-11-10 1984-05-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Laser and gas cutter
DE3906571A1 (en) * 1989-03-02 1990-09-06 Festo Kg Light guide (optical guide)
WO1993019888A1 (en) * 1992-03-31 1993-10-14 Cauldron Limited Partnership Removal of surface contaminants by irradiation
DE4415783A1 (en) * 1994-02-04 1995-08-10 Ruediger Prof Dr Ing Rothe Free forming of workpieces, esp. prototypes and articles in small series

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 005, no. 010 (M - 051) 22 January 1981 (1981-01-22) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 008, no. 197 (M - 324) 11 September 1984 (1984-09-11) *

Also Published As

Publication number Publication date
WO1997033715A1 (en) 1997-09-18
AU2046397A (en) 1997-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3549733A (en) Method of producing polymeric printing plates
EP0714353B1 (en) Method of marking a body of material
CA1302753C (en) Non-destructive optical trap for biological particles and method of doing same
JP3001816B2 (en) Nd: laser scribing onto the glass to use a YAG laser
US5508489A (en) Apparatus for multiple beam laser sintering
US7322122B2 (en) Method and apparatus for curing a fiber having at least two fiber coating curing stages
KR100348169B1 (en) Laser joining method and a device for joining different workpieces made of plastic or joining plastic to other materials
US4749840A (en) Intense laser irradiation using reflective optics
US3916143A (en) Branding living animals
ES2199562T3 (en) Method and device for drying a material transported at great speed, in particular to dry printing inks.
JP2008542550A (en) Processing tank for raw material processing by directional beam of electromagnetic radiation, apparatus having the same, and processing method thereof
JP5525491B2 (en) Control of crack depth in laser scoring.
JP3545337B2 (en) Cold light-ultraviolet light-irradiation device
DE19634190C2 (en) Multi-head laser engraving machine
US9481052B2 (en) Methods for stripping and modifying surfaces with laser-induced ablation
US6144010A (en) Method of removing coating film with laser beam and laser processing system
US4636405A (en) Curing apparatus for coated fiber
US5373140A (en) System for cleaning molding equipment using a laser
EP1345726B1 (en) Apparatus for multi-beam laser machining
US5430816A (en) Multiple split-beam laser processing apparatus generating an array of focused beams
US5536467A (en) Method and apparatus for producing a three-dimensional object
US4588885A (en) Method of and apparatus for the removal of paint and the like from a substrate
US4535218A (en) Laser scribing apparatus and process for using
KR100488752B1 (en) Method and apparatus for cutting prepreg
US20020012252A1 (en) Lamp structure, having elliptical reflectors, for uniformly irradiating surfaces of optical fiber and method of use thereof

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20001001