KR970009842A - 고형분 포집용 트랩 - Google Patents

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KR970009842A
KR970009842A KR1019960033774A KR19960033774A KR970009842A KR 970009842 A KR970009842 A KR 970009842A KR 1019960033774 A KR1019960033774 A KR 1019960033774A KR 19960033774 A KR19960033774 A KR 19960033774A KR 970009842 A KR970009842 A KR 970009842A
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South Korea
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vacuum pump
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forming member
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KR1019960033774A
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Inventor
야스히로 니이무라
데쯔마 이께가미
나오야 하나후사
마사루 나까니와
Original Assignee
후지무라 히로유끼
가부시키가이샤 에바라 세사쿠쇼
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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D45/00—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces
    • B01D45/12—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces by centrifugal forces
    • B01D45/16—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces by centrifugal forces generated by the winding course of the gas stream, the centrifugal forces being generated solely or partly by mechanical means, e.g. fixed swirl vanes

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Compressor (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명의 고형분 포집용 트랩은 진공 펌프에 의해 배출된 승화성 기체로부터 석출된 고형분을 트랩핑(trapping)하기 위해 진공 펌프의 배기측 또는 흡기측 중 한쪽과 연결된다. 이 트랙은 케이싱과 이 케이싱안에 배치되어 기체 통로를 형성하는 통로형성부재와 이 케이싱과 통로형성부재사이에 배치되는 중간부재를 포함한다. 이 중간부재는 평평한 얇은 판으로 제조되며 원통형 부재로 형성되고, 이 원통형 부재는 케이싱으로부터 분리되면 확장개방이 가능하다.
[대표도] 제3도

Description

고형분 포집용 트랩
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고형분 포집용 트랩의 종단면도.

Claims (4)

  1. 케이싱과 이 케이싱안에 배치되어 기체 통로를 형성하는 통로형성부재와 상기 케이싱과 통로형성부재사이에 배치되고, 상기 케이싱으로부터 분리되면 확장개방될 수 있는, 평평한 얇은 판으로 제조되며 원통형 부재로 형성된 중간부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 승화성 기체로부터 분리된 고형분 포집용 트랩.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 중간부재가 스테인레스 스틸로 제조된 것임을 특징으로 하는 고형분 포집용 트랩.
  3. 진공 펌프와 상기 진공 펌프의 배기측과 흡기측 중 어느 한쪽에 마련된 고형분 포집용 트랩으로 이루어지며; 상기 한 고형분 포집용 트랩은 케이싱과 상기 케이싱내에 배치되어 기체 통로를 형성하는 통로형성부재와 상기 케이싱과 상기 통로형성부재사이에 배치되고, 상기 케이싱으로부터 분리되면 확장개방될 수 있는 평평한 얇은 판으로 제조되며 원통형 중간부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 중간부재가 스테인레스 스틸로 제조된 것임을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960033774A 1995-08-14 1996-08-14 고형분 포집용 트랩 KR100420123B1 (ko)

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TW328913B (en) 1998-04-01
EP0770417B1 (en) 1998-12-02
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