KR960042787A - 압전 세라믹 변압기 및 그 제조 방법 - Google Patents

압전 세라믹 변압기 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR960042787A
KR960042787A KR1019960019287A KR19960019287A KR960042787A KR 960042787 A KR960042787 A KR 960042787A KR 1019960019287 A KR1019960019287 A KR 1019960019287A KR 19960019287 A KR19960019287 A KR 19960019287A KR 960042787 A KR960042787 A KR 960042787A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
piezoelectric
fingers
input electrodes
sub
Prior art date
Application number
KR1019960019287A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100228559B1 (ko
Inventor
다까유끼 이노이
유꼬 사또
Original Assignee
가네꼬 히사시
닛뽕덴끼 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가네꼬 히사시, 닛뽕덴끼 가부시끼가이샤 filed Critical 가네꼬 히사시
Publication of KR960042787A publication Critical patent/KR960042787A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100228559B1 publication Critical patent/KR100228559B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/40Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/04Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
    • H10N30/045Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/06Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)

Abstract

입력 교류 전압(Ein)이 인가되는 구동부(41c)와 출력 전위(Eout)를 발생하는 발전부(41d)가 압전 세라믹 변압기에 내장되고, 고온 분위기하에서 발전부에 전겨가 발생하는 2단계 분극 기술을 통해 발전부(41d)를 분극한 후에, 전계는 변화하지 않고 온도를 감소시켜 크랙이 없는 포화분극을 행한다.

Description

압전 세라믹 변압기 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 의한 압전 세라믹 변압기의 구조를 나타내는 사시도, 제5A도 내지 제5D도는 제4도에 나타낸 압전 세라믹 변압기를 제조하는 공정을 나타내는 사시도, 제6도는 본 발명에 의한 다른 압전 세라믹 변압기의 구조를 나타내는 사시도, 제7A도 내지 제7D도는 제6도에 나타낸 압전 세라믹 변압기를 제조하는 공정을 나타내는 사시도.

Claims (10)

  1. 제1방향(LG)으로 연장되고, 상기 제1방향으로 제1압전 세라믹부(41d)와 제2압전 세라믹부(41c)로 분할되는 압전 세라믹판(41)으로서, 상기 제1압전 세라믹부가 상기 제1방향으로 분극되는 압전 세라믹판과, 상기 제1방향으로 진동이 발생하는 상기 제1압전 세라믹부의 영역에 형성되고, 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 연장된 하나 이상의 출력 전극(46a/46b)과, 상기 제2압전 세라믹부상에 형성된 한쌍 이상의 입력 전극(42a/42b)으로서, 상기 한쌍 이상의 입력 전극중의 하나는 서로 전기적으로 연결되고 상기 제2방향으로 연장된 제1핑거부(42c/42d/42e)를 가지며, 상기 입력 전극중의 다른 하나는 서로 전기적으로 연결되고 상기 제2방향으로 연장된 제2핑거부(42f/42g/42h)를 가지는 입력 전극을 구비하며, 상기 다수의 제1핑거부(42c~42e)는 상기 다수의 제2핑거부(42f~42h)와 맞물려 있고 전기적으로 격리되어 그들 사이에 갭을 형성하는 압전 세라믹 변압기에 있어서, 상기 하나 이상의 출력 전극으로부터 제1방향으로 이격된 상기 제2압전 세라믹부의 단면상에 단면 전극(48)이 형성되고, 상기 제2압전 세라믹부(41c)는 상기 갭의 선택된 갭에 노출되고 상기 제1방향(LG/ 44b)과 반대인 제3방향(44a)으로 분극되는 다수의 제1의 첫번째 압전 세라믹 서브 부분과, 상기 갭의 나머지 갭에 노출되고 상기 다수의 제1의 첫번째 압전 세라믹 서브 부분과 교호로 배치되며 상기 제1방향(44b)으로 분극되는 다수의 제2의 첫번째 압전 세라믹 서브 부분을 가지며, 상기 다수의 제1의 첫번째 압전 세라믹 서브 부분은 압전 종 효과가 우세한 제1의 두번째 압전 세라믹 서브 부분(BL10)과 압전 횡 효과가 우세한 제2의 두번째 압전 세라믹 서브 부분(BL11)을 가지며, 상기 압전 종 효과는 상기 단면 전극(48)에 의해 상기 압전 횡 효과가 우세한 압전 세라믹 서브 부분이 없이 상기 다수의 제2의 두번째 압전 세라믹 서브 부분에서 우세한 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압전 세라믹판(41)은 하나 이상의 출력 전극(46a/ 46b)과 한쌍 이상의 입력 전극(42a/42b)이 형성된 상부 직사각형 표면을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 압전 세라믹판은 다른 출력 전극(46b/46a)과 다른 한쌍의 입력 전극(43a/43b)이 형성된 상기 상부 직사각형 표면으로부터 대향하는 측면상에 하부 직사각형 표면을 가지며, 상기 다른 출력 전극은 상기 하나 이상의 출력 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 다른 한쌍의 입력 전극의 하나와 상기 다른 한쌍의 상기 입력 전극의 다른 하나가 상기 한쌍 이상의 상기 입력 전극의 하나와 상기 한쌍 이상의 상기 입력 전극의 다른 하나에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기.
  4. a) 압전 세라믹판(21;41)을 준비하는 단계와, b) 상기 압전 세라믹판의 제1압전 세라믹부(21b;41d)상에 하나 이상의 출력 전극(23a/23b)을, 상기 압전 세라믹판의 제2압전 세라믹부(21a;41c)상에 한쌍 이상의 입력 전극(22a/22b;42a/42b)을 형성하는 단계와, c) 상기 제1압전 세라믹부와 상기 제2압전 세라믹부를 소정 방향으로 각각 분극하는 단계로서, c-1) 제1온도에서 상기 하나 이상의 출력 전극과 상기 한쌍 이상의 입력 전극 사이에 전계를 인가하는 단계와, c-2) 상기 전계를 변화시키지 않고 상기 제1온도를 제2온도로 감소시켜 상기 제1압전 세라믹부(21b/41d)를 상기 압전 세라믹판의 종방향(LG)으로 분극하는 서브 단계를 포함하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 전계는 0.5㎸/㎜ 내지 0.7㎸/㎜의 범위내에 있으며, 상기 제1압전 세라믹부(21b;41d)가 공기중에서 300℃ 내지 350℃의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 c-1) 단계에서 상기 제1압전 세라믹부(21b;41d)가 300℃ 내지 350℃의 상기 제1온도에서 공기중에 0.5㎸/㎜ 내지 0.7㎸/㎜의 범위내의 상기 전계하에서 분극되고, 상기 c-2) 단계에서 상기 제1온도는 100℃ 이하의 상기 제2온도로 감소되는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 c) 단계는 c-3) 상기 제1온도보다 낮은 제3온도에서 절연 오일중에 상기 제2압전 세라믹부(21a;41c)에 다른 전계를 발생시키는 단계를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 절연 오일은 실리콘 오일이고, 상기 제3온도는 100℃ 내지 200℃의 범위인 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 압전 세라믹판은 상기 한쌍 이상의 입력 전극(22a/ 22b)이 각각 형성된 상부 표면과 하부 표면을 가지며, 2.0㎸/㎜와 3.0㎸/㎜ 사이의 상기 다른 전계가 100℃ 내지 200℃ 범위의 실리콘 오일내의 상기 입력 전극 사이에 발생하여 상기 제2압전 세라믹부를 상기 압전 세라믹판의 두께 방향(TH)으로 분극시키는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 한쌍 이상의 전극은 상기 압전 세라믹판의 제1표면상에 형성되고 다수의 제1핑거부(42c/42d/42e)를 갖는 제1빗형상 입력 전극(42a)과, 상기 제1표면상에 형성되고 다수의 제2핑거부(42f/42g/42h)를 갖는 제2빗형상 전극(42b)을 가지며, 상기 다수의 제2핑거부는 상기 다수의 제1핑거부와 상기 다수의 제2핑거부 사이에 전기적 연결없이 상기 다수의 제1핑거부와 각각 맞물리며, 상기 다수의 제1핑거부(42c~42e)와 상기 다수의 제2핑거부(42f~42h)가 상기 다수의 제1핑거부와 상기 다수의 제2핑거부 사이의 갭에 각각 노출되는 상기 제2압전 세라믹부(41c)내의 다수의 압전 서브 부분을 정의하고, 상기 압전 세라믹판은 상기 b) 단계에서 단면 전극(48)이 형성되는 상기 제1표면에 수직인 단면을 추가로 가지며, 상기 전계가 상기 하나 이상의 출력 전극(46a/46b), 상기 하나 이상의 출력 전극에 가장 근접한 상기 다수의 제1핑거부의 제1핑거부(42c) 및 상기 단면 전극(48) 사이에 추가로 발생하여 상기 제1압전 세라믹부(41d)를 상기 길이 방향으로, 상기 제2압전 세라믹부(41c)를 상기 종방향(LG)와 반대 방향(LG')으로 동시에 분극하고, 직류 전압이 상기 다수의 제1핑거구로부터 선택된 제1핑거부(42d/42e)와 상기 다수의 제2핑거부로부터 선택된 제2핑거부(42f/42g) 사이에 선택적으로 인가되어 상기 c-3) 단계에서 상기 제2압전 세라믹부의 모든 다른 압전 세라믹 서브 부분의 극성을 반전시키는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 변압기의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960019287A 1995-05-31 1996-05-31 압전세라믹 변압기 및 그 제조 방법 KR100228559B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13397695A JP2671871B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 圧電トランスとその製造方法
JP95-133976 1995-05-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960042787A true KR960042787A (ko) 1996-12-21
KR100228559B1 KR100228559B1 (ko) 1999-11-01

Family

ID=15117482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960019287A KR100228559B1 (ko) 1995-05-31 1996-05-31 압전세라믹 변압기 및 그 제조 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5758397A (ko)
JP (1) JP2671871B2 (ko)
KR (1) KR100228559B1 (ko)
NL (1) NL1003235C2 (ko)
TW (1) TW302555B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100388264B1 (ko) * 2000-05-03 2003-06-19 김희진 다중분활 및 동일 분극방향의 고효율 압전 변압기

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3402221B2 (ja) * 1998-10-20 2003-05-06 株式会社村田製作所 圧電トランス素子のスクリーニング方法
KR100311812B1 (ko) * 1998-12-15 2001-11-17 이형도 입력임피던스가변형압전트랜스
JP3846186B2 (ja) * 2000-12-05 2006-11-15 株式会社村田製作所 分極装置および分極方法
JP3485904B2 (ja) * 2001-04-24 2004-01-13 松下電器産業株式会社 音響変換器
WO2005006457A1 (de) * 2003-07-10 2005-01-20 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur herstellung piezokeramischer multilayer-schichten und piezo-elektrisches bauteil
JP5576015B2 (ja) * 2007-10-05 2014-08-20 株式会社タムラ製作所 圧電トランス
JP5381372B2 (ja) * 2009-06-17 2014-01-08 日本電気株式会社 触覚情報装置及び、それを用いた電子機器
KR102016024B1 (ko) * 2017-11-30 2019-08-29 (주) 아이엔아이테크 하이브리드 타입 압전 센서
JP7406876B2 (ja) * 2018-10-17 2023-12-28 キヤノン株式会社 圧電トランス、および電子機器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3736446A (en) * 1968-06-04 1973-05-29 Vernitron Corp Piezoelectric transformer
JPS6148299A (ja) * 1984-08-13 1986-03-08 Olympus Optical Co Ltd 超音波探触子の製造方法
JPS6148300A (ja) * 1984-08-13 1986-03-08 Olympus Optical Co Ltd 超音波探触子用圧電振動子の製造方法
JP2645832B2 (ja) * 1987-07-09 1997-08-25 宇部興産株式会社 たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法
JP2730378B2 (ja) * 1992-02-14 1998-03-25 日本電気株式会社 圧電トランスおよびその駆動方法
DE69305315T2 (de) * 1992-12-31 1997-03-06 Nippon Electric Co Piezoelektrischer Transformator mit verbesserter Elektrodenanordnung
JP2581394B2 (ja) * 1993-05-28 1997-02-12 日本電気株式会社 圧電磁器トランス及びその駆動方法
US5504384A (en) * 1993-06-23 1996-04-02 Industrial Technology Research Institute Multi-mode adjustable piezoelectric transformer
JP2725603B2 (ja) * 1994-07-26 1998-03-11 日本電気株式会社 圧電磁器トランスとその駆動方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100388264B1 (ko) * 2000-05-03 2003-06-19 김희진 다중분활 및 동일 분극방향의 고효율 압전 변압기

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08330643A (ja) 1996-12-13
NL1003235A1 (nl) 1996-12-03
NL1003235C2 (nl) 1999-01-19
TW302555B (ko) 1997-04-11
KR100228559B1 (ko) 1999-11-01
JP2671871B2 (ja) 1997-11-05
US5758397A (en) 1998-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970004570B1 (ko) 얇은 장방형 몸체를 구비하는 압전 변압기
KR960042787A (ko) 압전 세라믹 변압기 및 그 제조 방법
US4661884A (en) Miniature, multiple layer, side mounting high frequency blocking capacitor
KR900700858A (ko) 잉크제트 시스템용 쉐어모드 변환기
DE3773127D1 (de) Piezoelektrische pumpe.
DE69302258T2 (de) Piezoelektrischer Transformator mit verbesserter Elektrodenanordnung
JP2757835B2 (ja) 圧電トランス
KR970063771A (ko) 압전 트랜스
KR960032525A (ko) 압전 변압기와 그 제조 방법 및 그 구동 방법
JP3088499B2 (ja) 圧電トランス
US5811913A (en) Piezoelectric transformer having four-terminal structure
JP3729103B2 (ja) 圧電装置、ラダー型フィルタ及び圧電装置の製造方法
JPH07176804A (ja) 圧電磁器トランスとその駆動方法
JP2645628B2 (ja) 積層型電歪/圧電素子
JP2601136Y2 (ja) 電源装置
JP3705557B2 (ja) 圧電トランス及び圧電トランス電源
CN1344001A (zh) 铁电发射体
JPS6230404A (ja) ストリツプラインフイルタ
JPH10215012A (ja) 板状圧電セラミックスの分極方法
JPH0992901A (ja) 圧電トランス
JPH08293633A (ja) 圧電トランス
JPH05129675A (ja) 積層型圧電アクチユエータ
JPH1022543A (ja) 圧電トランスおよびその製造方法
JPH01160067A (ja) 圧電トランス
JPH0992900A (ja) 圧電トランス

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060810

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee