KR940006315A - 가스레이저 장치 - Google Patents

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KR940006315A
KR940006315A KR1019930005980A KR930005980A KR940006315A KR 940006315 A KR940006315 A KR 940006315A KR 1019930005980 A KR1019930005980 A KR 1019930005980A KR 930005980 A KR930005980 A KR 930005980A KR 940006315 A KR940006315 A KR 940006315A
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기요히사 데라이
도호루 다마까와
신지 고바야시
다까아끼 무라따
아끼라 모리구찌
히로까쓰 스즈끼
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사또 후미오
가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

본 발명의 가스레이저 장치는 a·c·출력 전압을 발생시키기 위한 a·c·전원수단과;레이저가스가 유통되는 방전 갭을 사기에 두고 배치된 1쌍의 전극을 구비하며;상기 전극쌍은, a·c·전압을 공급받아 상기 방전 갭내에 방전을 일으켜 포지티브 컬럼영역과 경계층 영역을 형성함으로써, 레이저 광을 발생하도록 a·c·전압을 걸어 주는 상기 a·c·전원 수단에 접속되며; 상기 포지티브 컬럼영역은 상기 방전갭내에 형성돼 있고, 그 내부에 공급된 a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하며; 상기 경계층 영역들은 상기 전극쌍중 하나의 근방에 각각 형성돼 있고, 그 내부에 공급된 a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하지 않으며; 상기 a·c·전원수단의 주파수는 700kHz이상에 설정되 있으며, 상기 a·c·전원의 a·c·출력전압은, 상기 포지티브 컬럼 영역내의 전압이 상기 경계층 영역들내의 부담전압보다 더크게 되는 레벨에 설정돼 있고, 상기 가스레이저 장치에서는, 상기 전극쌍간의 거리 d와 레이저 가스의 압력p를 하기식(A)의 관계로 결정되어 있다.
p×d≥34torr·cm ……(A)
그결과, 상기 방전 갭내의 레이저여기화를 위해 공급된 입력전력이 전체 입력파워의 50%이상이다.

Description

가스레이저 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 가스레이저 장치를 나타낸 도면,
제2도는 방전 갭(gap)내의 방전의 분리적 구조의 개략도,
제3도는 종래의 가스레이저장치의 a·c 전원출력과 레이저 출력간의 관계를 나타낸 도면,
제4도는 본 발명의 일 실시예에 의한 가스 레이저 장치를 나타낸 도면,
제5도는 본 발명의 일실시예에 의한 a·c 전원을 나타낸 개략도,
제6도는 경계층 영역내의 손실 특성 그래프,
제7도는 상기 동작을 설명하기 위한 특성 그래프,
제8도는 본 발명의 일실시예에 의한 a·c 전원을 나타낸 도면,
제9도는 상기 가스레이저장치의 전극들간의 갭내의 전자 트래핑(trapping)현사의 설명도,
제10도는 본 발명의 실시예의 a·c 전원 출력과 레이저 출력간의 관계를 나타낸 단면도.

Claims (10)

  1. a·c·출력 전압을 발생시키기 위한 a·c·전원수단과; 레이저가스가 유통순환되는 방전 갭을 사이에 두고 배치된 1쌍의 전극을 구비하며; 상기 전극쌍은, a·c·전압을 공급받아 상기 방전 갭내에서 방전을 일으켜 포지티브 컬럼영역과 경계층 영역을 형성함으로써, 레이저 광을 발생하도록 a·c·전압을 걸어 주는 상기 a·c·전원 수단에 접속되며; 상기 포지티브 컬럼영역은 상기 방전갭내에 형성돼 있고, 그 내부에 공급된a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하며; 상기 경계층 영역들은 상기 전극쌍중 하나의 근방에 각각 형성돼 있고, 그 내부에 공급된 a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하지 않으며; 상기 a·c·전원수단의 주파수는 700kHz이상에 설정돼 있으며, 상기 a·c·전원의 a·c·출력전압은, 상기 포지티브 컬럼 영역내의 전압이 상기 경계층 영역들내의 부담전압보다 더크게 되는 레벨에 설정돼 있는 것을 특징으로 하는 가스레이저 장치.
  2. a·c·출력전압을 발생시키기 위한 a·c·전원수단과; 레이저가스가 유동순환되는 방전 갭을 사이에 두고 배치된 1쌍의 전극을 구비하며; 상기 전극쌍은, a·c·전압을 구비하며;상기 전극쌍은, a·c·전압을 공급받아 상기 방전 갭내에서 방전을 일으켜 포짙이브 컬럼영역과 경계층 영역을 형성함으로써, 레이저 광을 발생하도록 a·c·전압을 걸어주는 상기 a·c·전원 수단에 접속되며; 상기 포지티브 컬럼영역은 상기 방전갭내에 형성돼있고, 그 내부에 공급된 a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하며; 상기 경계층 영역들은 상기 전극쌍중 하나의 근방에 각각 형성돼 있고, 그 내부에 공급된 a·c·전력은 레이저 여기화에 기여하지 않으며; 상기 a·c·전원수단의 주파수는 700kHz이상에 설정돼 있으며; 상기 전극쌍간의 거리 d와 상기 레이저 가스의 압력P를 하기식(A)의 관계로 설정함으로써, 상기 방전 갭내의 레이저 여기화를 위해 공급된 입력전압이 전체 입력 전력의 5%이상인 것이 특징인 가스레이저 장치.
    p×d≥34torr·cm ……(A)
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 a·c·전원 수단은 복수의 전원부로 되고, 상기 전원부당 출력된 고주파 전력이 4kW이상인 것이 특징인 가스레이저 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 a·c·전원 수단은 스위칭장치용 고체소자를 포함하는 것이 특징인 가스레이저장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 a·c·전원수단은, 상기 고체소자용 정전유형 트랜지스터를 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 a·c·전원수단은, 상기 전극들에서의 상기 a·c·출력전압을 온, 오프시켜, 상기 방전갭내에 전자트래핑 현상을 일으킴으로써 레이저 펄스동작을 행하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 잇어서, 상기 전극 쌍간의 방전 갭의 길이 d(m)는 d≥3×104/πf(f:방전주파수)이고; 상기 a·c·전원은, 상기 전극들의 a·c·출력전압을 온,오프시키는 것만으로써 레이저 펄스동작을 행하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 a·c·전원 수단은, 고체소자 또는 스위칭장치를 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 a·c·전원수단은 스위칭장치용 고체소자를 포함하는 것이 특징이 가스레이저 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가스는 CO2가스이고; 상기 가스레이저 장치는 직교류형인 것이 특징인 가스레이저 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930005980A 1992-04-10 1993-04-09 가스레이저장치 KR960009301B1 (ko)

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JP92-90693 1992-04-10
JP4090693A JPH05291662A (ja) 1992-04-10 1992-04-10 ガスレーザ装置
JP92-112944 1992-05-06
JP4112944A JPH05315688A (ja) 1992-05-06 1992-05-06 ガスレーザ発振器

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