KR940004729A - 반도체 장치의 콘택형성방법 - Google Patents
반도체 장치의 콘택형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 콘택형성방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 반도체기판상에 절연막을 형성하고 상기 절연막상에 배리어막을 형성한 후 상기 배리어막 및 절연막을 건식식각하여 콘택홀을 형성하는 공정, 상기 절연막을 습식식각하여 콘택홀 하부를 넓히는 공정, 상기 콘택홀내에 콘택플러그를 형성하는 공정, 및 상기 콘택홀상부에 금속배선을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법이 제공된다.
이에 따라 본 발명에 의하면 반도체장치의 고집적화가 가능하며 같은 금속배선 선폭에서 콘택저항을 개선할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도 내지 제7도는 본 발명에 의한 콘택플러그 형성방법의 일실시예를 나타낸 도면.
Claims (10)
- 반도체기판상에 절연막을 형성하고 상기 절연막상에 배리어막을 형성한 후 상기 배리어막 및 절연막을 건식식각하여 콘택홀을 형성하는 공정, 상기 절연막을 습식식각하여 콘택홀 하부를 넓히는 공정, 상기 콘택홀내에 콘택플러그를 형성하는 공정, 및 상기 콘택홀 상부에 금속배선을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 배리어막은 질화막으로 형성함을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 습식식각은 상기 절연막과 배리어막과의 식각선택비가 높은 식각용액을 사용하여 행하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제3항에 있어서, 상기 식각용액은 BOE 또는 100:l HF임을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 콘택플러그는 선택적 텅스텐 화학기상증착, 선택적 알루미늄 화학기상증착 또는 선택적 구리 화학기상증착에 의해 형성함을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속배선은 상기 콘택플러그의 폭보다 좁은 선폭으로 형성함을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 반도체기판상에 절연막을 형성한 후 상기 절연막을 식각하여 콘택홀을 형성하는 공정, 상기 콘택홀의 절반가량을 도전물질로 매립하는 공정, 상기 결과물상에 절연막을 증착한 후 건식식각하여 콘택홀 내벽의 상부에 스페이서를 형성하는 공정, 및 상기 콘택홀 상부에 금속배선을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제7항에 있어서, 상기 스페이서를 형성하는 공정후에 도전물질을 증착하여 콘택홀을 완전히 매립시키는 공정이 더 포함됨을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제7항에 있어서, 상기 도전물질로 콘택홀을 매립하는 공정은 선택적 텅스텐 화학기상증착, 선택적 알루미늄 화학기상증착 또는 선택적 구리 화학기상증착에 의해 행해짐을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.
- 제7항에 있어서, 상기 금속배선은 콘택홀 폭보다 좁은 선폭으로 형성함을 특징으로 하는 반도체장치의 콘택형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920014003A KR940004729A (ko) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 반도체 장치의 콘택형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920014003A KR940004729A (ko) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 반도체 장치의 콘택형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940004729A true KR940004729A (ko) | 1994-03-15 |
Family
ID=67147192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920014003A KR940004729A (ko) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 반도체 장치의 콘택형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940004729A (ko) |
-
1992
- 1992-08-04 KR KR1019920014003A patent/KR940004729A/ko not_active Application Discontinuation
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