KR900015229A - 새도우마스크의 패턴 프린터 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR900015229A
KR900015229A KR1019900002847A KR900002847A KR900015229A KR 900015229 A KR900015229 A KR 900015229A KR 1019900002847 A KR1019900002847 A KR 1019900002847A KR 900002847 A KR900002847 A KR 900002847A KR 900015229 A KR900015229 A KR 900015229A
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야스히사 오다께
야스시 마가끼
미쯔아끼 야마자끼
세이지 사고우
히로시 다나까
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아오이 죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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Abstract

내용 없음.

Description

새도우마스크의 패턴 프린터 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제작공정을 설명하기 위한 공정의 모식도,
제2도는 패턴원판의 모식도,
제3도 및 제4도는 본 발명의 다른 제작공정을 설명하기 위한 공정의 모식도,
제5도는 다른 패턴원판의 모식도.

Claims (4)

  1. 광투과 플레이트상에서 새도우마스크의 유효영역내의 구멍부에 상당하는 부분에서 두께 3㎛내지 50㎛의 불투광층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 새도우마스크의 패턴 프린터.
  2. 광투과 플레이트상에서 새도우마스크의 유효영역내 구멍부에 상당하는 부분에서는 두께 3㎛내지 50㎛의 불투광층이 형성되고 새도우마스크의 비유효영역에 상당하는 부분에는 두께 3㎛내지 50㎛의 불연속인 투과층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크의 패턴 프린터.
  3. 새도우마스크재의 양주면에서 형성된 감광막에서 새도우마스크의 패턴을 프린트 노광공정에 이용되어진 프린터의 제조방법에 있어서, 양면에 미노광의 에멀존층을 가진 광투과 플레이트에서 새도우 마스크의 유효영역내의 구멍부에 상당하는 부분이 불투광인 패턴원판을 밀착하여 노광하는 노광공정과, 전술한 에멀죤층에서 반전 패턴을 형성하는 현상공정과, 전술한 반전패턴의 불투공부를 에칭제거하는 에칭공정과, 전술한 광투과 플레이트 상에 잔존하고 있는 에멀존층을 불투광층으로 하기 위한 노광현상공정과, 전술한 불투광층을 정착시킨 정착공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 새도우 마스크의 패턴 프린터의 제조방법.
  4. 새도우마스크재의 양주면에 형성된 감광막에서 새도우마스크의 패턴을 프린터 노광공정에 이동되어진 프린터의 제조방법에 있어서, 양면에 미노광의 에멀죤층을 가진 광투과 플레이트에서 새도우 마스크의 유효영역내의 구멍부에 상당하는 부분 및 비 유효영역에 상당하는 소망하는 부분이 불투광인 패턴원판을 밀착해서 노광하는 노광공정과, 전술한 에멀죤층에서 반전패턴을 형성하는 현상공정과, 전술한 반전패턴의 불투공부를 에칭제거하는 에칭공정과, 전술한 광투과 플레이트상에 잔존하고 있는 에멀죤층중에 유효영역내에 상당하는 부분만을 불투광층으로 하기 위한 노광현상 공정과, 전술한 에멀죤층을 정착시킨 정착공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크의 패턴 프린터의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900002847A 1989-03-02 1990-03-02 새도우마스크의 패턴 프린터 및 그 제조방법 KR920010658B1 (ko)

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