KR900008625A - 이온빔을 기판에 균일하게 주입할 수 있는 이온주입장치 - Google Patents

이온빔을 기판에 균일하게 주입할 수 있는 이온주입장치 Download PDF

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KR900008625A
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Abstract

내용 없음.

Description

이온빔을 기판에 균일하게 주입할 수 있는 이온주입장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 이온주입장치의 부분단면 측면도,
제2도는 제1도에 예시된 이온주입장치의 우측면도,
제3도는 제1도에 예시된 이온주입장치의 부분 평면도.

Claims (3)

  1. 이온빔을 제어가능한 입사각으로 기판에 주입시키기 위한 이온주입장치에 있어서, 상기 주입장치는, 상기 기판이 상기 이온빔에 의해 조사될 수 있도록 상기 기판을 지지하기 위한 지지수단, 상기 이온빔에 관해 상기 기판의 위치를 변경하도록 상기 지지수단을 제어하기 위해 상기 지지수단에 기계적으로 결합된 제1 제어수단 및 상기 제어가능한 입사각을 상기 이온빔에 대해 제어하기 위해 상기 지지수단에 기계적으로 결합된 제2 제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이온빔은 소정방향을 향해 조사되며, 상기 지지수단은 그위에 상기 기판을 위치시키기 위한 디스크부, 상기 디스크부를 상기 소정방향에 평행한 제1 축 주위로 회전가능하게 지지하기 위해 상기 디스크뷰에 기계적으로 결합된 제1 수단 및 상기 디스크부를 상기 소정방향에 대체로 수직인 제2축을 따라 이동 시키도록 상기 디스크부를 미끄럼가능하게 지지하기 위해 상기 제1수단에 기계적으로 결합된 제2수단을 포함하며, 상기 제1 제어수단은, 상기 디스크부를 상기 제1축 주위로 회전시키기 위해 상기 제1수단에 결합된 제1회전수단, 및 상기 디스크부를 상기 제2축을 따라 구동시키기 위해 제2수단에 결합된 구동수단을 포함하고, 상기 제2제어 수단은, 상기 제2축과 상기 소정방향에 대체로 수직인 제3축 주위로 소정범위내에 상기 디스크부를 회전시키기 위해 제2회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2 제어수단은 상기 제2 방향 주위로 상기 범위내에 상기 디스크부를 회전시키기 위한 제3 회전 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890016924A 1988-11-21 1989-11-21 이온빔을 기판에 균일하게 주입할 수 있는 이온주입장치 KR0164841B1 (ko)

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