KR890011024A - 웨이퍼의 미세 연마용 조성물 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

웨이퍼의 미세 연마용 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (7)

  1. 물, 입상 무정형 실리카 및 아크릴 아미드 단독으로 또는 아크릴산, 메타크릴산 및 스티렌술폰산으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 비닐 단량체와 함께 그라프트 중합된 다당류 고분자 화합물을 함유하고, 알칼리성 물질에 의해 pH 8내지 12로 조정되어 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  2. 제 1 항에 있어서, 입상 무정형 실리카의 평균 입자 크기가 5m㎛내지 10㎛의 범위의 것임을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  3. 제 1 항에 있어서, 입상 무정형 실리카의 함량이 0.1중량%이상이고, 그라프트 중합된 다당류 고분자 화합물의 함량이 1ppm 이상임을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  4. 제 1 항에 있어서, 다당류 고분자 화합물이 수용성의 구아고무 및 크산탄 고무로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상임을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  5. 제 1 항에 있어서, 알칼리성 물질이 금속 수산화물, 아민 또는 암모니아임을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  6. 물, 입상 무정형 실리카 및 아미드 단독으로 또는 아크릴산, 메타크릴산 및 스티렌 술폰산으로 이루어진 군으로 부터 선택된 하나이상의 비닐 단량체와 함께 그라프트 중합된 다당류 고분자 화합물과 수용성 염을 함유하고, 알칼리성 물질에 의해 pH 8내지 12로 조정되어 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
  7. 제 6 항에 있어서, 수용성 염이 리튬이온, 나트륨이온, 칼륨이온, 세슘이온 및 암모늄이온으로 구성되는 군에서 선택된 양이온과, 불소이온, 염소이온, 브롬이온, 요오드이온, 황산이온, 질산이온, 과염소이온, 탄산이온, 포름산이온, 아세트산이온, 아클리산이온 및 옥살산이온으로 구성되는 군에서 선택된 음이온과의 조합으로 이루어진 하나이상의 화합물임을 특징으로 하는 웨이퍼의 미세 연마용 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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