KR840009139A - 열선형 반도체 가스검지장치 - Google Patents

열선형 반도체 가스검지장치 Download PDF

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KR840009139A
KR840009139A KR1019840000885A KR840000885A KR840009139A KR 840009139 A KR840009139 A KR 840009139A KR 1019840000885 A KR1019840000885 A KR 1019840000885A KR 840000885 A KR840000885 A KR 840000885A KR 840009139 A KR840009139 A KR 840009139A
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아기오(외3) 이가라시
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가사하라 리이치로오
싱코스모스덴기 가부시기 가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

열선형 반도체 가스검지장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용하는 열선형 반도체 소자의 구성을 표시하는 확대 정면도.
제2도는 본 발명의 제1의 실시예를 표시하는 회로도.
제15도는 제11도에 표시한 열선형 반도체 소자를 사용한 회로의 예를 각각 표시하는 도시.

Claims (6)

  1. 가열용 히이터겸 전기저항치 변화검출용 전극으로 되는 금속선에, 금속 산화물 반도체를 밀착하여 형성하여 되는 일선형 반도체 소자를, 정전압원에 부하를 개재하여 직렬로 접속하여, 상기 열선형 반도체 소자의 가스흡착에 의하는 저항치변화를 검지신호로 서취출하는 수단을 구성한 것을 특징으로 하는 일선형 반도체 가스검지장치.
  2. 제1항에 있어서, 금속선은 내열성 및 전기적 점연성을 가지는 기판위에, 도전성의 재료로써 되는 소요의 패턴으로 형성한 것을 특징으로 하는 일선형 반도체 가스검지장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 금속선은 Rh, Ir, Ni 중에서 적어도 1종을, 5-30%의 범위에서 함유한 Pt 합금선으로 구성된 것을 특징으로 하는 일선형 반도체 가스검지장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 금속선은 순백금보다 작은 전기 저항온도 계수를 가지는 금속으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열선형 반도체 가스검지장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 금속선은 정의 저항온도 계수를 가지고, 금속산화물 반도체는 부의 저항 온도계수를 가지며, 상기 양 저항 온도계수는 서로 상쇄되게 선정한 것을 특징으로 하는 열선형 반도체 가스검지장치.
  6. 제1항에 있어서, 부하는 주울 발열에 의하는 저항치 변화를 무시할 수 있는 저항체인 것을 특징으로 하는 열선형 반도체 가스검지장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019840000885A 1983-03-29 1984-02-23 열선형 반도체 가스 검지장치 KR870001052B1 (ko)

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JP58-51680 1983-03-29
JP5168083A JPS59178350A (ja) 1983-03-29 1983-03-29 ガス検知素子
JP58062075A JPS59188549A (ja) 1983-04-11 1983-04-11 ２端子形半導体ガス検知素子
JP58-62075 1983-04-11
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JP9872683 1983-06-28
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190041966A (ko) * 2016-08-25 2019-04-23 닛샤 가부시키가이샤 가스 센서

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