KR20250035427A - Linear motor unit and mounting device - Google Patents
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Abstract
[과제] 리니어 모터의 복수 개의 코일의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일을 냉각하기 위한 기술을 제공한다.
[해결 수단] 리니어 모터 유닛은, 복수 개의 자석을 특정의 방향을 따라 연결한 고정자와, 상기 고정자의 외측에 감겨 있는 복수 개의 코일을 상기 특정의 방향을 따라 연결한 가동자와, 상기 복수 개의 코일의 각각에 접속되어 있는 방열 부재와, 상기 복수 개의 코일 중, 제1 구간에 있어서 연결하고 있는 제1 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제1 냉각 덕트와, 상기 복수 개의 코일 중, 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간에 있어서 연결하고 있는 제2 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제2 냉각 덕트를 구비하고, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량은, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다르다.[Assignment] To provide a technology for cooling each coil without excess or deficiency in cases where the heat generation amount of multiple coils of a linear motor is uneven.
[Solution] A linear motor unit comprises a stator having a plurality of magnets connected along a specific direction, a mover having a plurality of coils wound on the outside of the stator and connected along the specific direction, a heat dissipation member connected to each of the plurality of coils, a first cooling duct which accommodates the heat dissipation member connected to each of the first coil groups connected in a first section among the plurality of coils, and a second cooling duct which accommodates the heat dissipation member connected to each of the second coil groups connected in a second section adjacent to the first section among the plurality of coils, wherein an air volume of a gas passing through the first cooling duct is different from an air volume of a gas passing through the second cooling duct.
Description
본 명세서는 리니어 모터 유닛(linear motor unit) 및 당해 리니어 모터 유닛을 구비하는 실장기에 관한 것이다.The present specification relates to a linear motor unit and a mounting machine having the linear motor unit.
특허 문헌 1에는, 리니어 모터의 가동자에 포함되는 복수 개의 코일(coil)의 각각에 접속되어 있는 방열 부재(예를 들면 방열판)를 수용하는 냉각 덕트(duct)가 개시되어 있다. 냉각 덕트의 내측에는 격벽이 설치되어 있고, 당해 격벽에 의해 냉각 덕트 내의 풍로(風路)가 2개로 구분되어 있다.Patent Document 1 discloses a cooling duct that accommodates a heat dissipation member (e.g., a heat dissipation plate) connected to each of a plurality of coils included in an actuator of a linear motor. A partition is provided on the inside of the cooling duct, and an air path within the cooling duct is divided into two by the partition.
리니어 모터의 가동 환경은 여러 가지이다. 이 때문에, 복수 개의 코일의 각각의 발열량이 고르지 않을 수 있다. 예를 들면, 제1의 코일의 발열량이 크고, 제2의 코일의 발열량이 작은 상황에 있어서, 냉각 덕트의 풍량이 전체적으로 균일한 상황을 상정한다. 이 상황에서는, 제2의 코일의 발열량에 대해 풍량이 과대할 수 있다. 또, 제1의 코일의 발열량에 대해 풍량이 과소할 수 있다. 본 명세서에서는, 리니어 모터의 복수 개의 코일의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일을 냉각하기 위한 기술을 제공한다.The operating environment of a linear motor is diverse. Therefore, the heat generation amount of each of the plurality of coils may be uneven. For example, in a situation where the heat generation amount of a first coil is large and the heat generation amount of a second coil is small, it is assumed that the air volume of the cooling duct is uniform throughout. In this situation, the air volume may be excessive with respect to the heat generation amount of the second coil. In addition, the air volume may be insufficient with respect to the heat generation amount of the first coil. In this specification, a technology for cooling each coil without excess or deficiency is provided in a case where the heat generation amounts of a plurality of coils of a linear motor are uneven.
본 명세서가 개시하는 리니어 모터 유닛은, 복수 개의 자석을 특정의 방향을 따라 연결한 고정자와, 상기 고정자의 외측에 감겨 있는 복수 개의 코일을 상기 특정의 방향을 따라 연결한 가동자와, 상기 복수 개의 코일의 각각에 접속되어 있는 방열 부재와, 상기 복수 개의 코일 중, 제1 구간에 있어서 연결하고 있는 제1 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제1 냉각 덕트와, 상기 복수 개의 코일 중, 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간에 있어서 연결하고 있는 제2 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제2 냉각 덕트를 구비하고, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량은, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다르다.The linear motor unit disclosed in the present specification comprises a stator having a plurality of magnets connected along a specific direction, a mover having a plurality of coils wound on the outside of the stator and connected along the specific direction, a heat dissipation member connected to each of the plurality of coils, a first cooling duct which accommodates the heat dissipation member connected to each of the first coil groups connected in a first section among the plurality of coils, and a second cooling duct which accommodates the heat dissipation member connected to each of the second coil groups connected in a second section adjacent to the first section among the plurality of coils, and the air volume of a gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of a gas passing through the second cooling duct.
예를 들면, 제2 코일군의 발열량이 제1 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 제2 냉각 덕트의 풍량을 제1 냉각 덕트의 풍량보다 크게 하여, 제1 및 제2 코일군을 과부족 없이 냉각할 수가 있다. 또, 제1 코일군의 발열량이 제2 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 제1 냉각 덕트의 풍량을 제2 냉각 덕트의 풍량보다 크게 하여, 제1 및 제2 코일군을 과부족 없이 냉각할 수도 있다. 이상으로부터, 리니어 모터의 복수 개의 코일의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일을 냉각할 수가 있다.For example, when the calorific value of the second coil group is greater than that of the first coil group, the air volume of the second cooling duct can be made greater than that of the first cooling duct, so that the first and second coil groups can be cooled without excess or deficiency. In addition, when the calorific value of the first coil group is greater than that of the second coil group, the air volume of the first cooling duct can be made greater than that of the second cooling duct, so that the first and second coil groups can be cooled without excess or deficiency. From the above, when the calorific value of a plurality of coils of the linear motor is not uniform, each coil can be cooled without excess or deficiency.
또, 본 명세서는 부품을 기판에 실장하는 실장 유닛과 상기의 리니어 모터 유닛을 구비하는 실장기를 개시한다. 당해 리니어 모터 유닛은 상기 실장 유닛을 직선적으로 이동시킨다.In addition, the present specification discloses a mounting machine having a mounting unit for mounting a component on a substrate and the linear motor unit. The linear motor unit moves the mounting unit linearly.
도 1은 실장기의 전체를 나타내는 사시도이다.
도 2는 직동 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 가동자 유닛 및 냉각 장치의 내부 구조를 나타내는 사시도이다.
도 4는 제1 실시예와 관련되는 냉각 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는 제2 실시예로부터 제4 실시예와 관련되는 냉각 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 6은 제5 실시예와 관련되는 냉각 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 7은 제6 실시예와 관련되는 냉각 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.Figure 1 is a perspective view showing the entire installation device.
Figure 2 is a perspective view showing the configuration of a direct driving device.
Figure 3 is a perspective view showing the internal structure of the actuator unit and cooling device.
Fig. 4 is a schematic diagram showing the configuration of a cooling device related to the first embodiment.
Fig. 5 is a schematic diagram showing the configuration of a cooling device related to the second through fourth embodiments.
Fig. 6 is a schematic diagram showing the configuration of a cooling device related to the fifth embodiment.
Fig. 7 is a schematic diagram showing the configuration of a cooling device related to the sixth embodiment.
이하에 설명하는 실시 예의 주요한 특징을 열기(列記)해 둔다. 또한, 이하에 기재하는 기술 요소는, 각각 독립한 기술 요소로서, 단독으로 혹은 각종의 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이고, 출원시의 청구항에 기재한 조합에 한정되는 것은 아니다.The main features of the embodiments described below are listed. In addition, the technical elements described below are each independent technical elements, and exert technical utility alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of application.
[실시예][Example]
(제1 실시예)(Example 1)
(실장기(10)의 구성；도 1)(Composition of the actual machine (10); Figure 1)
실장기(10)는 회로 기판에 전자 부품을 실장하는 장치이다. 실장기(10)는 다른 실장기(10)와 함께 좌우로 병설되어 일련의 제조 라인을 구성한다. 또한, 도 중에서는, XYZ 좌표가 정의되어 있고, 이하의 설명에서는, XYZ 좌표를 적당히 이용하여 각부의 구성을 설명한다.The mounting device (10) is a device that mounts electronic components on a circuit board. The mounting device (10) is installed side by side with other mounting devices (10) to form a series of manufacturing lines. In addition, XYZ coordinates are defined in the drawing, and in the following description, the configuration of each part is explained by appropriately using XYZ coordinates.
실장기(10)는 복수의 부품 피더(feeder)(20)를 구비하고 있다. 복수의 부품 피더(20)는 실장기(10)의 전부(前部)에 장착되어 있다. 각각의 부품 피더(20)는 복수의 전자 부품을 수용하고 있고, 후술하는 실장 유닛(40)에 전자 부품을 순차로 공급한다. 부품 피더(20)의 구조는, 특히 한정되지 않고, 예를 들면, 테이프식(tape type)이라도 좋고, 트레이식(tray type)이라도 좋다.The mounting device (10) is equipped with a plurality of component feeders (20). The plurality of component feeders (20) are mounted on the front of the mounting device (10). Each component feeder (20) accommodates a plurality of electronic components and sequentially supplies the electronic components to the mounting unit (40) described later. The structure of the component feeder (20) is not particularly limited, and may be, for example, a tape type or a tray type.
실장기(10)는 2개의 기판 반송 장치(30)와 2개의 기판 지지 장치(32)를 구비하고 있다. 각각의 기판 반송 장치(30)는 한 벌의 컨베이어 벨트(conveyor belt)에 의해 회로 기판을 반송한다. 각각의 기판 반송 장치(30)는 인접하는 다른 실장기(10)의 기판 반송 장치(30)와 일련(一連)으로 접속된다.The mounting machine (10) is equipped with two substrate return devices (30) and two substrate support devices (32). Each substrate return device (30) returns a circuit board by a set of conveyor belts. Each substrate return device (30) is connected in series with the substrate return device (30) of another adjacent mounting machine (10).
또한, 기판 반송 장치(30)의 구조에 대해서는 특히 한정되지 않는다. 기판 반송 장치(30)에 의해 반송된 회로 기판은, 기판 지지 장치(32)에 의해 소정의 높이로 지지된다. 또한, 변형예에서는, 실장기(10)는 하나의 기판 반송 장치(30) 및 하나의 기판 지지 장치(32)를 구비하고 있어도 좋다.In addition, there is no particular limitation on the structure of the substrate return device (30). The circuit board returned by the substrate return device (30) is supported at a predetermined height by the substrate support device (32). In addition, in a modified example, the mounting machine (10) may be equipped with one substrate return device (30) and one substrate support device (32).
실장기(10)는, 실장 유닛(40)과, 실장 유닛(40)을 X축 방향으로 직선 이동시키는 직동 유닛(50)과, 실장 유닛(40)을 Y축 방향으로 직선 이동시키는 리니어 모터 유닛(linear motor unit)(52)을 구비하고 있다. 실장 유닛(40)에는, 전자 부품을 흡착하는 노즐(nozzle)(42)이 장착되어 있다. 실장 유닛(40)은 노즐(42)을 Z축 방향으로 이동시킬 수가 있다. 노즐(42)은 부품 피더(20)에 의해 공급되는 전자 부품을 흡착한다. 노즐(42)에 의해 흡착된 전자 부품은, 실장 유닛(40)의 이동에 의해, 기판 지지 장치(32)에 의해 지지된 회로 기판에 실장된다.The mounting machine (10) has a mounting unit (40), a linear driving unit (50) that moves the mounting unit (40) linearly in the X-axis direction, and a linear motor unit (52) that moves the mounting unit (40) linearly in the Y-axis direction. The mounting unit (40) is equipped with a nozzle (42) that absorbs electronic components. The mounting unit (40) can move the nozzle (42) in the Z-axis direction. The nozzle (42) absorbs electronic components supplied by the component feeder (20). The electronic components absorbed by the nozzle (42) are mounted on a circuit board supported by the board support device (32) by the movement of the mounting unit (40).
실장기(10)는 실장기(10)의 각부(各部)(20, 30, 32, 40, 50, 52)를 제어하는 제어 장치(200)를 구비한다. 또한, 제어 장치(200)의 레이아웃(layout)은 특히 한정되지 않는다. 또한, 변형예에서는, 제어 장치(200)는 실장기(10)의 외측에 배치되어 있어도 좋다.The mounting device (10) is equipped with a control device (200) that controls each part (20, 30, 32, 40, 50, 52) of the mounting device (10). In addition, the layout of the control device (200) is not particularly limited. In addition, in a modified example, the control device (200) may be arranged on the outside of the mounting device (10).
(리니어 모터 유닛(52)의 구성；도 2)(Configuration of linear motor unit (52); Fig. 2)
리니어 모터 유닛(52)은, 실장기(10)에 고정된 고정 유닛(54)과, 고정 유닛(54)에 대해 이동 가능한 가동 유닛(56)을 구비하고 있다. 고정 유닛(54)은 한 벌의 가이드 레일(guide rail)(54a)과 리니어 모터축(54b)을 구비하고 있다. 각각의 가이드 레일(54a) 및 리니어 모터축(54b)은 Y축 방향을 따라 뻗어 있다.The linear motor unit (52) has a fixed unit (54) fixed to the mounting device (10) and a movable unit (56) movable with respect to the fixed unit (54). The fixed unit (54) has a set of guide rails (54a) and a linear motor shaft (54b). Each of the guide rails (54a) and the linear motor shaft (54b) extends along the Y-axis direction.
리니어 모터축(54b)은 복수 개의 자석(60)을 Y축 방향을 따라 연결한 고정자이다. 인접하는 2개의 자석(60)은 자극의 방향이 서로 다르다. 즉, 외주면이 N극이고 내주면이 S극인 자석(60)과, 외주면이 S극이고 내주면이 N극인 자석(60)이 교대로 배치되어 있다.The linear motor shaft (54b) is a stator in which multiple magnets (60) are connected along the Y-axis direction. Two adjacent magnets (60) have different magnetic pole directions. That is, a magnet (60) whose outer surface is a N pole and whose inner surface is a S pole, and a magnet (60) whose outer surface is a S pole and whose inner surface is a N pole are alternately arranged.
가동 유닛(56)은, 베이스 플레이트(base plate)(56a)와, 4개의 가이드(56b)와, 가동자(62)를 구비하고 있다. 4개의 가이드(56b)는 가이드 레일(54a)을 따라 슬라이드(slide) 한다. 가동자(62)는 리니어 모터축(54b)과 함께 리니어 모터를 구성한다. 가동자(62)는, 대략 통 모양의 형상을 가지고 있고, 그 내부를 리니어 모터축(54b)이 통과하고 있다. 가동자(62)는 냉각 장치(70)에 의해 냉각된다.The movable unit (56) has a base plate (56a), four guides (56b), and a mover (62). The four guides (56b) slide along a guide rail (54a). The mover (62) forms a linear motor together with the linear motor shaft (54b). The mover (62) has a generally cylindrical shape, and the linear motor shaft (54b) passes through the inside of the mover. The mover (62) is cooled by a cooling device (70).
4개의 가이드(56b)와 가동자(62)는 베이스 플레이트(56a)에 고정되어 있다. 베이스 플레이트(56a)에는, 직동 유닛(50)을 통해 실장 유닛(40)이 장착되어 있다.Four guides (56b) and a mover (62) are fixed to a base plate (56a). A mounting unit (40) is mounted on the base plate (56a) via a direct driving unit (50).
(가동자(62) 및 냉각 장치(70)의 구성；도 3)(Composition of actuator (62) and cooling device (70); Fig. 3)
가동자(62)는, 리니어 모터축(54b)의 외측에 감겨 있는 복수 개의 코일(64)을 Y축 방향을 따라 연결한 구성을 가진다. 또한, 리니어 모터축(54b)과 가동자(62)에 의해 구성되는 리니어 모터의 동작 원리는 잘 알려져 있고, 본 명세서에서는 그 설명을 생략한다.The actuator (62) has a configuration in which a plurality of coils (64) wound on the outside of the linear motor shaft (54b) are connected along the Y-axis direction. In addition, the operating principle of the linear motor composed of the linear motor shaft (54b) and the actuator (62) is well known, and its description is omitted in this specification.
복수 개의 코일(64)의 각각에는 방열 부재(74)가 접속되어 있다. 방열 부재(74)는 복수 매의 금속제의 판을 적층한 구조를 가진다. 또한, 방열 부재(74)의 구조는 특히 한정되지 않는다. 도 3에 나타내듯이, 복수 개의 코일(64)과 동수의 복수 개의 방열 부재(74)가, 복수 개의 코일(64)에 인접하여 Y축 방향을 따라 늘어서 있다.A heat dissipation member (74) is connected to each of the plurality of coils (64). The heat dissipation member (74) has a structure in which a plurality of metal plates are laminated. In addition, the structure of the heat dissipation member (74) is not particularly limited. As shown in Fig. 3, a plurality of heat dissipation members (74) in the same number as the plurality of coils (64) are lined up along the Y-axis direction adjacent to the plurality of coils (64).
복수 개의 방열 부재(74)는 직선 모양으로 뻗은 통 모양의 냉각 덕트(76)에 수용되어 있다. 냉각 덕트(76)와 복수 개의 방열 부재(74)는 냉각 장치(70)를 구성하고 있다. 냉각 덕트(76)는 직사각형 단면을 가지고 있다. 또한, 냉각 덕트(76)의 단면 형상은 특히 한정되지 않는다.A plurality of heat dissipation members (74) are accommodated in a cylindrical cooling duct (76) extending in a straight shape. The cooling duct (76) and the plurality of heat dissipation members (74) constitute a cooling device (70). The cooling duct (76) has a rectangular cross-section. In addition, the cross-sectional shape of the cooling duct (76) is not particularly limited.
(냉각 장치(70)의 구성；도 4)(Composition of cooling device (70)；Fig. 4)
냉각 덕트(76)는 제1 냉각 덕트(80)와 제2 냉각 덕트(90)를 구비한다. 제1 냉각 덕트(80)는, 복수 개의 방열 부재(74) 중, 제1 구간 S1에 있어서 늘어서 있는 제1 방열 부재군(82)을 수용한다. 제1 방열 부재군(82)의 각각에는, 복수 개의 코일(64) 중, 제1 구간 S1에 배치되어 있는 각 코일(64)(이하, 「제1 코일군」이라고 기재)이 접속되어 있다. 제2 냉각 덕트(90)는, 복수 개의 방열 부재(74) 중, Y축 방향을 따라 제1 구간 S1에 인접하는 제2 구간 S2에 있어서 늘어서 있는 제2 방열 부재군(92)을 수용한다. 제2 방열 부재군(92)의 각각에는, 복수 개의 코일(64) 중, 제2 구간 S2에 배치되어 있는 각 코일(64)(이하, 「제2 코일군」이라고 기재)이 접속되어 있다.The cooling duct (76) has a first cooling duct (80) and a second cooling duct (90). The first cooling duct (80) accommodates a first heat dissipation member group (82) that is lined up in a first section S1 among a plurality of heat dissipation members (74). Each of the first heat dissipation member groups (82) is connected to a respective coil (64) (hereinafter referred to as “first coil group”) that is arranged in the first section S1 among a plurality of coils (64). The second cooling duct (90) accommodates a second heat dissipation member group (92) that is lined up in a second section S2 adjacent to the first section S1 along the Y-axis direction among a plurality of heat dissipation members (74). To each of the second heat dissipation member groups (92), each coil (64) (hereinafter referred to as “second coil group”) arranged in the second section S2 among the plurality of coils (64) is connected.
냉각 장치(70)는, 제1 냉각 덕트(80) 내의 공간과 제2 냉각 덕트(90) 내의 공간을 격리하는 격리벽(100)을 구비한다. 격리벽(100)은 제1 방열 부재군(82)과 제2 방열 부재군(92)의 사이에 배치되어 있다.The cooling device (70) has an isolation wall (100) that isolates the space within the first cooling duct (80) and the space within the second cooling duct (90). The isolation wall (100) is arranged between the first heat dissipation member group (82) and the second heat dissipation member group (92).
제1 냉각 덕트(80)의 Y축 부(負) 방향의 단부에는 Y축 부 방향으로 개구하는 흡기구(80a)가 형성되어 있다. 제1 냉각 덕트(80)의 Y축 정(正) 방향의 단부에 있어서, 격리벽(100)과 인접하는 위치에는, Z축 부 방향으로 개구하는 개구(80c)가 형성되어 있다. 제1 냉각 덕트(80)는, Y축 방향을 따라 제2 구간 S2까지 뻗은 분기 덕트(80d)를 구비하고, 개구(80c)는 분기 덕트(80d)와 연통한다. 분기 덕트(80d) 중, Y축 정 방향의 단부에는 Y축 정 방향으로 개구하는 배기구(80b)가 형성되어 있다. 또한, 개구(80c)가 형성되어 있는 방향은, Z축 부 방향에 한정하지 않고, 예를 들면, X축 부 방향이라도 좋다.An intake port (80a) that opens in the Y-axis negative direction is formed at an end portion in the Y-axis negative direction of the first cooling duct (80). At a position adjacent to the isolation wall (100) at an end portion in the Y-axis positive direction of the first cooling duct (80), an opening (80c) that opens in the Z-axis negative direction is formed. The first cooling duct (80) has a branch duct (80d) that extends along the Y-axis direction to the second section S2, and the opening (80c) communicates with the branch duct (80d). An exhaust port (80b) that opens in the Y-axis positive direction is formed at an end portion in the Y-axis positive direction of the branch duct (80d). In addition, the direction in which the opening (80c) is formed is not limited to the Z-axis negative direction, and may be, for example, the X-axis negative direction.
제2 냉각 덕트(90)의 Y축 부 방향의 단부에 있어서, 격리벽(100)과 인접하는 위치에는, Z축 정 방향 측으로 개구하는 흡기구(90a)가 형성되어 있다. 제2 냉각 덕트(90)의 Y축 정 방향의 단부에는 Y축 정 방향으로 개구하는 배기구(90b)가 형성되어 있다. 또한, 흡기구(90a)가 형성되어 있는 방향은, Z축 정 방향에 한정하지 않고, 예를 들면, X축 부 방향이라도 좋다.At the end of the second cooling duct (90) in the Y-axis direction, an intake port (90a) that opens toward the positive Z-axis direction is formed at a position adjacent to the isolation wall (100). At the end of the second cooling duct (90) in the Y-axis direction, an exhaust port (90b) that opens toward the positive Y-axis direction is formed. In addition, the direction in which the intake port (90a) is formed is not limited to the positive Z-axis direction, and may be, for example, the negative X-axis direction.
제1 냉각 덕트(80)의 흡기구(80a)에는 송풍기(84a)가 배치되어 있다. 제1 냉각 덕트(80)의 배기구(80b)에는 송풍기(84b)가 배치되어 있다. 한편, 제2 냉각 덕트(90)의 배기구(90b)에는 송풍기(94b)가 배치되어 있지만, 제2 냉각 덕트(90)의 흡기구(90a)에는 송풍기가 배치되어 있지 않다. 또한, 변형예에서는, 흡기구(90a)에 송풍기가 배치되고, 배기구(90b)에 송풍기가 배치되어 있지 않아도 좋고, 흡기구(90a) 및 배기구(90b)의 각각에 송풍기가 배치되어 있어도 좋다. 여기서, 「송풍기」는, 예를 들면, 팬(fan), 블로어(blower) 등이다.A blower (84a) is arranged in the intake port (80a) of the first cooling duct (80). A blower (84b) is arranged in the exhaust port (80b) of the first cooling duct (80). On the other hand, a blower (94b) is arranged in the exhaust port (90b) of the second cooling duct (90), but no blower is arranged in the intake port (90a) of the second cooling duct (90). Furthermore, in a modified example, a blower may be arranged in the intake port (90a) and no blower may be arranged in the exhaust port (90b), and blowers may be arranged in each of the intake port (90a) and the exhaust port (90b). Here, the "blower" is, for example, a fan, a blower, etc.
송풍기(84a)의 특성은 송풍기(94b)의 특성과 동일하다. 또, 송풍기(84b)의 특성은 송풍기(84a)의 특성과 동일해도 좋고, 달라도 좋다. 또, 제1 냉각 덕트(80) 중, 제1 방열 부재군(82)을 수용하는 부분의 덕트의 단면적은, 제2 냉각 덕트(90)의 단면적과 동일하다. 또한, 분기 덕트(80d)의 단면적은, 제1 방열 부재군(82)을 수용하는 부분의 덕트의 단면적과 동일해도 좋고, 달라도 좋다. 제1 냉각 덕트(80)에 2개의 송풍기(84a, 84b)가 배치되어 있음과 아울러, 제2 냉각 덕트(90)에 1개의 송풍기(94b)가 배치되어 있음으로써, 제1 냉각 덕트(80) 내를 통과하는 기체의 풍량이, 제2 냉각 덕트(90) 내를 통과하는 기체의 풍량보다 크다. 즉, 제1 냉각 덕트(80)는, 제2 냉각 덕트(90)와 비교하여 분기 덕트(80d)의 분(分)만큼 유로 저항은 크게 되지만, 2개의 송풍기(84a, 84b)를 구비함으로써, 제1 냉각 덕트(80) 내를 흐르는 기체의 풍량이 제2 냉각 덕트(90) 내를 흐르는 기체의 풍량보다 크게 되도록 조정되어 있다.The characteristics of the blower (84a) are the same as those of the blower (94b). In addition, the characteristics of the blower (84b) may be the same as those of the blower (84a), or may be different. In addition, the cross-sectional area of the duct of the portion of the first cooling duct (80) that accommodates the first heat dissipation member group (82) is the same as the cross-sectional area of the second cooling duct (90). In addition, the cross-sectional area of the branch duct (80d) may be the same as those of the duct of the portion that accommodates the first heat dissipation member group (82), or may be different. Since two blowers (84a, 84b) are arranged in the first cooling duct (80) and one blower (94b) is arranged in the second cooling duct (90), the air volume of the gas passing through the first cooling duct (80) is greater than the air volume of the gas passing through the second cooling duct (90). That is, although the first cooling duct (80) has a greater flow resistance by the amount of the branch duct (80d) compared to the second cooling duct (90), by providing two blowers (84a, 84b), the air volume of the gas flowing through the first cooling duct (80) is adjusted to be greater than the air volume of the gas flowing through the second cooling duct (90).
리니어 모터 유닛(52)의 가동 환경은 여러 가지이다. 예를 들면, 리니어 모터 유닛(52)이 탑재되는 실장기(10)의 구조, 사양 등에 의해, 리니어 모터 유닛(52)의 가동 환경이 바뀐다. 이 때문에, 복수 개의 코일(64)의 각각의 발열량이 고르지 않을 수 있다. 예를 들면, 제1 코일군의 발열량이 크고, 제2 코일군의 발열량이 작은 상황에 있어서, 냉각 덕트(76) 내의 풍량이 전체적으로 균일한 상황을 상정한다. 이 상황에서는, 제2 코일군의 발열량에 대해 풍량이 과대할 수 있다. 또, 제1 코일군의 발열량에 대해 풍량이 과소할 수 있다. 이에 대해, 본 실시예의 구성에 의하면, 제1 냉각 덕트(80)의 풍량을 제2 냉각 덕트(90)의 풍량보다 크게 하여, 제1 코일군 및 제2 코일군을 과부족 없이 냉각할 수가 있다. 본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)에 있어서의 송풍기의 개수를 제2 냉각 덕트(90)에 있어서의 송풍기의 개수보다 많게 하여, 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량을 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량보다 크게 할 수가 있다. 또, 제1 냉각 덕트(80)의 배기구(80b) 및 제2 냉각 덕트(90)의 배기구(90b)는, Y축 정 방향(예를 들면, 실장기(10)의 후방)의 단부에 늘어서 배치되고, 배기구(80b, 90b)로부터 Y축 정 방향을 향해 배기된다. 이 때문에, 예를 들면, 실장기(10)의 하우징(housing) 내의 공기를 하우징 밖으로 배기하는 배기구를 실장기(10)의 일방 측(예를 들면 후부)에 설치함으로써, 제1 냉각 덕트(80) 및 제2 냉각 덕트(90)로부터 배기된 공기(코일군을 냉각함으로써 따뜻해진 공기)를 하우징 밖으로 신속하게 배기할 수가 있다. 또한, 변형예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 배기구(80b) 및 제2 냉각 덕트(90)의 배기구(90b)는, Y축 부 방향의 단부에 늘어서 배치되어 있어도 좋다. 이에 의해, 제1 냉각 덕트(80) 및 제2 냉각 덕트(90)에 흡인되는 공기(즉, 실장기(10)의 하우징 내의 공기)의 온도가 상승하는 것이 억제되고, 제1 냉각 덕트(80) 및 제2 냉각 덕트(90)의 냉각 능력을 높게 할 수가 있다.The operating environment of the linear motor unit (52) varies. For example, the operating environment of the linear motor unit (52) changes depending on the structure, specifications, etc. of the mounting device (10) on which the linear motor unit (52) is mounted. For this reason, the respective heat generation amounts of the plurality of coils (64) may not be uniform. For example, in a situation where the heat generation amount of the first coil group is large and the heat generation amount of the second coil group is small, it is assumed that the air volume in the cooling duct (76) is uniform overall. In this situation, the air volume may be excessive with respect to the heat generation amount of the second coil group. In addition, the air volume may be insufficient with respect to the heat generation amount of the first coil group. In response to this, according to the configuration of the present embodiment, the air volume of the first cooling duct (80) can be made larger than the air volume of the second cooling duct (90), so that the first coil group and the second coil group can be cooled without excess or deficiency. In this embodiment, the number of blowers in the first cooling duct (80) is made greater than the number of blowers in the second cooling duct (90), so that the air volume in the first cooling duct (80) can be made greater than the air volume in the second cooling duct (90). In addition, the exhaust port (80b) of the first cooling duct (80) and the exhaust port (90b) of the second cooling duct (90) are arranged in a row at an end in the positive Y-axis direction (for example, the rear of the mounting device (10)), and air is exhausted from the exhaust ports (80b, 90b) in the positive Y-axis direction. For this reason, for example, by installing an exhaust port for exhausting air inside the housing of the mounting device (10) outside the housing on one side (for example, the rear) of the mounting device (10), the air exhausted from the first cooling duct (80) and the second cooling duct (90) (air warmed by cooling the coil group) can be quickly exhausted outside the housing. Furthermore, in a modified example, the exhaust port (80b) of the first cooling duct (80) and the exhaust port (90b) of the second cooling duct (90) may be arranged in a row at the end in the Y-axis direction. Thereby, the temperature of the air sucked into the first cooling duct (80) and the second cooling duct (90) (i.e., the air inside the housing of the mounting device (10)) is suppressed from rising, and the cooling capacity of the first cooling duct (80) and the second cooling duct (90) can be increased.
(대응 관계)(correspondence relationship)
실장기(10), 실장 유닛(40), 리니어 모터 유닛(52)이, 각각, 「실장기」, 「실장 유닛」, 「리니어 모터 유닛」의 일례이다. Y축 방향이, 「특정의 방향」의 일례이다. 복수 개의 자석(60), 리니어 모터축(54b)이, 「복수 개의 자석」, 「고정자」의 일례이다. 복수 개의 코일(64), 가동자(62)가, 각각, 「복수 개의 코일」, 「가동자」의 일례이다. 방열 부재(74)가, 「방열 부재」의 일례이다. 제1 구간 S1, 제2 구간 S2가, 각각, 「제1 구간」, 「제2 구간」의 일례이다. 제1 냉각 덕트(80), 제2 냉각 덕트(90)가, 각각, 「제1 냉각 덕트」, 「제2 냉각 덕트」의 일례이다. 송풍기(84a, 84b, 94b)가, 「송풍기」의 일례이다.The mounting device (10), the mounting unit (40), and the linear motor unit (52) are examples of an “mounting device,” an “mounting unit,” and a “linear motor unit,” respectively. The Y-axis direction is an example of a “specific direction.” The plurality of magnets (60) and the linear motor shaft (54b) are examples of “a plurality of magnets” and a “stator.” The plurality of coils (64) and the mover (62) are examples of “a plurality of coils” and a “mover,” respectively. The heat dissipation member (74) is an example of a “heat dissipation member.” The first section S1 and the second section S2 are examples of the “first section” and the “second section,” respectively. The first cooling duct (80) and the second cooling duct (90) are examples of the “first cooling duct” and the “second cooling duct,” respectively. Blowers (84a, 84b, 94b) are examples of “blowers”.
(제2 실시예)(Example 2)
본 실시예는, 냉각 장치(70)의 구성이 다른 점, 및 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량 및 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량의 조정 방법이 다른 점을 제외하고 제1 실시예와 마찬가지이다.This embodiment is similar to the first embodiment except that the configuration of the cooling device (70) is different and the method of adjusting the air volume in the first cooling duct (80) and the air volume in the second cooling duct (90) is different.
(냉각 장치(70)의 구성；도 5)(Composition of cooling device (70)；Fig. 5)
본 실시예의 제1 냉각 덕트(80)는, 분기 덕트(80d)를 구비하지 않고, 개구(80c)가 배기구의 역할을 담당한다. 또, 제1 냉각 덕트(80)에는 1개의 송풍기(84a)가 배치되어 있고, 제2 냉각 덕트(90)에도 1개의 송풍기(94b)가 배치되어 있다.The first cooling duct (80) of the present embodiment does not have a branch duct (80d), and the opening (80c) serves as an exhaust port. In addition, one blower (84a) is arranged in the first cooling duct (80), and one blower (94b) is arranged in the second cooling duct (90).
본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 송풍기(84a)의 특성은, 제2 냉각 덕트(90)의 송풍기(94b)의 특성과 다르다. 여기서, 「특성」은, 예를 들면, 최대 풍량, 최대 정압, 풍량과 정압의 관계를 나타내는 곡선 등이다.In this embodiment, the characteristics of the blower (84a) of the first cooling duct (80) are different from the characteristics of the blower (94b) of the second cooling duct (90). Here, the “characteristics” are, for example, maximum air volume, maximum static pressure, a curve representing the relationship between the air volume and static pressure, etc.
예를 들면, 제2 코일군의 발열량이 제1 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 제2 냉각 덕트(90)의 송풍기(94b)의 특성을 제1 냉각 덕트(80)의 송풍기(84a)의 특성보다 높게 한다. 특성을 높게 하는 것은, 예를 들면, 최대 풍량을 높게 하는 것이다. 이에 의해, 제2 냉각 덕트(90)의 풍량을 제1 냉각 덕트(80)의 풍량보다 크게 하여, 제1 및 제2 코일군을 과부족 없이 냉각할 수가 있다. 또, 반대로, 제1 코일군의 발열량이 제2 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 송풍기(84a)의 특성을 송풍기(94b)의 특성보다 높게 하여, 제1 냉각 덕트(80)의 풍량을 제2 냉각 덕트(90)의 풍량보다 크게 할 수가 있다. 리니어 모터의 복수 개의 코일(64)의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일(64)을 냉각할 수가 있다. 송풍기(84a), 송풍기(94b)가, 각각, 「제1 송풍기」, 「제2 송풍기」의 일례이다.For example, when the calorific value of the second coil group is greater than that of the first coil group, the characteristics of the blower (94b) of the second cooling duct (90) are made higher than those of the blower (84a) of the first cooling duct (80). Making the characteristics higher means, for example, making the maximum air volume higher. As a result, the air volume of the second cooling duct (90) can be made larger than that of the first cooling duct (80), so that the first and second coil groups can be cooled without excess or deficiency. In addition, conversely, when the calorific value of the first coil group is greater than that of the second coil group, the characteristics of the blower (84a) can be made higher than that of the blower (94b), so that the air volume of the first cooling duct (80) can be made larger than that of the second cooling duct (90). When the calorific values of a plurality of coils (64) of the linear motor are not uniform, each coil (64) can be cooled without excess or deficiency. Blower (84a) and blower (94b) are examples of “first blower” and “second blower”, respectively.
(제3 실시예)(Example 3)
본 실시예는, 냉각 장치(70)의 구성이 다른 점, 및 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량 및 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량의 조정 방법이 다른 점을 제외하고, 제2 실시예와 마찬가지이다.This embodiment is similar to the second embodiment, except that the configuration of the cooling device (70) is different, and the method of adjusting the air volume in the first cooling duct (80) and the air volume in the second cooling duct (90) is different.
(냉각 장치(70)의 구성；도 5)(Composition of cooling device (70)；Fig. 5)
본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 송풍기(84a)의 특성은, 제2 냉각 덕트(90)의 송풍기(94b)의 특성과 동일하다. 그러나, 송풍기(84a)에 공급되는 전력이 송풍기(94b)에 공급되는 전력과 다르다.In this embodiment, the characteristics of the blower (84a) of the first cooling duct (80) are the same as the characteristics of the blower (94b) of the second cooling duct (90). However, the power supplied to the blower (84a) is different from the power supplied to the blower (94b).
예를 들면, 제2 코일군의 발열량이 제1 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 제2 냉각 덕트(90)의 송풍기(94b)에 공급하는 전력을 제1 냉각 덕트(80)의 송풍기(84a)에 공급하는 전력보다 높게 한다. 이에 의해, 제2 냉각 덕트(90)의 풍량을 제1 냉각 덕트(80)의 풍량보다 크게 하여, 제1 및 제2 코일군을 과부족 없이 냉각할 수가 있다. 또, 반대로, 제1 코일군의 발열량이 제2 코일군의 발열량보다 큰 경우에는, 송풍기(84a)에 공급하는 전력을 송풍기(94b)에 공급하는 전력보다 높게 하여, 제1 냉각 덕트(80)의 풍량을 제2 냉각 덕트(90)의 풍량보다 크게 할 수가 있다. 리니어 모터의 복수 개의 코일(64)의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일(64)을 냉각할 수가 있다.For example, when the calorific value of the second coil group is greater than that of the first coil group, the power supplied to the blower (94b) of the second cooling duct (90) is made higher than the power supplied to the blower (84a) of the first cooling duct (80). As a result, the air volume of the second cooling duct (90) is made larger than that of the first cooling duct (80), so that the first and second coil groups can be cooled without excess or deficiency. In addition, conversely, when the calorific value of the first coil group is greater than that of the second coil group, the power supplied to the blower (84a) is made higher than that supplied to the blower (94b), so that the air volume of the first cooling duct (80) can be made larger than that of the second cooling duct (90). When the calorific values of the plurality of coils (64) of the linear motor are not uniform, each coil (64) can be cooled without excess or deficiency.
(제4 실시예)(Example 4)
본 실시예는, 복수 개의 코일(64)의 온도를 계측하는 계측부를 구비하는 점을 제외하고, 제3 실시예와 마찬가지이다. 계측부는, 예를 들면, 복수 개의 코일(64)의 각각에 흐르는 전류를 계측하는 센서와, 당해 센서의 계측치에 기초하여 각 코일(64)의 온도를 추정하는 제어 장치(200)를 포함한다. 또한, 변형예에서는, 계측부는 복수 개의 코일(64)의 적어도 1개에 장착되는 온도 센서(예를 들면 열전대)를 포함해도 좋다.This embodiment is similar to the third embodiment, except that it has a measuring unit that measures the temperature of a plurality of coils (64). The measuring unit includes, for example, a sensor that measures the current flowing through each of the plurality of coils (64), and a control device (200) that estimates the temperature of each coil (64) based on the measured value of the sensor. In addition, in a modified example, the measuring unit may include a temperature sensor (for example, a thermocouple) mounted on at least one of the plurality of coils (64).
(냉각 장치(70)의 제어；도 5)(Control of cooling device (70)；Fig. 5)
제어 장치(200)는, 계측부에 의해 출력되는 계측치가, 제1 코일군의 온도가 제2 코일군의 온도보다 높은 것을 나타내는 경우에, 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량이, 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량보다 크게 되도록, 송풍기(84a) 및 송풍기(94b)를 제어한다. 예를 들면, 제어 장치(200)는, 송풍기(84a)를 모드(mode) 「강」으로 동작시키고, 송풍기(94b)를 모드 「약」으로 동작시킨다. 여기서, 모드 「강」은, 모드 「약」보다 높은 전력을 송풍기에 공급하는 모드이다.The control device (200) controls the blower (84a) and the blower (94b) so that the air volume in the first cooling duct (80) becomes larger than the air volume in the second cooling duct (90) when the measured value output by the measuring unit indicates that the temperature of the first coil group is higher than the temperature of the second coil group. For example, the control device (200) operates the blower (84a) in the "strong" mode and operates the blower (94b) in the "weak" mode. Here, the "strong" mode is a mode that supplies higher power to the blower than the "weak" mode.
또, 제어 장치(200)는, 계측부에 의해 출력되는 계측치가, 제2 코일군의 온도가 제1 코일군의 온도보다 높은 것을 나타내는 경우에, 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량이, 제1 냉각 덕트 내의 풍량보다 크게 되도록, 송풍기(84a) 및 송풍기(94b)를 제어한다. 예를 들면, 제어 장치(200)는, 송풍기(94a)를 모드 「강」으로 동작시키고, 송풍기(84b)를 모드 「약」으로 동작시킨다.In addition, the control device (200) controls the blower (84a) and the blower (94b) so that the air volume in the second cooling duct (90) becomes larger than the air volume in the first cooling duct when the measured value output by the measuring unit indicates that the temperature of the second coil group is higher than the temperature of the first coil group. For example, the control device (200) operates the blower (94a) in the “strong” mode and operates the blower (84b) in the “weak” mode.
본 실시예에서도, 리니어 모터의 복수 개의 코일(64)의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서, 과부족 없이 각 코일(64)을 냉각할 수가 있다. 특히, 복수 개의 코일(64)의 실제의 온도에 기초하여, 냉각 덕트(76) 내의 풍량을 조정할 수가 있다. 제어 장치(200)가 「제어 장치」의 일례이다.In this embodiment as well, in the case where the heat generation amount of the plurality of coils (64) of the linear motor is not uniform, each coil (64) can be cooled without excess or deficiency. In particular, the air volume in the cooling duct (76) can be adjusted based on the actual temperature of the plurality of coils (64). The control device (200) is an example of a “control device”.
(제5 실시예)(Example 5)
본 실시예는, 냉각 장치(70)의 구성이 다른 점, 및 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량 및 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량의 조정 방법이 다른 점을 제외하고, 제1 실시예와 마찬가지이다.This embodiment is similar to the first embodiment, except that the configuration of the cooling device (70) is different, and the method of adjusting the air volume in the first cooling duct (80) and the air volume in the second cooling duct (90) is different.
(냉각 장치(70)의 구성；도 6)(Composition of cooling device (70)；Fig. 6)
본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 Y축 정 방향의 단부에 있어서, 격리벽(100)과 인접하는 위치에, Z축 정 방향으로 개구하는 흡기구(80a)가 형성되어 있다. 제1 냉각 덕트(80)의 Y축 부 방향의 단부에는, Y축 부 방향으로 개구하는 배기구(80b)가 형성되어 있다. 또한, 흡기구(80a)가 형성되어 있는 방향은, Z축 정 방향에 한정하지 않고, 예를 들면, X축 부 방향이라도 좋다. 또, 제2 냉각 덕트(90)의 흡기구(90a) 및 배기구(90b)의 위치 관계에 대해, 본 실시예는 제1 실시예와 마찬가지이다.In this embodiment, at the Y-axis positive end of the first cooling duct (80), an intake port (80a) that opens in the Z-axis positive direction is formed at a position adjacent to the isolation wall (100). At the Y-axis negative end of the first cooling duct (80), an exhaust port (80b) that opens in the Y-axis negative direction is formed. Furthermore, the direction in which the intake port (80a) is formed is not limited to the Z-axis positive direction, and may be, for example, the X-axis negative direction. Furthermore, with respect to the positional relationship between the intake port (90a) and the exhaust port (90b) of the second cooling duct (90), this embodiment is the same as the first embodiment.
본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 송풍기(84a)는, 격리벽(100) 근방의 흡기구(80a)에 배치되고, 배기구(80b)에는 송풍기는 배치되어 있지 않다. 또, 제2 냉각 덕트(90)의 송풍기(94a)는, 격리벽(100) 근방의 흡기구(90a)에 배치되고, 배기구(90b)에는 송풍기는 배치되어 있지 않다. 본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80) 및 제2 냉각 덕트(90) 모두, 격리벽(100)의 근방으로부터 흡기하고, 서로 반대 방향으로 배기한다.In this embodiment, the blower (84a) of the first cooling duct (80) is arranged at the intake port (80a) near the isolation wall (100), and no blower is arranged at the exhaust port (80b). In addition, the blower (94a) of the second cooling duct (90) is arranged at the intake port (90a) near the isolation wall (100), and no blower is arranged at the exhaust port (90b). In this embodiment, both the first cooling duct (80) and the second cooling duct (90) intake air from near the isolation wall (100) and exhaust air in opposite directions.
본 실시예에 있어서, 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량 및 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량의 조정 방법은, 제2 실시예와 마찬가지이다. 본 실시예에서도, 제2 실시예와 마찬가지로, 리니어 모터의 복수 개의 코일(64)의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일(64)을 냉각할 수가 있다. 또한, 변형예에서는, 본 실시예의 조정 방법은, 제3 실시예 또는 제4 실시예와 마찬가지라도 좋다.In this embodiment, the method for adjusting the air volume in the first cooling duct (80) and the air volume in the second cooling duct (90) is the same as in the second embodiment. In this embodiment as well, when the heat generation amount of the plurality of coils (64) of the linear motor is not uniform, each coil (64) can be cooled without excess or deficiency. In addition, in a modified example, the adjustment method of this embodiment may be the same as in the third or fourth embodiment.
(제6 실시예)(Example 6)
본 실시예는, 냉각 장치(70)의 구성이 다른 점, 및 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량 및 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량의 조정 방법이 다른 점을 제외하고, 제1 실시예와 마찬가지이다.This embodiment is similar to the first embodiment, except that the configuration of the cooling device (70) is different, and the method of adjusting the air volume in the first cooling duct (80) and the air volume in the second cooling duct (90) is different.
(냉각 장치(70)의 구성；도 7)(Composition of cooling device (70)；Fig. 7)
본 실시예의 제1 냉각 덕트(80)는, 제2 실시예와 마찬가지로, 분기 덕트(80d)를 구비하지 않고, 개구(80c)가 배기구의 역할을 담당한다. 도 7에 나타내듯이, 본 실시예의 제1 냉각 덕트(80)의 단면적은, 제2 냉각 덕트(90)의 단면적보다 크다. 또한, 변형예에서는, 본 실시예의 제2 냉각 덕트(90)의 단면적은, 제1 냉각 덕트(80)의 단면적보다 크게 해도 좋다.The first cooling duct (80) of the present embodiment, like the second embodiment, does not have a branch duct (80d), and the opening (80c) serves as an exhaust port. As shown in Fig. 7, the cross-sectional area of the first cooling duct (80) of the present embodiment is larger than the cross-sectional area of the second cooling duct (90). In addition, in a modified example, the cross-sectional area of the second cooling duct (90) of the present embodiment may be larger than the cross-sectional area of the first cooling duct (80).
또, 본 실시예에서는, 제2 실시예와 마찬가지로, 제1 냉각 덕트(80)에 1개의 송풍기(84a)가 배치되어 있고, 제2 냉각 덕트(90)에 1개의 송풍기(94b)가 배치되어 있다. 본 실시예에서는, 송풍기(84a)의 특성은, 송풍기(94b)의 특성과 동일해도 좋고, 달라도 좋다. 예를 들면, 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍속과 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍속이 동일하게 되도록, 송풍기(84a) 및 송풍기(94b)가 선정된다.In addition, in this embodiment, as in the second embodiment, one blower (84a) is arranged in the first cooling duct (80), and one blower (94b) is arranged in the second cooling duct (90). In this embodiment, the characteristics of the blower (84a) may be the same as or different from the characteristics of the blower (94b). For example, the blower (84a) and the blower (94b) are selected so that the wind speed in the first cooling duct (80) and the wind speed in the second cooling duct (90) become the same.
본 실시예에서는, 제1 냉각 덕트(80)의 단면적이 제2 냉각 덕트(90)의 단면적보다 큼으로써 , 제1 냉각 덕트(80) 내의 풍량이 제2 냉각 덕트(90) 내의 풍량보다 크다. 본 실시예에서도, 제2 실시예와 마찬가지로, 리니어 모터의 복수 개의 코일(64)의 발열량이 고르지 않은 경우에 있어서 과부족 없이 각 코일(64)을 냉각할 수가 있다. 또한, 단면적을 넓히면, 풍속을 크게 하지 않아도 풍량을 크게 할 수가 있다. 풍속을 크게 하지 않는 것은 정음(靜音)화에 기여할 수 있다.In this embodiment, since the cross-sectional area of the first cooling duct (80) is larger than the cross-sectional area of the second cooling duct (90), the air volume within the first cooling duct (80) is larger than the air volume within the second cooling duct (90). In this embodiment as well, as in the second embodiment, when the heat generation amounts of the plurality of coils (64) of the linear motor are not uniform, each coil (64) can be cooled without excess or deficiency. In addition, by increasing the cross-sectional area, the air volume can be increased without increasing the wind speed. Not increasing the wind speed can contribute to quietening.
실시예로 설명한 리니어 모터 유닛 및 실장기에 관한 유의점을 기술한다. 제1 실시예에 있어서, 제1 냉각 덕트(80)는, 분기 덕트(80d)를 구비하지 않아도 좋고, 개구(80c)에 송풍기(84b)가 배치되어 있어도 좋다.Points to note regarding the linear motor unit and mounting device described in the embodiment are described. In the first embodiment, the first cooling duct (80) may not be provided with a branch duct (80d), and a blower (84b) may be arranged in the opening (80c).
또, 본 명세서 또는 도면에 설명한 기술 요소는, 단독으로 혹은 각종의 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이고, 출원시 청구항 기재의 조합에 한정되는 것은 아니다. 또, 본 명세서 또는 도면에 예시한 기술은 복수 목적을 동시에 달성하는 것이고, 그 중의 하나의 목적을 달성하는 것 자체로 기술적 유용성을 가지는 것이다.In addition, the technical elements described in this specification or drawings demonstrate technical utility alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of application. In addition, the technology exemplified in this specification or drawings achieves multiple purposes simultaneously, and has technical utility by itself by achieving one of the purposes.
10 : 실장기
20 : 부품 피더(feeder)
30 : 기판 반송 장치
32 : 기판 지지 장치
40 : 실장 유닛
42 : 노즐(nozzle)
50 : 직동 유닛
52 : 리니어 모터 유닛(linear motor unit)
54 : 고정 유닛
54a : 가이드 레일(guide rail)
54b : 리니어 모터축
56 : 가동 유닛
56a : 베이스 플레이트(base plate)
56b : 가이드
60 : 자석
62 : 가동자
64 : 코일(coil)
70 : 냉각 장치
74 : 방열 부재
76 : 냉각 덕트(duct)
80 : 제1 냉각 덕트
80a : 흡기구
80b : 배기구
80c : 개구
80d : 분기 덕트
82 : 제1 방열 부재군
84a : 송풍기
84b : 송풍기
90 : 제2 냉각 덕트
90a : 흡기구
90b : 배기구
92 : 제2 방열 부재군
94a : 송풍기
94b : 송풍기
100 : 격리벽
200 : 제어 장치
S1 : 제1 구간
S2 : 제2 구간10: Mounting machine 20: Parts feeder
30: Substrate return device 32: Substrate support device
40: Mounting unit 42: Nozzle
50 : Direct drive unit
52: Linear motor unit
54 : Fixed Unit
54a : Guide rail
54b: Linear motor shaft 56: Moving unit
56a : Base plate
56b : Guide 60 : Magnet
62: actuator 64: coil
70: Cooling device 74: Heat dissipation member
76: Cooling duct 80: First cooling duct
80a: intake 80b: exhaust
80c: Opening 80d: Branch duct
82: 1st heat dissipation member group
84a : Blower 84b : Blower
90: Second cooling duct
90a: Intake 90b: Exhaust
92: Second heat dissipation absence group
94a : Blower 94b : Blower
100 : Isolation wall 200 : Control device
S1: Section 1 S2: Section 2
Claims (7)
상기 고정자의 외측에 감겨 있는 복수 개의 코일을 상기 특정의 방향을 따라 연결한 가동자와,
상기 복수 개의 코일의 각각에 접속되어 있는 방열 부재와,
상기 복수 개의 코일 중, 제1 구간에 있어서 연결하고 있는 제1 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제1 냉각 덕트와,
상기 복수 개의 코일 중, 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간에 있어서 연결하고 있는 제2 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제2 냉각 덕트를 구비하고,
상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량은, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다른 리니어 모터 유닛.A stator with multiple magnets connected along a specific direction,
A movable member having a plurality of coils wound on the outside of the stator and connected along the specific direction,
A heat dissipation member connected to each of the above plurality of coils,
A first cooling duct that accommodates the heat dissipation member connected to each of the first coil groups connected in the first section among the above plurality of coils,
Among the plurality of coils, a second cooling duct is provided for accommodating the heat dissipation member connected to each of the second coil groups connected in the second section adjacent to the first section,
A linear motor unit in which the air volume of the gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of the gas passing through the second cooling duct.
상기 리니어 모터 유닛은,
상기 제1 냉각 덕트의 흡기구와, 상기 제1 냉각 덕트의 배기구의 각각에 배치되어 있는 송풍기와,
상기 제2 냉각 덕트의 흡기구 및 상기 제2 냉각 덕트의 배기구의 일방에 배치되어 있는 송풍기를 구비하고,
상기 제2 냉각 덕트의 상기 흡기구 및 상기 제2 냉각 덕트의 상기 배기구의 타방에는 송풍기는 배치되어 있지 않고,
상기 제1 냉각 덕트에 2개의 상기 송풍기가 배치되어 있음과 아울러, 상기 제2 냉각 덕트에 1개의 상기 송풍기가 배치되어 있음으로써, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량보다 큰 리니어 모터 유닛.In the first paragraph,
The above linear motor unit,
A blower arranged in each of the intake port of the first cooling duct and the exhaust port of the first cooling duct,
A blower is provided on one side of the intake port of the second cooling duct and the exhaust port of the second cooling duct,
No blower is arranged on the other side of the intake port of the second cooling duct and the exhaust port of the second cooling duct.
A linear motor unit in which two of the above blowers are arranged in the above first cooling duct and one of the above blowers is arranged in the above second cooling duct, so that the air volume of gas passing through the first cooling duct is greater than the air volume of gas passing through the above second cooling duct.
상기 리니어 모터 유닛은,
상기 제1 냉각 덕트에 배치되어 있는 제1 송풍기와,
상기 제2 냉각 덕트에 배치되어 있는 제2 송풍기를 구비하고,
상기 제1 송풍기의 특성이 상기 제2 송풍기의 특성과 다름으로써, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다른 리니어 모터 유닛.In the first paragraph,
The above linear motor unit,
A first blower arranged in the first cooling duct,
Equipped with a second blower arranged in the second cooling duct,
A linear motor unit in which the characteristics of the first blower are different from the characteristics of the second blower, so that the air volume of gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of gas passing through the second cooling duct.
상기 리니어 모터 유닛은,
상기 제1 냉각 덕트에 배치되어 있는 제1 송풍기와,
상기 제2 냉각 덕트에 배치되어 있는 제2 송풍기를 구비하고,
상기 제1 송풍기의 특성은, 상기 제2 송풍기의 특성과 동일하고,
상기 제1 송풍기에 공급되는 전력이 상기 제2 송풍기에 공급되는 전력과 다름으로써, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다른 리니어 모터 유닛.In the first paragraph,
The above linear motor unit,
A first blower arranged in the first cooling duct,
Equipped with a second blower arranged in the second cooling duct,
The characteristics of the above first blower are identical to the characteristics of the above second blower,
A linear motor unit in which the power supplied to the first blower is different from the power supplied to the second blower, so that the air volume of the gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of the gas passing through the second cooling duct.
상기 리니어 모터 유닛은,
상기 복수 개의 코일의 온도를 계측하는 계측부와,
상기 제1 냉각 덕트에 배치되어 있는 제1 송풍기와,
상기 제2 냉각 덕트에 배치되어 있는 제2 송풍기와,
상기 제1 송풍기와 상기 제2 송풍기를 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 제어 장치는, 상기 계측부에 의해 출력되는 계측치가, 상기 제1 코일군의 온도가 상기 제2 코일군의 온도보다 높은 것을 나타내는 경우에, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량보다 크게 되도록, 상기 제1 송풍기 및 상기 제2 송풍기를 제어하고,
상기 제어 장치는, 상기 계측부에 의해 출력되는 계측치가, 상기 제2 코일군의 온도가 상기 제1 코일군의 온도보다 높은 것을 나타내는 경우에, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량보다 크게 되도록, 상기 제1 송풍기 및 상기 제2 송풍기를 제어하는 리니어 모터 유닛.In the first paragraph,
The above linear motor unit,
A measuring unit for measuring the temperature of the above plurality of coils,
A first blower arranged in the first cooling duct,
A second blower arranged in the second cooling duct,
A control device for controlling the first blower and the second blower is provided,
The control device controls the first blower and the second blower so that the air volume of the gas passing through the first cooling duct becomes greater than the air volume of the gas passing through the second cooling duct when the measured value output by the measuring unit indicates that the temperature of the first coil group is higher than the temperature of the second coil group.
The control device is a linear motor unit that controls the first blower and the second blower so that the air volume of the gas passing through the second cooling duct becomes greater than the air volume of the gas passing through the first cooling duct when the measured value output by the measuring unit indicates that the temperature of the second coil group is higher than the temperature of the first coil group.
상기 제1 냉각 덕트의 단면적이 상기 제2 냉각 덕트의 단면적과 다름으로써, 상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량이, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다른 리니어 모터 유닛.In the first paragraph,
A linear motor unit in which the cross-sectional area of the first cooling duct is different from the cross-sectional area of the second cooling duct, so that the air volume of the gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of the gas passing through the second cooling duct.
상기 실장 유닛을 직선적으로 이동시키는 리니어 모터 유닛을 구비하고,
상기 리니어 모터 유닛은,
복수 개의 자석을 특정의 방향을 따라 연결한 고정자와,
상기 고정자의 외측에 감겨 있는 복수 개의 코일을 상기 특정의 방향을 따라 연결한 가동자와,
상기 복수 개의 코일의 각각에 접속되어 있는 방열 부재와,
상기 복수 개의 코일 중, 제1 구간에 있어서 연결하고 있는 제1 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제1 냉각 덕트와,
상기 복수 개의 코일 중, 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간에 있어서 연결하고 있는 제2 코일군의 각각에 접속되어 있는 상기 방열 부재를 수용하는 제2 냉각 덕트를 구비하고,
상기 제1 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량은, 상기 제2 냉각 덕트 내를 통과하는 기체의 풍량과 다른 실장기.
A mounting unit that mounts components on a substrate,
Equipped with a linear motor unit that moves the above-mentioned mounting unit linearly,
The above linear motor unit,
A stator with multiple magnets connected along a specific direction,
A movable member having a plurality of coils wound on the outside of the stator and connected along the specific direction,
A heat dissipation member connected to each of the above plurality of coils,
A first cooling duct that accommodates the heat dissipation member connected to each of the first coil groups connected in the first section among the above plurality of coils,
Among the plurality of coils, a second cooling duct is provided for accommodating the heat dissipation member connected to each of the second coil groups connected in the second section adjacent to the first section,
The air volume of the gas passing through the first cooling duct is different from the air volume of the gas passing through the second cooling duct.
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Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20240507 |
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