KR20240078006A - Magnetic Fluid Seal and Sealing apparatus including the same - Google Patents

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KR20240078006A
KR20240078006A KR1020220160516A KR20220160516A KR20240078006A KR 20240078006 A KR20240078006 A KR 20240078006A KR 1020220160516 A KR1020220160516 A KR 1020220160516A KR 20220160516 A KR20220160516 A KR 20220160516A KR 20240078006 A KR20240078006 A KR 20240078006A
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곽용운
홍정희
전제인
이길호
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마그넥스 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치는 가스 주입부가 형성된 하우징, 하우징에 결합되는 폴피스 및 상기 하우징의 일측에 구비되고, 상기 하우징과 사이에 상기 가스 주입구와 연통되는 제1유로를 형성하고, 상기 폴피스와 사이에 상기 제1유로와 연통되는 제2유로를 형성하는 제1유로형성부재를 포함한다. A sealing device including a magnetic fluid seal according to an embodiment of the present invention includes a housing in which a gas injection portion is formed, a pole piece coupled to the housing, and a second agent provided on one side of the housing and communicating with the gas inlet between the housing. It includes a first flow path forming member that forms one flow path and forms a second flow path communicating with the first flow path between the pole pieces.

Description

자성유체씰 및 이를 포함하는 밀봉장치{Magnetic Fluid Seal and Sealing apparatus including the same}Magnetic fluid seal and sealing apparatus including the same}

본 발명은 진공챔버와 자성유체씰 사이를 효과적으로 차단할 수 있는 차단가스 유동경로를 제공하는 자성유체씰 및 이를 포함하는 밀봉장치에 관한 것이다. The present invention relates to a magnetic fluid seal that provides a blocking gas flow path that can effectively block a vacuum chamber and a magnetic fluid seal, and a sealing device including the same.

진공상태가 유지되어야 하는 다양한 종류의 진공장비에 동력을 전달하기 위한 장비들에 있어서, 기존의 오링 등 기계적 방식의 실링 기술의 단점을 해결하기 위하여 자성유체씰이 사용되고 있다. In equipment to transmit power to various types of vacuum equipment that must maintain a vacuum state, magnetic fluid seals are used to solve the shortcomings of mechanical sealing technologies such as existing O-rings.

이 경우 자성유체가 진공챔버에서의 공정과정에서 발생하는 열, 공정가스, 파우더 등의 이물질 등에 직접 노출이 되게 된다. 따라서 자성유체가 열화 또는 오염이 발생하여 밀봉 성능이 저하되는 문제점이 있었다.In this case, the magnetic fluid is directly exposed to foreign substances such as heat, process gas, and powder generated during the process in the vacuum chamber. Therefore, there was a problem in that the magnetic fluid deteriorated or became contaminated and the sealing performance deteriorated.

또한, 진공측 및 대기측의 압력 차이에 의하여 장기간 사용시 자성유체의 유실이 발생하여 밀봉성능이 저하된다는 문제점도 있었다. In addition, there was a problem that the magnetic fluid was lost during long-term use due to the pressure difference between the vacuum side and the atmospheric side, and the sealing performance deteriorated.

이를 방지하기 위하여 가스를 이용하여 자성유체가 상기 열, 공정가스, 이물질 등과 직접 접촉하는 것을 방지하기 위한 다양한 시도가 있었다.To prevent this, various attempts have been made to prevent the magnetic fluid from directly contacting the heat, process gas, foreign substances, etc. using gas.

대한민국 공개특허공보 제10-2018-0053940호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0053940

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 자성유체의 열화 또는 이물질 유입에 따른 오염을 최소화할 수 있는 자성유체씰 및 이를 포함하는 밀봉장치를 제공하는데 있다.The present invention is intended to solve the above problems and provides a magnetic fluid seal and a sealing device including the same that can minimize contamination due to the deterioration of the magnetic fluid or the inflow of foreign substances.

본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the attached drawings. .

상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치는 가스 주입부가 형성된 하우징, 하우징에 결합되는 폴피스 및 상기 하우징의 일측에 구비되고, 상기 하우징과 사이에 상기 가스 주입구와 연통되는 제1유로를 형성하고, 상기 폴피스와 사이에 상기 제1유로와 연통되는 제2유로를 형성하는 제1유로형성부재를 포함한다.A sealing device including a magnetic fluid seal of the present invention for solving the above problems includes a housing in which a gas injection portion is formed, a pole piece coupled to the housing, and a pole piece coupled to the housing, which is provided on one side of the housing and communicates with the gas inlet between the housing and the magnetic fluid seal. It includes a first flow path forming member forming a first flow path and forming a second flow path communicating with the first flow path between the pole pieces.

상기 제1유로형성부재의 하우징와 대향하는 면에는 가스의 유동을 안내하는 제1유동홈이 형성될 수 있다. A first flow groove that guides the flow of gas may be formed on a surface of the first flow path forming member facing the housing.

상기 폴피스에는 상기 제1유동홈과 연통되는 유동홀이 형성될 수 있다. A flow hole communicating with the first flow groove may be formed in the pole piece.

상기 제1유로형성부재의 상기 폴피스와 대향하는 면에는 가스의 유동을 안내하는 제2유동홈이 형성되는 자성유체씰을 포함할 수 있다. The surface of the first flow path forming member facing the pole piece may include a magnetic fluid seal in which a second flow groove is formed to guide the flow of gas.

상기 폴피스에는 상기 제2유동홀과 연통되는 유동홀이 형성될 수 있다. 상기 폴피스에는 가스가 유동하는 유동홀이 형성될 수 있다. A flow hole communicating with the second flow hole may be formed in the pole piece. A flow hole through which gas flows may be formed in the pole piece.

상기 폴피스에는 상기 제2유로에서 공급되는 가스를 상기 제3유로로 배출하는 제5유로가 형성될 수 있다. A fifth passage may be formed in the pole piece to discharge the gas supplied from the second passage to the third passage.

상기 하우징에 설치되고, 상기 제1유로형성부재의 일측에 구비되고, 상기 폴피스와 사이에 상기 제2유로와 연통되는 제3유로를 형성하고, 상기 제1유로형성부재와 사이에 상기 제3유로와 연통되는 제4유로를 형성하는 제2유로형성부재를 포함하는 회전축을 더 포함할 수 있다. It is installed in the housing, is provided on one side of the first flow path forming member, and forms a third flow path communicating with the second flow path between the pole pieces, and the third flow path is provided between the first flow path forming member and the third flow path. It may further include a rotating shaft including a second flow path forming member forming a fourth flow path in communication with the flow path.

그리고 본 발명의 밀봉장치에 적용되는 자성유체씰은 하우징 내부로 가스를 공급하기 위한 가스주입구가 형성된 하우징을 포함하는 밀봉장치의 내부에 구비되는 자성유체씰에 있어서, 회전축, 상기 회전축을 둘러싸도록 배치되고, 상기 가스주입부에서 유입되는 가스가 유동하는 유동홀이 형성된 폴피스, 상기 회전축 및 상기 폴피스 중 어느 하나에 상기 회전축을 둘러싸도록 링 형태로 형성되는 링형돌기 및 상기 링형돌기의 끝단 및 상기 회전축 또는 폴피스 사이에 배치되는 자성유체를 포함한다. And the magnetic fluid seal applied to the sealing device of the present invention is a magnetic fluid seal provided inside a sealing device including a housing with a gas inlet for supplying gas into the housing, and is disposed to surround a rotating shaft and the rotating shaft. A pole piece having a flow hole through which the gas flowing in from the gas injection unit flows, a ring-shaped protrusion formed in a ring shape to surround the rotating shaft on any one of the rotating shaft and the pole piece, an end of the ring-shaped protruding, and the It includes a magnetic fluid disposed between the rotating shaft or pole pieces.

본 발명의 일 실시예에 따른 자성유체실을 포함하는 밀봉장치는 하우징, 제1유로형성부재, 제2유로형성부재, 폴피스의 구조 및 배치를 이용하여 진공영역에서 발생하는 가스 또는 이물질과 자성유체를 효과적으로 차단하고, 나아가 자성유체 또는 폴피스 냉각 효율을 높일 수 있다는 효과가 있다. A sealing device including a magnetic fluid chamber according to an embodiment of the present invention uses the structure and arrangement of the housing, the first flow path forming member, the second flow path forming member, and the pole piece to separate gas or foreign substances and magnetism generated in the vacuum area. It has the effect of effectively blocking the fluid and further increasing the cooling efficiency of the magnetic fluid or pole piece.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects described above, and effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the attached drawings.

도1은 본 발명의 일실시예의 밀봉장치의 사시도;
도2는 본 발명의 일실시예의 밀봉장치의 분해사시도;
도3은 본 발명의 일실시예의 제1유로형성부재의 일면을 나타내는 사시도;
도4는 본 발명의 일실시예의 폴피스를 나타내는 사시도;
도5는 본 발명의 일실시예의 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치의 단면을 나타내는 도면;
도6은 도5의 일부분을 확대한 도면.1 is a perspective view of a sealing device of one embodiment of the present invention;
Figure 2 is an exploded perspective view of a sealing device of one embodiment of the present invention;
Figure 3 is a perspective view showing one side of the first flow path forming member of one embodiment of the present invention;
Figure 4 is a perspective view showing a pole piece of one embodiment of the present invention;
Figure 5 is a cross-sectional view of a sealing device including a magnetic fluid seal of one embodiment of the present invention;
Figure 6 is an enlarged view of a portion of Figure 5.

도1는 본 발명의 일실시예의 밀봉장치의 사시도, 도2는 본 발명의 일실시예의 밀봉장치의 분해사시도, 도3은 본 발명의 일실시예의 제1유로형성부재의 일면을 나타내는 사시도, 도4는 본 발명의 일실시예의 폴피스를 나타내는 사시도이다. Figure 1 is a perspective view of a sealing device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of a sealing device according to an embodiment of the present invention, and Figure 3 is a perspective view showing one side of a first flow path forming member according to an embodiment of the present invention. 4 is a perspective view showing the pole piece of one embodiment of the present invention.

도1 내지 도4를 참조하면, 본 발명의 밀봉장치는 반도체, LCD, OLED, 태양광 산업 관련 다양한 진공장비에 적용이 되고, 진공측과 대기측의 밀봉을 유지하면서 동력을 효과적으로 전달하기 위한 부품이다. Referring to Figures 1 to 4, the sealing device of the present invention is applied to various vacuum equipment related to the semiconductor, LCD, OLED, and solar industries, and is a component for effectively transmitting power while maintaining sealing between the vacuum side and the atmospheric side. am.

본 발명의 밀봉장치는 하우징(10), 폴피스(20), 제1유로형성부재(30), 회전축(40)을 포함한다. 그리고 상기의 구성을 제외한 기타 구성은 공지의 자성유체씰 또는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치의 구조 및 부품 등이 다양하게 적용될 수 있을 것이다. The sealing device of the present invention includes a housing 10, a pole piece 20, a first flow path forming member 30, and a rotating shaft 40. In addition, other configurations other than the above configuration may be variously applied to known magnetic fluid seals or structures and parts of sealing devices including magnetic fluid seals.

하우징(10)은 밀봉장치의 외관을 형성하고, 내부에 회전축(40)이 수용될 수 있는 공간이 형성된다. The housing 10 forms the exterior of the sealing device, and a space in which the rotating shaft 40 can be accommodated is formed therein.

하우징(10)에는 가스주입부(11)가 형성된다. 가스주입부(11)로는 진공측의 고온의 가스, 파우더 등이 자성유체와 접촉하는 것을 방지하기 위한 차단가스가 공급된다. 차단가스는 다양한 종류의 가스가 적용될 수 있고, 본 실시예에서는 N2가스가 적용된다. A gas injection portion 11 is formed in the housing 10. A blocking gas is supplied to the gas injection unit 11 to prevent high-temperature gas, powder, etc. on the vacuum side from contacting the magnetic fluid. Various types of gases can be applied as the blocking gas, and in this embodiment, N2 gas is applied.

폴피스(20)는 하우징(10)의 내부의 회전축(40)을 둘러싸도록 구비되고, 폴피스(20)와 회전축(40) 사이에는 자성유체가 구비되어 진공측과 대기측을 밀봉시키게 된다. 한편 폴피스(20)의 내측에는 영구자석 등이 구비될 수 있고, 공지의 다양한 자성유체씰의 구성 또는 구조가 채택될 수 있을 것이다. 예를 들어 도5 및 도6에 도시된 것과 같이 영구자석(2) 및 또 다른 폴피스(3)가 구비될 수 있을 것이다. 그리고 폴피스(20)와 회전축 중 어느 하나에는 링형돌기(20a)가 형성될 수 있고, 링형돌기의 끝단(20a)과 회전축(40) 또는 폴피스(20) 사이에는 자성유체(M)이 구비될 수 있다. The pole piece 20 is provided to surround the rotating shaft 40 inside the housing 10, and a magnetic fluid is provided between the pole piece 20 and the rotating shaft 40 to seal the vacuum side and the atmospheric side. Meanwhile, a permanent magnet, etc. may be provided inside the pole piece 20, and various known configurations or structures of magnetic fluid seals may be adopted. For example, a permanent magnet 2 and another pole piece 3 may be provided as shown in FIGS. 5 and 6. In addition, a ring-shaped protrusion (20a) may be formed on either the pole piece (20) or the rotation shaft, and a magnetic fluid (M) may be provided between the end (20a) of the ring-shaped protrusion and the rotation shaft (40) or the pole piece (20). It can be.

폴피스(20)에는 제1돌출부(21) 및 제2돌출부(22)가 형성된다. 구체적으로 본 실시예에서의 제1돌출부(21) 및 제2돌출부(22)는 회전축(40)이 끼워질 수 있도록 중공 구조로 영구자석(2) 반대편 외측에 돌출 형성된다. A first protrusion 21 and a second protrusion 22 are formed on the pole piece 20. Specifically, in this embodiment, the first protrusion 21 and the second protrusion 22 are formed to protrude on the outside opposite the permanent magnet 2 in a hollow structure so that the rotation shaft 40 can be inserted.

제1돌출부(21)에는 후술하는 차단가스가 유동하는 유동홀(21a)이 형성된다. 유동홀(21a)의 개수는 제한이 없고, 본 실시예에서는 후술하는 제1유로형성부재(30) 에 형성되는 유동홈(31)의 개수와 동일하게 6개의 유동홀(21a)이 회전축의 방사방향으로 일정간격 이격되어 형성된다. A flow hole 21a through which a blocking gas described later flows is formed in the first protrusion 21. There is no limit to the number of flow holes (21a), and in this embodiment, six flow holes (21a) are radiated from the rotation axis, the same as the number of flow grooves (31) formed in the first flow path forming member 30, which will be described later. They are formed at regular intervals in each direction.

제2돌출부(22)는 제1돌출부(21)에 연장 형성되고, 제1돌출부(22)보다 큰 직경을 가지도록 형성된다. 따라서 폴피스(20)의 외측면과 제2돌출부(22)의 내측면 사이에 공간(21b)이 형성되고, 유동홈(31)에서 배출된 차단가스는 상기 공간(21b)를 통과하여 유동홀(21a)로 유입되게 된다. 따라서 차단가스가 폴피스(20)와 접촉하는 면적 및 시간을 확보하여 차단가스로 인한 폴피스(20)의 냉각효과를 증대시킬 수 있다. The second protrusion 22 extends from the first protrusion 21 and is formed to have a larger diameter than the first protrusion 22. Accordingly, a space 21b is formed between the outer surface of the pole piece 20 and the inner surface of the second protrusion 22, and the blocking gas discharged from the flow groove 31 passes through the space 21b and flows into the flow hole. It flows into (21a). Therefore, the cooling effect of the pole piece 20 due to the blocking gas can be increased by securing the area and time for which the blocking gas is in contact with the pole piece 20.

제1유로형성부재(30)는 하우징(10)이 일측에 구비되고, 하우징(10)과 사이에 제1유로(a, 도6 참조)를 형성하고, 폴피스(20)와 사이에 제1유로(a)와 연통된 제2유로(b)를 형성한다.The first flow path forming member 30 has a housing 10 on one side, forms a first flow path (a, see Figure 6) between the housing 10, and has a first flow path between the pole piece 20 and the pole piece 20. A second flow path (b) is formed in communication with the flow path (a).

제1유로형성부재(30) 역시 회전축(40)를 둘러싸도록 형성된다. 그리고 하우징(10)의 일부 및 하우징(10)에 배치되는 폴피스(20)와 대향하도록 구비되어, 하우징(10)과 사이에 제1유로(a), 폴피스(20)와 사이에 제2유로(b)를 형성한다. The first flow path forming member 30 is also formed to surround the rotation axis 40. And it is provided to face a portion of the housing 10 and the pole piece 20 disposed in the housing 10, with a first flow path (a) between the housing 10 and a second passage (a) between the pole piece 20 and the housing 10. Form a flow path (b).

즉, 가스주입부(11)에서 공급되는 차단가스는 제1유로(a) 및 제2유로(b)를 경유하여 폴피스(20)와 제2돌출부(22) 사이의 공간(21b)으로 유동하게 된다. That is, the blocking gas supplied from the gas injection unit 11 flows into the space 21b between the pole piece 20 and the second protrusion 22 via the first flow path (a) and the second flow path (b). I do it.

제1유로형성부재(30)의 하우징(10) 및 폴피스(20)와 대향하는 면에는 유동홈(31)이 함몰 형성된다. 유동홈(31)의 형상 및 개수는 제한이 없고 본 실시예에서는 회전축(40)을 중심으로 방사형으로 6개의 유동홈(31)이 형성된다. A flow groove 31 is recessed on the surface of the first flow path forming member 30 facing the housing 10 and the pole piece 20. The shape and number of flow grooves 31 are not limited, and in this embodiment, six flow grooves 31 are formed radially around the rotation axis 40.

유동홈(31)는 하우징(10)과 대향하는 부분에만 형성되거나, 폴피스(20)와 대향하는 부분에만 형성될 수 있다. 구체적으로 본 실시예에서의 유동홈(31)는 하우징(10) 및 폴피스(20)와 대향하는 부분에 형성된다. 즉, 함몰홈(31)은 하우징(10)과 대향하는 부분에 형성된 제1유동홈(31a)와 폴피스(20)와 대향하는 부분에 형성된 제2유동홈(31b)로 구획될 수 있다. The flow groove 31 may be formed only in a portion facing the housing 10 or may be formed only in a portion facing the pole piece 20. Specifically, the flow groove 31 in this embodiment is formed in a portion opposite to the housing 10 and the pole piece 20. That is, the depressed groove 31 may be divided into a first flow groove 31a formed in a portion facing the housing 10 and a second flow groove 31b formed in a portion facing the pole piece 20.

회전축(40)은 하우징(10)에 설치되어, 공급되는 동력에 의하여 회전을 하는 구성이다. 본 발명의 회전축(40)은 제2유로형성부재(41)를 포함하고, 제2유로형성부재(41)는 제1유로형성부재(30)의 일측에 구비되고, 폴피스(20)와 사이에 제2유로(b)와 연통되는 제3유로(c)를 형성하고, 제1유로형성부재(30)와 사이에 제3유로(c)와 연통되는 제4유로(d)를 형성하도록 구성된다. The rotating shaft 40 is installed in the housing 10 and rotates by supplied power. The rotating shaft 40 of the present invention includes a second flow path forming member 41, and the second flow path forming member 41 is provided on one side of the first flow path forming member 30 and is between the pole piece 20 and the second flow path forming member 41. A third flow path (c) is formed in communication with the second flow path (b), and a fourth flow path (d) is formed between the first flow path forming member 30 and the third flow path (c). do.

즉 회전축(40)이 폴피스(20)에 끼워진 상태에서 제2유로형성부재(41)는 회전축(40)의 끝단에 폴피스(20) 및 제1유로형성부재(30)와 대향하는 내측면을 가지도록 회전축(40)의 지름보다 큰 지름을 가지도록 형성된다. That is, in a state where the rotating shaft 40 is inserted into the pole piece 20, the second flow path forming member 41 has an inner surface opposite to the pole piece 20 and the first flow path forming member 30 at the end of the rotating shaft 40. It is formed to have a diameter larger than the diameter of the rotation axis 40.

도5는 본 발명의 일실시예의 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치의 단면을 나타내는 도면이고, 도6은 도5의 일부분을 확대한 도면이다. 도5 및 도6을 참조하여, 본 발명의 밀봉장치에서 차단가스가 유동하는 경로를 구체적으로 설명한다. Figure 5 is a cross-sectional view of a sealing device including a magnetic fluid seal of an embodiment of the present invention, and Figure 6 is an enlarged view of a portion of Figure 5. Referring to Figures 5 and 6, the path through which the blocking gas flows in the sealing device of the present invention will be described in detail.

하우징(10)의 가스주입부(11)를 통하여 주입되는 차단가스는 하우징(10) 및 제1유로형성부재(30) 사이에 형성되는 제1유로(a)로 유입된다. 이때 제1유로(a)를 경유하는 과정에서 일부는 제1유동홈(31a)로 유동할 것이다. The blocking gas injected through the gas injection part 11 of the housing 10 flows into the first flow path (a) formed between the housing 10 and the first flow path forming member 30. At this time, in the process of passing through the first flow path (a), some will flow into the first flow groove (31a).

제1유로(a)에서 배출된 차단가스는 제1유로형성부재(30) 및 폴피스(20) 사이에 형성되는 제2유로(b)로 유동한다. 제2유로(b)는 제1유로형성부재(30) 및 폴피스(20) 사이의 효율적인 유동 및 효과적인 냉각을 위한 다양한 구조로 형성될 수 있고, 본 실시예에서는 제1유동홈(31a)와 연통되는 제2유동홈(31b)이 제2유로(b)의 기능을 수행한다. 따라서 제1유로(a) 및 제1유동홈(31a)을 유동한 차단가스는 제2유동홈(31b)으로 유입되게 된다. The blocking gas discharged from the first flow path (a) flows into the second flow path (b) formed between the first flow path forming member 30 and the pole piece 20. The second flow path (b) can be formed in various structures for efficient flow and effective cooling between the first flow path forming member 30 and the pole piece 20, and in this embodiment, the first flow groove (31a) and The communicating second flow groove (31b) functions as the second flow path (b). Accordingly, the blocking gas flowing through the first flow path (a) and the first flow groove (31a) flows into the second flow groove (31b).

제2유동홈(31b)에서 배출된 차단가스는 폴피스(20)와 제2돌출부(22) 사이에 원주방향을 따라 형성되는 공간(21b)로 유동하고, 원주방향을 따라 유입된 차단가스는 제1돌출부(21)의 유동홀(21a)로 유입이 되게 된다. The blocking gas discharged from the second flow groove (31b) flows into the space (21b) formed along the circumferential direction between the pole piece 20 and the second protrusion 22, and the blocking gas flowing in along the circumferential direction It flows into the flow hole (21a) of the first protrusion (21).

유동홀(21a)에서 배출된 차단가스는 제2유로형성부재(41) 및 폴피스(20) 사이에 형성되는 제3유로(c) 및 제2유로형성부재(41) 및 제1유로형성부재(30) 사이에 형성되는 제4유로(d)를 경유하여 밀봉장치 외부로 배출이 되게 된다. The blocking gas discharged from the flow hole (21a) is a third flow path (c) formed between the second flow path forming member 41 and the pole piece 20, the second flow path forming member 41, and the first flow path forming member. It is discharged to the outside of the sealing device via the fourth passage (d) formed between (30).

즉 본 발명에서는 제1유로형성부재(30), 제2유로형성부재(41) 및 폴피스(20)의 형상의 조합을 통하여 차단가스를 이용하여 진공파트에서의 고온가스 또는 이물질과 자성유체의 접촉 차단, 폴피스 또는 자성유체의 냉각을 효과적으로 이룰 수 있는 차단가스의 유동경로를 제공할 수 있게 된다. That is, in the present invention, through the combination of the shapes of the first flow path forming member 30, the second flow path forming member 41, and the pole piece 20, the blocking gas is used to block high temperature gas or foreign substances in the vacuum part and magnetic fluid. It is possible to provide a flow path for the blocking gas that can effectively achieve contact blocking and cooling of the pole piece or magnetic fluid.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and a person skilled in the art who understands the spirit of the present invention may add, change, or delete other components within the scope of the same spirit, thereby creating other degenerative inventions or the present invention. Other embodiments that are included within the scope of the invention can be easily proposed, but this will also be said to be included within the scope of the invention of the present application.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.In the above, the configuration and features of the present invention have been described based on the embodiments according to the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various changes or modifications may be made within the spirit and scope of the present invention. It is obvious to those skilled in the art, and therefore, it is stated that such changes or modifications fall within the scope of the appended patent claims.

10 : 하우징 11: 가스주입부
20: 폴피스 21: 제1돌출부
22: 제2돌출부 30: 제1유로형성부재
31: 유동홈 40: 회전축
41: 제2유로형성부재10: Housing 11: Gas injection part
20: Pole piece 21: First protrusion
22: second protrusion 30: first flow path forming member
31: Flow groove 40: Rotation axis
41: Second flow path forming member

Claims (9)

가스 주입부가 형성된 하우징;
하우징에 결합되는 폴피스; 및
상기 하우징의 일측에 구비되고, 상기 하우징과 사이에 상기 가스 주입구와 연통되는 제1유로를 형성하고, 상기 폴피스와 사이에 상기 제1유로와 연통되는 제2유로를 형성하는 제1유로형성부재;
를 포함하는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.A housing in which a gas injection portion is formed;
Pole piece coupled to the housing; and
A first passage forming member provided on one side of the housing, forming a first passage communicating with the gas inlet between the housing and a second passage communicating with the first passage between the pole pieces. ;
A sealing device comprising a magnetic fluid seal containing a. 제1항에 있어서,
상기 제1유로형성부재의 하우징와 대향하는 면에는 가스의 유동을 안내하는 제1유동홈이 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to paragraph 1,
A sealing device comprising a magnetic fluid seal in which a first flow groove for guiding the flow of gas is formed on a surface of the first flow path forming member facing the housing. 제2항에 있어서,
상기 폴피스에는 상기 제1유동홈과 연통되는 유동홀이 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to paragraph 2,
A sealing device including a magnetic fluid seal in which a flow hole communicating with the first flow groove is formed in the pole piece. 제1항에 있어서,
상기 제1유로형성부재의 상기 폴피스와 대향하는 면에는 가스의 유동을 안내하는 제2유동홈이 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to paragraph 1,
A sealing device comprising a magnetic fluid seal in which a second flow groove for guiding the flow of gas is formed on a surface of the first flow path forming member facing the pole piece. 제4항에 있어서,
상기 폴피스에는 상기 제2유동홀과 연통되는 유동홀이 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to clause 4,
A sealing device including a magnetic fluid seal in which a flow hole communicating with the second flow hole is formed in the pole piece. 제1항에 있어서,
상기 폴피스에는 가스가 유동하는 유동홀이 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to paragraph 1,
A sealing device including a magnetic fluid seal in which a flow hole through which gas flows is formed in the pole piece. 제1항에 있어서,
상기 폴피스에는 상기 제2유로에서 공급되는 가스를 상기 제3유로로 배출하는 제5유로가 형성되는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치. According to paragraph 1,
A sealing device including a magnetic fluid seal in which a fifth passage is formed in the pole piece to discharge the gas supplied from the second passage to the third passage. 제1항에 있어서,


상기 하우징에 설치되고, 상기 제1유로형성부재의 일측에 구비되고, 상기 폴피스와 사이에 상기 제2유로와 연통되는 제3유로를 형성하고, 상기 제1유로형성부재와 사이에 상기 제3유로와 연통되는 제4유로를 형성하는 제2유로형성부재를 포함하는 회전축을 더 포함하는 자성유체씰을 포함하는 밀봉장치.According to paragraph 1,


It is installed in the housing, is provided on one side of the first flow path forming member, and forms a third flow path communicating with the second flow path between the pole piece and the third flow path forming member between the first flow path forming member. A sealing device comprising a magnetic fluid seal further comprising a rotating shaft including a second flow path forming member forming a fourth flow path in communication with the flow path. 하우징 내부로 가스를 공급하기 위한 가스주입구가 형성된 하우징을 포함하는 밀봉장치의 내부에 구비되는 자성유체씰에 있어서,
회전축;
상기 회전축을 둘러싸도록 배치되고, 상기 가스주입구에서 유입되는 가스가유동하는 유동홀이 형성된 폴피스;
상기 회전축 및 상기 폴피스 중 어느 하나에 상기 회전축을 둘러싸도록 링 형태로 형성되는 링형돌기; 및
상기 링형돌기의 끝단 및 상기 회전축 또는 폴피스 사이에 배치되는 자성유체;
를 포함하는 자성유체씰.

In the magnetic fluid seal provided inside a sealing device including a housing with a gas inlet for supplying gas into the housing,
axis of rotation;
a pole piece arranged to surround the rotation axis and having a flow hole through which gas flowing from the gas inlet flows;
a ring-shaped protrusion formed on one of the rotation axis and the pole piece in a ring shape to surround the rotation axis; and
A magnetic fluid disposed between the end of the ring-shaped protrusion and the rotation axis or pole piece;
A magnetic fluid seal containing.
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