KR20240054181A - Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board - Google Patents

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Abstract

탄성률 등의 도막 물성의 저하를 억제함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물을 제공한다. (A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합 개시제와, (C) 실리카와, (D) 광중합성 모노머를 적어도 포함하여 이루어지는 감광성 수지 조성물로서, 상기 (C) 실리카는, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와, 비닐기, (메타)아크릴로일기 및 스티릴기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 것인 것을 특징으로 한다.A photosensitive resin composition is provided that suppresses the decline in coating film properties such as elastic modulus and has excellent storage stability. A photosensitive resin composition comprising at least (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) silica, and (D) a photopolymerizable monomer, wherein the (C) silica is a silane having no reactive functional group. Characterized by surface treatment with two types of silane coupling agents: a coupling agent and a silane coupling agent having at least one reactive functional group selected from the group consisting of vinyl group, (meth)acryloyl group, and styryl group. do.

Description

감광성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, DRY FILM, CURED PRODUCT, AND PRINTED WIRING BOARD}Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, DRY FILM, CURED PRODUCT, AND PRINTED WIRING BOARD}

본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 솔더 레지스트 등의 절연층의 형성에 적합하게 사용할 수 있는 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 조성물을 사용한 드라이 필름, 감광성 수지 조성물 또는 드라이 필름의 경화물 및 그것들 경화물을 사용한 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more specifically, to a photosensitive resin composition that can be suitably used for forming an insulating layer such as solder resist, a dry film using the photosensitive resin composition, a cured product of the photosensitive resin composition or dry film, and It relates to printed wiring boards using these hardened materials.

일반적으로, 전자 기기 등에 사용되는 프린트 배선판에 있어서, 프린트 배선판에 전자 부품을 실장할 때의 땜납 리플로우 등의 공정에 있어서 프린트 배선판의 불필요한 부분에 땜납이 부착되는 것을 방지하기 위해서, 회로 패턴이 형성된 기판 상의 접속 구멍을 제외하는 영역에 솔더 레지스트층이 형성되어 있다. 솔더 레지스트층은, 기판에 감광성 수지 조성물을 도포, 건조시키고, 노광, 현상에 의해 패턴 형성한 후, 패턴 형성된 수지를 가열 내지 광 조사에 의해 본경화시키는, 소위 포토 솔더 레지스트에 의해 형성되는 것이 주류로 되어 있다. 또한, 상기한 바와 같은 액상의 감광성 수지 조성물을 사용하지 않고, 감광성의 드라이 필름을 사용하여 솔더 레지스트층을 형성하는 것도 제안되고 있다.Generally, in printed wiring boards used in electronic devices, etc., a circuit pattern is formed to prevent solder from adhering to unnecessary parts of the printed wiring board during processes such as solder reflow when mounting electronic components on the printed wiring board. A solder resist layer is formed in areas excluding connection holes on the substrate. The solder resist layer is mainly formed by so-called photo solder resist, which involves applying a photosensitive resin composition to a substrate, drying it, forming a pattern through exposure and development, and then curing the patterned resin by heating or irradiating light. It is written as . In addition, it has been proposed to form a solder resist layer using a photosensitive dry film instead of using the liquid photosensitive resin composition as described above.

이들 감광성 수지 조성물이나 감광성 드라이 필름에는, 노광, 현상이 가능하도록 알칼리 가용성의 감광성 수지 성분이 포함되어 있고, 필요에 따라 기타의 광중합성 모노머나, 내열성이나 기판 밀착성 등을 고려해서 에폭시 등의 열경화성 성분이 포함되어 있다. 또한, 선팽창 계수를 저감하여 솔더 레지스트층의 박리나 기판의 휨을 억제하기 위해서, 감광성 수지 조성물에는 무기 필러가 배합되는 경우가 있다(일본 특허 출원 공개 제2001-72834호 공보 등).These photosensitive resin compositions and photosensitive dry films contain an alkali-soluble photosensitive resin component to enable exposure and development, and, if necessary, other photopolymerizable monomers or thermosetting components such as epoxy in consideration of heat resistance and substrate adhesion. This is included. Additionally, in order to reduce the coefficient of linear expansion and suppress peeling of the solder resist layer or warping of the substrate, an inorganic filler may be blended in the photosensitive resin composition (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-72834, etc.).

무기 필러 중에서도 특히 구상 실리카는 충전성이 우수하고, 열팽창 계수가 낮은 점에서, 솔더 레지스트의 특성 향상에 널리 사용되고 있다. 그러나, 무기 필러의 배합량이 증가함에 따라 무기 필러와 수지 사이의 계면이 증가하기 때문에, 탄성률이나 인장 강도 등의 도막 물성의 저하 등이 일어나는 경향이 있다. 그 때문에, 충전성이 높다고 여겨지는 실리카여도, 아미노기나 (메타)아크릴로일기 등의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제로 표면 처리함으로써, 도막 물성의 저하를 억제하는 것이 행해지고 있다(일본 특허 출원 공개 제2018-165795호 공보 등).Among inorganic fillers, spherical silica is especially excellent in fillability and has a low thermal expansion coefficient, so it is widely used to improve the properties of solder resist. However, as the mixing amount of the inorganic filler increases, the interface between the inorganic filler and the resin increases, so there is a tendency for coating film physical properties such as elastic modulus and tensile strength to decrease. Therefore, even if it is silica, which is considered to have high filling properties, it is practiced to suppress the decline in the physical properties of the coating film by surface treating it with a silane coupling agent having a reactive functional group such as an amino group or a (meth)acryloyl group (Japanese Patent Application Publication No. Gazette No. 2018-165795, etc.).

실리카의 표면 처리는 실리카에 실란 커플링제를 첨가하여 반응시킴으로써 행하여, 실란 커플링제를 포함하는 실리카 슬러리로서 감광성 수지 조성물에 배합된다. 그 때문에, 실리카 슬러리 중에 포함되는 유리의 실란 커플링제끼리가 축합 반응을 일으키고, 그것이 감광성 수지 조성물 중의 수지 성분과 반응하는 경우가 있어, 보존 안정성이 저하될 뿐만 아니라, 수지 성분의 가교 밀도에도 영향을 미치고, 감광성 수지 조성물의 감도도 저하되는 경우가 있었다. 또한, 감광성 수지 조성물을 장기간 보존한 경우에, 감광성 수지 조성물 중의 성분과 유리의 실란 커플링제가 반응하여, 감광성 수지 조성물의 감도가 비정상적으로 상승해 버린다고 하는 경우가 있었다.Surface treatment of silica is performed by adding and reacting a silane coupling agent to silica, and is blended into the photosensitive resin composition as a silica slurry containing a silane coupling agent. Therefore, the silane coupling agents of the glass contained in the silica slurry cause a condensation reaction, which may react with the resin component in the photosensitive resin composition, which not only reduces storage stability but also affects the crosslinking density of the resin component. In some cases, the sensitivity of the photosensitive resin composition also decreased. Additionally, when the photosensitive resin composition is stored for a long period of time, there are cases where the components in the photosensitive resin composition react with the silane coupling agent in the glass, causing the sensitivity of the photosensitive resin composition to abnormally increase.

따라서, 본 발명의 목적은, 탄성률 등의 도막 물성의 저하를 억제함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that suppresses the decline in coating film properties such as elastic modulus and has excellent storage stability.

상기의 과제에 대하여 본 발명자들이 검토를 행한 바, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제와 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카를 사용함으로써, 도막 물성의 저하를 억제함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물이 얻어진다라는 지견을 얻었다. 본 발명은 이러한 지견에 의한 것이다. 즉, 본 발명의 요지는 이하와 같다.The present inventors studied the above problem and found that the use of silica surface-treated with two types of silane coupling agents, one having a reactive functional group and the other silane coupling agent not having a reactive functional group, resulted in a decrease in the physical properties of the coating film. It was discovered that a photosensitive resin composition with excellent storage stability can be obtained while suppressing . The present invention is based on this knowledge. That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합 개시제와, (C) 실리카와, (D) 광중합성 모노머를 적어도 포함하여 이루어지는 감광성 수지 조성물로서,[1] A photosensitive resin composition comprising at least (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) silica, and (D) a photopolymerizable monomer,

상기 (C) 실리카는, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와, 비닐기, (메타)아크릴로일기 및 스티릴기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 것인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.The (C) silica is two types: a silane coupling agent having no reactive functional group, and a silane coupling agent having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a vinyl group, (meth)acryloyl group, and styryl group. A photosensitive resin composition, characterized in that the surface has been treated with a silane coupling agent.

[2] 상기 (C) 실리카는, 그의 표면에 피복된 실란 커플링제 중, 상기 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양이, 상기 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양보다도 많은, [1]에 기재된 감광성 수지 조성물.[2] Among the silane coupling agents coated on the surface of the (C) silica, the amount covered by the silane coupling agent having the above-mentioned reactive functional group is greater than the amount covered by the silane coupling agent not having the above-mentioned reactive functional group. Many of the photosensitive resin compositions described in [1].

[3] 상기 (C) 실리카에 있어서, 상기 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양과, 상기 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양의 비가, 질량 기준으로 2:1 내지 10:1인, [2]에 기재된 감광성 수지 조성물.[3] In the silica (C), the ratio of the amount coated by the silane coupling agent having the reactive functional group to the amount coated by the silane coupling agent not having the reactive functional group is 2:1 to 10 on a mass basis. :1 person, the photosensitive resin composition described in [2].

[4] 상기 (C) 실리카가, 감광성 수지 조성물 중의 고형분 전체에 대하여, 50 내지 90질량%의 비율로 포함되는, [1]에 기재된 감광성 수지 조성물.[4] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the (C) silica is contained in a ratio of 50 to 90% by mass based on the total solid content in the photosensitive resin composition.

[5] (E) 열경화성 성분을 더 포함하는, [1]에 기재된 감광성 수지 조성물.[5] (E) The photosensitive resin composition according to [1], further comprising a thermosetting component.

[6] 제1 필름과, 상기 제1 필름의 한쪽 면에 [1]에 기재된 감광성 수지 조성물을 도포, 건조시킨 수지층을 구비한, 드라이 필름.[6] A dry film comprising a first film and a resin layer obtained by applying and drying the photosensitive resin composition according to [1] on one side of the first film.

[7] [1] 내지 [5] 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물, 또는 [6]에 기재된 드라이 필름의 수지층을 경화시킨 경화물.[7] A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], or the resin layer of the dry film according to [6].

[8] [7]에 기재된 경화물로 이루어지는 피막을 구비한 프린트 배선판.[8] A printed wiring board provided with a film made of the cured material described in [7].

본 발명에 따르면, 특정한 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카를 사용함으로써, 탄성률 등의 도막 물성의 저하를 억제함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물을 실현할 수 있다.According to the present invention, by using silica surface-treated with two specific types of silane coupling agents, it is possible to realize a photosensitive resin composition that suppresses the decline in coating film properties such as elastic modulus and has excellent storage stability.

[감광성 수지 조성물][Photosensitive resin composition]

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, (A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합 개시제와, (C) 실리카와, (D) 광중합성 모노머를 적어도 포함한다. 이하, 감광성 수지 조성물을 구성하는 각 성분에 대하여 설명한다. 또한, 본 명세서에 있어서, (메타)아크릴이란 아크릴 및 메타크릴의 양쪽을 총칭하는 용어로서 사용하는 것으로 한다. 또한, (메타)아크릴로일이란, 아크릴로일 및 메타크릴로일의 양쪽을 총칭하는 용어로서 사용하는 것으로 한다. 또한, (메타)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 그의 혼합물을 총칭하는 용어로서 사용하는 것으로 한다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains at least (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) silica, and (D) a photopolymerizable monomer. Hereinafter, each component constituting the photosensitive resin composition is explained. In addition, in this specification, (meth)acrylic is used as a general term for both acrylic and methacrylic. In addition, (meth)acryloyl shall be used as a general term for both acryloyl and methacryloyl. In addition, (meth)acrylate is used as a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof.

<(A) 알칼리 가용성 수지><(A) Alkali soluble resin>

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물에 포함되는 (A) 알칼리 가용성 수지는, 알칼리 가용되는 수지라면 어느 것이어도 되고, 공지 관용의 것이 사용된다. 알칼리 가용성 수지는, 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 예시로서는, 카르복실기 함유 수지나, 페놀성 수산기 함유 수지와 같은 수용성 수지 등을 들 수 있다. 그 중에서도 현상성이 우수한 점에서, 카르복실기 함유 수지나 페놀성 수산기 함유 수지가 바람직하고, 카르복실기 함유 수지가 보다 바람직하다. 알칼리 가용성 수지가, 카르복실기를 포함함으로써, 알칼리 현상성으로 할 수 있다. 또한, 감광성의 관점에서, 카르복실기 이외에, 분자 내에 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 것이 바람직하지만, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖지 않는 카르복실기 함유 수지만을 사용해도 된다. 카르복실기 함유 수지가 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖지 않는 경우에는, 조성물을 광경화성으로 하기 위하여 광중합성 모노머를 병용할 필요가 있다. 에틸렌성 불포화 이중 결합으로서는, 아크릴산 또는 메타아크릴산 또는 그것들의 유도체 유래의 것이 바람직하다.(A) alkali-soluble resin contained in the photosensitive resin composition according to the present invention may be any alkali-soluble resin, and a known and commonly used resin may be used. Alkali-soluble resin can be used individually or in combination of two or more types. Examples include water-soluble resins such as carboxyl group-containing resins and phenolic hydroxyl group-containing resins. Among these, since they are excellent in developability, carboxyl group-containing resins and phenolic hydroxyl group-containing resins are preferable, and carboxyl group-containing resins are more preferable. By containing a carboxyl group, the alkali-soluble resin can be made alkali-developable. Furthermore, from the viewpoint of photosensitivity, it is preferable to have an ethylenically unsaturated double bond in the molecule in addition to the carboxyl group, but only a carboxyl group-containing resin that does not have an ethylenically unsaturated double bond may be used. When the carboxyl group-containing resin does not have an ethylenically unsaturated double bond, it is necessary to use a photopolymerizable monomer together to make the composition photocurable. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from acrylic acid or methacrylic acid or derivatives thereof are preferable.

카르복실기 함유 수지의 구체예로서는, 이하와 같은 화합물(올리고머 및 폴리머의 어느 것이어도 됨)을 들 수 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, (메타)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 그들의 혼합물을 총칭하는 용어로, 다른 유사한 표현에 대해서도 마찬가지이다.Specific examples of the carboxyl group-containing resin include the following compounds (which may be either oligomers or polymers). In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

(1) (메타)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 스티렌, α-메틸스티렌, 저급 알킬(메타)아크릴레이트, 이소부틸렌 등의 불포화기 함유 화합물과의 공중합에 의해 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(1) Carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, and isobutylene.

(2) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트와, 디메틸올프로피온산, 디메틸올부탄산 등의 카르복실기 함유 디알코올 화합물 및 폴리카보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥사이드 부가체 디올, 페놀성 히드록실기 및 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물 등의 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate, and aromatic diisocyanate, carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and polycarbonate-based polyol and polyether-based polyol. , polyester-based polyol, polyolefin-based polyol, acrylic polyol, bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of diol compounds such as compounds having phenolic hydroxyl groups and alcoholic hydroxyl groups. .

(3) 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지 등의 2관능 에폭시 수지와 (메타)아크릴산 등의 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 모노카르복실산 화합물의 반응물의 부분 산 무수물 변성물, 카르복실기 함유 디알코올 화합물 및 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resins such as bisphenol A-type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin, bisphenol S-type epoxy resin, bixylenol-type epoxy resin, and biphenol-type epoxy resin. Photosensitive urethane resin containing a carboxyl group by polyaddition reaction of a partial acid anhydride modification of the reaction product of a monocarboxylic acid compound having an ethylenically unsaturated double bond such as (meth)acrylic acid, a dialcohol compound containing a carboxyl group, and a diol compound.

(4) 상기 (2) 또는 (3)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬(메타)아크릴레이트 등의 분자 내에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가하여, 말단 (메타)아크릴화한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(4) During the synthesis of the resin of (2) or (3) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as hydroxyalkyl (meth)acrylate, is added to form the terminal. (Meta)acrylated photosensitive urethane resin containing a carboxyl group.

(5) 상기 (2) 또는 (3)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물 등, 분자 내에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가하여 말단 (메타)아크릴화한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(5) During the synthesis of the resin of (2) or (3) above, an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, etc., has one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule. A photosensitive urethane resin containing a carboxyl group whose ends are (meth)acrylated by adding a compound.

(6) 2관능 또는 그 이상의 다관능 (고형)에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜, 측쇄에 존재하는 수산기에 2염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 감광성 수지.(6) A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting (meth)acrylic acid with a difunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain.

(7) 2관능 (고형)에폭시 수지의 수산기를 또한 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜, 발생한 수산기에 2염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 감광성 수지.(7) A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin in which the hydroxyl group of the difunctional (solid) epoxy resin is further epoxidized with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group.

(8) 2관능 옥세탄 수지에 아디프산, 프탈산, 헥사히드로프탈산 등의 디카르복실산을 반응시켜, 발생한 1급의 수산기에 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산 등의 2염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 폴리에스테르 수지.(8) Dicarboxylic acids such as adipic acid, phthalic acid, and hexahydrophthalic acid are reacted with difunctional oxetane resin, and the primary hydroxyl group generated is replaced with dibasic acids such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. A polyester resin containing a carboxyl group to which an acid anhydride has been added.

(9) 1분자 중에 복수의 에폭시기를 갖는 에폭시 화합물에, p-히드록시페네틸알코올 등의 1분자 중에 적어도 1개의 알코올성 수산기와 1개의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과, (메타)아크릴산 등의 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시켜, 얻어진 반응 생성물의 알코올성 수산기에 대하여 무수 말레산, 테트라히드로 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산, 무수 피로멜리트산, 아디프산 등의 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(9) Epoxy compounds having multiple epoxy groups in one molecule, compounds having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and unsaturated compounds such as (meth)acrylic acid. Contains a carboxyl group obtained by reacting a group-containing monocarboxylic acid and reacting the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and adipic acid. Photosensitive resin.

(10) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥사이드, 프로필렌옥사이드 등의 알킬렌옥사이드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시켜, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(10) The reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide is reacted with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group, and a polybasic acid anhydride is added to the reaction product obtained. A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained through reaction.

(11) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카보네이트, 프로필렌카보네이트 등의 환상 카보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시켜, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(11) A polybasic acid anhydride is added to the reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate, and reacting a monocarboxylic acid containing an unsaturated group. A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained through reaction.

(12) 상기 (1) 내지 (11)의 수지에 또한 1분자 내에 1개의 에폭시기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 부가하여 이루어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(12) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins (1) to (11) above.

이들 카르복실기 함유 수지는, 상기 열거한 것에 한정되지 않고 사용할 수 있고, 1종류를 단독으로 사용해도 되고, 복수종을 혼합하여 사용해도 된다. 상기한 것 중에서도, 카르복실기 함유 수지 (10), (11)과 같이 페놀성 수산기를 갖는 화합물을 출발 원료로서 합성되는 카르복실기 함유 수지는, HAST 내성, PCT 내성이 우수하기 때문에 적합하게 사용할 수 있다.These carboxyl group-containing resins can be used without being limited to those listed above. One type may be used individually, or multiple types may be mixed and used. Among the above, carboxyl group-containing resins synthesized using a compound having a phenolic hydroxyl group, such as carboxyl group-containing resins (10) and (11), as starting materials, can be suitably used because they have excellent HAST resistance and PCT resistance.

카르복실기 함유 수지의 산가는, 40 내지 150mgKOH/g인 것이 바람직하다. 카르복실기 함유 수지의 산가가 40mgKOH/g 이상으로 함으로써, 알칼리 현상이 양호해진다. 또한, 산가를 150mgKOH/g를 이하로 함으로써, 양호한 레지스트 패턴의 묘화를 하기 쉽게 할 수 있다. 보다 바람직하게는, 50 내지 130mgKOH/g이다.The acid value of the carboxyl group-containing resin is preferably 40 to 150 mgKOH/g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is 40 mgKOH/g or more, the alkaline phenomenon becomes good. Additionally, by setting the acid value to 150 mgKOH/g or less, it is possible to easily draw a good resist pattern. More preferably, it is 50 to 130 mgKOH/g.

카르복실기 함유 수지의 중량 평균 분자량은, 수지 골격에 따라 다르지만, 일반적으로 2,000 내지 150,000인 것이 바람직하다. 중량 평균 분자량을 2,000 이상으로 함으로써, 태크 프리 성능이나 해상도를 향상시킬 수 있다. 또한, 중량 평균 분자량을 150,000 이하로 함으로써, 현상성이나 저장 안정성을 향상시킬 수 있다. 보다 바람직하게는, 5,000 내지 15,000이다. 또한, 중량 평균 분자량은, 겔 침투 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정할 수 있다.The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin varies depending on the resin skeleton, but is generally preferably 2,000 to 150,000. By setting the weight average molecular weight to 2,000 or more, tack-free performance and resolution can be improved. Additionally, by setting the weight average molecular weight to 150,000 or less, developability and storage stability can be improved. More preferably, it is 5,000 to 15,000. Additionally, the weight average molecular weight can be measured by gel permeation chromatography (GPC).

상기한 (A) 알칼리 가용성 수지의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중에 있어서, 고형분 환산으로, 10 내지 50질량%인 것이 바람직하다. 10질량% 이상으로 함으로써 도막 강도를 향상시킬 수 있다. 또한 50질량% 이하로 함으로써 점성이 적당해지고 인쇄성이 향상된다. 보다 바람직하게는, 10 내지 30질량%이다.The compounding amount of the above-mentioned (A) alkali-soluble resin is preferably 10 to 50% by mass in terms of solid content in the photosensitive resin composition. The coating film strength can be improved by setting it to 10% by mass or more. Additionally, by setting it to 50% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and printability improves. More preferably, it is 10 to 30 mass%.

<(B) 광중합 개시제><(B) Photopolymerization initiator>

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, 상기한 (A) 알칼리 가용성 수지나 후기하는 (D) 광중합성 모노머를 광중합시키기 위해서 (B) 광중합 개시제를 포함한다. 광중합 개시제로서는, 공지된 것을 사용할 수 있고, 예를 들어 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-1-프로파논, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논, N,N-디메틸아미노아세토페논 등의 α-아미노아세토페논계 광중합 개시제: 1-히드록시-시클로헥실페닐케톤, 1-[4-(2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]페닐}-2-메틸-프로판-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온 등의 히드록시아세토페논계 광중합 개시제; 비스-(2,6-디클로로벤조일)페닐포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디클로로벤조일)-2,5-디메틸페닐포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디클로로벤조일)-4-프로필페닐포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디클로로벤조일)-1-나프틸포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디메톡시벤조일)페닐포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸펜틸포스핀옥사이드, 비스-(2,6-디메톡시벤조일)-2,5-디메틸페닐포스핀옥사이드, 비스-(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 2,6-디메톡시벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,6-디클로로벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일페닐포스핀산메틸에스테르, 2-메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 피발로일페닐포스핀산이소프로필에스테르, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드 등의 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제; 벤조인, 벤질, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인n-프로필에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인n-부틸에테르 등의 벤조인계 광중합 개시제 ; 벤조인알킬에테르계 광중합 개시제; 벤조페논, p-메틸벤조페논, 미힐러 케톤, 메틸벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논 등의 벤조페논계 광중합 개시제; 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-1-프모르폴리노의 아세토페논계 광중합 개시제; 티옥산톤, 2-에틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디이소프로필티옥산톤 등의 티옥산톤계 광중합 개시제; 안트라퀴논, 클로로안트라퀴논, 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-tert-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, 2-아미노안트라퀴논 등의 안트라퀴논계 광중합 개시제; 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈계 광중합 개시제; 에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 2-(디메틸아미노)에틸벤조에이트, p-디메틸벤조산에틸에스테르 등의 벤조산에스테르계 광중합 개시제; 1,2-옥탄디온, 1-[4-(페닐티오)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심)], 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심) 등의 옥심에스테르계 광중합 개시제; 비스(η5-2,4-시클로펜타디엔-1-일)-비스(2,6-디플루오로-3-(1H-피롤-1-일)페닐)티타늄, 비스(시클로펜타디에닐)-비스[2,6-디플루오로-3-(2-(1-필-1-일)에틸)페닐]티타늄 등의 티타노센계 광중합 개시제; 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains a photopolymerization initiator (B) in order to photopolymerize the alkali-soluble resin (A) described above and the photopolymerizable monomer (D) described later. As the photopolymerization initiator, known ones can be used, for example, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino- 1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]- α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiators such as 1-butanone and N,N-dimethylaminoacetophenone: 1-hydroxy-cyclohexylphenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl] -2-Hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}- Hydroxyacetophenone-based photopolymerization initiators such as 2-methyl-propan-1-one and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; Bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propyl Phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl) )-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenyl Phosphine oxide, 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators such as pin oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide; Benzoin-based photopolymerization initiators such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin n-butyl ether; Benzoin alkyl ether-based photopolymerization initiator; Benzophenone photopolymerization initiators such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, and 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; Acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl- Acetophenone-based photopolymerization initiator of 1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-phmorpholino; Thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-di Thioxanthone-based photopolymerization initiators such as isopropylthioxanthone; Anthraquinone-based photopolymerization such as anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, and 2-aminoanthraquinone initiator; Ketal-based photopolymerization initiators such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzoic acid ester-based photopolymerization initiators such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate, and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-, 2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H -carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime), and other oxime ester photopolymerization initiators; Bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)- Titanocene-based photopolymerization initiators such as bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-phil-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; etc. can be mentioned. These photopolymerization initiators may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more types.

시판되는 α-아미노아세토페논계 광중합 개시제로서는, IGM Resins사제의 Omnirad 907, 369, 369E, 379 등을 들 수 있다.Commercially available α-aminoacetophenone photopolymerization initiators include Omnirad 907, 369, 369E, and 379 manufactured by IGM Resins.

시판되는 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제로서는, IGM Resins사제의 Omnirad 819 등을 들 수 있다.Commercially available acylphosphine oxide photopolymerization initiators include Omnirad 819 manufactured by IGM Resins.

시판되는 티타노센계 광중합 개시제로서는, Yueyang Kimoutain Sci-tech Co., Ltd.제의 JMT-784, 후베이 구런 과학 기술 유한공사제의 GR-FMT 등을 들 수 있다.Commercially available titanocene-based photopolymerization initiators include JMT-784 manufactured by Yueyang Kimoutain Sci-tech Co., Ltd. and GR-FMT manufactured by Hubei Guren Science and Technology Co., Ltd.

또한, 분자 내에 2개의 옥심에스테르기를 갖는 광중합 개시제도 적합하게 사용할 수 있고, 구체적으로는, 하기 일반식 (I)로 표시되는 카르바졸 구조를 갖는 옥심에스테르 화합물을 들 수 있다.Additionally, a photopolymerization initiator having two oxime ester groups in the molecule can also be suitably used, and specifically, an oxime ester compound having a carbazole structure represented by the following general formula (I) can be mentioned.

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 식 중, X는, 수소 원자, 탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음)를 나타내고, Y, Z는 각각, 수소 원자, 탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 할로겐이기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 안트릴기, 피리딜기, 벤조푸릴기, 벤조티에닐기를 나타내고, Ar은, 탄소수 1 내지 10의 알킬렌, 비닐렌, 페닐렌, 비페닐렌, 피리딜렌, 나프틸렌, 티오펜, 안트릴렌, 티에닐렌, 푸릴렌, 2,5-피롤-디일, 4,4'-스틸벤-디일, 4,2'-스티렌-디일을 나타내고, n은 0 또는 1의 정수이다.In the above formula, is substituted by an alkylamino or dialkylamino group having an alkyl group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group or dialkyl having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) is substituted by an amino group), and Y and Z are each a hydrogen atom, an alkyl group with 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group with 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, and a phenyl group (an alkyl group with 1 to 17 carbon atoms, 1 carbon atom) Substituted by an alkylamino or dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, a carbon number is substituted by an alkylamino group or dialkylamino group having 1 to 8 alkyl groups), anthryl group, pyridyl group, benzofuryl group, benzothienyl group, and Ar is alkylene or vinylene having 1 to 10 carbon atoms. , phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene, anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4'-stilbene-diyl, 4,2'- Represents styrene-diyl, and n is an integer of 0 or 1.

특히, 상기 식 중, X1, Y1이 각각, 메틸기 또는 에틸기이고, Z가 메틸 또는 페닐이고, n이 0이고, Ar이 페닐렌, 나프틸렌, 티오펜 또는 티에닐렌인 옥심에스테르계 광중합 개시제가 바람직하다.In particular , in the above formula, is desirable.

상기한 광중합 개시제 이외에도, 벤조인 화합물, 아세토페논 화합물, 안트라퀴논 화합물, 티옥산톤 화합물, 케탈 화합물, 벤조페논 화합물, 3급 아민 화합물 및 크산톤 화합물 등을 광중합 개시제로서 사용할 수 있다.In addition to the photopolymerization initiators described above, benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, tertiary amine compounds and xanthone compounds can be used as photopolymerization initiators.

그러나, 이들은, 단독으로 광중합 개시제로서, 사용하는 것보다, 상기한 광중합 개시제와 병용하여, 광중합 개시 보조제 또는 증감제로서 사용하는 것이 바람직하다.However, it is preferable to use them as a photopolymerization initiation auxiliary or sensitizer in combination with the above-described photopolymerization initiator rather than using them alone as a photopolymerization initiator.

상기한 것 중에서도, 심부 경화성이라고 하는 관점에서, 티옥산톤 화합물 및 3급 아민 화합물이 바람직하고, 티옥산톤 화합물이 보다 바람직하다. 또한, 상기 화합물 2종 이상을 병용해도 된다.Among the above, from the viewpoint of deep hardenability, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferable, and thioxanthone compounds are more preferable. Additionally, two or more types of the above compounds may be used in combination.

감광성 수지 조성물에 있어서의 (B) 광중합 개시제의 배합량은, 고형분 환산으로, (A) 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여, 1 내지 50질량부인 것이 바람직하고, 1 내지 20질량부인 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 심부의 경화성을 향상할 수 있다.The compounding amount of the photopolymerization initiator (B) in the photosensitive resin composition is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 1 to 20 parts by mass, in terms of solid content, with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). Thereby, the hardenability of the core part can be improved.

또한, 감광성 수지 조성물이, 상기 벤조인 화합물 등을 광중합 개시 보조제 등으로서 포함하는 경우, 그 배합량은, 고형분 환산으로, (A) 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여, 0.01 내지 10질량부인 것이 바람직하고, 0.1 내지 5질량부인 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 심부의 경화성을 향상할 수 있다.In addition, when the photosensitive resin composition contains the above-described benzoin compound or the like as a photopolymerization initiation auxiliary agent or the like, the compounding amount is preferably 0.01 to 10 parts by mass, in terms of solid content, with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). , it is more preferable that it is 0.1 to 5 parts by mass. Thereby, the hardenability of the core part can be improved.

<(C) 실리카><(C) Silica>

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, (C) 실리카를 포함한다. 본 발명에 있어서 사용되는 (C) 실리카는, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와, 비닐기, (메타)아크릴로일기 및 스티릴기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 것이다. 이와 같이, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와 특정한 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카를 사용함으로써, 탄성률 등의 도막 물성의 저하를 억제함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물로 할 수 있다. 이 이유는 분명하지는 않지만, 이하와 같이 추정할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains (C) silica. (C) Silica used in the present invention is a silane coupling agent having no reactive functional group, and a silane couple having at least one type of reactive functional group selected from the group consisting of a vinyl group, (meth)acryloyl group, and styryl group. It is surface treated with two types of silane coupling agents. In this way, by using silica surface-treated with two types of silane coupling agents, a silane coupling agent without a reactive functional group and a silane coupling agent with a specific reactive functional group, a decrease in the physical properties of the coating film such as elastic modulus is suppressed, A photosensitive resin composition with excellent storage stability can be used. Although the reason for this is not clear, it can be estimated as follows.

즉, 탄성률 등의 도막 물성을 향상시키는 관점에서는, 배합되는 실리카의 표면이 소정의 반응성 관능기를 갖고 있는 쪽이 바람직하지만, 상기한 바와 같이, 반응성 관능기를 갖고 있는 실란 커플링제가, 유리의 실란 커플링제로서 감광성 수지 조성물 중에 존재하면, 실란 커플링제끼리가 반응하거나, 실란 커플링제가 감광성 수지 조성물 중의 다른 성분과 반응하는 경우가 있어 보존 안정성이 악화된다. 그 때문에, 실리카를 표면 처리할 때에 사용하는 반응성 관능기를 갖고 있는 실란 커플링제의 양을 적게 하면 보존 안정성은 향상되지만, 표면 처리된 실리카의 친수성이 강해져 응집 등의 문제가 발생하는 것으로 생각된다. 본 발명에 있어서는, 실리카를 피복하는 실란 커플링제 중, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용하여 도막 물성을 향상시키면서도, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제를 병용함으로써 실리카에 소수성을 부여하여 응집 등을 억제하여 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물이 얻어지는 것으로 추측할 수 있다.That is, from the viewpoint of improving coating film properties such as elastic modulus, it is preferable that the surface of the silica to be blended has a predetermined reactive functional group. However, as described above, the silane coupling agent having a reactive functional group is a silane coupling agent of the glass. When it exists as a ring agent in the photosensitive resin composition, silane coupling agents may react with each other or the silane coupling agent may react with other components in the photosensitive resin composition, and storage stability deteriorates. Therefore, if the amount of the silane coupling agent having a reactive functional group used when surface treating silica is reduced, the storage stability is improved, but the hydrophilicity of the surface-treated silica becomes stronger, causing problems such as aggregation. In the present invention, among the silane coupling agents that cover silica, a silane coupling agent having a reactive functional group is used to improve the physical properties of the coating film, and by using a silane coupling agent without a reactive functional group in combination, hydrophobicity is imparted to the silica to prevent aggregation, etc. It can be assumed that by suppressing this, a photosensitive resin composition with excellent storage stability can be obtained.

반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제로서는, 알콕시실릴기 또는 실라놀기를 갖는 Si 원소를 포함하는 화합물을 들 수 있고, 예를 들어 메틸트리메톡시실란, 에틸트리메톡시실란, n-프로필트리메톡시실란, 이소프로필트리메톡시실란, n-부틸트리메톡시실란, 이소부틸트리메톡시실란, n-펜틸트리메톡시실란, 시클로펜틸트리메톡시실란, n-헥실트리메톡시실란, 시클로헥실트리메톡시실란, n-옥틸트리메톡시실란, 이소옥틸트리메톡시실란, n-데실트리메톡시실란, n-도데실트리메톡시실란, n-테트라데실트리메톡시실란, n-헥사데실트리메톡시실란, n-옥타데실트리메톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 알릴트리메톡시실란, 7-옥테닐트리메톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 벤질트리메톡시실란, 1-나프틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 에틸트리에톡시실란, n-프로필트리에톡시실란, 이소프로필트리에톡시실란, n-부틸트리에톡시실란, 이소부틸트리에톡시실란, n-펜틸트리에톡시실란, 시클로펜틸트리에톡시실란, n-헥실트리에톡시실란, 시클로헥실트리에톡시실란, n-옥틸트리에톡시실란, 이소옥틸트리에톡시실란, n-데실트리에톡시실란, n-도데실트리에톡시실란, n-테트라데실트리에톡시실란, n-헥사데실트리에톡시실란, n-옥타데실트리에톡시실란 등을 들 수 있다. 이들 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제는 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 이들 중에서도 메틸트리메톡시실란, 에틸트리메톡시실란을 바람직하게 사용할 수 있다.Silane coupling agents that do not have a reactive functional group include compounds containing a Si element having an alkoxysilyl group or a silanol group, for example, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, and n-propyltrimethoxy. Silane, isopropyltrimethoxysilane, n-butyltrimethoxysilane, isobutyltrimethoxysilane, n-pentyltrimethoxysilane, cyclopentyltrimethoxysilane, n-hexyltrimethoxysilane, cyclohexyltri Methoxysilane, n-octyltrimethoxysilane, isooctyltrimethoxysilane, n-decyltrimethoxysilane, n-dodecyltrimethoxysilane, n-tetradecyltrimethoxysilane, n-hexadecyltrime Toxysilane, n-octadecyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, allyltrimethoxysilane, 7-octenyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, benzyltrimethoxysilane, 1-naphthyltrime Toxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, isopropyltriethoxysilane, n-butyltriethoxysilane, isobutyltriethoxysilane, n-pentyltriethoxy Silane, cyclopentyltriethoxysilane, n-hexyltriethoxysilane, cyclohexyltriethoxysilane, n-octyltriethoxysilane, isooctyltriethoxysilane, n-decyltriethoxysilane, n-dodecyl Triethoxysilane, n-tetradecyltriethoxysilane, n-hexadecyltriethoxysilane, n-octadecyltriethoxysilane, etc. are mentioned. These silane coupling agents that do not have a reactive functional group may be used individually, or may be used in combination of two or more types. Among these, methyltrimethoxysilane and ethyltrimethoxysilane can be preferably used.

반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제로서는, 비닐기 함유 실란 커플링제, (메타)아크릴로일기 함유 실란 커플링제, 스티릴기 함유 실란 커플링제를 들 수 있다. 이들은 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다.Examples of the silane coupling agent having a reactive functional group include a vinyl group-containing silane coupling agent, a (meth)acryloyl group-containing silane coupling agent, and a styryl group-containing silane coupling agent. These may be used individually or in combination of two or more types.

비닐기 함유 실란 커플링제로서는, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, 비닐메틸디메톡시실란, 옥테닐트리메톡시실란, 알릴트리메톡시실란 등을 들 수 있다.As vinyl group-containing silane coupling agents, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltris(2-methoxyethoxy)silane, vinylmethyldimethoxysilane, and octenyltrimethoxysilane. , allyltrimethoxysilane, etc.

또한, (메타)아크릴로일기 함유 실란 커플링제로서는, 1,3-비스(아크릴로일옥시메틸)-1,1,3,3-테트라메틸디실라잔, 1,3-비스(메타크릴로일옥시메틸)-1,1,3,3-테트라메틸디실라잔, 1,3-비스(γ-아크릴로일옥시프로필)-1,1,3,3-테트라메틸디실라잔, 1,3-비스(γ-메타크릴로일옥시프로필)-1,1,3,3-테트라메틸디실라잔, 아크릴로일옥시메틸메틸트리실라잔, 메타크릴로일옥시메틸메틸트리실라잔, 아크릴로일옥시메틸메틸테트라실라잔, 메타크릴로일옥시메틸메틸테트라실라잔, 아크릴로일옥시메틸메틸폴리실라잔, 메타크릴로일옥시메틸메틸폴리실라잔, 3-아크릴로일옥시프로필메틸트리실라잔, 3-메타크릴로일옥시프로필메틸트리실라잔, 3-아크릴로일옥시프로필메틸테트라실라잔, 3-메타크릴로일옥시프로필메틸테트라실라잔, 3-아크릴로일옥시프로필메틸폴리실라잔, 3-메타크릴로일옥시프로필메틸폴리실라잔, 아크릴로일옥시메틸폴리실라잔, 메타크릴로일옥시메틸폴리실라잔, 3-아크릴로일옥시프로필폴리실라잔, 3-메타크릴로일옥시프로필폴리실라잔 등을 들 수 있다.In addition, as a (meth)acryloyl group-containing silane coupling agent, 1,3-bis(acryloyloxymethyl)-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, 1,3-bis(methacryloyloxymethyl)-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, 1oxymethyl)-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, 1,3-bis(γ-acryloyloxypropyl)-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, 1, 3-bis(γ-methacryloyloxypropyl)-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, acryloyloxymethylmethyltrisilazane, methacryloyloxymethylmethyltrisilazane, acrylic Loyloxymethylmethyltetrasilazane, methacryloyloxymethylmethyltetrasilazane, acryloyloxymethylmethylpolysilazane, methacryloyloxymethylmethylpolysilazane, 3-acryloyloxypropylmethyltri Silazane, 3-methacryloyloxypropylmethyltrisilazane, 3-acryloyloxypropylmethyltetrasilazane, 3-methacryloyloxypropylmethyltetrasilazane, 3-acryloyloxypropylmethylpoly Silazane, 3-methacryloyloxypropylmethylpolysilazane, acryloyloxymethylpolysilazane, methacryloyloxymethylpolysilazane, 3-acryloyloxypropylpolysilazane, 3-methacryl Royloxypropyl polysilazane, etc. can be mentioned.

또한, 스티릴기 함유 실란 커플링제로서는, p-스티릴트리메톡시실란 등을 들 수 있다.Additionally, examples of the styryl group-containing silane coupling agent include p-styryltrimethoxysilane.

상기한 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제 중에서도, (메타)아크릴로일기 함유 실란 커플링제를 사용할 수 있고, 예를 들어 메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란을 적합하게 사용할 수 있다.Among the silane coupling agents having the above-mentioned reactive functional group, a silane coupling agent containing a (meth)acryloyl group can be used, for example, methacryloyloxypropyltrimethoxysilane can be suitably used.

(C) 실리카의 표면 처리는, 실리카 100질량부에 대하여 실란 커플링제를 0.5 내지 10질량부의 비율로 첨가함으로써 행해지는 것이 바람직하고, 0.5 내지 2.0질량부의 비율로 첨가하는 것이 보다 바람직하다. 실리카의 표면 처리는, 실리카를 적당한 용제에 분산시킨 분산액을 조제해 두고, 실리카 분산액에 실란 커플링제를 소정량 첨가하여 교반함으로써 실시할 수 있다. 표면 처리의 반응을 촉진하기 위해서, 50 내지 100℃의 온도의 가열 환경 하에서 교반을 행해도 된다.(C) Surface treatment of silica is preferably performed by adding a silane coupling agent at a ratio of 0.5 to 10 parts by mass, more preferably 0.5 to 2.0 parts by mass, based on 100 parts by mass of silica. Surface treatment of silica can be performed by preparing a dispersion in which silica is dispersed in an appropriate solvent, adding a predetermined amount of a silane coupling agent to the silica dispersion, and stirring. In order to promote the surface treatment reaction, stirring may be performed in a heating environment at a temperature of 50 to 100°C.

(C) 실리카는, 실리카 표면에 피복된 실란 커플링제 중, 상기 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양이, 상기 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양보다도 많은 것이 바람직하다. 상기와 같은 피복 비율을 갖는 실란은, 예를 들어 실리카 분산액에 실란 커플링제를 첨가할 때의 양자 배합량을 조정함으로써, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제보다도, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제쪽이 많아지도록 실리카의 표면 처리를 행함으로써 얻을 수 있다. 특히, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양과, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양의 비가, 질량 기준으로 2:1 내지 10:1인 실리카인 것이 바람직하다. 이러한 피복 비율을 갖는 실리카는, 예를 들어 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제와 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제를 질량비로 2:1 내지 10:1의 비율로 포함하는 실란 커플링제를 사용하여 실리카를 표면 처리함으로써 얻을 수 있다. 표면 처리의 유무에 대해서는, 실리카 슬러리 중의 유리한 미반응의 커플링제를 LC-MS로 정량함으로써 확인할 수 있다. 또한, 첨가한 실란 커플링제는 대략 60 내지 90% 정도 피복된다.(C) Among the silane coupling agents coated on the silica surface, the amount of silica coated with the silane coupling agent having the reactive functional group is preferably greater than the amount coated with the silane coupling agent not having the reactive functional group. . As for the silane having the above coverage ratio, for example, by adjusting the proton mixing amount when adding the silane coupling agent to the silica dispersion, the silane coupling agent having a reactive functional group is more common than the silane coupling agent having no reactive functional group. It can be obtained by performing surface treatment of silica so that it becomes clear. In particular, it is preferable that the silica has a ratio of the amount coated by the silane coupling agent having a reactive functional group to the amount coated by the silane coupling agent not having a reactive functional group of 2:1 to 10:1 on a mass basis. Silica having such a coverage ratio is, for example, prepared by using a silane coupling agent containing a silane coupling agent having a reactive functional group and a silane coupling agent not having a reactive functional group in a mass ratio of 2:1 to 10:1. It can be obtained through surface treatment. The presence or absence of surface treatment can be confirmed by quantifying the unreacted coupling agent in the silica slurry by LC-MS. Additionally, approximately 60 to 90% of the added silane coupling agent is covered.

또한, 실리카와 실란 커플링제를 각각 단독으로 동시에 넣은 경우와 비교하여, 표면 처리된 실리카를 사용한 쪽이 보다 높은 효과가 얻어진다.In addition, compared to the case where silica and silane coupling agent are added individually at the same time, a higher effect is obtained when surface-treated silica is used.

표면 처리하는 실리카로서는, 종래 공지된 것을 제한 없이 사용할 수 있고, 비정질, 결정의 어느 것이어도 되고, 이들의 혼합물이어도 된다. 특히 비정질(용융)실리카가 바람직하다.As silica to be surface treated, conventionally known silica can be used without limitation, and may be amorphous, crystalline, or a mixture thereof. In particular, amorphous (fused) silica is preferred.

실리카는, 분산성 등의 관점에서, 평균 입경(D50)이 0.1 내지 1.0㎛인 것이 바람직하고, 0.4 내지 0.8㎛인 것이 보다 바람직하다. 또한, 평균 입경은, 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정법을 사용하여 얻어지는 체적 누적 50%에 있어서의 입경을 의미한다. 또한, 실리카의 평균 입경은, 감광성 수지 조성물을 조제(예비 교반, 혼련)하기 전의 실리카를 상기와 같이 하여 측정한 값을 말하는 것으로 한다.From the viewpoint of dispersibility and the like, silica preferably has an average particle diameter (D50) of 0.1 to 1.0 μm, and more preferably 0.4 to 0.8 μm. In addition, the average particle size means the particle size at 50% of volume accumulation obtained using a laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method. In addition, the average particle diameter of silica shall refer to the value measured as above for silica before preparing the photosensitive resin composition (preliminary stirring, kneading).

감광성 수지 조성물에 있어서의 실리카의 배합량은, 도막 물성 등의 관점에서, 감광성 수지 조성물 중의 고형분 전체에 대하여, 50 내지 90질량%인 것이 바람직하고, 60 내지 90질량%인 것이 보다 바람직하다.The compounding amount of silica in the photosensitive resin composition is preferably 50 to 90% by mass, more preferably 60 to 90% by mass, based on the total solid content in the photosensitive resin composition from the viewpoint of coating film physical properties and the like.

<무기 필러><Inorganic filler>

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, 상기한 (C) 실리카 이외에도, 다른 무기 필러를 포함하고 있어도 된다. 무기 필러로서는, 공지된 것을 사용할 수 있고, 탈크, 마이카, 산화알루미늄, 산화칼슘, 산화마그네슘, 산화아연, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 플라이 애시, 탈수 오니, 카올린, 클레이, 수산화칼슘, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘, 히드로탈사이트, 규산알루미늄, 규산마그네슘, 규산칼슘, 월라스토나이트, 티타늄산칼륨, 황산마그네슘, 황산칼슘, 인산마그네슘, 세피올라이트, 조놀라이트, 질화붕소, 붕산알루미늄, 실리카 벌룬, 유리 플레이크, 유리 벌룬, 제철 슬래그, 구리, 철, 산화철, 센더스트, 알니코 자석, 각종 페라이트 등의 자성분, 시멘트, 유리 분말, 노이부르크 규토, 규조토, 삼산화안티몬, 마그네슘옥시설페이트, 수화알루미늄, 수화석고, 명반 및 황산바륨 등을 들 수 있다. 이들 무기 필러는 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 또한, (C) 실리카 이외의 무기 필러도, 실리카 마찬가지로 표면 처리가 이루어져 있어도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention may contain other inorganic fillers in addition to the (C) silica described above. Known inorganic fillers can be used, including talc, mica, aluminum oxide, calcium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, fly ash, dehydrated sludge, kaolin, clay, calcium hydroxide, aluminum hydroxide, and magnesium hydroxide. , hydrotalcite, aluminum silicate, magnesium silicate, calcium silicate, wollastonite, potassium titanate, magnesium sulfate, calcium sulfate, magnesium phosphate, sepiolite, zonolite, boron nitride, aluminum borate, silica balloon, glass flake, Glass balloon, steel slag, copper, iron, iron oxide, sendust, alnico magnet, various ferrite and other magnetic components, cement, glass powder, Neuburg silica, diatomaceous earth, antimony trioxide, magnesium oxysulfate, hydrated aluminum, hydrated gypsum, Alum and barium sulfate can be mentioned. These inorganic fillers may be used individually or in combination of two or more types. Additionally, (C) inorganic fillers other than silica may also be surface treated similarly to silica.

상기한 (C) 실리카 이외의 무기 필러는, 분산성 등의 관점에서, 평균 입경(D50)이 0.1 내지 100㎛인 것이 바람직하고, 0.1 내지 50㎛인 것이 보다 바람직하다. 또한, 평균 입경은 상기한 정의와 동일한 의미이다.From the viewpoint of dispersibility, etc., the inorganic filler other than (C) silica described above preferably has an average particle diameter (D50) of 0.1 to 100 μm, and more preferably 0.1 to 50 μm. Additionally, average particle size has the same meaning as the above definition.

감광성 수지 조성물에 있어서의 (C) 실리카 이외의 무기 필러의 배합량은, (C) 실리카의 배합량과의 관계에 있어서 적절히 조정할 수 있지만, 통상은 0 내지 20질량%의 범위에서 조정된다.The amount of inorganic filler other than (C) silica in the photosensitive resin composition can be adjusted appropriately in relation to the amount of silica (C), but is usually adjusted within the range of 0 to 20% by mass.

<광중합성 모노머><Photopolymerizable monomer>

본 발명의 감광성 수지 조성물은, (D) 광중합성 모노머를 포함한다. 광중합성 모노머는, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 모노머이다. 이러한 광중합성 모노머로서는, 예를 들어 관용 공지된 폴리에스테르(메타)아크릴레이트, 폴리에테르(메타)아크릴레이트, 우레탄(메타)아크릴레이트, 카보네이트(메타)아크릴레이트, 에폭시(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 구체적으로는, 2-에틸헥실아크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트 등의 알킬아크릴레이트류; 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트 등의 히드록시알킬아크릴레이트류; 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 디프로필렌글리콜 등의 알킬렌옥사이드 유도체의 모노 또는 디아크릴레이트류; N,N-디메틸아크릴아미드, N-메틸올아크릴아미드, N,N-디메틸아미노프로필아크릴아미드 등의 아크릴아미드류; N,N-디메틸아미노에틸아크릴레이트, N,N-디메틸아미노프로필아크릴레이트 등의 아미노알킬아크릴레이트류; 헥산디올, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디트리메틸올프로판, 디펜타에리트리톨, 트리스히드록시에틸이소시아누레이트 등의 다가 알코올 또는 이들의 알킬렌옥사이드 부가물 혹은 ε-카프로락톤 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 페녹시아크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트 등의 페놀류 또는 이들의 알킬렌옥사이드 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 글리세린디글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 글리시딜에테르의 아크릴레이트류; 상기에 한정되지 않고, 폴리에테르폴리올, 폴리카보네이트디올, 수산기 말단 폴리부타디엔, 폴리에스테르폴리올 등의 폴리올을 직접 아크릴레이트화, 혹은, 디이소시아네이트를 개재하여 우레탄아크릴레이트화한 아크릴레이트류 및 멜라민아크릴레이트 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류의 적어도 어느 1종으로부터 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 이러한 광중합성 모노머는, 반응성 희석제로서도 사용할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a photopolymerizable monomer. A photopolymerizable monomer is a monomer having an ethylenically unsaturated double bond. Examples of such photopolymerizable monomers include commonly known polyester (meth)acrylate, polyether (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, carbonate (meth)acrylate, epoxy (meth)acrylate, etc. I can hear it. Specifically, alkyl acrylates such as 2-ethylhexyl acrylate and cyclohexyl acrylate; Hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; Mono or diacrylates of alkylene oxide derivatives such as ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, and dipropylene glycol; Acrylamides such as N,N-dimethylacrylamide, N-methylolacrylamide, and N,N-dimethylaminopropylacrylamide; Aminoalkyl acrylates such as N,N-dimethylaminoethyl acrylate and N,N-dimethylaminopropyl acrylate; Polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, ditrimethylolpropane, dipentaerythritol, and trishydroxyethyl isocyanurate, or their alkylene oxide adducts or ε-caprolactone adducts, etc. polyacrylates; polyacrylates such as phenols such as phenoxyacrylate and bisphenol A diacrylate or alkylene oxide adducts thereof; Acrylates of glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, and triglycidyl isocyanurate; Not limited to the above, acrylates and melamine acrylates obtained by directly acrylating polyols such as polyether polyol, polycarbonate diol, hydroxyl-terminated polybutadiene, and polyester polyol, or converting them into urethane acrylates through diisocyanate. and at least one type of methacrylate corresponding to the acrylate described above. This photopolymerizable monomer can also be used as a reactive diluent.

(D) 광중합성 모노머는, 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 광중합성 모노머의 배합량은, (A) 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여, 고형분 환산으로 0.5 내지 30질량부인 것이 바람직하다. 배합량이 0.5질량부 이상이면 광경화성이 양호하고, 활성 에너지선 조사 후의 알칼리 현상에 있어서, 패턴 형성을 하기 쉽다. 또한, 배합량이 30질량부 이하이면, 할레이션이 발생하기 어려워 양호한 해상성이 얻어진다.(D) Photopolymerizable monomers can be used individually or in combination of two or more types. The compounding amount of the photopolymerizable monomer is preferably 0.5 to 30 parts by mass in terms of solid content, based on 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). When the compounding amount is 0.5 parts by mass or more, photocurability is good and pattern formation is easy to achieve in alkali development after irradiation with active energy rays. Additionally, if the mixing amount is 30 parts by mass or less, halation is unlikely to occur and good resolution is obtained.

<(E) 열경화성 성분><(E) Thermosetting component>

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 상기한 성분에 첨가하여, (E) 열경화성 성분이 포함되어 있어도 된다. 열경화성 성분으로서는, 이소시아네이트 화합물, 블록 이소시아네이트 화합물, 아미노 수지, 말레이미드 화합물, 벤조옥사진 수지, 카르보디이미드 수지, 시클로카보네이트 화합물, 에폭시 화합물, 옥세탄 화합물, 에피술피드 수지 등의 공지 관용의 것을 들 수 있다. 이들 중에서도 바람직한 열경화성 성분은, 에폭시 수지이다.The photosensitive resin composition of the present invention may contain (E) a thermosetting component in addition to the above components. Examples of thermosetting components include well-known and commonly used ones such as isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, amino resins, maleimide compounds, benzoxazine resins, carbodiimide resins, cyclocarbonate compounds, epoxy compounds, oxetane compounds, and episulfide resins. You can. Among these, a preferable thermosetting component is an epoxy resin.

에폭시 수지로서는, 예를 들어 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀 A의 노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리페닐메탄형 에폭시 수지 등을 들 수 있고, 이들은 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다.Examples of the epoxy resin include bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, brominated bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol S-type epoxy resin, phenol novolak-type epoxy resin, and cresol novolak. type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenylmethane type epoxy resin, etc., and these can be used alone. You may use it, or you may use it in combination of two or more types.

시판되는 에폭시 수지로서는, 예를 들어 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제의 jER 828, 806, 807, YX8000, YX8034, 834, 닛테츠 케미컬 & 머티리얼 가부시키가이샤제의 YD-128, YDF-170, ZX-1059, ST-3000, DIC 가부시키가이샤제의 EPICLON 830, 835, 840, 850, N-730A, N-695 및 닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제의 RE-306 등을 들 수 있다.Commercially available epoxy resins include, for example, jER 828, 806, 807, YX8000, YX8034, and 834 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and YD-128, YDF-170, and ZX-1059 manufactured by Nittetsu Chemical & Materials Corporation. , ST-3000, EPICLON 830, 835, 840, 850, N-730A, N-695 manufactured by DIC Corporation, and RE-306 manufactured by Nippon Kayaku Corporation.

감광성 수지 조성물에 있어서의 에폭시 수지의 에폭시기의 당량은, 카르복실기 함유 수지의 카르복실기의 당량 1에 대하여, 고형분 환산으로 0.5 내지 2.5인 것이 바람직하다. 0.5당량 이상으로 함으로써 경화물에 있어서의 카르복실기의 잔존을 방지하고, 양호한 내열성이나 내알칼리성, 전기 절연성 등을 얻을 수 있다. 또한, 상기 배합량을 2.5당량 이하로 함으로써, 저분자량의 환상 (티오)에테르기가 건조 도막에 잔존하는 것을 방지하고, 경화물의 강도 등을 양호하게 확보할 수 있다.The equivalent weight of the epoxy group of the epoxy resin in the photosensitive resin composition is preferably 0.5 to 2.5 in terms of solid content, with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin. By setting it to 0.5 equivalent or more, residual carboxyl groups in the cured product can be prevented, and good heat resistance, alkali resistance, electrical insulation, etc. can be obtained. In addition, by setting the above compounding amount to 2.5 equivalents or less, low molecular weight cyclic (thio)ether groups can be prevented from remaining in the dried coating film, and the strength, etc. of the cured product can be ensured.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 열경화성 성분이 포함되는 경우에는, 열경화성 성분의 경화를 촉진하기 위한 열경화 촉매를 포함하고 있어도 된다. 열경화 촉매로서는, 예를 들어 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 4-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 유도체; 디시안디아미드, 벤질디메틸아민, 4-(디메틸아미노)-N,N-디메틸벤질아민, 4-메톡시-N,N-디메틸벤질아민, 4-메틸-N,N-디메틸벤질아민 등의 아민 화합물, 아디프산디히드라지드, 세바스산디히드라지드 등의 히드라진 화합물; 트리페닐포스핀 등의 인 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 시판되고 있는 것으로서는, 예를 들어 시꼬꾸 가세이 고교 가부시키가이샤제의 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ(모두 이미다졸계 화합물의 상품명), 산 아프로 가부시키가이샤제의 U-CAT 3513N(디메틸아민계 화합물의 상품명), DBU, DBN, U-CAT SA 102(모두 2환식 아미딘 화합물 및 그의 염) 등을 들 수 있다.When the photosensitive resin composition of the present invention contains a thermosetting component, it may contain a thermosetting catalyst for promoting curing of the thermosetting component. As a thermosetting catalyst, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, Imidazole derivatives such as 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole and 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; Amines such as dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine. compounds, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; Phosphorus compounds, such as triphenylphosphine, etc. are mentioned. Additionally, commercially available products include, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (all brand names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Corporation, and San Afro Corporation. Examples include U-CAT 3513N (a brand name for a dimethylamine compound), DBU, DBN, and U-CAT SA 102 (all bicyclic amidine compounds and salts thereof).

상기한 화합물에 한정되는 것은 아니고, 에폭시 수지나 옥세탄 화합물의 열경화 촉매, 혹은 에폭시기 및 옥세타닐기의 적어도 어느 1종과 카르복실기의 반응을 촉진하는 것이면 되고, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 또한, 구아나민, 아세토구아나민, 벤조구아나민, 멜라민, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진, 2-비닐-2,4-디아미노-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진·이소시아누르산 부가물, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진·이소시아누르산 부가물 등의 S-트리아진 유도체를 사용할 수도 있고, 바람직하게는 이들 밀착성 부여제로서도 기능하는 화합물을 열경화 촉매와 병용한다.It is not limited to the above-mentioned compounds, and can be any heat curing catalyst for an epoxy resin or oxetane compound, or anything that promotes the reaction between at least one type of epoxy group and oxetanyl group and a carboxyl group, either alone or in a mixture of two or more types. You may use it. Additionally, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine Azine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine·isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine·isocyanuric acid S-triazine derivatives such as adducts may be used, and preferably, these compounds that also function as adhesion imparting agents are used in combination with a thermosetting catalyst.

열경화 촉매는, 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 열경화 촉매의 배합량은, 수지 조성물의 보존 안정성이나 경화 피막의 내열성의 관점에서, (A) 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여 고형분 환산으로 0.01 내지 30질량부인 것이 바람직하고, 0.1 내지 20질량부인 것이 보다 바람직하다.The thermosetting catalyst can be used individually or in combination of two or more types. From the viewpoint of the storage stability of the resin composition and the heat resistance of the cured film, the amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.01 to 30 parts by mass, and 0.1 to 20 parts by mass in terms of solid content, per 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). It is more desirable.

<기타의 성분><Other ingredients>

본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, 상기한 성분 이외에도 필요에 따라, 착색제, 엘라스토머, 머캅토 화합물, 우레탄화 촉매, 틱소트로픽화제, 밀착 촉진제, 블록 공중합체, 연쇄 이동제, 중합 금지제, 동해 방지제, 산화 방지제, 방청제, 유기 벤토나이트, 몬모릴로나이트 등의 증점제, 실리콘계, 불소계, 고분자계 등의 소포제 및 레벨링제의 적어도 어느 1종, 포스핀산염, 인산에스테르 유도체, 포스파젠 화합물 등의 인 화합물 등의 난연제 등의 성분을 배합할 수 있다. 이들은, 전자 재료의 분야에 있어서 공지의 것을 사용 할 수 있다.In addition to the above-mentioned components, the photosensitive resin composition according to the present invention may optionally contain a colorant, an elastomer, a mercapto compound, a urethanization catalyst, a thixotropic agent, an adhesion promoter, a block copolymer, a chain transfer agent, a polymerization inhibitor, an anti-freezing agent, Antioxidants, rust inhibitors, thickeners such as organic bentonite and montmorillonite, at least one type of defoamer and leveling agent such as silicone-based, fluorine-based, and polymer-based, flame retardants such as phosphorus compounds such as phosphinate, phosphate ester derivatives, and phosphazene compounds, etc. The ingredients can be combined. These can be those known in the field of electronic materials.

본 발명의 감광성 수지 조성물에는, 조제의 용이함이나 도포성의 관점에서 유기 용제를 배합해도 된다. 유기 용제로서는 메틸에틸케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류; 톨루엔, 크실렌, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 카르비톨, 메틸카르비톨, 부틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 글리콜에테르류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 락트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 탄산프로필렌 등의 에스테르류; 옥탄, 데칸 등의 지방족 탄화수소류; 석유 에테르, 석유 나프타, 솔벤트 나프타 등의 석유계 용제 등, 공지 관용의 유기 용제를 사용할 수 있다. 이들의 유기 용제는, 1종을 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.You may mix|blend an organic solvent with the photosensitive resin composition of this invention from the viewpoint of ease of preparation and applicability. Examples of organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; Cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether. Glycol ethers such as acetate and tripropylene glycol monomethyl ether; esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; Aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; Known and commonly used organic solvents such as petroleum-based solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha can be used. These organic solvents can be used individually or in combination of two or more types.

감광성 수지 조성물에 있어서의 유기 용제의 배합량은, 감광성 수지 조성물을 구성하는 재료에 따라 적절히 변경할 수 있고, 예를 들어 (A) 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여 고형분 환산으로 30 내지 300질량부로 할 수 있다.The mixing amount of the organic solvent in the photosensitive resin composition can be appropriately changed depending on the materials constituting the photosensitive resin composition, for example, it can be 30 to 300 parts by mass in terms of solid content with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). there is.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 드라이 필름화하여 사용해도 액상으로서 사용해도 된다. 또한, 액상으로서 사용하는 경우에는, 1액성이어도 2액성 이상 이어도 된다.The photosensitive resin composition of the present invention may be used in the form of a dry film or may be used in liquid form. In addition, when using it as a liquid, it may be one-liquid or two-liquid or more.

<드라이 필름><Dry film>

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 제1 필름과, 당해 제1 필름 상에 형성된 상기 감광성 수지 조성물로 이루어지는 수지층을 구비한 드라이 필름의 형태로 할 수도 있다. 본 발명에 의한 드라이 필름에 있어서의 제1 필름이란, 기판 등의 기재 상에, 드라이 필름 상에 형성된 감광성 수지 조성물로 이루어지는 수지층측이 접하도록 가열 등에 의해 라미네이트하여 일체 성형할 때에는 적어도 수지층에 접착하고 있는 것을 말한다. 제1 필름은, 라미네이트 후의 공정에 있어서, 수지층으로부터 박리해도 된다. 특히, 본 발명에 있어서는 노광 후의 공정에 있어서, 수지층으로부터 박리하는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention can also be in the form of a dry film provided with a first film and a resin layer made of the photosensitive resin composition formed on the first film. The first film in the dry film according to the present invention is laminated on a substrate such as a substrate so that the resin layer side made of the photosensitive resin composition formed on the dry film is in contact with it by heating or the like, and when integrally molded, it is at least in the resin layer. It means that it is glued. The first film may be peeled from the resin layer in the process after lamination. In particular, in the present invention, it is preferable to peel from the resin layer in the step after exposure.

드라이 필름을 제작하기 위해서는, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 유기 용제로 희석하여 적절한 점도로 조정하고, 콤마 코터, 블레이드 코터, 립 코터, 로드 코터, 스퀴즈 코터, 리버스 코터, 트랜스퍼 롤 코터, 그라비아 코터, 스프레이 코터 등으로 제1 필름 상에 균일한 두께로 도포하고, 통상, 50 내지 130℃의 온도에서 1 내지 30분간 건조시켜서 막을 얻을 수 있다. 도포 막 두께에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로, 건조 후의 막 두께로, 1 내지 150㎛, 바람직하게는 5 내지 60㎛의 범위에서 적절히 선택된다.In order to produce a dry film, the photosensitive resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate viscosity, and a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater, gravure coater, A film can be obtained by applying it to a uniform thickness on the first film using a spray coater or the like and drying it for 1 to 30 minutes, usually at a temperature of 50 to 130°C. There is no particular limitation on the coating film thickness, but generally, the film thickness after drying is appropriately selected from the range of 1 to 150 ㎛, preferably 5 to 60 ㎛.

제1 필름으로서는, 공지의 것이면 특별히 제한 없이 사용할 수 있고, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르 필름, 폴리이미드 필름, 폴리아미드이미드 필름, 폴리프로필렌 필름, 폴리스티렌 필름 등의 열가소성 수지로 이루어지는 필름을 적합하게 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 내열성, 기계적 강도, 취급성 등의 관점에서, 폴리에스테르 필름이 바람직하다. 또한, 이들 필름의 적층체를 제1 필름으로서 사용할 수도 있다.As the first film, any known film can be used without particular limitation, for example, polyester films such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyimide films, polyamideimide films, polypropylene films, and thermoplastic resins such as polystyrene films. A film consisting of can be suitably used. Among these, polyester films are preferable from the viewpoint of heat resistance, mechanical strength, handleability, etc. Additionally, a laminate of these films can also be used as the first film.

또한, 상기한 바와 같은 열가소성 수지 필름은, 기계적 강도 향상의 관점에서, 1축 방향 또는 2축 방향으로 연신된 필름인 것이 바람직하다.In addition, the thermoplastic resin film as described above is preferably a film stretched in the uniaxial or biaxial direction from the viewpoint of improving mechanical strength.

제1 필름의 두께는, 특별히 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어 10㎛ 내지 150㎛로 할 수 있다.The thickness of the first film is not particularly limited, but can be, for example, 10 μm to 150 μm.

제1 필름 상에 본 발명의 감광성 수지 조성물의 수지층을 형성한 후, 또한, 수지층의 표면에 티끌이 부착되는 것을 방지하는 등의 목적으로, 수지층의 표면에 박리 가능한 제2 필름을 적층하는 것이 바람직하다. 본 발명에 의한 드라이 필름에 있어서의 제2 필름이란, 기판 등의 기재 상에 드라이 필름의 수지층측이 접하도록 가열 등에 의해 라미네이트하여 일체 성형할 때, 라미네이트 전에 수지층으로부터 박리하는 것을 말한다.After forming a resin layer of the photosensitive resin composition of the present invention on the first film, a second peelable film is laminated on the surface of the resin layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. It is desirable to do so. The second film in the dry film according to the present invention refers to a film that is peeled from the resin layer before lamination when laminated and integrally molded by heating or the like so that the resin layer side of the dry film is in contact with a base material such as a substrate.

수지층으로부터 박리 가능한 제2 필름으로서는, 예를 들어 폴리에틸렌 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 표면 처리한 종이 등을 사용할 수 있고, 제2 필름을 박리할 때에 수지층과 제1 필름의 접착력보다도 수지층과 제2 필름의 접착력이 보다 작은 것이면 된다.As the second film that can be peeled from the resin layer, for example, polyethylene film, polytetrafluoroethylene film, polypropylene film, surface-treated paper, etc. can be used. When peeling the second film, the resin layer and the first film can be used. The adhesive force between the resin layer and the second film may be smaller than the adhesive force of .

제2 필름의 두께는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 10㎛ 내지 150㎛로 할 수 있다.The thickness of the second film is not particularly limited, but can be, for example, 10 μm to 150 μm.

<경화물><Hardened product>

본 발명의 경화물은, 상기한 감광성 수지 조성물 또는 상기한 드라이 필름의 수지층을 경화하여 얻어지는 것이다.The cured product of the present invention is obtained by curing the photosensitive resin composition described above or the resin layer of the dry film described above.

<프린트 배선판><Printed wiring board>

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 감광성 수지 조성물 또는 드라이 필름의 수지층으로부터 얻어지는 경화물을 갖는 것이다. 본 발명의 프린트 배선판의 제조 방법으로서는, 예를 들어 본 발명의 감광성 수지 조성물을, 상기 유기 용제를 사용하여 도포 방법에 적합한 점도로 조정하고, 기재 상에, 딥 코팅법, 플로 코팅법, 롤 코팅법, 바 코팅법, 스크린 인쇄법, 커튼 코팅법 등의 방법에 의해 도포한 후, 60 내지 100℃의 온도에서 조성물 중에 포함되는 유기 용제를 휘발 건조(가건조)시킴으로써, 태크 프리의 수지층을 형성한다. 또한, 드라이 필름의 경우, 라미네이터 등에 의해 수지층이 기재와 접촉하도록 기재 상에 접합한 후, 제1 필름을 박리함으로써, 기재 상에 수지층을 형성한다.The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the photosensitive resin composition of the present invention or the resin layer of the dry film. As a method for producing a printed wiring board of the present invention, for example, the photosensitive resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the application method using the above-mentioned organic solvent, and applied to the substrate by dip coating, flow coating, or roll coating. After application by a method such as a coating method, a bar coating method, a screen printing method, or a curtain coating method, the organic solvent contained in the composition is volatilized to dryness (tentative drying) at a temperature of 60 to 100 ° C. to form a tack-free resin layer. form Additionally, in the case of a dry film, a resin layer is formed on the substrate by bonding the resin layer onto the substrate using a laminator or the like so that it contacts the substrate, and then peeling off the first film.

상기 기재로서는, 미리 구리 등에 의해 회로 형성된 프린트 배선판이나 플렉시블 프린트 배선판 외에, 종이 페놀, 종이 에폭시, 유리 천 에폭시, 유리 폴리이미드, 유리 천/부직포 에폭시, 유리 천/종이 에폭시, 합성 섬유 에폭시, 불소 수지·폴리에틸렌·폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌옥사이드·시아네이트 등을 사용한 고주파 회로용 동장 적층판 등의 재질을 사용한 것으로, 모든 그레이드(FR-4 등)의 동장 적층판, 기타, 금속 기판, 폴리이미드 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 필름, 유리 기판, 세라믹 기판, 웨이퍼판 등을 들 수 있다.As the substrate, in addition to printed wiring boards and flexible printed wiring boards with circuits formed in advance of copper or the like, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/nonwoven epoxy, glass cloth/paper epoxy, synthetic fiber epoxy, and fluorine resin. · Materials such as copper-clad laminates for high-frequency circuits using polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc. are used, including copper-clad laminates of all grades (FR-4, etc.), metal substrates, and polyimide films. , polyethylene terephthalate film, polyethylene naphthalate (PEN) film, glass substrate, ceramic substrate, wafer plate, etc.

드라이 필름의 형태인 경우에는, 기재 상으로의 접합은, 진공 라미네이터 등을 사용하여, 가압 및 가열 하에서 행하는 것이 바람직하다. 이러한 진공 라미네이터를 사용함으로써, 회로 형성된 기판을 사용한 경우에, 회로 기판 표면에 요철이 있어도, 드라이 필름이 회로 기판에 밀착하기 때문에, 기포의 혼입이 없고, 또한, 기판 표면의 오목부의 구멍 메움성도 향상된다. 가압 조건은, 0.1 내지 2.0MPa 정도인 것이 바람직하고, 또한, 가열 조건은, 40 내지 120℃인 것이 바람직하다.When it is in the form of a dry film, bonding onto the substrate is preferably performed under pressure and heating using a vacuum laminator or the like. By using such a vacuum laminator, when using a circuit board, even if the surface of the circuit board has irregularities, the dry film adheres closely to the circuit board, so there is no mixing of air bubbles, and the hole filling ability of the concave part of the board surface is also improved. do. Pressurizing conditions are preferably about 0.1 to 2.0 MPa, and heating conditions are preferably 40 to 120°C.

본 발명의 감광성 수지 조성물이 유기 용제를 포함하는 경우, 기재 표면에 감광성 수지 조성물을 도포한 후, 휘발 건조를 행하는 것이 바람직하다. 휘발 건조는, 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨벡션 오븐 등(증기에 의한 공기 가열 방식의 열원을 구비한 것을 사용하여 건조기 내의 열풍을 향류 접촉하게 하는 방법 및 노즐로부터 기재에 분사하는 방식)을 사용하여 행할 수 있다.When the photosensitive resin composition of the present invention contains an organic solvent, it is preferable to apply volatilization and drying after applying the photosensitive resin composition to the surface of the substrate. Volatilization drying is performed using a hot air circulation drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc. (a method of countercurrent contact with hot air in a dryer using a heat source of steam-based air heating type, and spraying onto the substrate from a nozzle). method) can be used.

기재 상에 수지층을 형성 후, 소정의 패턴을 형성한 포토마스크를 통하여 선택적으로 활성 에너지선에 의해 노광하고, 미노광부를 희알칼리 수용액(예를 들어, 0.3 내지 3질량% 탄산소다 수용액)에 의해 현상하여 경화물의 패턴을 형성한다. 드라이 필름의 경우에는, 노광 후, 드라이 필름으로부터 제1 필름을 박리하여 현상을 행함으로써, 기재 상에 패터닝된 경화물을 형성한다. 또한, 드라이 필름의 형태인 경우, 특성을 손상시키지 않는 범위라면, 노광 전에 드라이 필름으로부터 제1 필름을 박리하고, 노출된 수지층을 노광 및 현상해도 된다. 또한, 경화물에 활성 에너지선을 조사 후에 가열 경화(예를 들어, 100 내지 220℃), 혹은 가열 경화 후에 활성 에너지선을 조사, 또는, 가열 경화만으로 최종 마무리 경화(본경화)시킴으로써, 밀착성, 경도 등의 여러 특성이 우수한 경화 피막을 형성할 수 있다.After forming a resin layer on the substrate, it is selectively exposed to active energy rays through a photomask with a predetermined pattern, and the unexposed portion is diluted in a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3% by mass aqueous sodium carbonate solution). developed to form a pattern of the cured product. In the case of a dry film, after exposure, the first film is peeled from the dry film and developed, thereby forming a patterned cured product on the substrate. In addition, in the case of a dry film form, as long as the properties are not impaired, the first film may be peeled from the dry film before exposure, and the exposed resin layer may be exposed and developed. In addition, by irradiating the cured product with active energy rays and then heat curing (for example, 100 to 220°C), heat curing followed by irradiation with active energy rays, or final curing (main curing) only by heat curing, adhesion, A cured film with excellent properties such as hardness can be formed.

상기 활성 에너지선 조사에 사용되는 노광기로서는, 고압 수은등 램프, 초고압 수은등 램프, 메탈 할라이드 램프, 수은 쇼트 아크 램프 등을 탑재하고, 350 내지 450nm의 범위에서 자외선을 조사하는 장치라면 되고, 또한 직접 묘화 장치(예를 들어, 컴퓨터로부터의 CAD 데이터에 의해 직접 레이저에서 화상을 그리는 레이저 다이렉트 이미징 장치)도 사용할 수 있다. 직묘기의 램프 광원 또는 레이저 광원으로서는, 최대 파장이 350 내지 450nm의 범위에 있는 것이면 된다. 화상 형성을 위한 노광량은 막 두께 등에 따라 다르지만, 일반적으로는 10 내지 1000mJ/cm2, 바람직하게는 20 내지 800mJ/cm2의 범위 내로 할 수 있다.The exposure machine used for the above active energy ray irradiation may be any device equipped with a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, etc., and irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm, and may also be a direct drawing device. (For example, a laser direct imaging device that draws an image on a laser directly from CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or laser light source of the weaving machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The exposure amount for image formation varies depending on the film thickness, etc., but can generally be within the range of 10 to 1000 mJ/cm 2 , preferably 20 to 800 mJ/cm 2 .

상기 현상 방법으로서는, 디핑법, 샤워법, 스프레이법, 브러시법 등에 의한 것일 수 있고, 현상액으로서는, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 인산나트륨, 규산나트륨, 암모니아, 아민류 등의 알칼리 수용액을 사용할 수 있다.The developing method may be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, etc., and the developing solution may be an aqueous alkaline solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, or amines. You can use it.

상기와 같이 하여 기재 상에 경화 피막을 형성한 후, 기재 상에 전자 소자 등의 부품이 땜납 리플로우 처리에 의해 실장된다. 땜납 리플로우 처리는 종래 공지된 방법에 의해 행할 수 있다. 또한, 땜납 리플로우는, 예를 들어 245 내지 260℃에서 5 내지 10초의 처리 조건에 의해 행하는 것이 일반적이다.After forming the cured film on the substrate as described above, components such as electronic elements are mounted on the substrate by solder reflow processing. Solder reflow processing can be performed by a conventionally known method. Additionally, solder reflow is generally performed under processing conditions of, for example, 245 to 260°C for 5 to 10 seconds.

본 발명의 감광성 수지 조성물 또는 드라이 필름은, 프린트 배선판 등의 전자 부품 제조용으로서 적합하게 사용되고, 보다 적합하게는, 영구 피막을 형성하기 위하여 사용된다. 그때, 본 발명의 감광성 수지 조성물 또는 드라이 필름을 사용하여, 상기한 방법 등에 의해 경화물을 형성한다. 본 발명의 감광성 수지 조성물 또는 드라이 필름의 수지층이 절연성인 경우, 적합하게는, 솔더 레지스트 또는 커버 레이 또는 층간 절연층을 형성하기 위하여 사용된다. 특히 패키지 기판에 사용되는 솔더 레지스트 등의 영구 도막의 형성 용도에 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 감광성 수지 조성물은, 솔더 댐을 형성하기 위하여 사용해도 된다.The photosensitive resin composition or dry film of the present invention is suitably used for manufacturing electronic components such as printed wiring boards, and more suitably is used to form a permanent film. At that time, the photosensitive resin composition or dry film of the present invention is used to form a cured product by the method described above. When the resin layer of the photosensitive resin composition or dry film of the present invention is insulating, it is suitably used to form a solder resist, a cover lay, or an interlayer insulating layer. In particular, it can be suitably used for forming permanent coating films such as solder resist used in package substrates. Additionally, the photosensitive resin composition according to the present invention may be used to form a solder dam.

[실시예][Example]

다음으로 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 있어서 「부」 및 「%」라고 하는 것은, 특별히 언급하지 않는 한 모두 질량 기준이다.Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, in the following, “part” and “%” are all based on mass unless otherwise specified.

<합성예 1(알칼리 가용성 수지 A의 합성)><Synthesis Example 1 (Synthesis of Alkali-Soluble Resin A)>

온도계, 질소 도입 장치, 알킬렌옥사이드 도입 장치 및 교반 장치를 구비한 오토클레이브에, 노볼락형 크레졸 수지(상품명 「쇼놀 CRG951」, 아이카 고교 가부시키가이샤제, OH 당량: 119.4) 119.4질량부, 수산화칼륨 1.19질량부 및 톨루엔 119.4질량부를 도입하고, 교반하면서 계 내를 질소 치환하고, 승온하였다. 이어서, 프로필렌옥사이드 63.8질량부를 서서히 적하하고, 125 내지 132℃, 0 내지 4.8kg/㎠로 16시간 반응시켰다. 그 후, 실온까지 냉각하고, 이 반응 용액에 89% 인산 1.56질량부를 첨가 및 혼합하면서 수산화칼륨을 중화하고, 노볼락형 크레졸 수지의 프로필렌옥사이드 반응 용액[고형분: 62.1%; 수산기가: 182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)]을 얻었다. 이 프로필렌옥사이드 반응 용액은, 페놀성 수산기 1당량당 프로필렌옥사이드가 평균 1.08몰 부가한 것이었다.In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device, an alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 parts by mass of novolak-type cresol resin (product name "Shonol CRG951", manufactured by Aika Kogyo Co., Ltd., OH equivalent: 119.4), hydroxyl 1.19 parts by mass of potassium and 119.4 parts by mass of toluene were introduced, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised. Next, 63.8 parts by mass of propylene oxide was gradually added dropwise, and reaction was performed at 125 to 132°C and 0 to 4.8 kg/cm 2 for 16 hours. Thereafter, it was cooled to room temperature, and potassium hydroxide was neutralized while adding and mixing 1.56 parts by mass of 89% phosphoric acid to this reaction solution to form a propylene oxide reaction solution of novolak-type cresol resin [solid content: 62.1%; Hydroxyl value: 182.2mgKOH/g (307.9g/eq.)] was obtained. This propylene oxide reaction solution had an average of 1.08 moles of propylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group.

얻어진 노볼락형 크레졸 수지의 프로필렌옥사이드 반응 용액 293.0질량부, 아크릴산 43.2질량부, 메탄술폰산 11.53질량부, 메틸히드로퀴논 0.18질량부 및 톨루엔 252.9질량부를, 교반기, 온도계 및 공기 취입관을 구비한 반응기에 도입하고, 공기를 10ml/분의 속도로 취입하고, 교반하면서 110℃에서 12시간 반응시켰다. 반응에 의해 생성한 물 12.6질량부를, 톨루엔과의 공비 혼합물로서 유출시켰다. 그 후, 실온까지 냉각하고, 얻어진 반응 용액을 15% 수산화나트륨 수용액 35.35질량부로 중화하고, 이어서 수세하였다. 그 후, 증발기에서 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 118.1질량부로 톨루엔을 치환하면서 증류 제거하고, 노볼락형 아크릴레이트 수지 용액을 얻었다.293.0 parts by mass of the obtained novolak-type cresol resin propylene oxide reaction solution, 43.2 parts by mass of acrylic acid, 11.53 parts by mass of methanesulfonic acid, 0.18 parts by mass of methylhydroquinone, and 252.9 parts by mass of toluene were introduced into a reactor equipped with a stirrer, thermometer, and air intake tube. Then, air was blown in at a rate of 10 ml/min, and the mixture was reacted at 110°C for 12 hours while stirring. 12.6 parts by mass of water produced by the reaction was distilled as an azeotropic mixture with toluene. After that, it was cooled to room temperature, and the obtained reaction solution was neutralized with 35.35 parts by mass of 15% aqueous sodium hydroxide solution and then washed with water. Thereafter, the toluene was distilled off in an evaporator while being replaced with 118.1 parts by mass of diethylene glycol monoethyl ether acetate, and a novolak-type acrylate resin solution was obtained.

이어서, 얻어진 노볼락형 아크릴레이트 수지 용액 332.5질량부 및 트리페닐포스핀 1.22질량부를, 교반기, 온도계 및 공기 취입관을 구비한 반응기에 도입하고, 공기를 10ml/분의 속도로 취입하고, 교반하면서, 테트라히드로프탈산 무수물 60.8질량부를 서서히 첨가하여, 95 내지 101℃에서 6시간 반응시키고, 냉각 후, 취출하였다.Next, 332.5 parts by mass of the obtained novolak-type acrylate resin solution and 1.22 parts by mass of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air blowing tube, and air was blown in at a rate of 10 ml/min while stirring. , 60.8 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added, reacted at 95 to 101°C for 6 hours, cooled, and then taken out.

이와 같이 하여, 알칼리 가용성 수지 A의 용액(고형분: 65질량%, 고형분의 산가: 87.7mgKOH/g)을 얻었다.In this way, a solution of alkali-soluble resin A (solid content: 65% by mass, acid value of solid content: 87.7 mgKOH/g) was obtained.

<실리카의 조제><Preparation of silica>

[실리카 1][Silica 1]

용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PMA) 30g에, 구상 실리카(SFP-30M, 덴카 가부시키가이샤제, 평균 입경 0.6㎛) 70g을 첨가하고 교반하여 예비 분산액을 조제하였다. 이어서, 이 예비 분산액에, 메타크릴옥시프로필트리메톡시실란(KBM-503, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.8g과, 메틸트리메톡시실란(KBM-13, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.1g을 첨가하여, 50℃에서 교반함으로써, 2종류의 실란 커플링제로 표면 처리된 실리카 슬러리(실리카의 고형분 70질량%)를 얻었다.As a solvent, 70 g of spherical silica (SFP-30M, Denka Co., Ltd., average particle size 0.6 μm) was added to 30 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA) and stirred to prepare a preliminary dispersion. Next, to this preliminary dispersion, 0.8 g of methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and methyltrimethoxysilane (KBM-13, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) By adding 0.1 g (manufactured by Kogyo Co., Ltd.) and stirring at 50°C, a silica slurry (silica solid content: 70% by mass) surface-treated with two types of silane coupling agents was obtained.

[실리카 2][Silica 2]

용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PMA) 30g에, 구상 실리카(SFP-30M, 덴카 가부시키가이샤제, 평균 입경 0.6㎛) 70g을 첨가하고 교반하여 예비 분산액을 조제하였다. 이어서, 이 예비 분산액에, 메타크릴옥시프로필트리메톡시실란(KBM-503, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.1g과, 메틸트리메톡시실란(KBM-13, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.8g을 첨가하여, 50℃에서 교반함으로써, 2종류의 실란 커플링제로 표면 처리된 실리카 슬러리(실리카의 고형분 70질량%)를 얻었다.As a solvent, 70 g of spherical silica (SFP-30M, Denka Co., Ltd., average particle size 0.6 μm) was added to 30 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA) and stirred to prepare a preliminary dispersion. Next, 0.1 g of methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and methyltrimethoxysilane (KBM-13, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added to this preliminary dispersion. 0.8 g (manufactured by Kogyo Co., Ltd.) was added and stirred at 50°C to obtain a silica slurry (silica solid content: 70% by mass) surface-treated with two types of silane coupling agents.

[실리카 3][Silica 3]

용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PMA) 30g에, 구상 실리카(SFP-30M, 덴카 가부시키가이샤제, 평균 입경 0.6㎛) 70g을 첨가하고 교반하여 예비 분산액을 조제하였다. 이어서, 이 예비 분산액에, 메타크릴옥시프로필트리메톡시실란(KBM-503, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 3.0g을 첨가하여, 50℃에서 교반함으로써, 1종류의 실란 커플링제만으로 표면 처리된 실리카 슬러리(실리카의 고형분 70질량%)를 얻었다.As a solvent, 70 g of spherical silica (SFP-30M, Denka Co., Ltd., average particle size 0.6 μm) was added to 30 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA) and stirred to prepare a preliminary dispersion. Next, 3.0 g of methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was added to this preliminary dispersion and stirred at 50°C to form a mixture using only one type of silane coupling agent. A surface-treated silica slurry (silica solid content: 70% by mass) was obtained.

[실리카 4][Silica 4]

용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PMA) 30g에, 구상 실리카(SFP-30M, 덴카 가부시키가이샤제, 평균 입경 0.6㎛) 70g을 첨가하고 교반함으로써 표면 처리되어 있지 않은 실리카 슬러리(실리카의 고형분 70질량%)를 얻었다.As a solvent, 70 g of spherical silica (SFP-30M, Denka Co., Ltd., average particle diameter 0.6 μm) was added to 30 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA) and stirred to prepare a silica slurry without surface treatment (silica solid content: 70 mass%) was obtained.

<감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of photosensitive resin composition>

하기 표 1에 기재된 각 성분을 배합하고, 3개 롤밀을 사용하여 실온에서 혼합함으로써, 동 표에 기재된 각 감광성 수지 조성물을 얻었다. 또한, 표 중의 각 수치는 질량부(용제를 포함하는 질량)를 나타낸다.Each of the components shown in Table 1 below was mixed and mixed at room temperature using a three-roll mill to obtain each photosensitive resin composition shown in the same table. In addition, each numerical value in the table represents a mass part (mass including the solvent).

또한, 하기 표 1 중의 각 성분 *1 내지 *6은, 이하와 같다.In addition, each component *1 to *6 in Table 1 below is as follows.

*1: 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제(2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드)*1: Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide)

*2: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트*2: Dipentaerythritol hexaacrylate

*3: 디시안디아미드*3: Dicyandiamide

*4: 페놀노볼락형 에폭시 수지(DIC 가부시키가이샤제)*4: Phenol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation)

*5: 페놀노볼락형 에폭시 수지(DIC 가부시키가이샤제, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 희석 용액, 고형분 75질량%)*5: Phenol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, diethylene glycol monoethyl ether acetate diluted solution, solid content 75% by mass)

*6: 비페닐/페놀노볼락형 에폭시 수지(닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제)*6: Biphenyl/phenol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

<보존 안정성의 평가><Evaluation of storage stability>

상기와 같이 하여 각 감광성 수지 조성물을 조제한 직후에, 애플리케이터를 사용하여 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(T-60, 도레이 가부시키가이샤제, 두께 38㎛)의 표면에 도포하고, 80℃에서 10분간 건조하여 드라이 필름을 제작하였다.Immediately after preparing each photosensitive resin composition as described above, apply it to the surface of a polyethylene terephthalate film (T-60, Toray Co., Ltd., thickness 38㎛) using an applicator, and dry at 80°C for 10 minutes. A film was produced.

또한, 조제한 각 감광성 수지 조성물을 실온 환경 하에서 일주일간 방치한 후, 상기와 마찬가지로 하여 드라이 필름을 제작하였다.Additionally, after each prepared photosensitive resin composition was left in a room temperature environment for one week, a dry film was produced in the same manner as above.

계속해서, 드라이 필름을, 맥크 가부시키가이샤제 CZ-8100을 사용하여 전처리한 프린트 배선 기판에 진공 라미네이터(CVP-600, 닛코·머티리얼즈 가부시키가이샤제)를 사용하여 맞대어 붙임으로써 기판 상에 수지층을 형성하였다. 기판의 수지층측에, 고압 수은등(쇼트 아크 램프) 탑재의 노광 장치를 사용하여, 스텝 태블릿을 개재하여 최적 노광량으로 패턴 노광을 행하고, 30℃의 1질량% 탄산나트륨 수용액을 스프레이압 0.2MPa의 조건에서 60초간 현상을 행하였다. 얻어진 기판을, UV 컨베이어 로에서 적산 노광량 1000mJ/㎠의 조건에서 자외선 조사한 후, 170℃에서 60분 가열하여 수지층을 경화시켜서 평가 기판으로 하였다.Subsequently, the dry film was pasted onto the printed wiring board pretreated using CZ-8100 manufactured by Mack Co., Ltd. using a vacuum laminator (CVP-600, manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) to form water on the substrate. A stratum was formed. On the resin layer side of the substrate, using an exposure device equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), pattern exposure is performed at the optimal exposure amount through a step tablet, and a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30°C is sprayed under the condition of a spray pressure of 0.2MPa. Development was performed for 60 seconds. The obtained substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure dose of 1000 mJ/cm2, and then heated at 170°C for 60 minutes to cure the resin layer, thereby forming an evaluation substrate.

상기와 같이 하여 얻어진 평가 기판의 스텝 태블릿의 패턴 광택을 비교하여, 하기의 평가 기준에 의해 보존 안정성의 평가를 행하였다.The pattern gloss of the step tablet of the evaluation substrate obtained as described above was compared, and storage stability was evaluated according to the following evaluation criteria.

○: 감도의 변화가 +1단 이내였다○: The change in sensitivity was within +1 step.

×: 감도가 2단 이상 상승하고 있었다×: Sensitivity was increasing by 2 steps or more.

평가 결과는 하기의 표 1에 나타내는 대로였다.The evaluation results were as shown in Table 1 below.

<도막 물성(탄성률)의 평가><Evaluation of coating film physical properties (elastic modulus)>

구리 솔리드 기판 상에 구리박의 광택면측을 위로 하여 부착하고, 상기에서 제작한 각 드라이 필름을, 수지층이 기판에 접하도록 진공 라미네이터를 사용하여 맞대어 붙임으로써, 구리박 상에 수지층을 제작하였다.A resin layer was produced on the copper foil by attaching the copper foil with the glossy side facing up on a solid copper substrate, and attaching each of the dry films produced above using a vacuum laminator so that the resin layer was in contact with the substrate. .

수지층에, 은 쇼트 아크 램프 등을 탑재한 노광 장치를 사용하여 상기 최적 노광량으로 노광한 후, UV 컨베이어 로에서 적산 노광량 1000mJ/㎠의 조건에서 자외선 조사한 후, 170℃에서 60분 가열하여 수지층을 경화시켜서 경화막을 형성하였다. 계속해서, 경화막을 구리박으로부터 박리한 후, 측정 사이즈로 샘플을 잘라냈다. 샘플을 오토그래프(AG-X, 가부시키가이샤 시마즈 세이사쿠쇼제)에 제공하여, 탄성률을 측정하였다. 평가 기준은 이하와 같이 하였다.The resin layer is exposed to the optimal exposure amount described above using an exposure device equipped with a silver short arc lamp, etc., then irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm2, and then heated at 170°C for 60 minutes to heat the resin layer. was cured to form a cured film. Subsequently, after peeling the cured film from the copper foil, a sample was cut to the measurement size. The sample was provided to Autograph (AG-X, manufactured by Shimazu Seisakusho Co., Ltd.), and the elastic modulus was measured. The evaluation criteria were as follows.

◎: 실온에서 탄성률이 8GPa 이상◎: Elasticity modulus is 8GPa or more at room temperature

○: 실온에서 탄성률이 6 내지 8GPa○: Elastic modulus is 6 to 8 GPa at room temperature

×: 실온에서 탄성률이 6GPa 미만×: Elastic modulus is less than 6GPa at room temperature

평가 결과는 하기의 표 1에 나타내는 대로였다.The evaluation results were as shown in Table 1 below.

Figure pat00002
Figure pat00002

표 1로부터도 명백한 바와 같이, 실리카로서, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와 특정한 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카를 포함하는 감광성 수지 조성물(실시예 1 내지 3)은 탄성률 등의 도막 물성이 양호하고, 또한 보존 안정성도 우수한 것을 알 수 있다.As is clear from Table 1, a photosensitive resin composition containing silica surface-treated with two types of silane coupling agents, a silane coupling agent having no reactive functional group and a silane coupling agent having a specific reactive functional group (Example It can be seen that 1 to 3) have good coating film physical properties such as elastic modulus, and are also excellent in storage stability.

또한, 2종의 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카를 포함하는 감광성 수지 조성물(실시예 1 내지 3)에 있어서, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양이, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양보다도 많은 실리카를 포함하는 감광성 수지 조성물(실시예 1)은, 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양이, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양보다도 적은 실리카를 포함하는 감광성 수지 조성물(실시예 2)보다도 우수한 탄성률을 갖고 있는 것을 알 수 있다. 또한, 2종의 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카가 50질량% 이상의 비율로 포함되는 감광성 수지 조성물(실시예 1)은, 2종의 커플링제에 의해 표면 처리된 실리카가 50질량% 미만의 비율로 포함되는 감광성 수지 조성물(실시예 3)보다도 우수한 탄성률을 갖고 있는 것을 알 수 있다.Additionally, in the photosensitive resin composition containing silica surface-treated with two types of coupling agents (Examples 1 to 3), the amount coated with the silane coupling agent having a reactive functional group is a silane couple having no reactive functional group. In the photosensitive resin composition (Example 1) containing more silica than the amount coated with the ring agent, the amount coated with the silane coupling agent having a reactive functional group is greater than the amount coated with the silane coupling agent without a reactive functional group. It can be seen that it has an elastic modulus superior to that of the photosensitive resin composition containing less silica (Example 2). In addition, the photosensitive resin composition (Example 1) containing silica surface-treated with two types of coupling agents in a proportion of 50% by mass or more has a proportion of silica surface-treated with two types of coupling agents of less than 50% by mass. It can be seen that it has an elastic modulus superior to that of the photosensitive resin composition (Example 3) contained in .

한편, 실리카로서, 특정한 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제만으로 표면 처리된 실리카를 포함하는 감광성 수지 조성물(비교예 1)이나, 표면 처리되어 있지 않은 실리카를 사용한 감광성 수지 조성물(비교예 2)은, 도막 물성과 보존 안정성을 양립시킬 수 없는 것을 알 수 있다.On the other hand, a photosensitive resin composition containing silica surface-treated only with a silane coupling agent having a specific reactive functional group (Comparative Example 1), or a photosensitive resin composition using silica without surface treatment (Comparative Example 2), is a coating film. It can be seen that physical properties and storage stability cannot be reconciled.

Claims (8)

(A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합 개시제와, (C) 실리카와, (D) 광중합성 모노머를 적어도 포함하여 이루어지는 감광성 수지 조성물로서,
상기 (C) 실리카는, 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제와, 비닐기, (메타)아크릴로일기 및 스티릴기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제의 2종의 실란 커플링제에 의해 표면 처리된 것인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
A photosensitive resin composition comprising at least (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) silica, and (D) a photopolymerizable monomer,
The (C) silica is two types: a silane coupling agent having no reactive functional group, and a silane coupling agent having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a vinyl group, (meth)acryloyl group, and styryl group. A photosensitive resin composition, characterized in that the surface is treated with a silane coupling agent.
제1항에 있어서,
상기 (C) 실리카는, 그의 표면에 피복된 실란 커플링제 중, 상기 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양이, 상기 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양보다도 많은, 감광성 수지 조성물.
According to paragraph 1,
The (C) silica is photosensitive, wherein, among the silane coupling agents coated on its surface, the amount covered by the silane coupling agent having the reactive functional group is greater than the amount coated by the silane coupling agent not having the reactive functional group. Resin composition.
제2항에 있어서,
상기 (C) 실리카에 있어서, 상기 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제에 의해 피복된 양과, 상기 반응성 관능기를 갖지 않는 실란 커플링제에 의해 피복된 양의 비가, 질량 기준으로 2:1 내지 10:1인, 감광성 수지 조성물.
According to paragraph 2,
In the silica (C), the ratio of the amount coated by the silane coupling agent having the reactive functional group to the amount coated by the silane coupling agent not having the reactive functional group is 2:1 to 10:1 on a mass basis. , photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 (C) 실리카가, 감광성 수지 조성물 중의 고형분 전체에 대하여, 50 내지 90질량%의 비율로 포함되는, 감광성 수지 조성물.
According to paragraph 1,
A photosensitive resin composition in which the (C) silica is contained in a ratio of 50 to 90% by mass based on the total solid content in the photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
(E) 열경화성 성분을 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.
According to paragraph 1,
(E) A photosensitive resin composition further comprising a thermosetting component.
제1 필름과, 상기 제1 필름의 한쪽 면에 제1항에 기재된 감광성 수지 조성물을 도포, 건조시킨 수지층을 구비한, 드라이 필름.A dry film comprising a first film and a resin layer obtained by applying and drying the photosensitive resin composition according to claim 1 on one side of the first film. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물, 또는 제6항에 기재된 드라이 필름의 수지층을 경화시킨 경화물.A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, or the resin layer of the dry film according to claim 6. 제7항에 기재된 경화물로 이루어지는 피막을 구비한 프린트 배선판.A printed wiring board provided with a film made of the cured material according to claim 7.
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