KR20230154802A - 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법 및 피막의박리 장치 - Google Patents

피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법 및 피막의박리 장치 Download PDF

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요시히사 히가시다
카즈타카 와타나베
타다마사 스즈키
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도레이 카부시키가이샤
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Abstract

수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름의 표면으로부터, 매우 소량의 용매를 사용해서 효율적으로 피막을 제거할 수 있는 피막 박리 방법, 및 피막 박리 장치를 제공한다. 본 발명의 피막 부착 필름의 피막의 박리 방법은 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법이며, 상기 피막의 표면에 액적 상태의 세정액을 부여하여, 상기 세정액을 상기 피막의 표면에서 액적을 유지시키고, 이어서 상기 피막 부착 필름으로부터 상기 세정액을 포함한 피막을 박리하는 것을 특징으로 한다.

Description

피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법 및 피막의 박리 장치
본 발명은 열가소성 수지 필름의 표면의 피막을 효율적으로 제거하는 것이 가능한 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법 및 피막의 박리 장치에 관한 것이다.
플라스틱은 각종 분야에 이용되고 있는 한편, 마이크로플라스틱 등 해양 오염의 원인물이 되어, 플라스틱에 의한 환경 부하 저감이 급무가 되고 있다.
또한, 최근 IoT(Internet of Things)의 진화에 따라, 컴퓨터나 스마트폰에 탑재되는 CPU 등의 전자 디바이스가 증가하고, 그것에 수반하여 전자 디바이스를 구동하기 위해서 필요한 적층 세라믹 콘덴서(MLCC)의 수도 급격하게 증가하고 있다. 이 MLCC의 일반적인 제조 방법은 플라스틱의 기재 필름 상에 이형층을 형성한 이형 필름을 캐리어 시트로서 사용하고, 상기 이형 필름 상에 세라믹 그린 시트층을 형성하는 공정과, 상기 세라믹 그린 시트층을 박리해서 세라믹 그린 시트로 하는 공정이 있다. 이 공정에 있어서, 세라믹 시트가 박리된 이형 필름은 불요물로서 폐기되게 된다.
즉, 최근의 MLCC 제조 수량의 급격한 증가에 따르는 이형 필름의 폐기물로서의 증대가 환경 문제가 되고 있어, 기재 필름의 재이용을 향한 대응이 활발화되어 오고 있다. 이형 필름에 포함되는 이형층의 성분은 이형성의 관점에서, 일반적으로는 기재 필름을 구성하는 성분과는 상이한 조성이기 때문에, 이형층이 부착된 이형 필름을 그대로 재용융해서 재생 필름을 제막한 경우, 이형층의 성분이 이물로서 존재하기 때문에 안정 제막을 할 수 없다.
특허문헌 1에서는 이형 필름으로부터 이형 성분을 제거하는 방법으로서, 기재 필름과 이형층 사이에 수용성 수지층을 형성한 이형 필름을 사용하고, 온수조에 2초 이상 침지시킨 후에, 이형 필름 표면을 브러시 롤로 찰과시킴으로써 이형층을 박리하는 방법이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 2004-363140호 공보
그러나, 특허문헌 1에 개시되어 있는 피막 박리의 방법은 온수조 내에 수용성 수지층이 용출되기 때문에, 처리 시간의 경과와 함께 온수 중의 수지 농도가 상승하여, 초기의 박리 능력을 계속해서 발현시킬 수 없다고 하는 문제가 있다. 수지 농도의 상승을 억제하기 위해서 물의 공급량을 증대하는 방법을 채용한 경우라도, 물의 공급량과 함께 폐수량도 증대되기 때문에, 세정 비용이 대폭 높아질뿐만 아니라, 환경 부하가 현저하게 커진다고 하는 문제가 있다.
그래서, 본 발명은 사용 후의 피막 부착 필름으로부터 재용융해도 안정적으로 재생 필름이 제막될 수 있는 기재 필름을 얻기 위해서, 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름의 표면으로부터, 매우 소량의 용매를 사용해서 수용성 수지를 용해하여, 효율적으로 피막을 제거할 수 있는 피막 박리 방법, 및 피막 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 피막 박리 방법은 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터 피막을 박리하는 방법이며, 상기 피막의 표면에 액적 상태의 세정액을 부여하여, 상기 세정액을 상기 피막의 표면에서 액적 상태로 유지시키고, 이어서 상기 피막 부착 필름으로부터 상기 세정액을 포함한 상기 피막을 박리한다.
또한, 본 발명의 피막 부착 필름의 박리 방법은 하기와 같은 방법인 것이 바람직하다.
·상기 세정액을 40℃ 이상으로 가열한 상태에서 상기 피막 표면에 부여한다.
·상기 피막 부착 필름을 40℃ 이상으로 가열한다.
·상기 피막이 경화형 실리콘 수지를 포함한다.
·상기 세정액이 물이다.
·상기 세정액의 액적의 직경이 1㎜ 이하이다.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 피막 박리 장치는 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터 피막을 박리하는 장치이며, 상기 피막의 표면을 향해서 액적 상태의 세정액을, 상기 세정액이 상기 피막의 표면에서 액적 상태를 유지할 수 있도록 토출하는 세정액 부여 기구와, 상기 세정액이 상기 피막의 표면에 부여된 상기 피막 부착 필름으로부터 상기 세정액을 포함한 상기 피막을 박리하는 박리 기구를 구비하고 있다.
또한, 본 발명의 피막 부착 필름의 세정 장치는 하기와 같은 형태인 것이 바람직하다.
·상기 세정액 부여 기구가 상기 세정액을 가열하는 수단을 구비하고 있다.
·상기 피막 부착 필름을 가열하는 수단을 구비하고 있다.
본 발명의 피막의 박리 방법 및 피막의 박리 장치에 의하면, 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터, 소량의 세정액으로 효율적으로 피막을 박리할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 박리 장치(101)의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시형태의 박리 장치(201)의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시형태의 박리 장치(301)의 개략도이다.
도 4는 종래의 박리 장치(401)의 개략도이다.
도 5는 본 발명과는 상이한 실시형태의 박리 장치(501)의 개략도이다.
도 6은 본 발명과는 상이한 실시형태의 박리 장치(601)의 개략도이다.
본 발명자들은 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름의 표면으로부터, 매우 소량의 세정액을 사용하고, 효율적으로 피막을 박리하는 방법을 예의 검토한 결과, 다음과 같은 피막 부착 필름의 피막 박리 방법과 피막 박리 장치를 발견하기에 이르렀다.
[대상이 되는 피막 부착 필름]
본 발명의 피막 부착 필름의 피막 박리 방법은 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름을 대상으로 해서, 기재 필름으로부터 세정액을 포함한 피막을 박리해서 제거하는 방법이다.
대상이 되는 피막 부착 필름은 환경에의 부하 등을 고려한 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 모든 피막 부착 필름이 대상이 될 수 있다. 그 중에서도, 수용성 수지로서, 수용성의 폴리에스테르계 수지, 폴리에스테르우레탄계 수지, 아크릴계 수지, 에틸렌 이오노머계 수지, 폴리비닐알코올계 수지, 폴리비닐피롤리돈계 수지, 에틸렌-비닐알코올계 수지, 전분 중 적어도 1종을 주된 성분으로 하는 것이 보다 바람직하다.
수용성 수지를 포함하는 피막은 수용성 수지를 포함하는 단층체여도 좋고, 수용성 수지를 포함하는 2개 이상의 층의 적층체여도 좋고, 수용성 수지를 포함하는 층과 수용성 수지를 포함하지 않는 층의 적층체여도 좋다.
또한, 피막의 일부에 수용성 수지 이외에 이형 성분을 포함하는 피막 부착 이형 필름이 특히 바람직하고, 효율적으로 피막 박리의 효과를 발현시킬 수 있다. 여기서 말하는 이형 성분이란 피막 표면의 세정액에 대한 접촉각을 크고, 즉 피막의 표면 에너지를 작게 하는 성분이며, 예를 들면 디메틸실록산을 주골격으로 하는 경화형 실리콘 수지 화합물, 장쇄 알킬기를 갖는 화합물, 불소를 갖는 화합물이 예시된다. 피막은 수용성 수지와 이형 성분을 포함하는 층이어도 좋고, 수용성 수지를 포함하는 층과 이형 성분을 포함하는 층이 적층되어 있어도 좋다. 적층된 피막의 경우에는, 기재 필름의 바로 위에 수용성 수지를 포함하는 층, 계속해서 최표면에 이형 성분을 포함하는 층이 형성되어 있는 것이 바람직하고, 이형 성분에는 세정액으로서 적합하게 사용할 수 있는 물의 투과성이 높은 디메틸실록산을 주골격으로 하는 경화형 실리콘 수지 화합물을 사용하는 것이 특히 바람직하다.
[피막 부착 필름의 피막 박리 방법]
본 발명의 피막 박리 방법은 상기 피막 부착 필름의 피막 표면에 액적 상태의 세정액을 부여하고, 세정액을 피막 표면에 액적 상태로 유지시키고, 그 후 세정액을 포함하는 피막을 기재 필름으로부터 제거하는 박리 방법이다.
세정액을 피막 표면에 부여하는 방법으로서는 일반적인 도포와 같이 세정액을 면상, 즉 박막상으로 부여하는 방법이 용이하게 상도된다. 그러나, 피막의 일부에 이형 성분을 포함하는 피막 부착 필름과 같이, 세정액의 표면 장력보다 피막의 표면 장력이 작은 피막 부착 필름에 대해서는 세정액이 피막에 튀어서 크게 유동하여 세정액이 편재하여, 세정액이 존재하고 있지 않는 부분에서는 피막 박리의 불량이 발생해 버린다고 하는 문제가 있다.
한편, 본 발명에 의하면, 세정액을 액적 상태로 피막에 이산적으로 부여함으로써, 세정액의 표면 장력보다 피막의 표면 장력이 작은 피막 부착 필름에 대해서도, 피막 표면에 부여한 세정액이 유동하지 않고, 액적 상태를 유지하므로 피막의 대략 전체면에 세정액을 부여할 수 있다. 부여된 세정액은 피막 중의 수용성 수지를 용해하면서 주위로 확산하고, 피막의 전체면에 세정액이 골고루 퍼지므로, 피막의 전체면에서 수용성 수지의 성분이 용해되고, 기재 필름으로부터 세정액을 포함한 피막을 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 대상으로 하는 피막 부착 필름의 피막이 최표면에 이형 성분을 포함한 적층된 피막이었다고 해도, 이형 성분에 상기 디메틸크록산을 주골격으로 하는 경화형 실리콘 수지 화합물을 사용하고 있으면, 세정액이 피막 표면으로부터 투과하여 수용성 수지를 포함하는 층에 도달하므로, 마찬가지의 세정 효과가 발현되어 피막을 박리할 수 있다.
피막의 표면에 부여하는 세정액의 액적의 크기는 세정액이 액적 상태로 피막 상에 이산적으로 유지될 수 있으면, 어떠한 크기라도 좋지만, 액적 지름이 지나치게 크면, 피막 부착 필름의 경사나 진동에 의해 유동해 버려, 이산적으로 부여한 세정액이 편재되어 버리는 경우가 있다. 따라서, 피막 상에서 액적의 유동을 억제하기 위해서는 액적의 직경은 1㎜ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 피막 전체면을 효율적으로 세정하기 위해서는 피막의 두께의 합계가 1㎛ 이하의 피막 부착 필름에서는 단위면적 1㎡당 1㎤ 이상의 세정액을 부여하는 것이 바람직하다. 그렇게 함으로써, 피막 상에 이산적으로 부여된 액적이라도, 수용성 수지를 용해하면서 주위로 확산해서 세정액이 골고루 퍼지기 때문에, 피막 부착 필름의 대략 전체면에서 세정액을 포함한 피막을 박리할 수 있다. 여기서 나타낸 세정액의 액적의 직경은 피막표면에 세정액을 액적 상태로 부여하고 나서 1초 미만의 액적을 현미경으로 관찰·측정한 수치이며, 예를 들면 투명한 피막 부착 필름을 사용하여, 부여한 세정액의 액적을 필름의 이면으로부터 관찰하면, 용이하게 액적의 직경의 측정을 할 수 있다. 또한, 피막 표면에 세정액을 액적 상태로 부여하고 나서 1초 이상 경과한 경우에는, 세정액이 수용성 수지를 용해하면서 확산하는 현상이 진행되어 버려, 측정이 어려운 경우가 있다.
본 발명의 피막 박리 방법에 있어서, 피막 부착 필름에 부여되는 세정액의 온도는 높을수록, 수용성 수지의 용해 속도가 빨라지고, 즉 세정 효과가 향상되기 때문에, 피막 부착 필름에 부여된 세정액의 온도는 40℃ 이상인 것이 바람직하다. 열에 의한 기재 필름의 치수 변화나 평면성 악화 억제를 위해서는, 피막 부착 필름에 부여하는 세정액의 온도는 150℃ 이하인 것이 바람직하다. 따라서, 세정액은 세정액의 온도와 세정액이 부여된 개소의 필름 온도가 각각 40℃∼150℃의 범위가 되도록, 사용하는 장치 구성에 맞춰서 온도 조정을 한 액적 상태로 토출되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 피막 박리 방법에 있어서, 피막 부착 필름의 온도를 높게 함으로써도, 피막 표면에 부여한 세정액에 의한 수용성 수지의 용해 속도를 빠르게 할 수 있고, 즉 세정 효과가 향상되기 때문에, 세정액의 온도와 마찬가지로 피막 부착 필름의 온도를 40℃ 이상 150℃ 이하로 하는 것이 바람직하다. 여기서 나타내는 피막 부착 필름의 온도는 세정액을 부여하기 직전의 피막 표면의 온도이며, 방사 온도계 등을 사용해서 측정할 수 있다.
상기한 바와 같이, 피막 부착 필름에 부여하는 세정액, 또는 피막 부착 필름의 온도를 높게 하는 경우에는, 세정액의 액적의 직경은 10㎛ 이상인 것이 바람직하다. 그렇게 함으로써, 고온 하에서 세정액의 일부가 휘발되었다고 해도, 피막의 세정을 할 수 있다.
본 발명의 박리 방법에 있어서의 세정액은 수용성 수지를 용해할 수 있는 용매이면, 어떠한 용매라도 그 효과를 발현하지만, 환경 부하를 저감하기 위해서는 물을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 피막 부착 필름과의 젖음성을 향상시키고, 피막 표면에 세정액을 골고루 퍼지게 하기 쉽게 하기 위해서, 세정액에 계면활성제 등을 첨가해도 좋다.
본 발명의 피막 박리 방법에 있어서, 피막 부착 필름의 형태는 재단된 매엽상이어도 좋지만, 롤상으로 감긴 피막 부착 필름인 것이 특히 바람직하다. 롤상으로 감긴 피막 부착 필름을 권출하고, 본 발명의 피막 박리 방법을 실시하고, 피막을 박리한 후의 기재 필름을 권취함으로써, 연속해서 효율적으로 피막 박리의 처리를 할 수 있다.
[피막 부착 필름의 피막 박리 장치]
본 발명의 피막 박리 장치의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면에 의거해서 설명한다. 또한, 이하의 설명은 본 발명에 의한 실시형태 중 하나를 예시하는 것이며, 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 피막 박리 장치(101)의 개략도이다. 피막 박리 장치(101)는 피막 부착 필름(2)을 권출하는 권출 장치(4)와 피막을 박리한 후의 기재 필름(3)을 권취하는 권취 장치(5)가 구비되어 있다. 권출 장치(4)와 권취 장치(5) 사이에는, 피막 부착 필름(2)을 반송하기 위한 구동 장치(9), 세정액(11)을 피막 부착 필름(2)의 피막에 부여하기 위한 토출 헤드(6), 세정액(11)과 피막 부착 필름(2)의 피막을 함께 박리하기 위한 박리 기기(7), 피막을 박리한 후의 기재 필름(3)을 반송하기 위한 구동 장치(10)가 구비되어 있다. 토출 헤드(6), 박리 기기(7), 후술하는 노즐(14)은 부스(8)로 둘러싸여 있다.
또한, 세정액 부여 기구로서, 토출 헤드(6)에 추가하여, 토출 헤드(6)에 세정액(11)을 송액하기 위한 송액 펌프(12), 세정액을 저류해 두는 탱크(도시하지 않음)를 구비하고 있다.
토출 헤드(6)는 세정액(11)을 액적 상태로 토출하고, 피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 부여할 수 있으면 좋고, 예를 들면 스프레이 노즐 등이 예시되지만 그 제한은 없다. 피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 부여하는 세정액(11)의 양은 수용성 수지를 포함하는 피막을 충분히 용해할 수 있도록, 1㎤/㎡ 이상으로 할 수 있는 것이 바람직하고, 피막 부착 필름(2)의 반송 속도에 따라서 송액 펌프(12)를 조정하고, 필요량의 세정액(11)을 피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 부여하고, 액적 상태를 유지할 수 있도록 토출 헤드(6)와 송액 펌프(12)의 사양을 확정하는 것이 좋다.
피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 부여한 세정액(11)은, 이어서 박리 기기(7)로 반송될 때까지의 동안에, 피막에 포함되는 수용성 수지를 용해할 필요가 있다. 즉, 세정액(11)은 피막 부착 필름(2)을 반송했을 때의 진동이나 피막 부착 필름(2)의 경사에 의해 유동해서 피막 표면으로부터 탈락하지 않도록, 액적의 크기는 직경 1㎜ 이하로 해 두는 것이 바람직하다. 따라서, 토출 헤드(6)는 액적의 직경을 1㎜ 이하로 할 수 있는 것을 선정하는 것이 바람직하다.
토출 헤드(6)와 박리 기기(7)는 피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 대향하여 설치해 있으면 좋고, 도 1과 같이 하면측의 설치에는 한정되지 않는다. 또한, 롤상으로 감긴 피막 부착 필름(2)의 피막이 롤의 내측, 외측 중 어느 면이어도 대응할 수 있도록, 피막 부착 필름(2)의 권출 방향을 스위칭하고, 피막 부착 필름(2)의 피막 표면이 토출 헤드(6)와 박리 기기(7)에 대향하여 반송될 수 있도록, 권출 장치(4)가 상출과 하출 중 어느 것에도 대응할 수 있는 기구인 것이 보다 바람직하다.
토출 헤드(6)는 피막에 포함되는 수용성 수지를 빠르게 용해하기 위해서, 가온한 세정액(11)을 토출할 수 있는 것이 바람직하고, 40℃ 이상으로 가온한 세정액(11)을 토출할 수 있는 것이 특히 바람직하다. 세정액(11)의 가온은 토출 헤드(6)에 카트리지 히터 등의 열원을 구비하고 있어도 좋고, 세정액을 저류하는 탱크(도시하지 않음)를 가열해 두어도 좋지만, 세정액(11)을 가열할 수 있으면 어떠한 수단이라도 좋고, 이것들에는 한정되지 않는다.
토출 헤드(206)의 재질은 가온한 세정액(11)을 토출하기 위해서 내열성을 갖고 있는 것이 바람직하고, 금속 또는 내열성을 갖는 수지가 적합하게 사용된다.
또한, 피막 박리 장치(101)는 피막 부착 필름(2)의 가열 수단으로서, 열풍 발생기(13)와, 열풍 발생기(13)에 접속되는 노즐(14)을 구비하고 있다. 열풍에 의해, 피막 부착 필름(2)의 온도를 40℃ 이상으로 함으로써, 피막 표면에 부여한 세정액(11)이 피막에 포함되는 수용성 수지를 신속히 용해하여, 보다 효율적으로 피막의 박리를 할 수 있다. 피막 부착 필름(2)의 가열 수단은 어떠한 수단이어도 좋고, 예를 들면 가열 롤에 피막 부착 필름(2)을 직접 접촉시켜도 좋고, 부스(8) 내에 적외선 히터를 설치해서 가열해도 좋고, 이것들에는 한정되지 않는다.
박리 장치(101)의 부스(8)는 액적 상태의 세정액(11)이 주위로 비산하는 것을 방지하고, 또한 가온한 세정액 및/또는 피막 부착 필름(2)의 온도가 저하되는 것을 방지하기 위해서, 토출 헤드(6)로부터 박리 기기(7)까지를 둘러싸도록 구비되어 있다. 부스(8)의 재질은 부스(8)의 내부가 고온이 되기 때문에 내열성을 갖고 있는 것이 바람직하고, 금속 또는 유리 등이 적합하게 사용된다.
본 발명의 실시형태의 박리 장치(101)에서는 박리 기기(7)로서, 반송되는 피막 부착 필름(2)에 직접 접촉하는 선단이 예리한 금속 플레이트를 설치했지만, 이것에 한정되지 않고, 선단이 예리한 수지제의 플레이트를 설치해도 좋고, 블레이드와 같이 피막 부착 필름(2)에 압박되는 얇은 금속제의 플레이트를 설치해도 좋다.또는, 금속이나 수지로 이루어지는 브러시 롤을 반송 방향과 동방향, 또는 역방향으로 회전시키는 기구를 구비하고, 피막 부착 필름(2)의 피막 표면에 직접 접촉시켜도 좋고, 청소용 천이나 포백을 사용해서 피막 부착 필름(2)에 압박하여 피막을 닦아내는 바와 같이 박리해도 좋다.
본 발명의 실시형태의 박리 장치(101)는 토출 헤드(6)로부터 박리 기기(7)까지의 구간은 토출 헤드(6)로부터 토출되는 세정액(11)의 액적의 직경이 작을수록, 주위에 비산되기 쉽기 때문에, 부스(8)가 토출 헤드(6)로부터 박리 기기(7)까지를 둘러싸도록 구비되어 있다.
본 발명에 있어서의 구동 장치(9, 10)는 피막 부착 필름(2), 및 피막을 박리한 기재 필름(3)을 안정적으로 반송시키기 위해서, 장력 커팅할 수 있는 구성인 것이 바람직하지만, 석션 롤로 텐션 커팅한 경우에는, 피막 부착 필름(2)의 피막의 일부가 흡인되거나 해서 트러블의 원인이 되는 경우가 있기 때문에, 금속제의 구동 롤과 고무 롤에 의해 닙핑된 구성이 보다 적합하게 사용된다. 또한, 구동 장치(9, 10)는 세정액(11)이 부착될 가능성이 높기 때문에, 방청 대책으로서 스테인리스강이나 표면 처리를 실시한 것이 적합하게 사용된다.
권취 장치(5)로 권취된 피막을 박리한 후의 기재 필름(3)은 재용융한 후에 안정적으로 재생 필름으로서 제막하기 위해서 세정액(11)을 완전히 제거해 두는 것이 보다 바람직하고, 박리 장치(7)와 권취 장치(5) 사이에 건조 장치(도시하지 않음)를 설치해도 좋다. 건조 장치는 권취 전에 설치해 두면 좋고, 구동 장치(10)의 전후 어느 것이라도 좋다.
또한, 피막을 박리한 후의 기재 필름(3)의 품질을 확인하기 위해서, 피막의 잔사나 공정에서 부착된 환경 이물을 검출하는 검사기(도시하지 않음)를 권취 장치(5) 앞에 설치해도 좋다. 검사기는 기재 필름(3)의 성상에 맞춰서 선정하면 좋고, 투과광이나 반사광을 사용한 검사기가 적합하게 사용된다. 또한, 검사기로 검출한 피막의 잔사나 공정에서 부착된 환경 이물의 위치를 기록하기 위한 마킹 장치(도시하지 않음)를 검사기와 권취 장치(5) 사이에 설치해도 좋다. 마킹 장치에 의한 마킹의 방식은 펜이나 시일, 또는 레이저 등, 검출 대상의 위치가 마킹 가능하다면, 어떠한 방식이라도 좋다. 피막의 잔사나 공정에서 부착된 환경 이물을 마킹해 둠으로써, 재용융을 하기 전에 그 개소를 제거하는 것이 가능해지기 때문에, 보다 안정적으로 재생 필름을 제막할 수 있고, 재생 필름의 품질 저하를 방지할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시형태의 박리 장치(201)의 개략도이다. 박리 장치(201)는 제 1 실시형태의 박리 장치(101)에 설치되어 있었던 박리 기기(7) 대신에 비접촉 박리 기기(207)가 설치되어 있다. 또한, 박리 장치(201)는 열풍 발생기(13)와, 노즐(14)을 구비하고 있지 않지만, 열풍 발생기(13) 및 노즐(14)을 갖는 것이어도 좋다. 상기 이외에는 도 1의 박리 장치(101)와 같으므로, 박리 장치(101)와 공통되는 구성 요소에 대해서는 설명을 생략한다.
비접촉 박리 기기(207)는 세정액(11)과 피막을 비접촉으로 모두 박리할 수 있으면 좋고, 에어를 불어넣거나, 세정액(11)을 불어넣는 방법이 예시된다. 이것에 의해, 피막 표면에 직접 접촉시키는 박리 기기(7)와 비교해서, 피막 부착 필름(2)의 반송 저항이 상승하는 것을 막거나, 기재 필름(3)에 접촉에 의한 상처의 데미지를 주는 일이 없다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시형태의 표리 양면에 피막을 갖는 피막 부착 필름(302)으로부터 피막을 박리하는 박리 장치(301)의 개략도이다. 박리 장치(301)는 권출 장치(4)와 권취 장치(5) 사이에, 피막 부착 필름(302)의 편면의 피막 표면에 세정액(11)을 부여하기 위한 제 1 토출 헤드(306), 세정액(11)과 이 피막을 모두 박리하기 위한 제 1 박리 기기(307), 다른 일방의 피막 표면에 세정액(11')을 부여하기 위한 제 2 토출 헤드(306'), 세정액(11')과 이 피막을 모두 박리하기 위한 제 2 박리 기기(307')가 설치되어 있다. 제 2 박리 기기(307')는 피막 부착 필름(302)을 개재해서 제 1 박리 기기(307)의 반대측에 피막 표면에 직접 접촉해서 설치되어 있다. 또한, 세정액 부여 기구로서, 제 1 토출 헤드(306)와 제 2 토출 헤드(306')에 추가하여, 제 1 토출 헤드(306)와 제 2 토출 헤드(306')에 세정액(11, 11')을 송액하기 위한 송액 펌프(312, 312'), 세정액(11, 11')을 저류해 두는 탱크(도시하지 않음)를 구비한다. 박리 장치(301)는 열풍 발생기(13)와, 노즐(14)을 구비하고 있지 않지만, 열풍 발생기(13) 및 노즐(14)을 갖는 것이어도 좋다. 그것 이외에는 도 1의 박리 장치(101)와 같으므로, 박리 장치(101)와 공통하는 구성 요소에 대해서는 설명을 생략한다.
본 실시형태의 박리 장치(301)에서는 표리 양면에 피막을 갖는 피막 부착 필름(302)의 피막 표면에 세정액(11, 11')의 부여를 표리 동시에 행하고, 제 1 박리 기기(307), 제 2 박리 기기(307')에 있어서 순서대로 세정액(11, 11')과 피막을 모두 박리하는 장치 구성으로 하고 있지만, 이것에는 한정되지 않고, 표리 각각에서 세정액(11, 11')과 피막을 박리할 수 있는 구성이면 좋다. 예를 들면, 제 1 토출 헤드(306)와 제 1 박리 기기(307)를 구비하고, 이어서 제 2 토출 헤드(306')와 제 2 박리 기기(307')를 구비하고, 편면씩 순서대로 세정액(11, 11')과 피막을 모두 박리하는 장치 구성이어도 좋다.
또한, 제 1 박리 기기(307)와 제 2 박리 기기(307')는 도 3의 구성에 한정되지 않고, 비접촉의 박리 기기를 채용해도 좋다.
또한, 피막 부착 필름(2, 302)의 피막 표면에 효율적으로 세정액을 부여하기 위해서, 권출 장치(4)와 구동 장치(9) 사이에는 피막 부착 필름(2, 302)의 피막 표면을 노출시키는 기기를 설치해도 좋다. 예를 들면, 피막 부착 필름(2, 302)의 피막이 디메틸실록산을 주골격으로 하는 경화형 실리콘 수지 화합물인 경우, 피막 부착 필름은 그 표면 자유 에너지의 특성으로부터, 공정용 이형 필름으로서 적합하게 사용되고, 구체적으로는 피막 부착 필름의 피막 상에 피이형물을 설치한 후, 상기 피이형물을 소망의 형상으로 취출하기 위한 이형 필름으로서 사용된다. 이러한 공정용의 이형 필름으로서 이용된 후의 피막 부착 필름은 피막 표면 상에 피이형물이 잔존하고 있는 경우가 있기 때문에, 권출 장치(4)와 구동 장치(9) 사이에는 피막 부착 필름의 피막 표면을 노출시키기 위한 기기를 설치하고, 피막 부착 필름(2, 302)의 피막 표면을 노출시키는 것이 바람직하다. 피막 표면을 노출시키는 기기는 접촉식이어도 좋고 비접촉식이어도 좋고, 피이형물의 잔존 상태에 따라서 적절히 선택된다.
피이형물로서는 피막의 특성에 따라 적절히 선택되는 것이지만, 증착에 의해 형성된 금속 등의 무기물이나, 코팅에 의해 형성된 아크릴 등의 유기물로 이루어지는 점착제, 티타늄산 바륨을 주성분으로 하는 세라믹 그린 시트 등을 예시할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명에 대해서 실시예를 예시하여 설명하지만, 본 발명은 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다.
<피막 부착 필름>
폴리에틸렌테레프탈레이트의 두께 30㎛의 기재 필름 상에, 수용성 수지로서 폴리비닐알코올 수지를 막두께 0.1㎛ 형성하고, 또한 그 위에 이형 성분으로서 경화형 실리콘 수지를 막두께 0.1㎛ 형성한 피막 부착 필름을 제작했다.
<박리 평가 방법>
박리의 평가는 시판의 다인 펜(표면 에너지: 30, 70mN/m)을 사용하여, 이하의 방법으로 측정했다. 실온 23℃의 환경 하에서, 시료 표면에 다인 펜으로 묘화하고, 4초 이상 그 상태를 유지하는 경우에는, 그 다인 펜의 표면 에너지보다 시료 표면의 표면 에너지의 쪽이 높은 것으로 판단했다. 피막 부착 필름의 이형 성분의 경화형 실리콘 수지가 표면에 잔존하면, 표면 에너지는 30mN/m 미만이기 때문에, 어느 다인 펜이나 시료 표면에 시약이 튀어서, 묘화를 유지할 수 없다. 한편, 이형 성분의 경화형 실리콘 수지의 피막이 박리되어서, 폴리비닐알코올 수지가 표출되어 있는 경우에는, 표면 에너지가 70mN/m 이상이기 때문에, 어느 다인 펜이나 묘화를 유지할 수 있다. 이형 성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리되어서, 폴리에틸렌테레프탈레이트가 표출되어 있는 경우에는, 표면 에너지가 43.8mN/m이기 때문에, 30mN/m의 다인 펜의 묘화는 유지하지만, 70mN/m의 다인 펜의 묘화는 유지할 수 없다. 이상의 평가 방법에 의해, 피막 부착 필름의 피막을 박리할 수 있었는지의 여부를 판단했다.
<피막 부착 필름으로부터의 피막 박리>
[실시예 1]
피막 부착 필름(2)을 도 1에 나타내는 박리 장치(101)의 권출 장치(4)에 세팅했다. 피막 부착 필름을 구동 장치(9)로 부스(8)에 반송하면서, 부스(8) 내부에서는 토출 헤드(6)의 스프레이 노즐(H.IKEUCHI Co., Ltd.제 1/4M KB 80063N S303-RW)로부터 세정액(11)으로서 물(상온: 20℃)을 피막 표면에 액적 상태로 부여했다. 피막 표면에 부여된 액적 상태의 세정액(11)은, 그 후 박리 기기(7)로 피막 부착 필름에 SUS630제의 선단이 예리한 플레이트를 접촉시켜서, 세정액(11)과 피막을 기재 필름(3)으로부터 박리하고, 피막을 박리한 기재 필름(3)을 권취 장치(5)로 권취했다. 반송 속도는 10m/분으로부터 순서대로 증속하고, 10, 30, 50, 100m/분으로해서 실시했다. 또한, 실시예 1에서는 열풍 발생기(13) 및 노즐(14)에 의한 피막 부착 필름(2)에의 가온은 행하고 있지 않다.
또한, 스프레이 노즐로부터 토출되는 세정액(11)은 모노펌프(HEISHIN Ltd. CY08)로부터 송액하고, 송액량은 반송의 속도에 따라서 조정하고, 어느 반송 속도라도 송액량은 피막 부착 필름(2)의 단위면적 1.0㎡당 30㎤로 했다. 피막 부착 필름(2)에 부여한 세정액(11)의 액적을 이면으로부터 관찰하고, 액적의 직경이 최대 1㎜인 것을 확인했다. 액적을 부여한 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름의 온도를 측정한 결과, 20℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취한 결과, 이형성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리할 수 있는 최대 반송 속도는 30m/분이었다. 그것 이상의 반송 속도 50, 100m/분에 있어서는 박리 평가로 경화형 실리콘 수지 또는 폴리비닐알코올 수지의 피막의 일부가 잔존하고 있는 것을 확인했다.
[실시예 2]
실시예 1의 스프레이 노즐(H.IKEUCHI Co., Ltd.제 1/4M KB 80063N S303-RW)로부터 토출하는 세정액(11)을 50℃의 물로 한 것 이외에는, 실시예 1의 조작을 실시했다. 50℃의 물은 세정액(11)을 저류하는 탱크 내에 투입식 히터를 투입해서 온도를 조정하고, 송액 펌프(12)를 사용해서 스프레이 노즐(6)로 송액했다. 또한, 피막 부착 필름(2)에 부여한 세정액(11)의 액적을 이면으로부터 관찰하고, 액적의 직경이 최대 1.0㎜인 것을 확인했다. 액적을 부여한 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름(2)의 온도를 측정한 결과, 40℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취한 결과, 이형 성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리할 수 있는 최대 반송 속도는 50m/분이었다. 반송 속도 100m/분에 있어서는, 박리 평가에서 경화형 실리콘 수지 또는 폴리비닐알코올 수지의 피막의 일부가 잔존하고 있는 것을 확인했다.
[실시예 3]
실시예 2의 세정액(11)의 온도를 90℃의 물로 한 것 이외에는, 실시예 2의 조작을 실시했다. 또한, 피막 부착 필름(2)에 부여한 세정액(11)의 액적을 이면으로부터 관찰하고, 액적의 직경이 최대 1.0㎜인 것을 확인했다. 액적을 부여한 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름(2)의 온도를 측정한 결과, 75℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취한 결과, 이형성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리할 수 있는 최대 반송 속도는 100m/분이었다.
[실시예 4]
실시예 1의 박리 장치(101)에 있어서, 열풍 발생기(13)(Kansai Electric Heat Corp.제 TSK-56)를 사용해서 발생시킨 열풍(60℃)을 슬릿상의 개구를 가진 노즐(14)로부터, 피막 부착 필름(2)의 이면에 대하여, 액적의 부여와 대략 동시에 불어넣은 것 이외에는, 실시예 1의 조작을 실시했다. 또한, 피막 부착 필름(2)에 부여한 세정액(11)의 액적을 이면으로부터 관찰하고, 액적의 직경이 최대 1.0㎜인 것을 확인했다. 액적의 부여와 열풍을 불어넣은 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름의 온도를 측정한 결과, 40℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취한 결과, 이형 성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리될 수 있는 최대 반송 속도는 50m/분이었다.
[비교예 1]
도 4에 나타내는 종래의 박리 장치(401)를 사용해서, 피막 부착 필름(2)의 피막 박리를 실시했다. 박리 장치(401)는 세정액(11)인 물을 모아둔 수조(414), 수조(414)의 액면이 오버플로우해서 배수되도록 인접한 배수조(415), 배수에 포함되는 박리된 피막을 분리하기 위한 여과 필터(416)를 구비한다.
피막 부착 필름(2)을 박리 장치(401)의 권출 장치(404)에 세팅하고, 구동 장치(409)에 의해 수조(414)로 반송해서 세정액(11)인 물(상온: 20℃)에 접촉시키고, 이어서 박리 기기(407)에 의해 SUS630제의 선단이 예리한 플레이트에 접촉시켜서 세정액(11)과 피막을 모두 박리하고, 피막을 박리한 기재 필름(3)을 권취 장치(405)로 권취했다.
수조(414) 내에 공급되는 새로운 세정액(11)의 송액량은 피막의 박리 상황을 확인하면서, 필요한 최저 송액량을 확인했다. 피막에 포함되는 수용성의 폴리비닐알코올 수지가 용출되어 용액의 농도가 상승함에 따라, 폴리비닐알코올 수지의 용출성이 저하되어 버리기 때문에, 연속해서 피막을 계속해서 박리하기 위해서는 피막 부착 필름의 단위면적(1㎡)당 25000㎤의 세정액(11)을 송액할 필요가 있었다.
권취 장치(405)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취한 결과, 이형 성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리할 수 있는 반송 속도는 최대 50m/분이었다. 반송 속도 100m/분에 있어서는 박리 평가로 경화형 실리콘 수지 및 폴리비닐알코올 수지의 피막의 일부가 잔존하고 있는 것을 확인했다.
[비교예 2]
도 5에 나타내는 박리 장치(501)를 사용해서, 피막 부착 필름(2)의 피막 박리를 실시했다. 박리 장치(501)는 세정액(11)인 물을 고압으로 토출하기 위해서 가압 장치(512)와 토출 헤드(506)를 구비한다.
실시예 1의 스프레이 노즐(6) 대신에, 가압 장치(512)와 토출 헤드(506)를 사용해서 세정액(11)을 고압수로 하고, 반송 속도를 50m/분으로 한정한 것 이외에는, 실시예 1의 조작을 실시했다. 고압수(상온: 20℃)는 가압 장치(512)(Kaercher (Japan) Co., Ltd.제 고압 세정기 K2 클래식))를 사용하고, 부속의 토출 헤드(506)로부터 피막 부착 필름(2)의 도막 표면을 향해서 토출했다. 고압으로 토출된 세정액(11)은 연속적, 또한 고압을 유지하기 위해서 대량으로 토출되기 때문에 피막 부착 필름(2)에 부착되어도 액적상으로는 전혀 되지 않아, 피막 부착 필름(2) 전체면으로부터 적하하는 상태였다. 또한, 피막 부착 필름(2) 표면에서 튀어오른 세정수(11)가 부스(8) 내에 대량으로 모였다. 세정액(11)을 부여한 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름(2)의 온도를 측정한 결과, 20℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취하고, 이형성분의 경화형 실리콘 수지와 수용성의 폴리비닐알코올 수지의 피막이 모두 박리할 수 있는 고압수의 양을 확인한 결과, 피막 부착 필름의 단위면적 1.0㎡당 800㎤의 고압수가 필요했다. 또한, 고압수의 양은 박리 기기(7)로 박리된 세정액(11)을 포함한 피막과 부스 내에 모인 세정액(11)을 회수하고, 중량 측정 결과로부터 세정액(11)의 양을 계산하고, 피막 부착 필름(2)의 단위면적당으로 환산해서 도출했다.
[비교예 3]
도 6에 나타내는 박리 장치(601)를 사용해서, 피막 부착 필름(2)의 피막 박리를 실시했다. 박리 장치(601)는 세정액(11)인 물을 스팀의 상태로 토출하기 위해서 스팀 발생기(612)와 토출 헤드(606)를 구비한다.
실시예 1의 스프레이 노즐(6) 대신에, 스팀 발생기(612)와 토출 헤드(606)를 사용해서 세정액(11)을 스팀으로 하고, 반송 속도를 30m/분으로 한정한 것 이외에는, 실시예 1의 조작을 실시했다. 스팀은 스팀 발생기(NIHON DENNETSU CO., LTD.제 BOILER. V)를 사용하고, 토출 헤드(φ10개구 노즐)로부터 피막 부착 필름(2)의 도막 표면을 향해서 토출했다. 토출된 스팀은 토출 온도 100℃, 토출 압력 0.4MPa의 다량의 스팀이기 때문에, 피막 부착 필름(2)에 부착되어도 액적상을 유지하지 않고, 즉시 다수의 액적이 결합해서 1㎜ 초과의 액적이 되고, 피막 부착 필름(2)의 표면으로부터 흘러내리는 모양을 확인할 수 있었다. 또한, 1㎜ 초과의 액적이 유출된 개소에는 세정액(11)이 잔존하지 않는 부분이 생기는 것도 확인할 수 있었다. 또한, 피막 부착 필름(2) 표면으로부터 흘러내린 세정액(11)이 부스(8) 내에 대량으로 모였다. 사용한 세정액(11)의 양을 측정한 결과, 피막 부착 필름(2)의 단위면적 1.0㎡당 200㎤인 것을 확인했다. 또한, 스팀에 사용한 세정액(11)의 양은 박리 기기로 박리된 세정액(11)을 포함한 피막과 부스 내에 모인 세정액(11)을 회수하고, 중량 측정 결과로부터 세정액(11)의 양을 계산하고, 피막 부착 필름(2)의 단위면적당으로 환산해서 도출했다. 세정액(11)을 부여한 직후의 피막 부착 필름(2)의 이면으로부터, 방사 온도계를 사용해서 피막 부착 필름(2)의 온도를 측정한 결과, 85℃였다. 또한, 마찬가지로 1㎜ 초과의 액적이 흘러내린 부분의 필름 온도를 측정한 결과, 50℃였다.
권취 장치(5)로 권취한 후의 피막을 박리한 기재 필름(3)을 채취하고, 박리 평가를 한 결과, 피막 부착 필름(2)의 표면 중 1㎜ 초과의 액적이 흐른 개소에 있어서, 경화형 실리콘 수지 및 폴리비닐알코올 수지의 피막의 일부가 잔존하고 있는 부분이 있는 것을 확인했다.
[실시예 1∼4과 비교예 1∼3의 대비]
본 발명의 실시예 1∼4는 종래의 박리 장치(401)를 사용한 비교예 1, 박리 장치(501)로 고압 세정액을 사용한 비교예 2, 및 박리 장치(601)로 스팀 분사를 사용한 비교예 3과 비교해서, 단위면적당의 세정액의 사용량을 대폭 삭감할 수 있었다. 따라서, 실시예 1∼4에서는 폐수량을 대폭 감소시키므로 환경 부하를 작게 할 수 있고, 또한 세정 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 비교예 3에서는 액적이 피막 부착 필름의 표면으로부터 흘러내리고, 액적이 흘러내린 개소에서는 피막의 일부가 잔존하고 있는 것이 확인되었으므로, 피막을 박리하기 위해서는 실시예 1∼4와 같이 액적을 피막 부착 필름의 표면에 유지하는 것이 중요한 것을 실증할 수 있었다.
[실시예 1, 2, 3의 대비]
실시예 2에서 세정액의 온도를 50℃까지 가온함으로써, 피막 부착 필름의 피막을 박리할 수 있는 반송 속도가 세정액의 온도 20℃의 실시예 1과 비교해서 고속화할 수 있고, 최대로 반송 속도 50m/분에서도 피막의 박리가 가능하였다. 또한, 실시예 3에서 세정액의 온도를 90℃까지 가온함으로써, 피막 부착 필름의 피막을 박리할 수 있는 반송 속도를 더 고속화할 수 있고, 반송 속도 100m/분에서도 피막의 박리가 가능하였다.
[실시예 1, 2, 4의 대비]
실시예 2에서 세정액의 온도를 50℃까지 가온함으로써, 피막 부착 필름의 온도를 45℃로 한 경우와, 실시예 4에서 세정액을 상온(20℃)에서 부여해서 피막 부착 필름의 온도를 40℃까지 가온한 경우에서, 피막 부착 필름의 피막을 박리할 수 있는 반송 속도가 최대로 50m/분으로 동등했다. 어느 피막 부착 필름의 가온 방법이라도, 피막 부착 필름의 온도를 40℃로 함으로써, 실시예 1의 피막 부착 필름의 온도를 상온(20℃)으로 한 경우와 비교해서, 피막을 박리할 수 있는 반송 속도를 고속화할 수 있었다.
본 발명의 피막 부착 필름의 박리 방법 및 박리 장치는 이형층을 갖는 필름의 재이용에 적합하게 사용할 수 있다. 본 발명의 피막 부착 필름의 박리 방법 및 박리 장치에 적용할 수 있는 피막 부착 필름은 기재 필름의 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 필름에 한정되지 않고, 이용해성 수지층을 포함하는 피막을 갖는 재생 가능한 수지 필름, 종이 필름, 금속 필름이면 좋다.
2: 피막 부착 필름 3, 303: 기재 필름
4, 404: 권출 장치 5, 405: 권취 장치
6, 506: 토출 헤드 7, 407: 박리 기기
8: 부스 9, 10, 409, 410: 구동 장치
11, 11': 세정액 12, 412: 송액 펌프
13: 열풍 발생기 14: 노즐
101, 201, 301: 박리 장치 207: 비접촉 박리 기기
302: 양면 피막 부착 필름 306: 제 1 토출 헤드
306': 제 2 토출 헤드 307: 제 1 박리 기기
307': 제 2 박리 기기 312: 제 1 송액 펌프
312': 제 2 송액 펌프 401: 종래의 박리 장치
414: 수조 415: 배수조
416: 여과 필터 417: 가이드 롤
512: 가압 장치

Claims (9)

  1. 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법으로서,
    상기 피막의 표면에 액적 상태의 세정액을 부여하여, 상기 세정액을 상기 피막의 표면에서 액적 상태로 유지시키고,
    이어서, 상기 피막 부착 필름으로부터 상기 세정액을 포함한 상기 피막을 박리하는, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정액을 40℃ 이상으로 가열한 상태에서 상기 피막의 표면에 부여하는, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 피막 부착 필름을 40℃ 이상으로 가열하는, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피막이 경화형 실리콘 수지를 포함하는, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정액이 물인, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정액의 액적의 직경이 1㎜ 이하인, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 방법.
  7. 기재 필름의 적어도 편면에 수용성 수지를 포함하는 피막을 갖는 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 장치로서,
    상기 피막의 표면을 향해서 액적 상태의 세정액을, 상기 세정액이 상기 피막의 표면에서 액적 상태를 유지할 수 있도록 토출하는 세정액 부여 기구와,
    상기 세정액이 상기 피막의 표면에 부여된 상기 피막 부착 필름으로부터 세정액을 포함한 피막을 박리하는 박리 기구를 구비한, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 세정액 부여 기구가 상기 세정액을 가열하는 수단을 구비한, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 피막 부착 필름을 가열하는 수단을 구비한, 피막 부착 필름으로부터의 피막의 박리 장치.
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