KR20220139230A - Method for detecting amount of conveyance deviation - Google Patents

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KR20220139230A
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사토시 미야타
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention provides a conveying offset amount detection method, which can easily determine the conveying offset amount of a conveying means. The conveying offset amount detection method includes: a first coordinate storage step in which a workpiece on which a mark (M) is formed is held on a first table and imaged by an imaging unit, and coordinates of the mark (M) are stored as X1 and Y1 coordinates; a 180-degree rotation step in which the workpiece held by the first table is conveyed to and held by the conveying means to a second table, and the second table is rotated by 180 degrees; a return step in which the workpiece held by the second table is conveyed to the first table by the conveying means and held; a second coordinate storage step of rotating the first table by 180 degrees, imaging the workpiece by the imaging unit, and storing the coordinates of the mark (M) as X2 and Y2 coordinates; and a conveyance offset amount calculation step of calculating the conveyance offset amount by using (X2-X1)/2 as a conveyance offset amount in an X-axis direction and using (Y2-Y1)/2 as a conveyance offset amount in an Y-axis direction.

Description

반송 어긋남량 검출 방법{METHOD FOR DETECTING AMOUNT OF CONVEYANCE DEVIATION}Method for detecting the amount of conveyance deviation

본 발명은, 제1 테이블에서 제2 테이블로 워크를 반송하는 반송 수단의 반송 어긋남량을 구하는 반송 어긋남량 검출 방법에 관한 것이다.This invention relates to the conveyance shift amount detection method which calculates|requires the conveyance shift amount of the conveyance means which conveys a workpiece|work from a 1st table to a 2nd table.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 다이싱 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 전기기기에 이용된다.A wafer in which a plurality of devices such as ICs and LSIs are partitioned by dividing lines and formed on the surface is divided into individual device chips by a dicing apparatus, and each divided device chip is used for electrical equipment such as mobile phones and personal computers is used for

다이싱 장치는, 웨이퍼를 유지하는 척테이블과, 척테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 절삭 수단과, 척테이블과 절삭 수단을 X축 방향으로 상대적으로 가공 이송하는 X축 이송 수단과, 척테이블과 절삭 수단을 Y축 방향으로 상대적으로 인덱싱 이송하는 Y축 이송 수단과, 척테이블에 유지된 웨이퍼를 촬상하여 절삭해야 할 영역을 검출하는 촬상 수단과, 절삭이 완료된 웨이퍼를 세정하는 세정 수단과, 척테이블로부터 세정 수단까지 웨이퍼를 반송하는 반송 수단으로 대략 구성되어 있고, 웨이퍼를 고정밀도로 절삭할 수 있다(예컨대 특허문헌 1 참조). 다이싱 장치의 세정 수단은, 웨이퍼를 유지하여 회전 가능한 스피너 테이블과, 스피너 테이블에 유지된 웨이퍼에 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐을 포함한다.A dicing apparatus comprises: a chuck table holding a wafer; a cutting means for cutting the wafer held by the chuck table; an X-axis feeding means for relatively processing and feeding the chuck table and the cutting means in an X-axis direction; Y-axis feeding means for relatively indexing and feeding the cutting means in the Y-axis direction; imaging means for detecting an area to be cut by imaging the wafer held on the chuck table; It is substantially comprised by the conveyance means which conveys a wafer from a table to a washing|cleaning means, and can cut a wafer with high precision (refer patent document 1, for example). The cleaning means of the dicing apparatus includes a spinner table rotatable by holding a wafer, and a cleaning liquid spraying nozzle for spraying a cleaning liquid to the wafer held on the spinner table.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2010-36275호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2010-36275

그러나, 다이싱 장치의 척테이블의 적정한 위치에 유지된 웨이퍼를, 세정 수단의 스피너 테이블의 적정한 위치까지 반송 수단에 의해 반송할 수 없는 경우, 스피너 테이블의 고속 회전에 의해 스피너 테이블로부터 웨이퍼가 비산되어 버릴 우려가 있다. 이 때문에, 척테이블로부터 스피너 테이블까지의 방향 및 거리를 실측하여 반송 수단의 반송 방향 및 반송 거리를 미조정할 필요가 있지만, 이러한 미조정에 시간이 걸려 생산성이 나쁘다고 하는 문제가 있다.However, when the transfer means cannot transfer the wafer held at the proper position on the chuck table of the dicing device to the proper position on the spinner table of the cleaning means, the wafer is scattered from the spinner table due to the high-speed rotation of the spinner table. there is a risk of throwing it away. For this reason, it is necessary to measure the direction and distance from the chuck table to the spinner table to fine-tune the conveyance direction and conveyance distance of the conveying means, but there is a problem that such fine adjustment takes time and productivity is poor.

이러한 문제는, 2개 이상의 테이블 사이에서 웨이퍼를 반송하는 기구를 구비한 각종 처리 장치(예컨대, 레이저 가공 장치, 연삭 장치, 검사 장치)에서도 발생할 수 있다.Such a problem may also occur in various processing apparatuses (eg, laser processing apparatuses, grinding apparatuses, inspection apparatuses) provided with a mechanism for transferring wafers between two or more tables.

상기 사실을 감안하여 이루어진 본 발명의 과제는, 반송 수단의 반송 어긋남량을 용이하게 구할 수 있는 반송 어긋남량 검출 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention made in view of the above facts is to provide a method for detecting the amount of conveyance deviation in which the amount of conveyance deviation of the conveying means can be easily obtained.

본 발명에 따르면, 상기 과제를 해결하는 이하의 반송 어긋남량 검출 방법이 제공된다. 즉, 회전 가능한 제1 테이블과, 회전 가능한 제2 테이블과, 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블까지 워크를 반송하는 반송 수단과, 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 촬상하는 촬상 수단을 적어도 구비하여 워크에 처리를 행하는 처리 장치에서, 상기 반송 수단의 반송 어긋남량을 구하는 반송 어긋남량 검출 방법으로서, 마크가 형성된 워크를 상기 제1 테이블에 유지시켜 상기 촬상 수단으로 촬상하여 마크의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 기억하는 제1 좌표 기억 공정과, 상기 반송 수단에 의해 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 상기 제2 테이블로 반송하여 유지시켜 상기 제2 테이블을 180도 회전시키는 180도 회전 공정과, 상기 반송 수단에 의해 상기 제2 테이블에 유지된 워크를 상기 제1 테이블로 반송하여 유지시키는 복귀 공정과, 상기 제1 테이블을 180도 회전시켜 워크를 상기 촬상 수단으로 촬상하여, 마크의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 기억하는 제2 좌표 기억 공정과, (X2-X1)/2를 X축 방향의 반송 어긋남량으로 하고, (Y2-Y1)/2를 Y축 방향의 반송 어긋남량으로 하여 산출하는 반송 어긋남량 산출 공정을 포함하는 반송 어긋남량 검출 방법이 제공된다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the following conveyance shift amount detection method which solves the said subject is provided. That is, at least a rotatable first table, a rotatable second table, a conveying means for conveying a work from the first table to the second table, and an imaging unit for capturing an image of the work held by the first table are provided. In a processing apparatus for processing a workpiece, as a conveying misalignment amount detection method for obtaining the conveying misalignment amount of the conveying means, the mark-formed work is held in the first table and imaged by the imaging means, and the coordinates of the mark are X1, a first coordinate storage step of storing the Y1 coordinates; a 180 degree rotation step of conveying and holding the workpiece held on the first table by the conveying means to the second table and rotating the second table by 180 degrees; A return step of conveying and holding the work held by the second table by the conveying means to the first table, and rotating the first table by 180 degrees to image the work by the imaging means, so that the coordinates of the mark are X2 , a second coordinate storage step of memorizing as Y2 coordinates, (X2-X1)/2 is the amount of conveyance in the X-axis direction, and (Y2-Y1)/2 is calculated as the amount of conveyance misalignment in the Y-axis direction. A conveyance deviation amount detection method including a conveyance deviation amount calculation process is provided.

바람직하게는, (X2-X1)/2와 (Y2-Y1)/2를 상기 반송 수단의 이동량에 가산하여 반송 어긋남을 보정한다.Preferably, (X2-X1)/2 and (Y2-Y1)/2 are added to the moving amount of the conveying means to correct the conveying shift.

본 발명의 반송 어긋남량 검출 방법은, 회전 가능한 제1 테이블과, 회전 가능한 제2 테이블과, 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블까지 워크를 반송하는 반송 수단과, 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 촬상하는 촬상 수단을 적어도 구비하여 워크에 처리를 행하는 처리 장치에서, 상기 반송 수단의 반송 어긋남량을 구하는 반송 어긋남량 검출 방법으로서, 마크가 형성된 워크를 상기 제1 테이블에 유지시켜 상기 촬상 수단으로 촬상하여 마크의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 기억하는 제1 좌표 기억 공정과, 상기 반송 수단에 의해 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 상기 제2 테이블로 반송하여 유지시켜 상기 제2 테이블을 180도 회전시키는 180도 회전 공정과, 상기 반송 수단에 의해 상기 제2 테이블에 유지된 워크를 상기 제1 테이블로 반송하여 유지시키는 복귀 공정과, 상기 제1 테이블을 180도 회전시켜 워크를 상기 촬상 수단으로 촬상하여, 마크의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 기억하는 제2 좌표 기억 공정과, (X2-X1)/2를 X축 방향의 반송 어긋남량으로 하고, (Y2-Y1)/2를 Y축 방향의 반송 어긋남량으로 하여 산출하는 반송 어긋남량 산출 공정을 포함하기 때문에, 제1 테이블로부터 제2 테이블까지의 방향 및 거리를 실측할 필요가 없고, 마크의 좌표의 어긋남으로부터 반송 수단의 반송 어긋남량을 용이하게 구할 수 있다.The conveyance shift amount detection method of this invention includes a rotatable 1st table, a rotatable 2nd table, conveyance means which conveys a workpiece|work from the said 1st table to the said 2nd table, and the workpiece|work hold|maintained by the said 1st table. In a processing apparatus that processes a workpiece by at least an imaging unit for imaging A first coordinate storage step of taking an image and storing the coordinates of the mark as X1 and Y1 coordinates; A 180 degree rotation step of rotating, a return step of conveying and holding the work held on the second table by the conveying means to the first table, and a 180 degree rotation of the first table to transfer the work to the imaging means A second coordinate storage step of imaging and storing the coordinates of the mark as X2 and Y2 coordinates; Since it includes the conveyance misalignment amount calculation step of calculating as the conveyance misalignment amount of can be obtained easily.

도 1은 본 발명의 반송 어긋남량 검출 방법이 실시될 수 있는 처리 장치의 사시도.
도 2는 마크가 형성된 워크의 평면도.
도 3은 도 1에 도시된 제1·제2 테이블의 모식적 평면도.
도 4는 제1 좌표 기억 공정에서의 제1·제2 테이블의 모식적 평면도.
도 5는 반송 수단에 의해 제1 테이블에 유지된 워크를 제2 테이블로 반송하여 유지시킨 상태를 나타낸 모식적 평면도.
도 6은 도 5에 도시된 상태로부터 제2 테이블을 180도 회전시킨 상태를 나타낸 모식적 평면도.
도 7은 반송 수단에 의해 제2 테이블에 유지된 워크를 제1 테이블로 반송하여 유지시킨 상태를 나타낸 모식적 평면도.
도 8은 도 7에 도시된 상태로부터 제1 테이블을 180도 회전시킨 상태를 나타낸 모식적 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view of a processing apparatus in which a conveyance shift amount detecting method of the present invention can be implemented.
Fig. 2 is a plan view of a work on which marks are formed;
Fig. 3 is a schematic plan view of the first and second tables shown in Fig. 1;
Fig. 4 is a schematic plan view of the first and second tables in the first coordinate storage step;
Fig. 5 is a schematic plan view showing a state in which the workpiece held on the first table by the transport means is transported to the second table;
Fig. 6 is a schematic plan view showing a state in which the second table is rotated 180 degrees from the state shown in Fig. 5;
The schematic plan view which showed the state which conveyed and hold|maintained the workpiece|work hold|maintained by the 2nd table by the conveyance means to the 1st table.
Fig. 8 is a schematic plan view showing a state in which the first table is rotated 180 degrees from the state shown in Fig. 7;

이하, 본 발명의 반송 어긋남량 검출 방법의 적합한 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the conveyance shift amount detection method of this invention is demonstrated, referring drawings.

우선, 본 발명의 반송 어긋남량 검출 방법이 실시될 수 있는 처리 장치로부터 설명한다. 도 1에 도시된 처리 장치(2)는, 회전 가능한 제1 테이블(4)과, 회전 가능한 제2 테이블(6)과, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)까지 워크를 반송하는 반송 수단(8)과, 제1 테이블(4)에 유지된 워크를 촬상하는 촬상 수단(10)을 적어도 구비한다.First, it demonstrates from the processing apparatus in which the conveyance shift amount detection method of this invention can be implemented. The processing apparatus 2 shown in FIG. 1 conveys a workpiece|work from the rotatable 1st table 4, the rotatable 2nd table 6, and the 1st table 4 to the 2nd table 6 The conveyance means 8 and the imaging means 10 which image the workpiece hold|maintained by the 1st table 4 are provided at least.

원형의 제1 테이블(4)은, 도 1에 화살표 X로 나타낸 X축 방향으로 X축 반송 수단(도시하지 않음)에 의해 반송됨과 더불어, 제1 테이블(4)의 중심(C1)(도 3 참조)을 축심으로 하여 제1 테이블용 모터(도시하지 않음)에 의해 회전되도록 되어 있다. X축 반송 수단은, 예컨대, 제1 테이블(4)에 연결되어 X축 방향으로 연장되는 볼나사와, 이 볼나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이어도 좋다. 또한, 도 1에 화살표 Y로 나타낸 Y축 방향은 X축 방향에 직교하는 방향이며, X축 방향 및 Y축 방향이 규정하는 XY 평면은 실질상 수평이다.The circular 1st table 4 is conveyed by an X-axis conveying means (not shown) in the X-axis direction shown by the arrow X in FIG. 1, and the center C1 of the 1st table 4 (FIG. 3) Reference) is used as the axis to be rotated by the first table motor (not shown). The X-axis conveying means may have a structure which is connected to the 1st table 4, for example, and has a ball screw extending in the X-axis direction, and a motor which rotates this ball screw. The Y-axis direction indicated by the arrow Y in Fig. 1 is a direction orthogonal to the X-axis direction, and the XY plane defined by the X-axis direction and the Y-axis direction is substantially horizontal.

도 1에 도시된 바와 같이, 제1 테이블(4)의 상단 부분에는, 흡인 수단(도시하지 않음)에 접속된 다공질의 원 형상 흡착척(4a)이 배치되어 있다. 그리고, 제1 테이블(4)은, 흡인 수단으로 흡착척(4a)에 흡인력을 생성함으로써, 원판형의 반도체 웨이퍼 등의 워크(W)(도 2 참조)를 흡인 유지하도록 되어 있다. 또한, 도시한 실시형태의 처리 장치(2)는, 워크(W)에 대하여 절삭 가공을 행하는 다이싱 장치이며, 제1 테이블(4)은, 워크(W)에 대하여 절삭 가공을 행할 때에 워크(W)를 흡인 유지한다.As shown in FIG. 1, the porous circular suction chuck 4a connected to the suction means (not shown) is arrange|positioned at the upper end part of the 1st table 4. As shown in FIG. And the 1st table 4 attracts and holds the workpiece|work W (refer FIG. 2), such as a disk-shaped semiconductor wafer, by producing|generating a suction force to the suction chuck 4a by a suction means. In addition, the processing apparatus 2 of embodiment shown in figure is a dicing apparatus which cuts with respect to the workpiece|work W, When the 1st table 4 performs cutting with respect to the workpiece|work W, the workpiece|work ( W) is aspirated and maintained.

도시한 실시형태의 제2 테이블(6)은, 절삭 가공이 행해져 절삭 부스러기가 부착되어 있는 워크(W)를 세정할 때에, 워크(W)를 흡인 유지하는 스피너 테이블이다. 원형의 제2 테이블(6)은, 제2 테이블(6)의 중심(C2)(도 3 참조)을 축심으로 하여 제2 테이블용 모터(도시하지 않음)에 의해 회전되도록 되어 있다.The 2nd table 6 of embodiment shown in figure is a spinner table which suction-holds the workpiece|work W, when cutting is performed and wash|cleaning the workpiece|work W to which chips are adhered. The circular 2nd table 6 makes center C2 (refer FIG. 3) of the 2nd table 6 an axial center, and is rotated by the motor (not shown) for 2nd tables.

도 1에 도시된 바와 같이, 제2 테이블(6)의 상단 부분에는, 제1 테이블(4)과 마찬가지로, 흡인 수단(도시하지 않음)에 접속된 다공질의 원 형상 흡착척(6a)이 배치되어 있다. 그리고, 제2 테이블(6)에서도, 흡인 수단으로 흡착척(6a)에 흡인력을 생성함으로써, 워크(W)를 흡인 유지한다. 또한, 워크(W)을 흡인 유지한 제2 테이블(6)을 회전시키면서, 세정액 분사 노즐(도시하지 않음)로부터 워크(W)에 대하여 세정액을 분사함으로써, 워크(W)를 세정할 수 있다.As shown in Fig. 1, a porous circular suction chuck 6a connected to a suction means (not shown) is disposed on the upper end of the second table 6, similarly to the first table 4, have. And also in the 2nd table 6, the workpiece|work W is sucked and hold|maintained by producing|generating a suction force in the suction chuck 6a by a suction means. In addition, the workpiece W can be cleaned by spraying the cleaning liquid from a cleaning liquid spray nozzle (not shown) to the workpiece W while rotating the second table 6 holding the workpiece W by suction.

도시한 실시형태의 반송 수단(8)은, 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 X축 방향으로 반송하는 상기 X축 반송 수단과, 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 유지하여 승강시킴과 더불어 Y축 방향으로 반송하는 Y축 반송 수단(11)을 포함한다.The conveying means 8 of embodiment shown in figure is the said X-axis conveying means which conveys the workpiece|work W hold|maintained by the 1st table 4 in an X-axis direction, and the workpiece|work ( It includes a Y-axis conveying means 11 for holding and lifting W) and conveying it in the Y-axis direction.

Y축 반송 수단(11)은, Y축 방향으로 자유자재로 이동할 수 있는 아암(12)과, 아암(12)을 Y축 방향으로 이동시키는 아암 이동 수단(도시하지 않음)과, 아암(12)의 선단 하면에 장착된 브래킷편(14)과, 브래킷편(14)의 하면에 고정된 H 형상의 플레이트(16)와, 플레이트(16)의 하면에 배치된 복수의 흡인 패드(18)를 포함한다. 아암 이동 수단은, 예컨대, 아암(12)에 연결되어 Y축 방향으로 연장되는 볼나사와, 이 볼나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이어도 좋다. 브래킷편(14)은, 에어 실린더 등의 적절한 액츄에이터에 의해 상하 방향으로 자유자재로 신축할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 각 흡인 패드(18)는, 흡인 수단(도시하지 않음)에 접속되어 있다.The Y-axis conveying means 11 includes an arm 12 freely movable in the Y-axis direction, an arm moving means (not shown) that moves the arm 12 in the Y-axis direction, and the arm 12 . includes a bracket piece 14 attached to the lower surface of the tip of the do. The arm moving means may have a configuration including, for example, a ball screw connected to the arm 12 and extending in the Y-axis direction, and a motor for rotating the ball screw. The bracket piece 14 is comprised so that it can expand-contract freely in the up-down direction by suitable actuators, such as an air cylinder. In addition, each suction pad 18 is connected to a suction means (not shown).

반송 수단(8)에서는, X축 반송 수단으로 미리 정해진 반송 개시 위치에 제1 테이블(4)을 위치시킨 후, Y축 반송 수단(11)의 흡인 패드(18)로 제1 테이블(4) 상의 워크(W)를 흡인 유지하여, 제1 테이블(4)로부터 워크(W)를 수취한다. 그리고, 워크(W)를 수취한 Y축 반송 수단(11)은, 아암(12) 및 브래킷편(14)을 이동시켜, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)로 워크(W)를 반송하도록 되어 있다.In the conveying means 8, after positioning the 1st table 4 in the conveyance start position predetermined by the X-axis conveying means, it is on the 1st table 4 with the suction pad 18 of the Y-axis conveying means 11. The work W is sucked and held, and the work W is received from the first table 4 . And the Y-axis conveying means 11 which received the workpiece|work W moves the arm 12 and the bracket piece 14, and the workpiece|work W from the 1st table 4 to the 2nd table 6 is intended to be returned.

촬상 수단(10)은, X축 반송 수단에 의해 미리 정해진 촬상 위치에 위치된 제1 테이블(4) 상의 워크(W)를 촬상하도록 되어 있다. 이 촬상 수단(10)에 의해 촬상된 화상 데이터는, 처리 장치(2)의 제어 수단(도시하지 않음)으로 보내진다.The imaging means 10 is designed to image the workpiece|work W on the 1st table 4 located in the imaging position predetermined by an X-axis conveyance means. The image data captured by the imaging means 10 is sent to a control means (not shown) of the processing device 2 .

컴퓨터로 구성되는 제어 수단은, 제어 프로그램에 따라 연산 처리하는 중앙 처리 장치(CPU)와, 제어 프로그램 등을 저장하는 리드 온리 메모리(ROM)와, 연산 결과 등을 저장하는 기록 및 판독 가능한 랜덤 액세스 메모리(RAM)를 포함한다. 그리고, 제어 수단에서는, 촬상 수단(10)으로부터 보내어진 화상 데이터에 대하여 화상 해석을 실행하도록 되어 있고, 예컨대, 워크(W)에 형성된 마크(M)(도 2 참조)의 X 좌표 및 Y 좌표를 취득하여 기억한다. 또한, 제어 수단은, 처리 장치(2)의 작동을 제어하도록 되어 있고, 일례로는, 미리 제어 수단에 입력된 조건에 따라 반송 수단(8)의 이동량을 제어한다.The control means constituted by a computer includes a central processing unit (CPU) that performs arithmetic processing according to a control program, a read-only memory (ROM) that stores a control program and the like, and a write and read random access memory that stores arithmetic results and the like. (RAM) included. And the control means performs image analysis on the image data sent from the imaging means 10, For example, the X coordinate and Y coordinate of the mark M (refer FIG. 2) formed in the work W. Acquire and remember Moreover, the control means controls the operation|movement of the processing apparatus 2, For example, it controls the movement amount of the conveyance means 8 according to the condition input into the control means beforehand.

도 1에 도시된 바와 같이, 처리 장치(2)는, 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 절삭하는 절삭 수단(20)과, 복수의 워크(W)를 수용한 카세트(22)가 놓여지는 자유자재로 승강할 수 있는 카세트대(24)와, 카세트(22)로부터 가공 전의 워크(W)를 인출하고, 임시 배치 테이블(26)까지 반출함과 더불어 임시 배치 테이블(26)에 위치된 가공이 완료된 워크(W)를 카세트(22)로 반입하는 반출/반입 수단(28)과, 카세트(22)로부터 임시 배치 테이블(26)로 반출된 가공 전의 워크(W)를 제1 테이블(4)로 이동시키는 이동 수단(30)을 구비한다.As shown in FIG. 1 , the processing device 2 includes a cutting means 20 for cutting the workpiece W held on the first table 4 , and a cassette 22 accommodating the plurality of workpieces W . ) is placed on a freely liftable cassette stand 24, and the workpiece W before processing is taken out from the cassette 22, and taken out to the temporary arrangement table 26, and the temporary arrangement table 26 The unloading/carrying-in means 28 for carrying the processed workpiece W located in the cassette 22 into the cassette 22, and the unprocessed workpiece W unloaded from the cassette 22 to the temporary placement table 26 are transferred to the first A moving means (30) for moving to the table (4) is provided.

다음에, 전술한 처리 장치(2)에서, 반송 수단(8)의 반송 어긋남량을 구하는 반송 어긋남량 검출 방법을 설명한다. 도시한 실시형태에서는, 우선, 마크(M)가 형성된 워크(W)를 제1 테이블(4)에 유지시켜 촬상 수단(10)으로 촬상하여 마크(M)의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 기억하는 제1 좌표 기억 공정을 실시한다.Next, in the processing apparatus 2 mentioned above, the conveyance deviation amount detection method which calculates|requires the conveyance deviation amount of the conveyance means 8 is demonstrated. In the illustrated embodiment, first, the workpiece W on which the mark M is formed is held on the first table 4, imaged by the imaging means 10, and the coordinates of the mark M are stored as X1 and Y1 coordinates. A first coordinate storage step is performed.

제1 좌표 기억 공정에서는, 우선, 마크(M)가 형성된 면을 위로 향하게 한 상태에서 제1 테이블(4)에 워크(W)를 올려놓는다. 계속해서, X축 반송 수단에 의해 제1 테이블(4)을 이동시켜, 미리 정해진 촬상 위치에 제1 테이블(4)을 위치시키고, 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 촬상 수단(10)으로 촬상한다. 그리고, 촬상 수단(10)으로 촬상한 화상에 대하여 제어 수단에 의해 화상 해석을 실행하고, 마크(M)의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 취득하여 기억한다(도 4 참조).In a 1st coordinate memory|storage process, first, the workpiece|work W is mounted on the 1st table 4 in the state in which the surface on which the mark M was formed turned upward. Then, the 1st table 4 is moved by an X-axis conveyance means, the 1st table 4 is positioned in a predetermined imaging position, and the workpiece|work W hold|maintained by the 1st table 4 is imaging means. Take an image with (10). And with respect to the image imaged by the imaging means 10, image analysis is performed by a control means, and the coordinate of the mark M is acquired and stored as X1, Y1 coordinates (refer FIG. 4).

제1 좌표 기억 공정을 실시한 후, 반송 수단(8)에 의해 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 제2 테이블(6)로 반송하여 유지시켜 제2 테이블(6)을 180도 회전시키는 180도 회전 공정을 실시한다.After performing the 1st coordinate storage process, the workpiece|work W hold|maintained by the 1st table 4 by the conveyance means 8 is conveyed to the 2nd table 6, and it is hold|maintained, and the 2nd table 6 is rotated 180 degrees. Perform a 180 degree rotation process to rotate.

180도 회전 공정에서는, 우선, X축 반송 수단에 의해 제1 테이블(4)을 이동시켜, 미리 정해진 반송 개시 위치에 제1 테이블(4)을 위치시킨다. 제1 테이블(4)을 반송 개시 위치에 위치시키면, Y축 반송 수단(11)의 아암(12) 및 브래킷편(14)을 작동시켜, 흡인 패드(18)를 제1 테이블(4) 상의 워크(W)의 상면에 밀착시킨다. 계속해서, 각 흡인 패드(18)로 워크(W)를 흡인 유지함과 더불어, 제1 테이블(4)의 흡인력을 해제한다.At a 180 degree rotation process, first, the 1st table 4 is moved by an X-axis conveyance means, and the 1st table 4 is located in a predetermined conveyance start position. When the first table 4 is positioned at the transfer start position, the arm 12 and the bracket piece 14 of the Y-axis transfer means 11 are operated to move the suction pad 18 to the work on the first table 4 . It adheres to the upper surface of (W). Then, while holding|maintaining the workpiece|work W by each suction pad 18 by suction, the suction force of the 1st table 4 is cancelled|released.

계속해서, Y축 반송 수단(11)의 아암(12) 및 브래킷편(14)을 작동시킴으로써, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)로 워크(W)를 반송하고, 워크(W)의 하면을 제2 테이블(6)의 상면에 접촉시킨다. 계속해서, 제2 테이블(6)에 의해 워크(W)를 흡인 유지함과 더불어, 흡인 패드(18)의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 하여, Y축 반송 수단(11)으로부터 제2 테이블(6)로 워크(W)를 전달한다(도 5 참조). 그리고, 제2 테이블(6)로 워크(W)를 전달하면, 제2 테이블용 모터를 작동시켜, 도 6에 도시된 바와 같이, 워크(W)를 흡인 유지한 제2 테이블(6)을 180도 회전시킨다.Then, by operating the arm 12 and the bracket piece 14 of the Y-axis conveying means 11, the workpiece|work W is conveyed from the 1st table 4 to the 2nd table 6, and the workpiece|work W ) is brought into contact with the upper surface of the second table 6 . Then, while holding|maintaining the workpiece|work W by the 2nd table 6, the suction force of the suction pad 18 is cancelled|released. In this way, the workpiece|work W is transmitted from the Y-axis conveyance means 11 to the 2nd table 6 (refer FIG. 5). And, when the work W is transferred to the second table 6, the motor for the second table is operated, and as shown in FIG. 6, the second table 6 which suctioned and held the work W is 180 also rotate.

180도 회전 공정을 실시한 후, 반송 수단(8)에 의해 제2 테이블(6)에 유지된 워크(W)를 제1 테이블(4)로 반송하여 유지시키는 복귀 공정을 실시한다.After implementing a 180 degree rotation process, the return process of conveying and holding the workpiece|work W hold|maintained by the 2nd table 6 by the conveyance means 8 to the 1st table 4 is implemented.

복귀 공정에서는, 우선, Y축 반송 수단(11)의 흡인 패드(18)를 제2 테이블(6) 상의 워크(W)의 상면에 밀착시켜, 각 흡인 패드(18)로 워크(W)를 흡인 유지함과 더불어, 제2 테이블(6)의 흡인력을 해제한다. 계속해서, 아암(12) 및 브래킷편(14)을 작동시킴으로써, 제2 테이블(6)로부터 제1 테이블(4)로 워크(W)를 반송하여, 워크(W)의 하면을 제1 테이블(4)의 상면에 접촉시킨다. 그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 테이블(4)에 의해 워크(W)를 흡인 유지함과 더불어, 흡인 패드(18)의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 하여, 제2 테이블(6)로부터 제1 테이블(4)로 워크(W)를 복귀시킨다. In the return step, first, the suction pad 18 of the Y-axis conveying means 11 is brought into close contact with the upper surface of the work W on the second table 6 , and the work W is sucked with each suction pad 18 . While holding, the suction force of the 2nd table 6 is cancelled|released. Then, by operating the arm 12 and the bracket piece 14, the workpiece|work W is conveyed from the 2nd table 6 to the 1st table 4, and the lower surface of the workpiece|work W is applied to the 1st table ( 4) to contact the upper surface. And as shown in FIG. 7, while holding|maintaining the workpiece|work W by the 1st table 4, the suction force of the suction pad 18 is cancelled|released. In this way, the workpiece|work W is returned from the 2nd table 6 to the 1st table 4 .

복귀 공정을 실시한 후, 제1 테이블(4)을 180도 회전시켜 워크(W)를 촬상 수단(10)으로 촬상하여, 마크(M)의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 기억하는 제2 좌표 기억 공정을 실시한다.After implementing a return process, the 1st table 4 is rotated 180 degrees, the workpiece|work W is imaged with the imaging means 10, The 2nd coordinate memory process of memorizing the coordinates of the mark M as X2, Y2 coordinates. carry out

제2 좌표 기억 공정에서는, 우선, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 테이블용 모터를 작동시켜, 워크(W)를 흡인 유지한 제1 테이블(4)을 180도 회전시킨다. 계속해서, X축 반송 수단에 의해 제1 테이블(4)을 이동시켜, 미리 정해진 촬상 위치에 제1 테이블(4)을 위치시키고, 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 촬상 수단(10)으로 촬상한다. 그리고, 촬상 수단(10)으로 촬상한 화상에 대하여 제어 수단에 의해 화상 해석을 실행하고, 마크(M)의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 취득하여 기억한다(도 8 참조).At a 2nd coordinate memory|storage process, first, as shown in FIG. 8, the motor for 1st tables is actuated, and the 1st table 4 which attracted and hold|maintained the workpiece|work W is rotated 180 degrees. Then, the 1st table 4 is moved by an X-axis conveyance means, the 1st table 4 is positioned in a predetermined imaging position, and the workpiece|work W hold|maintained by the 1st table 4 is imaging means. Take an image with (10). And image analysis is performed by a control means with respect to the image imaged by the imaging means 10, and the coordinates of the mark M are acquired and stored as X2, Y2 coordinates (refer FIG. 8).

제2 좌표 기억 공정을 실시한 후, (X2-X1)/2를 X축 방향의 반송 어긋남량으로 하고, (Y2-Y1)/2를 Y축 방향의 반송 어긋남량으로 하여 산출하는 반송 어긋남량 산출 공정을 실시한다. 도시한 실시형태에서는, 반송 어긋남량의 산출은 제어 수단에 의해 행한다.After performing the second coordinate storage step, calculation of the amount of conveyance deviation calculated by making (X2-X1)/2 as the amount of conveyance in the X-axis direction and (Y2-Y1)/2 as the amount of conveying deviation in the Y-axis direction carry out the process. In the illustrated embodiment, the calculation of the conveyance shift amount is performed by the control means.

도시한 실시형태에서는, 전술한 바와 같이, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)로 반송한 워크(W)를 제2 테이블(6)에서 180도 회전시킴과 더불어, 제2 테이블(6)로부터 제1 테이블(4)로 반송한(복귀한) 워크(W)를 제1 테이블(4)에서 180도 회전시키고 있기 때문에, 반송 수단(8)에 의한 반송 어긋남이 있는 경우에는, 반송 전의 마크(M)의 좌표(X1, Y1)와 반송 후의 마크(M)의 좌표(X2, Y2)의 거리가 반송 수단(8)의 반송 어긋남량의 2배가 된다. 이 때문에, (X2-X1)/2 및 (Y2-Y1)/2의 연산을 실행함으로써, X축 방향 및 Y축 방향의 각각의 반송 어긋남량을 구할 수 있다. 또한, 반송 수단(8)에 의한 반송 어긋남이 없는 경우에는, 반송 전의 마크(M)의 좌표(X1, Y1)와 반송 후의 마크(M)의 좌표(X2, Y2)가 일치한다.In embodiment shown, while rotating the workpiece|work W conveyed from the 1st table 4 to the 2nd table 6 180 degrees on the 2nd table 6 as mentioned above, the 2nd table ( Since the work W conveyed (returned) from 6) to the 1st table 4 is rotated 180 degrees by the 1st table 4, when there exists a conveyance shift|offset|difference by the conveyance means 8, it conveys The distance between the coordinates (X1, Y1) of the mark M before and the coordinates (X2, Y2) of the mark M after conveyance becomes twice the conveyance shift|offset|difference amount of the conveyance means 8. For this reason, each conveyance shift amount in an X-axis direction and a Y-axis direction can be calculated|required by performing calculation of (X2-X1)/2 and (Y2-Y1)/2. In addition, when there is no conveyance shift|offset|difference by the conveyance means 8, coordinates (X1, Y1) of the mark M before conveyance (X1, Y1), and coordinates (X2, Y2) of the mark M after conveyance correspond.

반송 어긋남량 산출 공정을 실시한 후에는 (X2-X1)/2와 (Y2-Y1)/2를 반송 수단(8)의 이동량에 가산하여 반송 어긋남을 보정하는 것이 바람직하다. 도시한 실시형태에서는, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)로 워크(W)를 반송할 때, X축 반송 수단이 워크(W)를 X축 방향으로 반송하고, Y축 반송 수단(11)이 워크(W)를 Y축 방향 및 상하 방향으로 반송하기 때문에, X축 방향의 반송 어긋남량 X축 반송 수단의 이동량에 가산하고, Y축 방향의 반송 어긋남량을 Y축 반송 수단(11)의 이동량에 가산한다. 이것에 의해, 제1 테이블(4)로부터 제2 테이블(6)로 워크(W)를 반송했을 때에 반송 어긋남이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 제2 테이블(6)의 적정한 위치에 워크(W)를 올려놓을 수 있다.After carrying out the conveyance shift amount calculation process, it is preferable to add (X2-X1)/2 and (Y2-Y1)/2 to the movement amount of the conveyance means 8, and to correct|amend a conveyance shift|offset|difference. In the illustrated embodiment, when conveying the workpiece|work W from the 1st table 4 to the 2nd table 6, an X-axis conveying means conveys the workpiece|work W to an X-axis direction, and a Y-axis conveying means (11) Since the workpiece W is conveyed in the Y-axis direction and the vertical direction, the amount of conveyance in the X-axis direction is added to the movement amount of the X-axis conveying means, and the amount of conveyance misalignment in the Y-axis direction is calculated by the Y-axis conveying means ( 11) is added to the movement amount. Thereby, when the workpiece|work W is conveyed from the 1st table 4 to the 2nd table 6, it can prevent that a conveyance shift|offset|difference generate|occur|produces, and it can prevent the workpiece|work W in the appropriate position of the 2nd table 6 ) can be placed.

이상과 같이, 도시한 실시형태에서는, 마크(M)가 형성된 워크(W)를 제1 테이블(4)에 유지시켜 촬상 수단(10)으로 촬상하여 마크(M)의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 기억하는 제1 좌표 기억 공정과, 반송 수단(8)에 의해 제1 테이블(4)에 유지된 워크(W)를 제2 테이블(6)로 반송하여 유지시켜 제2 테이블(6)을 180도 회전시키는 180도 회전 공정과, 반송 수단(8)에 의해 제2 테이블(6)에 유지된 워크(W)를 제1 테이블(4)로 반송하여 유지시키는 복귀 공정과, 제1 테이블(4)을 180도 회전시켜 워크(W)를 촬상 수단(10)으로 촬상하여, 마크(M)의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 기억하는 제2 좌표 기억 공정과, (X2-X1)/2를 X축 방향의 반송 어긋남량으로 하고, (Y2-Y1)/2를 Y축 방향의 반송 어긋남량으로 하여 산출하는 반송 어긋남량 산출 공정을 포함하기 때문에, 반송 수단(8)의 반송 어긋남량을 용이하게 구할 수 있다.As described above, in the illustrated embodiment, the workpiece W on which the mark M is formed is held on the first table 4 and imaged by the imaging means 10, and the coordinates of the marks M are set as X1 and Y1 coordinates. The 1st coordinate memory|storage process to memorize|store, and the workpiece|work W hold|maintained by the 1st table 4 by the conveyance means 8 are conveyed and held by the 2nd table 6, and the 2nd table 6 is rotated 180 degrees. The 180 degree rotation process to rotate, the return process which conveys and holds the workpiece|work W hold|maintained by the 2nd table 6 by the conveyance means 8 to the 1st table 4, The 1st table 4 A second coordinate storage step of rotating 180 degrees to image the workpiece W with the imaging means 10, and storing the coordinates of the mark M as X2 and Y2 coordinates, and (X2-X1)/2 on the X axis Since it includes a conveyance misalignment amount calculation step of calculating the conveyance misalignment amount in the direction and (Y2-Y1)/2 as the conveyance misalignment amount in the Y-axis direction, the conveyance misalignment amount of the conveying means 8 can be easily obtained can

또한, X축 방향 및 Y축 방향의 반송 어긋남량에 대해서는, 도시한 실시형태와는 반대로 (X1-X2)/2, (Y1-Y2)/2로 하여도 좋다. X1과 X2의 차의 절반, 및 Y1과 Y2의 차의 절반이 반송 어긋남량이며, 산출된 수치의 부호가 양(플러스)인지, 혹은 음(마이너스)인지는 반송 어긋남이 발생하고 있는 방향을 나타내는 것이기 때문이다.In addition, you may set it as (X1-X2)/2 and (Y1-Y2)/2 about the conveyance shift amount in an X-axis direction and a Y-axis direction contrary to embodiment shown in figure. Half of the difference between X1 and X2 and half of the difference between Y1 and Y2 is the conveyance misalignment amount, and whether the sign of the calculated numerical value is positive (plus) or negative (minus) indicates the direction in which the conveyance misalignment occurs. because it will

또한, 도시한 실시형태에서는, 워크(W)에 절삭 가공을 행하는 다이싱 장치로서 처리 장치(2)가 구성되어 있는 예를 설명하였으나, 본 발명은, 2개 이상의 테이블 사이에서 반도체 웨이퍼 등의 워크를 반송하는 반송 수단을 구비하는 것이면 좋고, 워크에 레이저 가공을 행하는 레이저 가공 장치, 워크에 연삭 가공을 행하는 연삭 장치, 워크를 검사하는 검사 장치를 포함하는 각종 처리 장치에서 실시될 수 있다.In addition, in the illustrated embodiment, the example in which the processing apparatus 2 is comprised as a dicing apparatus which performs a cutting process on the workpiece|work W was demonstrated, but this invention is a workpiece|work, such as a semiconductor wafer, between two or more tables. What is necessary is just to be provided with conveying means for conveying a workpiece, and it can be implemented in various processing apparatuses including a laser processing apparatus which performs laser processing on a workpiece, a grinding apparatus which performs grinding processing on a workpiece, and an inspection apparatus which test|inspects a workpiece|work.

2 : 처리 장치 4 : 제1 테이블
6 : 제2 테이블 8 : 반송 수단
10 : 촬상 수단 W : 워크2: processing device 4: 1st table
6: 2nd table 8: conveyance means
10: imaging means W: work

Claims (2)

회전 가능한 제1 테이블과, 회전 가능한 제2 테이블과, 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블까지 워크를 반송하는 반송 수단과, 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 촬상하는 촬상 수단을 적어도 구비하여 워크에 처리를 행하는 처리 장치에서, 상기 반송 수단의 반송 어긋남량을 구하는 반송 어긋남량 검출 방법으로서,
마크가 형성된 워크를 상기 제1 테이블에 유지시켜 상기 촬상 수단으로 촬상하여 마크의 좌표를 X1, Y1 좌표로서 기억하는 제1 좌표 기억 공정과,
상기 반송 수단에 의해 상기 제1 테이블에 유지된 워크를 상기 제2 테이블로 반송하여 유지시켜 상기 제2 테이블을 180도 회전시키는 180도 회전 공정과,
상기 반송 수단에 의해 상기 제2 테이블에 유지된 워크를 상기 제1 테이블로 반송하여 유지시키는 복귀 공정과,
상기 제1 테이블을 180도 회전시켜 워크를 상기 촬상 수단으로 촬상하여, 마크의 좌표를 X2, Y2 좌표로서 기억하는 제2 좌표 기억 공정과,
(X2-X1)/2를 X축 방향의 반송 어긋남량으로 하고, (Y2-Y1)/2를 Y축 방향의 반송 어긋남량으로 하여 산출하는 반송 어긋남량 산출 공정
을 포함하는 반송 어긋남량 검출 방법.A rotatable 1st table, a rotatable 2nd table, conveyance means which conveys a workpiece|work from the said 1st table to the said 2nd table, and the imaging means which image the workpiece|work hold|maintained by the said 1st table are provided at least, In the processing apparatus which processes to, as a conveyance deviation amount detection method which calculates|requires the conveyance deviation amount of the said conveying means,
a first coordinate storage step of holding the workpiece on which the mark is formed on the first table, imaging the image by the imaging means, and storing the coordinates of the mark as X1 and Y1 coordinates;
a 180 degree rotation step of conveying and holding the workpiece held on the first table by the conveying means to the second table to rotate the second table by 180 degrees;
a return step of conveying and holding the work held on the second table by the conveying means to the first table;
a second coordinate storage step of rotating the first table by 180 degrees to image a workpiece by the imaging means, and storing the coordinates of the mark as X2 and Y2 coordinates;
A conveyance misalignment amount calculation step of calculating with (X2-X1)/2 as the conveying misalignment amount in the X-axis direction and (Y2-Y1)/2 as the conveying misalignment amount in the Y-axis direction
A method of detecting the amount of conveyance deviation comprising a. 제1항에 있어서, (X2-X1)/2와 (Y2-Y1)/2를 상기 반송 수단의 이동량에 가산하여 반송 어긋남을 보정하는 것인 반송 어긋남량 검출 방법.The method for detecting a conveyance misalignment according to claim 1, wherein (X2-X1)/2 and (Y2-Y1)/2 are added to the movement amount of the conveying means to correct the conveyance misalignment.
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