KR20220086652A - Gas seal structure and extraction drying device - Google Patents

Gas seal structure and extraction drying device Download PDF

Info

Publication number
KR20220086652A
KR20220086652A KR1020227017231A KR20227017231A KR20220086652A KR 20220086652 A KR20220086652 A KR 20220086652A KR 1020227017231 A KR1020227017231 A KR 1020227017231A KR 20227017231 A KR20227017231 A KR 20227017231A KR 20220086652 A KR20220086652 A KR 20220086652A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
seal
cover body
roll
sheet
conveyance
Prior art date
Application number
KR1020227017231A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102689426B1 (en
Inventor
다쿠야 유키
다카요시 사노
Original Assignee
시바우라 기카이 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 시바우라 기카이 가부시키가이샤 filed Critical 시바우라 기카이 가부시키가이샤
Publication of KR20220086652A publication Critical patent/KR20220086652A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102689426B1 publication Critical patent/KR102689426B1/en

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/44Free-space packings
    • F16J15/447Labyrinth packings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56Continuous furnaces for strip or wire
    • C21D9/561Continuous furnaces for strip or wire with a controlled atmosphere or vacuum
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56Continuous furnaces for strip or wire
    • C21D9/562Details
    • C21D9/565Sealing arrangements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B13/00Machines and apparatus for drying fabrics, fibres, yarns, or other materials in long lengths, with progressive movement
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B13/00Machines and apparatus for drying fabrics, fibres, yarns, or other materials in long lengths, with progressive movement
    • F26B13/005Seals, locks, e.g. gas barriers for web drying enclosures
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B13/00Machines and apparatus for drying fabrics, fibres, yarns, or other materials in long lengths, with progressive movement
    • F26B13/10Arrangements for feeding, heating or supporting materials; Controlling movement, tension or position of materials
    • F26B13/14Rollers, drums, cylinders; Arrangement of drives, supports, bearings, cleaning
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/008Seals, locks, e.g. gas barriers or air curtains, for drying enclosures
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/02Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
    • F26B3/04Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air the gas or vapour circulating over or surrounding the materials or objects to be dried
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/04Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/04Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
    • F27B9/045Furnaces with controlled atmosphere
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/145Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving along a serpentine path
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

용이하게 시일성을 확보하기 위해, 가스 시일 구조(30)는, 건조실(11)을 구획하고, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤(40)과, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치이며, 또한, 개구부(16)로부터 반송되는 시트상 부재 S를 시일 롤(40)과의 사이에 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(67)를 갖는 반송부 래비린스 시일(60)과, 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트(22)를 구비한다.In order to easily ensure sealing property, the gas sealing structure 30 partitions the drying chamber 11, and the drying chamber 11 side in the partition 15 which has the opening part 16 through which the sheet-like member S passes. A seal roll 40 disposed on the surface side opposite to the surface of ), the conveyance part labyrinth seal (60) which is arranged in the conveyance direction of the sheet-like member S and has a plurality of space portions 67 in which the seal roll 40 side is opened. And the exhaust duct 22 which makes the inside of the drying chamber 11 a negative pressure with respect to the side on which the seal roll 40 is arrange|positioned is provided.

Description

가스 시일 구조 및 추출 건조 장치Gas seal structure and extraction drying device

본 발명은, 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas seal structure and an extraction drying apparatus.

수지제의 박막의 시트상 부재를 성형하는 제조 장치는, 일반적으로 복수의 처리 공정을 갖고, 각 처리 공정을 거쳐 시트상 부재의 성형을 행하지만, 성형 시의 처리 공정 중에는, 처리실로부터 시트상 부재를 반송할 때, 처리실로부터의 기체의 유출을 억제하면서, 시트상 부재를 반송할 필요가 있는 경우가 있다. 시일성을 확보하여 기체의 유출을 억제하면서, 시트상 부재를 반송하기 위한 하나의 방법으로서는, 처리실의 출구에 물을 가득 채운 조를 배치하고, 처리실의 출구가 물에 잠기도록 함으로써, 처리실로부터의 기체의 유출을 억제하는 방법이 생각된다. 그러나, 이 경우, 처리실로부터 반송하는 시트상 부재는, 물속을 통과하고 나서 처리실 밖으로 반송되게 되기 때문에, 처리실로부터 반출한 후에, 물기를 없애는 공정이 필요로 되어, 물기를 없애기 위한 장치가 증가되기 때문에, 비용이 증가하거나, 장치가 대형화되기 쉬워지거나 할 우려가 있다. 이 때문에, 처리실로부터 박막의 시트상 부재를 반출하기 위한 출구는, 물을 사용하지 않고 기체의 유출을 억제할 수 있는 구성이 바람직하지만, 시트상 부재의 성형에 사용하는 종래의 장치 중에는, 물을 사용하지 않고, 시트상 부재의 반송을 행할 때의 시일성의 확보를 도모하고 있는 것이 있다.A manufacturing apparatus for molding a sheet-like member of a resin thin film generally has a plurality of processing steps, and performs molding of the sheet-like member through each processing step. It may be necessary to convey a sheet-like member while suppressing the outflow of gas from a process chamber when conveying a material. As one method for conveying the sheet-like member while ensuring the sealing property and suppressing the outflow of gas, a tank filled with water is disposed at the exit of the processing chamber, and the exit of the processing chamber is submerged in water, so that A method of suppressing the outflow of gas is conceivable. However, in this case, since the sheet-like member conveyed from the processing chamber is conveyed out of the processing chamber after passing through the water, a drying step is required after being transported from the processing chamber, and the number of drying equipment is increased. , there exists a possibility that cost may increase or an apparatus may become easy to enlarge. For this reason, the outlet for carrying out the thin-film sheet-like member from the processing chamber preferably has a configuration capable of suppressing the outflow of gas without using water. There is a thing aiming at ensuring the sealing property at the time of conveying a sheet-like member without using.

예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 롤 시일 장치에서는, 고압측과 저압측을 칸막이하는 한 쌍의 롤을 수용하는 케이싱과, 롤을 반송하는 판의 상하에 배치됨과 함께 롤의 둘레면에 선단이 근접하고, 케이싱에 기밀하게 지지되는 시일 바와, 상하의 시일 바에 의해 구획되는 공간을 폐색하도록 시일 바의 양측면부에 배치되는 어댑터를 가짐으로써, 고압측과 저압측 사이에서의 가스 이동을 최대한 작게 하고 있다. 또한, 특허문헌 2에 기재된 가스 시일 구조에서는, 제1 처리실과 제2 처리실 사이에 칸막이벽이 마련되고, 칸막이벽에는, 시트상 재료가 통과하는 개구와, 개구를 가스 시일하는 한 쌍의 시일 롤이 마련되고, 한 쌍의 시일 롤은, 시트상 재료가 양쪽 롤에 각각 소정의 접촉각으로 접촉하여 주행하도록 배치됨으로써, 표면 처리실로의 불순 가스의 혼입을 억제하고 있다.For example, in the roll sealing device described in Patent Document 1, a casing for accommodating a pair of rolls partitioning the high-pressure side and the low-pressure side, and a plate that transports the rolls are arranged above and below, and the leading end is on the circumferential surface of the roll By having adapters disposed on both side surfaces of the seal bar to close the space partitioned by the seal bar and the upper and lower seal bars that are close and hermetically supported by the casing, gas movement between the high-pressure side and the low-pressure side is minimized as much as possible. . Further, in the gas seal structure described in Patent Document 2, a partition wall is provided between the first processing chamber and the second processing chamber, the partition wall has an opening through which a sheet-like material passes, and a pair of seal rolls for gas-sealing the opening This is provided and the pair of seal rolls are arranged so that the sheet-like material travels in contact with both rolls at a predetermined contact angle, respectively, thereby suppressing mixing of the impurity gas into the surface treatment chamber.

일본 특허 공개 소62-13572호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 62-13572 일본 특허 공개 제2003-27234호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2003-27234

여기서, 한 쌍의 시일 롤 사이에 시트상 부재를 통과시킴으로써 시일성을 확보하는 경우, 시일 롤간의 간극이 중요해진다. 즉, 한 쌍의 시일 롤간의 간극이 너무 크면, 시일성을 확보하기 어려워질 우려가 있다. 한편, 한 쌍의 시일 롤간의 간극이 너무 작으면, 실제의 운전 전의 준비 단계에 있어서 시일 롤끼리의 사이에 시트상 부재를 통과시킬 때, 시트상 부재를 통과시키기 어려워져, 장치의 사용 편의성이 나빠질 우려가 있다. 이 때문에, 장치의 사용 편의성을 악화시키지 않고 시일성을 확보하기 위해서는, 한 쌍의 시일 롤의 간격을 높은 정밀도로 배치할 필요가 있어, 시일성을 확보할 때에 있어서의 용이성의 관점에서, 개량의 여지가 있었다.Here, when ensuring sealing property by passing a sheet-like member between a pair of seal rolls, the clearance gap between seal rolls becomes important. That is, when the clearance gap between a pair of sealing rolls is too large, there exists a possibility that it may become difficult to ensure sealing property. On the other hand, if the gap between the pair of seal rolls is too small, when passing the sheet-like member between the seal rolls in the preparation stage before actual operation, it becomes difficult to pass the sheet-like member, and the usability of the device is reduced. There is a risk of getting worse. For this reason, in order to ensure the sealing property without deteriorating the usability of the apparatus, it is necessary to arrange the space|interval of a pair of seal roll with high precision, and from a viewpoint of the ease in ensuring sealing property, There was room.

본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것이며, 용이하게 시일성을 확보할 수 있는 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention has been made in view of the above, and an object of this invention is to provide the gas-seal structure and extraction drying apparatus which can ensure sealing property easily.

상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 가스 시일 구조는, 처리실을 구획하고, 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 처리실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과, 상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과, 상기 처리실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트를 구비한다.In order to solve the above problems and achieve the object, a gas seal structure according to the present invention divides a processing chamber, and in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes, on the surface side opposite to the processing chamber side surface a seal roll disposed at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and disposed at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and conveying the sheet-like member A transport section labyrinth seal having a plurality of space portions arranged in the direction of the seal roll side and opened on the side of the seal roll;

또한, 상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 추출 건조 장치는, 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 성형하여 얻어진 시트상 부재로부터 용제를 사용하여 상기 액상 가소제를 추출하는 추출 장치와, 상기 시트상 부재를 건조시킴으로써 상기 시트상 부재에 부착된 상기 용제를 제거하는 건조 장치와, 상기 건조 장치의 건조실을 구획하고, 상기 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 건조실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과, 상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과, 상기 건조실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트를 구비한다.In addition, in order to solve the above problems and achieve the object, the extraction and drying apparatus according to the present invention extracts the liquid plasticizer using a solvent from a sheet-like member obtained by molding a resin material and a liquid plasticizer after melt-kneading. an extraction device; a drying device for removing the solvent adhering to the sheet-like member by drying the sheet-like member; and a partition partitioning a drying chamber of the drying device and having an opening through which the sheet-like member passes. a seal roll disposed on the surface side opposite to the drying chamber side surface, and a position opposite to the outer peripheral surface of the seal roll, and a position where the sheet-like member conveyed from the opening part can pass between the seal roll a conveyance part labyrinth seal disposed in a conveyance part arranged in the conveyance direction of the sheet-like member and having a plurality of spaces in which the seal roll side is opened, and an exhaust for setting the inside of the drying chamber to a negative pressure with respect to the side on which the seal roll is disposed Provide ducts.

본 발명에 관한 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치는, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.The gas-seal structure and extraction drying apparatus which concern on this invention exhibit the effect that sealing property can be ensured easily.

도 1은 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치의 장치 구성을 도시하는 모식도이다.
도 2는 도 1의 A-A 화살표도이다.
도 3은 도 2에 도시한 가스 시일 구조의 사시도이다.
도 4는 도 2의 B-B 단면도이다.
도 5는 도 2의 B-B 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 6은 도 2의 G-G 단면도이다.
도 7은 도 5에 도시한 반송부 래비린스 시일의 상세도이다.
도 8은 도 2의 C-C 단면도이다.
도 9는 도 2의 C-C 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시한 단부 덮개체의 사시도이다.
도 11은 도 4에 도시한 칸막이체를 반송부 측벽부가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다.
도 12는 도 4에 도시한 칸막이체를 칸막이체 개구부가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다.
도 13은 도 2에 도시한 가스 시일 구조가 갖는 반송부 상부 덮개체를 상방으로 이동시킨 상태를 도시하는 설명도이다.
도 14는 도 13의 D-D 단면도이다.
도 15는 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조의 정면도이며, 도 1의 A-A 화살표도이다.
도 16은 도 15의 E-E 단면도이다.
도 17은 도 15의 E-E 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 18은 도 15의 F-F 단면도이다.
도 19는 도 15의 F-F 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 20은 도 19에 도시한 단부 덮개체의 사시도이다.
도 21은 도 20에 도시한 단부 덮개체를 외주면측으로부터 본 사시도이다.
도 22는 도 20에 도시한 단부 덮개체를 수평 방향으로 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다.
도 23은 도 20에 도시한 단부 덮개체를 홈부를 따라서 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the apparatus structure of the extraction and drying apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG.
FIG. 2 is an arrow view AA of FIG. 1 .
3 is a perspective view of the gas seal structure shown in FIG. 2 .
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2 .
Fig. 5 is a perspective view of an essential part in the cross section BB of Fig. 2 .
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line GG of FIG. 2 .
FIG. 7 is a detailed view of the transport part labyrinth seal shown in FIG. 5 .
FIG. 8 is a cross-sectional view taken along CC of FIG. 2 .
Fig. 9 is a perspective view of an essential part in a cross section CC of Fig. 2;
Fig. 10 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 9;
Fig. 11 is a perspective view showing a state in which the partition body shown in Fig. 4 is viewed from the side where a side wall portion of the carrying section is located.
Fig. 12 is a perspective view showing a state in which the partition body shown in Fig. 4 is viewed from the side where the partition body opening is located.
Fig. 13 is an explanatory view showing a state in which the transport section upper cover body of the gas seal structure shown in Fig. 2 is moved upward.
14 is a DD cross-sectional view of FIG. 13 .
It is a front view of the gas-seal structure which concerns on Embodiment 2, It is the arrow AA of FIG.
16 is a cross-sectional view EE of FIG. 15 .
Fig. 17 is a perspective view of an essential part in the section EE of Fig. 15 .
18 is a FF cross-sectional view of FIG. 15 .
Fig. 19 is a perspective view of an essential part in the FF section of Fig. 15 .
Fig. 20 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 19;
Fig. 21 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 20 as seen from the outer peripheral surface side;
Fig. 22 is a main part perspective view showing a state in which the end cover body shown in Fig. 20 is cut in the horizontal direction;
Fig. 23 is a principal part perspective view showing a state in which the end cover body shown in Fig. 20 is cut along a groove portion;

이하에, 본 개시에 관한 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 이 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 하기 실시 형태에 있어서의 구성 요소에는, 당업자가 치환 가능, 또한 용이하게 상도할 수 있는 것, 혹은 실질적으로 동일한 것이 포함된다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of the gas-seal structure which concerns on this indication, and an extraction drying apparatus is described in detail based on drawing. In addition, this invention is not limited by this embodiment. In addition, components in the following embodiment include those that can be substituted by those skilled in the art, and those that can be easily conceived, or those that are substantially the same.

[실시 형태 1][Embodiment 1]

도 1은 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치(1)의 장치 구성을 도시하는 모식도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 상하 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 상하 방향 Z로서 설명하고, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 상측을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 상측으로 하고, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 하측을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 하측으로 하여 설명한다. 또한, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 수평 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서도 수평 방향으로 하여 설명한다. 또한, 수평 방향 중, 후술하는 가스 시일 구조(30)의 시일 롤(40)의 연장 방향을 추출 건조 장치(1)에 있어서의 폭 방향 Y로 하고, 추출 건조 장치(1)의 상하 방향 Z와 폭 방향 Y의 양쪽에 직교하는 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 길이 방향 X로 하여 설명한다. 또한, 추출 건조 장치(1)에 있어서 시트상 부재 S를 반송할 때는, 시트상 부재 S의 반송 방향은 수평 방향에 있어서는 폭 방향 Y가 되기 때문에, 이하의 설명에서는, 시트상 부재 S의 반송 방향과 폭 방향 Y를 동의로 취급하는 경우도 있다.1 : is a schematic diagram which shows the apparatus structure of the extraction and drying apparatus 1 which concerns on Embodiment 1. FIG. In addition, in the following description, the up-down direction in the normal use state of the extraction and drying apparatus 1 is demonstrated as the up-down direction Z in the extraction and drying apparatus 1, and the normal use of the extraction and drying apparatus 1 is demonstrated. Let the upper side in the use state be the upper side in the extraction and drying apparatus 1, and let the lower side in the normal use state of the extraction and drying apparatus 1 be the lower side in the extraction and drying apparatus 1, Explain. In addition, the horizontal direction in the normal use state of the extraction and drying apparatus 1 is demonstrated also as a horizontal direction in the extraction and drying apparatus 1 . In addition, let the extension direction of the seal roll 40 of the gas-seal structure 30 mentioned later among the horizontal directions be the width direction Y in the extraction drying apparatus 1, and the vertical direction Z of the extraction drying apparatus 1, and The direction orthogonal to both sides of the width direction Y is demonstrated as the longitudinal direction X in the extraction and drying apparatus 1 . In addition, when conveying the sheet-like member S in the extraction and drying apparatus 1, since the conveyance direction of the sheet-like member S becomes the width direction Y in a horizontal direction, in the following description, the conveyance direction of the sheet-like member S and width direction Y are sometimes treated as synonyms.

<추출 건조 장치(1)><Extraction drying device (1)>

본 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치(1)는, 주로, 리튬 이온 전지에 사용되는 세퍼레이터 필름의 제조에 사용되고, 추출 장치(5)와, 건조 장치(10)를 갖고 있다. 세퍼레이터 필름의 제조 시에 있어서의 추출 건조 장치(1)의 상류측의 공정에서는, 세퍼레이터 필름의 원료가 되는 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 시트상으로 성형하여 시트상 부재 S를 얻지만, 추출 건조 장치(1)는, 얻어진 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거하는 장치로 되어 있다.The extraction and drying apparatus 1 which concerns on this Embodiment 1 is mainly used for manufacture of the separator film used for a lithium ion battery, and has the extraction apparatus 5 and the drying apparatus 10. FIG. In the process on the upstream side of the extraction and drying apparatus 1 in the production of the separator film, the resin material and liquid plasticizer used as raw materials for the separator film are melt-kneaded and then molded into a sheet to obtain a sheet-like member S, but extraction The drying apparatus 1 is an apparatus which removes a liquid plasticizer from the obtained sheet-like member S.

상세하게는, 세퍼레이터 필름의 원료가 되는 수지 재료로서는, 예를 들어 폴리에틸렌이나 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀계 수지가 사용된다. 또한, 액상 가소제로서는, 예를 들어 오일이나 유동 파라핀 등이 사용된다. 세퍼레이터 필름의 제조 시에 있어서의 추출 건조 장치(1)의 상류측의 공정에서는, 이들 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 시트상으로 하고, 또한, 시트를 연신함으로써, 폴리올레핀계 수지에 다수의 미세 구멍이 개공되어 미세 구멍에 액상 가소제가 들어간 박막의 필름상의 시트상 부재 S로 한다. 추출 건조 장치(1)는, 이와 같이 형성되는 시트상 부재 S로부터, 시트상 부재 S에 함침되어 있는 액상 가소제를 추출, 제거함으로써, 폴리올레핀계 수지에 개공된 다수의 미세 구멍으로부터 액상 가소제가 빠져나가, 다수의 미세 구멍이 개공된 시트상 부재 S로 하기 위한 장치로서 구성되어 있다.In detail, as a resin material used as a raw material of a separator film, polyolefin resins, such as polyethylene and polypropylene, are used, for example. Moreover, as a liquid plasticizer, oil, liquid paraffin, etc. are used, for example. In the process on the upstream side of the extraction and drying apparatus 1 in the production of the separator film, these resin materials and the liquid plasticizer are melt-kneaded to form a sheet, and further, by stretching the sheet, a large number of fine particles are added to the polyolefin-based resin. It is set as the thin film-form sheet-like member S in which the hole was perforated and the liquid plasticizer entered the micropore. The extraction and drying apparatus 1 extracts and removes the liquid plasticizer impregnated in the sheet-like member S from the sheet-like member S thus formed, so that the liquid plasticizer escapes from the many micropores opened in the polyolefin-based resin. , is constituted as an apparatus for forming a sheet-like member S in which a large number of micropores are perforated.

추출 건조 장치(1)가 갖는 추출 장치(5)는, 추출 건조 장치(1)로 반송된 시트상 부재 S에 대하여, 용제(7)를 사용하여 액상 가소제의 추출을 행한다. 이 때문에, 추출 장치(5)는, 용제(7)의 조인 용제조(6)를 갖고 있고, 용제(7)는, 용제조(6)에 저류된다. 용제(7)로서는, 예를 들어 염화메틸렌이 사용된다. 추출 장치(5)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서 용제조(6) 내의 용제(7)에 시트상 부재 S를 침지함으로써 액상 가소제를 추출하여, 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거한다.The extraction apparatus 5 which the extraction and drying apparatus 1 has uses the solvent 7 to extract the liquid plasticizer with respect to the sheet-like member S conveyed to the extraction and drying apparatus 1 . For this reason, the extraction apparatus 5 has the solvent tank 6 which is a tank 7 of the solvent, and the solvent 7 is stored in the solvent tank 6 . As the solvent 7, methylene chloride is used, for example. In the extraction apparatus 5, the liquid plasticizer is extracted by immersing the sheet-like member S in the solvent 7 in the solvent manufacturing tank 6, conveying the sheet-like member S, and the liquid plasticizer is removed from the sheet-like member S.

추출 건조 장치(1)가 갖는 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 추출 장치(5)의 하류측에 배치되어 있고, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 건조시킨다. 즉, 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S를 건조시킴으로써, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 시트상 부재 S로부터 제거한다.The drying apparatus 10 which the extraction and drying apparatus 1 has is arrange|positioned downstream of the extraction apparatus 5 in the conveyance direction of the sheet-like member S, and is attached to the sheet-like member S by the extraction apparatus 5. The solvent (7) is dried. That is, the drying apparatus 10 removes the solvent 7 adhering to the sheet-like member S in the extraction apparatus 5 from the sheet-like member S by drying the sheet-like member S.

건조 장치(10)는, 시트상 부재 S의 건조를 행하는 처리실인 건조실(11)을 갖고 있고, 건조실(11)은, 용제조(6)를 통해 추출 장치(5)와 연통하고 있다. 또한, 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S를 건조시키는 에어 나이프(25)와, 시트상 부재 S를 반송하는 롤(26)과, 에어 나이프(25)에 대하여 에어를 공급하는 급기 덕트(21)와, 건조실(11) 내의 가스를 배기하는 배기 덕트(22)를 갖고 있다. 이 중, 롤(26)은, 원주상의 형상으로 형성되고, 원주의 축 방향이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y를 따른 방향으로 건조실(11) 내에 배치되어 있다. 또한, 건조실(11)에는, 롤(26)이 복수 배치되어 있고, 복수의 롤(26)은, 원주의 축 방향이 서로 평행하게 되는 방향으로, 추출 건조 장치(1)의 길이 방향 X에 있어서의 위치나 상하 방향 Z에 있어서의 위치가 각각 다른 위치에서 배치되어 있다. 롤(26)은, 건조실(11) 내에서 시트상 부재 S를 권회하면서 회전함으로써, 시트상 부재 S를 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.The drying apparatus 10 has a drying chamber 11 which is a processing chamber which dries the sheet-like member S, and the drying chamber 11 communicates with the extraction apparatus 5 via the solvent manufacturing tank 6 . Moreover, the drying apparatus 10 includes the air knife 25 which dries the sheet-like member S, the roll 26 which conveys the sheet-like member S, and the air supply duct which supplies air with respect to the air knife 25 ( 21 , and an exhaust duct 22 for exhausting gas in the drying chamber 11 . Among these, the roll 26 is formed in the cylindrical shape, and the axial direction of the circumference is arrange|positioned in the drying chamber 11 in the direction along the width direction Y of the extraction and drying apparatus 1 . In the drying chamber 11 , a plurality of rolls 26 are arranged, and the plurality of rolls 26 are in a direction in which the axial directions of the circumference are parallel to each other in the longitudinal direction X of the extraction and drying apparatus 1 . The position of and the position in the vertical direction Z are arranged at different positions, respectively. By rotating the roll 26 while winding the sheet-like member S in the drying chamber 11, it is possible to convey the sheet-like member S.

에어 나이프(25)는, 건조실(11) 내에 있어서, 롤(26)에 권취되는 시트상 부재 S에 대하여 에어를 분사할 수 있는 위치에 배치되어 있다. 에어 나이프(25)는, 예를 들어 복수의 롤(26) 중 1개의 롤(26)의 근방에 배치되어 있고, 시트상 부재 S에 있어서의 당해 롤(26)에 권취되어 있는 부분에 대하여 에어를 분사할 수 있는 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 시트상 부재 S에 에어를 분사하는 에어 나이프(25)는, 급기 덕트(21)에 접속되어 있고, 급기 덕트(21)로부터 에어가 공급됨으로써, 시트상 부재 S에 에어를 분사할 수 있고, 시트상 부재 S에 에어를 분사함으로써, 시트상 부재 S를 건조시킨다. 급기 덕트(21)는, 건조 장치(10)의 외측에 배치되며, 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)로부터 공급되는 에어를 에어 나이프(25)에 공급하는 것이 가능하게 되어 있다.The air knife 25 is arrange|positioned in the drying chamber 11 in the position which can inject air with respect to the sheet-like member S wound up on the roll 26. The air knife 25 is arrange|positioned, for example in the vicinity of the one roll 26 among the some roll 26, and is air-wound with respect to the part wound up by the said roll 26 in the sheet-like member S. It is placed in a position where it can be sprayed. In this way, the air knife 25 for spraying air to the sheet-like member S is connected to the air supply duct 21, and air is supplied from the air supply duct 21, whereby air can be sprayed onto the sheet-like member S. There is, the sheet-like member S is dried by blowing air to the sheet-like member S. The air supply duct 21 is arrange|positioned on the outer side of the drying apparatus 10, and it is possible to supply the air supplied from blowers (not shown), such as a blower, to the air knife 25.

배기 덕트(22)는, 건조 장치(10)의 외측에 배치되며, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 배출하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다. 즉, 건조 장치(10)는, 용제(7)가 부착된 시트상 부재 S를 건조시키기 때문에, 추출 건조 장치(1)의 운전 시에는, 건조실(11) 내는 용제(7)가 기화된 가스가 충만하게 되지만, 배기 덕트(22)로부터 배기된 가스를 송풍 장치로 흡기하여, 가스 회수 장치로 보냄으로써, 기화된 용제(7)를 회수할 수 있다.The exhaust duct 22 is disposed outside the drying apparatus 10 , and it is possible to discharge the gas in the drying chamber 11 to the outside of the drying chamber 11 . In addition, the exhaust duct 22 is connected to a blower (not shown) such as a blower that takes in the gas in the drying chamber 11 and a gas recovery device (not shown) that recovers a predetermined component in the gas. That is, since the drying apparatus 10 dries the sheet-like member S to which the solvent 7 is adhered, when the extraction and drying apparatus 1 is operating, the gas in which the solvent 7 is vaporized in the drying chamber 11 is released. Although it becomes full, the vaporized solvent 7 can be collect|recovered by sucking in the gas exhausted from the exhaust duct 22 by a blower, and sending it to a gas recovery apparatus.

또한, 건조 장치(10)에 있어서의, 건조 장치(10)에서 반송하는 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측에는, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)가 형성되어 있다. 즉, 건조 장치(10)의 건조실(11)을 구획하는 격벽(15)에 있어서의, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측에 위치하는 격벽(15)에는, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)가 형성되어 있다.Moreover, in the downstream in the conveyance direction of the sheet-like member S conveyed by the drying apparatus 10 in the drying apparatus 10, the opening part 16 through which the sheet-like member S passes is formed. That is, in the partition wall 15 which partitions the drying chamber 11 of the drying apparatus 10, the sheet-like member S passes through the partition 15 located downstream in the conveyance direction of the sheet-like member S. An opening 16 is formed.

또한, 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에는, 시일 롤(40)이 배치되어 있다. 시일 롤(40)은, 본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)를 구성하고 있다. 즉, 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에는, 가스 시일 구조(30)가 배치되어 있고, 시트상 부재 S는, 건조실(11) 내측으로부터 가스 시일 구조(30)를 통해, 건조실(11)의 외측으로 반송되도록 구성되어 있다. 본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)는, 배기 덕트(22)도 포함하여 구성되어 있다. 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 배출함으로써, 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 것이 가능하게 되어 있다.Moreover, the sealing roll 40 is arrange|positioned on the surface side on the opposite side to the surface on the side of the drying chamber 11 in the partition 15 which has the opening part 16. As shown in FIG. The seal roll 40 constitutes the gas seal structure 30 according to the first embodiment. That is, the gas seal structure 30 is arrange|positioned on the surface side opposite to the surface on the side of the drying chamber 11 in the partition 15 which has the opening part 16, and the sheet-like member S is inside the drying chamber 11. It is comprised so that it may be conveyed to the outside of the drying chamber 11 through the gas seal structure 30. The gas seal structure 30 which concerns on this Embodiment 1 is comprised including the exhaust duct 22 also. By discharging the gas in the drying chamber 11 to the outside of the drying chamber 11 , the exhaust duct 22 can make the inside of the drying chamber 11 a negative pressure with respect to the side on which the seal roll 40 is disposed.

<가스 시일 구조(30)><Gas seal structure (30)>

도 2는 도 1의 A-A 화살표도이다. 도 3은 도 2에 도시한 가스 시일 구조(30)의 사시도이다. 가스 시일 구조(30)가 갖는 시일 롤(40)은, 대략 원주형의 형상으로 형성되어 있고, 중심축이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y로 연장되는 방향으로 배치되고, 프레임(31)에 배치되는 베어링부(35)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링부(35)는, 프레임(31)이 갖는 지지판(33)에 배치되어 있다. 지지판(33)은, 2매가 시일 롤(40)의 길이 방향에 있어서의 양단 부근에 각각 배치되어 있고, 판의 두께 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치되어 있다.FIG. 2 is an arrow view A-A of FIG. 1 . 3 is a perspective view of the gas seal structure 30 shown in FIG. 2 . The seal roll 40 which the gas seal structure 30 has is formed in a substantially cylindrical shape, is arrange|positioned in the direction extending in the width direction Y of the extraction-drying apparatus 1 with a central axis, and the flame|frame 31 It is rotatably supported by the bearing part 35 arrange|positioned to it. The bearing part 35 is arrange|positioned on the support plate 33 which the frame 31 has. Two support plates 33 are respectively arrange|positioned in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the seal roll 40, and are arrange|positioned in the direction used as the width direction Y of the thickness direction of a board.

2매의 지지판(33)은, 각각 대략 직사각 형상의 판상의 형상으로 형성되어 있고, 2매의 지지판(33) 사이에는, 스테이(32)가 배치되어 있다. 스테이(32)는, 예를 들어 각파이프에 의해 형성되어 있고, 직사각 형상의 형상으로 형성되는 지지판(33)의 4코너 부근끼리의 사이에 걸쳐, 4개가 배치되어 있다. 즉, 스테이(32)는, 폭 방향 Y로 이격되는 2매의 지지판(33)의 4코너 부근끼리의 사이에 걸쳐, 4개의 스테이(32)가 각각 폭 방향 Y로 연장되어 배치되어 있고, 각 스테이(32)의 양단은, 2매의 지지판(33)에 각각 접속되어 있다. 이에 의해, 프레임(31)은, 가스 시일 구조(30)의 골격을 이루고 있다.The two support plates 33 are each formed in the plate-shaped shape of a substantially rectangular shape, and the stay 32 is arrange|positioned between the two support plates 33. As shown in FIG. Four of the stays 32 are formed, for example of a square pipe, and are arrange|positioned between four corner vicinity of the support plate 33 formed in the shape of a rectangular shape. That is, the stay 32 spans between the vicinity of four corners of the two support plates 33 spaced apart in the width direction Y, and the four stays 32 are arranged to extend in the width direction Y, respectively, and each The both ends of the stay 32 are respectively connected to the support plate 33 of 2 sheets. Thereby, the frame 31 constitutes the skeleton of the gas seal structure 30 .

시일 롤(40)을 회전 가능하게 지지하는 베어링부(35)는, 2매의 지지판(33)의 각각에 배치되어 있고, 시일 롤(40)은, 길이 방향에 있어서의 양단측에 위치하는 축 단부(45)가, 각각 회전 가능하게 베어링부(35)에 지지되어 있다. 이에 의해, 시일 롤(40)은, 회전축이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y로 연장되는 방향으로, 2매의 지지판(33)끼리의 사이에 회전 가능하게 배치되어 있다. 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)이 배치되는 2매의 지지판(33)끼리의 사이를 통해 반송된다.The bearing part 35 which supports the seal roll 40 rotatably is arrange|positioned at each of the support plate 33 of 2 sheets, The seal roll 40 is a shaft located at the both ends in the longitudinal direction. The end portions 45 are respectively rotatably supported by the bearing portions 35 . Thereby, the sealing roll 40 is rotatably arrange|positioned between the support plate 33 comrades of 2 sheets in the direction in which a rotating shaft extends in the width direction Y of the extraction and drying apparatus 1 . The sheet-like member S conveyed through the gas seal structure 30 is conveyed through between the support plates 33 comrades of 2 sheets on which the seal roll 40 is arrange|positioned.

또한, 시일 롤(40)이 배치되는 2매의 지지판(33)끼리의 사이에는, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90)가 배치되어 있다. 이 중, 반송부 덮개체(50)는, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송될 때에 있어서의, 폭 방향 Y에 있어서 시트상 부재 S가 통과하는 위치에 배치되어 있다. 반송부 덮개체(50)는, 상하 방향 Z에 있어서의 시일 롤(40)의 상측과 하측에 배치되어 있고, 시일 롤(40)의 상측에 배치되는 반송부 상부 덮개체(51)와, 시일 롤(40)의 하측에 배치되는 반송부 하부 덮개체(52)를 갖고 있다. 또한, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 배치되는 위치의 양측에 배치되어 있다.Moreover, the conveyance part cover body 50 and the edge part cover body 90 are arrange|positioned between the support plates 33 comrades of 2 sheets by which the seal roll 40 is arrange|positioned. Among these, the conveyance part cover body 50 is arrange|positioned at the position through which the sheet-like member S passes in the width direction Y in the case where the sheet-like member S is conveyed through the gas-seal structure 30. As shown in FIG. The conveyance part cover body 50 is arrange|positioned at the upper side and the lower side of the seal roll 40 in the up-down direction Z, The conveyance part upper cover body 51 arrange|positioned above the seal roll 40, and a seal|sticker; It has the conveyance part lower cover body 52 arrange|positioned below the roll 40. As shown in FIG. In addition, the end cover body 90 is arrange|positioned on both sides of the position where the conveyance part cover body 50 in the extending direction of the seal roll 40 is arrange|positioned.

<스트로크 구조(70)><Stroke structure (70)>

반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52) 중, 반송부 상부 덮개체(51)는, 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 상세하게는, 상하 방향 Z에 있어서의 프레임(31)의 상측에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상하 방향 Z로 이동시키기 위한 스트로크 구조(70)가 배치되어 있고, 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 연결됨으로써, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.Among the transport section upper cover body 51 and the transport section lower cover body 52 included in the transport section cover body 50 , the transport section upper cover body 51 is movable in the vertical direction Z. Specifically, above the frame 31 in the vertical direction Z, a stroke structure 70 for moving the conveyance unit upper cover body 51 in the vertical direction Z is disposed, and the conveyance unit upper cover body ( 51 , by being connected to the stroke structure 70 , is movable in the vertical direction Z by the stroke structure 70 .

도 4는 도 2의 B-B 단면도이다. 도 5는 도 2의 B-B 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 스트로크 구조(70)는, 2조가 폭 방향 Y로 간격을 두고 프레임(31)의 상측에 배치되어 있다. 각 스트로크 구조(70)는, 에어 실린더(71)를 갖고 있고, 에어 실린더(71)는, 지주(80)와 지지 부재(81)에 의해 지지되어 있다. 지주(80)는, 1개의 스트로크 구조(70)당 4개가 마련되어 있고, 4개의 지주(80)는, 폭 방향 Y와 길이 방향 X로 간격을 두고, 프레임(31)이 갖는 상측의 스테이(32)의 상부에 상하 방향 Z를 향하여 세워 설치되어 있다. 지지 부재(81)는, 길이 방향 X로 연장되어 배치되어 있고, 4개의 지주(80)의 상단에 연결되어 있다.FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 2 . Fig. 5 is a perspective view of an essential part in the cross section B-B of Fig. 2; As for the stroke structure 70, two sets are arrange|positioned at the upper side of the frame 31 at intervals in the width direction Y. As shown in FIG. Each stroke structure 70 has an air cylinder 71 , and the air cylinder 71 is supported by a post 80 and a support member 81 . Four posts 80 are provided per one stroke structure 70, and the four posts 80 are spaced apart in the width direction Y and the longitudinal direction X, and the upper stay 32 which the frame 31 has. ), it is installed upright in the vertical direction Z. The support member 81 is arranged extending in the longitudinal direction X, and connected to the upper ends of the four posts 80 .

에어 실린더(71)는, 로드(73)가 스트로크하는 방향이 상하 방향 Z로 되는 방향으로, 지지 부재(81)의 상측에 설치되어 있다. 즉, 에어 실린더(71)는, 로드(73)가 에어 실린더(71)의 본체부(72)에 대하여 상하 방향 Z에 있어서의 하측에 위치하는 방향으로 배치되고, 본체부(72)가 지지 부재(81)의 상측에 설치되어 있고, 로드(73)는 지지 부재(81)를 상하 방향 Z로 관통하고 있다.The air cylinder 71 is provided above the support member 81 in a direction in which the stroke direction of the rod 73 is the vertical direction Z. That is, the air cylinder 71 is disposed in a direction in which the rod 73 is located below the body portion 72 of the air cylinder 71 in the vertical direction Z, and the body portion 72 is a supporting member. It is provided above the 81, and the rod 73 penetrates the support member 81 in the up-down direction Z.

로드(73)의 선단은, 브래킷(85)의 상단에 연결되어 있고, 브래킷(85)의 하단은, 반송부 상부 덮개체(51)에 연결되어 있다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)는, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 본체부(72)에 대하여 상하 방향 Z로 신축함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)도 로드(73)와 함께 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.The front end of the rod 73 is connected to the upper end of the bracket 85 , and the lower end of the bracket 85 is connected to the conveyance part upper cover body 51 . Thereby, the conveyance part upper cover body 51 expands and contracts the rod 73 of the air cylinder 71 in the vertical direction Z with respect to the main body part 72, and the conveyance part upper cover body 51 and the rod 73 ) and can move in the up-down direction Z.

이와 같이, 로드(73)와 반송부 상부 덮개체(51)에 연결되는 브래킷(85)은, 길이 방향 X의 양측으로 연장되는 암(86)을 갖고 있다. 암(86)은, 폭 방향 Y로 간격을 두고 인접하여 배치되는 지주(80)끼리의 사이에 들어가 있다.In this way, the bracket 85 connected to the rod 73 and the upper cover body 51 of the carrying unit has arms 86 extending to both sides in the longitudinal direction X. As shown in FIG. The arm 86 is inserted between the posts 80 comrades adjacent to each other at intervals in the width direction Y.

상세하게는, 폭 방향 Y로 인접하는 지주(80)끼리에 있어서의, 서로 다른 쪽의 지주(80)가 위치하는 측의 면에는, 암(86)을 가이드하는 가이드 블록(82)이 각각 설치되어 있고, 인접하는 지주(80)의 가이드 블록(82)끼리는, 대향하여 배치되어 있다. 대향하는 가이드 블록(82)끼리의 간격은, 폭 방향 Y에 있어서의 브래킷(85)의 암(86)의 두께보다도, 약간 넓은 정도의 간격으로 되어 있다.In detail, the guide blocks 82 which guide the arm 86 are provided in the surface on the side of the support|pillar 80 comrades adjacent to each other in the width direction Y on the side where the support|pillar 80 on the other side is located, respectively. and guide blocks 82 of adjacent posts 80 are disposed to face each other. The spacing between the opposing guide blocks 82 is set to be a little wider than the thickness of the arm 86 of the bracket 85 in the width direction Y.

도 6은 도 2의 G-G 단면도이다. 브래킷(85)의 암(86)에는, 길이 방향 X에 있어서의 양단 부분에, 길이 방향 X에 있어서의 중앙 근방의 부분보다도 폭 방향 Y의 두께가 얇게 된 협폭부(86a)가 형성되어 있다. 대향하는 가이드 블록(82)끼리의 간격은, 이와 같이 브래킷(85)의 암(86)에 형성되는 협폭부(86a)의 두께보다도, 약간 넓은 정도의 간격으로 되어 있다. 브래킷(85)의 암(86)은, 협폭부(86a)가, 지주(80)에 설치되어 대향하는 가이드 블록(82)의 사이에 들어가 있다. 이 때문에, 브래킷(85)은, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신축하여 브래킷(85)이 상하 방향 Z로 이동할 때, 가이드 블록(82)에 가이드되면서 이동하기 때문에, 폭 방향 Y의 흔들림이 규제된다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line G-G of FIG. 2 . The arm 86 of the bracket 85 has narrow width portions 86a formed at both ends in the longitudinal direction X, the thickness of which is thinner in the width direction Y than the portions in the vicinity of the center in the longitudinal direction X. The spacing between the opposing guide blocks 82 is set to be slightly wider than the thickness of the narrow portion 86a formed in the arm 86 of the bracket 85 in this way. As for the arm 86 of the bracket 85, the narrow part 86a is provided between the guide blocks 82 which are provided in the support|pillar 80 and oppose. For this reason, the bracket 85 moves while being guided by the guide block 82 when the rod 73 of the air cylinder 71 expands and contracts and the bracket 85 moves in the up-down direction Z. Shaking is regulated.

또한, 브래킷(85)의 암(86)에는, 협폭부(86a)가 형성됨으로써, 암(86)의 길이 방향 X에 있어서의 중앙 근방의 부분과 협폭부(86a)의 경계에, 단차부(86b)가 형성되어 있다. 암(86)의 협폭부(86a)가, 대향하는 가이드 블록(82) 사이에 들어가 있는 상태에서는, 단차부(86b)는, 가이드 블록(82)과의 사이에 길이 방향 X로 약간의 간극을 갖는 위치에 배치된다. 이 때문에, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신축하여 브래킷(85)이 상하 방향 Z로 이동할 때는, 단차부(86b)가 가이드 블록(82)에 가이드되면서 이동함으로써, 브래킷(85)은, 길이 방향 X의 흔들림도 규제된다.Further, the arm 86 of the bracket 85 is provided with a narrow portion 86a, so that a step portion ( 86b) is formed. In a state where the narrow portion 86a of the arm 86 is inserted between the opposing guide blocks 82 , the stepped portion 86b creates a slight gap in the longitudinal direction X between the guide block 82 and the guide block 82 . placed in a position with For this reason, when the rod 73 of the air cylinder 71 expands and contracts and the bracket 85 moves in the vertical direction Z, the step portion 86b moves while being guided by the guide block 82, so that the bracket 85 is , the shake in the longitudinal direction X is also regulated.

또한, 브래킷(85)의 암(86)에는, 상하 방향 Z의 하측의 면에, 스토퍼(87)가 설치되어 있다. 스토퍼(87)는, 지주(80)가 세워 설치되어 있는 프레임(31)의 스테이(32)의 상면에 대향하는 위치에 배치되어 있어, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신장하였을 때는, 스테이(32)에 맞닿도록 배치되어 있다. 또한, 스토퍼(87)는, 브래킷(85)의 암(86)으로부터의, 하방으로의 돌출량을 조절할 수 있고, 이에 의해, 스토퍼(87)는, 당해 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿았을 때에 있어서의, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 스토퍼(87)는, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿았을 때에 있어서의, 시일 롤(40)에 대한 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z의 상대적인 위치를 조절할 수 있다.Further, on the arm 86 of the bracket 85 , a stopper 87 is provided on the lower surface in the vertical direction Z. As shown in FIG. The stopper 87 is disposed at a position opposite to the upper surface of the stay 32 of the frame 31 on which the post 80 is erected, and when the rod 73 of the air cylinder 71 is extended, It is arrange|positioned so that it may contact|abut against the stay 32. In addition, the stopper 87 can adjust the amount of downward protrusion from the arm 86 of the bracket 85 , whereby the stopper 87 is configured such that the stopper 87 is attached to the stay 32 . It is possible to adjust the position in the vertical direction Z of the conveyance part upper cover body 51 at the time of contact|abutting. That is, the stopper 87 can adjust the relative position in the vertical direction Z of the transfer section upper cover body 51 with respect to the seal roll 40 when the stopper 87 abuts against the stay 32 . have.

반송부 상부 덮개체(51)는, 이와 같이 구성되어 폭 방향 Y로 간격을 두고 배치되는 2조의 스트로크 구조(70)에 의해, 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 즉, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동함으로써, 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터의 거리를 변화시킬 수 있다.The conveyance part upper cover body 51 is comprised in this way and is movable in the up-down direction Z by the two sets of stroke structures 70 spaced apart in the width direction Y. As shown in FIG. That is, the conveyance unit upper cover body 51 included in the conveyance unit cover body 50 changes the distance from the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 by moving in the vertical direction Z by the stroke structure 70 . can do it

한편, 반송부 덮개체(50) 중, 시일 롤(40)의 하측에 배치되는 반송부 하부 덮개체(52)는, 잭 구조(36)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 잭 구조(36)는, 볼트나 너트를 사용함으로써, 반송부 하부 덮개체(52)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절할 수 있고, 반송부 하부 덮개체(52)는, 이 잭 구조(36)에 의해, 시일 롤(40)에 대한 상하 방향 Z의 상대적인 위치를 조절할 수 있다.On the other hand, among the conveyance part cover bodies 50, the conveyance part lower cover body 52 arrange|positioned under the seal roll 40 is movable in the up-down direction Z by the jack structure 36. The jack structure 36 can adjust the position of the conveyance part lower cover body 52 in the up-down direction Z by using a bolt or a nut, and the conveyance part lower cover body 52 is this jack structure 36 ), the relative position of the vertical direction Z with respect to the seal roll 40 can be adjusted.

<반송부 래비린스 시일(60)> <Transport part labyrinth seal (60)>

또한, 반송부 덮개체(50)에는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 반송부 래비린스 시일(60)이 배치되어 있다. 상세하게는, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)는, 폭 방향 Y로 보았을 때에 있어서의 형상이, 하측이 개구되는 역ㄷ자상이 되는 케이싱(53)을 갖고 있고, 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)은, 하측이 개구되는 형상이며, 폭 방향 Y로 연장되어 있다. 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 이와 같이 하측이 개구되는 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)에 있어서의, 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 부분이 개구되어 있고, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 부분에 배치되어 있다.In addition, the conveyance part labyrinth seal 60 is arrange|positioned at the position opposing the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 in the conveyance part cover body 50 . Specifically, the transport section upper cover body 51 included in the transport section cover body 50 has a casing 53 whose shape when viewed in the width direction Y is an inverted U-shape with an open lower side, The casing 53 of the conveyance part upper cover body 51 has a shape in which the lower side is opened, and is extended in the width direction Y. As shown in FIG. The transport section upper labyrinth seal 61 , which is the transport section labyrinth seal 60 disposed on the transport section upper cover body 51 , is a casing 53 of the transport section upper cover body 51 having an open lower side in this way. It is arrange|positioned in the part in which it is open. That is, in the casing 53 of the conveyance part upper cover body 51 , the portion opposing the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is opened, and the conveyance part upper part is arrange|positioned in the conveyance part upper cover body 51 . The labyrinth seal 61 is disposed in a portion of the casing 53 on the side opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 .

또한, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 하부 덮개체(52)는, 폭 방향 Y로 보았을 때에 있어서의 형상이, 상측이 개구되는 역ㄷ자상이 되는 케이싱(53)을 갖고 있고, 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)은, 상측이 개구되는 형상이며, 폭 방향 Y로 연장되어 있다. 반송부 하부 덮개체(52)에 배치되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 하부 래비린스 시일(62)은, 이와 같이 상측이 개구되는 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)에 있어서의, 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 부분이 개구되어 있고, 반송부 하부 덮개체(52)에 배치되는 반송부 하부 래비린스 시일(62)은, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 부분에 배치되어 있다.Moreover, the conveyance part lower cover body 52 which the conveyance part cover body 50 has has a casing 53 which becomes an inverted U-shape with an upper side opening when viewed in the width direction Y, The conveyance part The casing 53 of the lower cover body 52 has a shape in which the upper side is opened, and is extended in the width direction Y. As shown in FIG. The transport section lower labyrinth seal 62 , which is the transport section labyrinth seal 60 , disposed on the transport section lower cover body 52 is a casing 53 of the transport section lower cover body 52 having an upper side opened in this way. It is arrange|positioned in the part in which it is open. That is, in the casing 53 of the conveyance unit lower cover body 52 , the portion opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is opened, and the conveyance unit lower part disposed on the conveyance unit lower cover body 52 . The labyrinth seal 62 is disposed in a portion of the casing 53 on the side opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 .

반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 있어서의, 상하 방향 Z의 개구부에 배치됨으로써, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되어 있고, 즉, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 위치에서 보유 지지되어 있다.The transport part labyrinth seal 60 is held by the transport part cover body 50 by being disposed in the opening in the vertical direction Z in the casing 53 of the transport part cover body 50 in this way, That is, it is hold|maintained at the position on the side opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 in the casing 53.

여기서, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 경우에는, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 권취되어 반송되지만, 그때, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 상하 방향 Z의 상단 부근에 권취된다. 즉, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 경우에는, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 상부 덮개체(51) 사이를 통해 반송된다. 이 때문에, 반송부 덮개체(50)에 의해 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60) 중, 반송부 상부 덮개체(51)에 의해 보유 지지되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)(도 1 참조)로부터 반송되는 시트상 부재 S를, 시일 롤(40)과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 권취되는 시트상 부재 S에 있어서의, 시일 롤(40)이 위치하는 측의 반대측의 면측에 배치되어 있다.Here, when the sheet-like member S is conveyed through the gas seal structure 30, the sheet-like member S is wound around the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 and conveyed, but in that case, the sheet-like member S is It is wound around the upper end vicinity of the up-down direction Z in the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40. That is, when the sheet-like member S is conveyed through the gas seal structure 30 , the sheet-like member S is conveyed through between the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 and the conveyance part upper cover body 51 . . For this reason, among the transport part labyrinth seals 60 held by the transport part cover body 50 , the transport part upper labyrinth seal 61 held by the transport part upper cover body 51 is dried. It is arrange|positioned at the position where the sheet-like member S conveyed from the opening part 16 (refer FIG. 1) formed in the partition 15 of the apparatus 10 can pass between the sealing rolls 40. As shown in FIG. That is, the upper labyrinth seal 61 of the conveyance part is disposed on the surface side of the sheet-like member S wound around the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 opposite to the side on which the seal roll 40 is located. have.

도 7은 도 5에 도시한 반송부 래비린스 시일(60)의 상세도이다. 또한, 도 7에서는, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60) 중, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)을 도시하고 있지만, 반송부 하부 덮개체(52)에 보유 지지되는 반송부 하부 래비린스 시일(62)도 마찬가지의 구성으로 되어 있다.FIG. 7 is a detailed view of the transport part labyrinth seal 60 shown in FIG. 5 . In addition, FIG. 7 shows the conveyance part upper labyrinth seal 61 held by the conveyance part upper cover body 51 among the conveyance part labyrinth seals 60 held by the conveyance part cover body 50. In addition, FIG. However, the transport section lower labyrinth seal 62 held by the transport section lower cover body 52 has the same configuration.

반송부 래비린스 시일(60)은, 복수의 칸막이판(63)과, 복수의 스페이서(64)를 갖고 있고, 이들을 보유 지지 볼트(65)로 겹쳐 케이싱(53)에 설치함으로써, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되어 있다. 상세하게는, 칸막이판(63)은, 두께가 비교적 얇은 수지제의 판상 부재로 되어 있고, 길이가 케이싱(53)의 폭 방향 Y에 있어서의 길이와 동일 정도의 길이로 되어 있다. 본 실시 형태 1에서는, 1개의 반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 형성되는 칸막이판(63)을 6매 갖고 있고, 판의 두께 방향이 길이 방향 X로 되고, 판의 길이 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치된다.The transport unit labyrinth seal 60 includes a plurality of partition plates 63 and a plurality of spacers 64 , and overlaps them with holding bolts 65 and attaches them to the casing 53 , thereby providing a transport unit cover body. It is held at (50). In detail, the partition plate 63 is made of a resin plate-like member having a relatively thin thickness, and has a length approximately equal to the length in the width direction Y of the casing 53 . In the first embodiment, one transport unit labyrinth seal 60 has six partition plates 63 formed in this way, the thickness direction of the plate is the longitudinal direction X, and the longitudinal direction of the plate is the width It is arranged in the direction used as the direction Y.

스페이서(64)는, 두께가 칸막이판(63)의 두께보다도 두껍고, 길이가 칸막이판(63)의 길이와 동일 정도의 길이로 되어 있고, 칸막이판(63)과 마찬가지로, 판의 두께 방향이 길이 방향 X로 되고, 판의 길이 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치된다. 또한, 스페이서(64)는, 상하 방향 Z에 있어서의 폭이, 동일 방향에 있어서의 칸막이판(63)의 폭보다도 좁게 되어 있다. 이와 같이 형성되는 스페이서(64)는, 길이 방향 X에 있어서 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이에 배치되어 있고, 스페이서(64)는, 복수의 칸막이판(63)에 있어서의, 인접하는 모든 칸막이판(63)끼리의 사이에 배치되어 있다. 환언하면, 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)는, 교호로 겹쳐 배치되어 있다. 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)가 겹쳐지는 방향은, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송될 때에 있어서의, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 되어 있다.The spacer 64 has a thickness greater than that of the partition plate 63 , and has a length about the same as the length of the partition plate 63 , and similarly to the partition plate 63 , the thickness direction of the plate is the length. It is placed in the direction X and the longitudinal direction of the plate becomes the width direction Y. In addition, the width of the spacer 64 in the vertical direction Z is narrower than the width of the partition plate 63 in the same direction. The spacer 64 formed in this way is arranged between the partition plates 63 adjacent to each other in the longitudinal direction X, and the spacer 64 includes all adjacent partition plates 63 in the plurality of partition plates 63 . It is arrange|positioned between the partition plates 63 comrades. In other words, the plurality of partition plates 63 and the plurality of spacers 64 are alternately overlapped and disposed. The direction in which the plurality of partition plates 63 and the plurality of spacers 64 overlap is the conveyance direction of the sheet-like member S when the sheet-like member S is conveyed through the gas seal structure 30 .

반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 겹쳐진 상태에서, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 있어서의, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하여 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 칸막이판(63)과 스페이서(64)는, 각각 복수가 교호로 겹쳐진 상태에서, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 대하여, 케이싱(53)의 개구부로부터 내측에 들어가 배치되어 있다.The conveyance part labyrinth seal 60 is the outer peripheral surface of the seal roll 40 in the casing 53 of the conveyance part cover body 50 in the state where the partition plate 63 and the spacer 64 overlap in this way. It is arrange|positioned in the part which opposes (41) and is open. That is, the partition plate 63 and the spacer 64 are arranged inside from the opening of the casing 53 with respect to the casing 53 of the carrying unit cover body 50 in a state in which a plurality of each are alternately overlapped. have.

또한, 칸막이판(63)과 스페이서(64)에는, 각각 보유 지지 볼트(65)가 통과하는 구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 각각의 구멍에는, 케이싱(53)의 내측에 들어가 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 겹쳐진 상태에서, 보유 지지 볼트(65)가 통과된다. 케이싱(53)의 길이 방향 X에 있어서의 양측의 내측 부분 중, 케이싱(53)에 대하여 외측으로부터 보유 지지 볼트(65)를 통과시키는 측의 반대측에 위치하는 내측 부분에는, 보유 지지 볼트(65)와 나사 결합하는 나사 구멍(도시 생략)이 형성된 설치 부재(66)가 배치되어 있다. 보유 지지 볼트(65)는, 교호로 겹쳐지는 칸막이판(63)과 스페이서(64)에 통과된 상태에서, 설치 부재(66)의 나사 구멍에 체결됨으로써, 케이싱(53)에 설치된다.Further, holes (not shown) through which the holding bolt 65 passes are formed in the partition plate 63 and the spacer 64, respectively, and each hole enters the inside of the casing 53 and the partition plate ( In the state where 63 and the spacer 64 are overlapped, the holding bolt 65 is passed. Among the inner portions on both sides in the longitudinal direction X of the casing 53 , in the inner portion located on the opposite side of the side through which the retaining bolt 65 passes from the outer side with respect to the casing 53 , retaining bolts 65 . and a mounting member 66 provided with a screw hole (not shown) for screwing with it is disposed. The holding bolts 65 are attached to the casing 53 by being fastened to the screw holes of the mounting members 66 in a state where they are passed through the partition plates 63 and the spacers 64 overlapping alternately.

그때, 칸막이판(63)은, 스페이서(64)나 케이싱(53)보다도, 시일 롤(40)이 위치하는 측으로 돌출되는 상태로 설치된다. 예를 들어, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 상부 래비린스 시일(61)에서는, 칸막이판(63)의 상하 방향 Z에 있어서의 하측의 단부가, 스페이서(64)나 케이싱(53)의 하측의 단부보다도 하방에 위치하고 있으며, 시일 롤(40)의 외주면(41) 근방에 위치하고 있다. 이 때문에, 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이의 부분은, 인접하는 칸막이판(63)과, 이들 사이에 위치하는 스페이서(64)에 의해 구획되는 공간부(67)가 형성되어 있다. 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이에는, 각각의 칸막이판(63)끼리의 사이에, 이와 같이 공간부(67)가 형성되어 있다. 공간부(67)는, 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 중첩되는 방향으로 복수가 나란히 배치되어 있기 때문에, 공간부(67)는, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 나란히 배치되어 있다.In that case, the partition plate 63 is provided in the state which protrudes toward the side where the seal roll 40 is located rather than the spacer 64 and the casing 53. As shown in FIG. For example, in the transport section upper labyrinth seal 61 , which is the transport section labyrinth seal 60 held by the transport section upper cover body 51 , the lower side of the partition plate 63 in the vertical direction Z The end is located below the lower end of the spacer 64 or the casing 53 , and is located in the vicinity of the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 . For this reason, in the part between adjacent partition plates 63 comrades, the space part 67 partitioned by the adjacent partition plates 63 and the spacer 64 located between them is formed. Between the partition plates 63 adjacent to each other, the space part 67 is formed between each partition plate 63 comrades in this way. Since a plurality of space portions 67 are arranged side by side in the direction in which the partition plate 63 and the spacer 64 overlap, the space portions 67 are arranged side by side in the conveyance direction of the sheet-like member S.

또한, 이들 복수의 공간부(67)는, 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되어 있다. 예를 들어, 반송부 상부 래비린스 시일(61)에서는, 칸막이판(63)끼리의 사이에 위치하는 공간부(67)는, 상하 방향 Z에 있어서의 하측에 개구되어 있지만, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 하측에는 시일 롤(40)이 배치되기 때문에, 각 공간부(67)는, 시일 롤(40)측이 개구되어 있다.Moreover, as for these some space part 67, the side in which the seal roll 40 is located is opened. For example, in the conveyance part upper labyrinth seal 61, the space part 67 located between the partition plates 63 comrades is opened at the lower side in the up-down direction Z, but, although the conveyance part upper labyrinth seal| Since the seal roll 40 is arrange|positioned under the seal 61, the seal roll 40 side of each space part 67 is opened.

또한, 칸막이판(63)과 스페이서(64)는, 보유 지지 볼트(65)가 통과하는 구멍에 보유 지지 볼트(65)가 통과됨으로써 케이싱(53)에 설치되지만, 칸막이판(63)에 형성되는 보유 지지 볼트(65)용의 구멍은, 상하 방향 Z가 긴 측이 되는 긴 구멍으로 되어 있다. 이 때문에, 칸막이판(63)은, 보유 지지 볼트(65)를 체결할 때, 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 긴 구멍을 따라서 이동시킴으로써, 케이싱(53)에 설치되었을 때에 있어서의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절할 수 있다. 즉, 칸막이판(63)은, 케이싱(53)으로부터 시일 롤(40)이 위치하는 측으로 돌출될 때에 있어서의 돌출량을 조절하여, 케이싱(53)에 설치할 수 있다. 이에 의해, 칸막이판(63)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)과의 거리를 조절할 수 있어, 칸막이판(63)의 단부와 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 간극을 조절할 수 있다. 가스 시일 구조(30)의 사용시에는, 칸막이판(63)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)과의 간극을, 예를 들어 1㎜ 정도로 조절하여 사용된다.In addition, the partition plate 63 and the spacer 64 are installed in the casing 53 by passing the retaining bolt 65 through the hole through which the retaining bolt 65 passes, but formed in the partition plate 63 The hole for the holding bolt 65 is a long hole in the vertical direction Z on the long side. For this reason, when the partition plate 63 is fastened with the holding bolt 65, by moving the position in the up-down direction Z along the elongate hole, when it is installed in the casing 53, it is in the up-down direction Z at the time of it. position can be adjusted. That is, the partition plate 63 can be provided in the casing 53 by adjusting the amount of protrusion when it protrudes from the casing 53 to the side where the seal roll 40 is located. Thereby, the partition plate 63 can adjust the distance from the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, and the gap between the edge part of the partition plate 63 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is reduced. can be adjusted At the time of use of the gas seal structure 30, the partition plate 63 adjusts the clearance gap with the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, for example to about 1 mm, and is used.

<단부 덮개체(90)><End cover body 90>

도 8은 도 2의 C-C 단면도이다. 도 9는 도 2의 C-C 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 양측에 배치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부가, 프레임(31)이 갖는 지지판(33)에 설치되어 있다. 이에 의해, 반송부 덮개체(50)는, 프레임(31)과 일체로 되어 배치되어 있다.FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line C-C of FIG. 2 . Fig. 9 is a perspective view of a principal part taken along a line C-C in Fig. 2; As for the edge part cover body 90 arrange|positioned on both sides of the conveyance part cover body 50 in the extending direction of the seal roll 40, in the extending direction of the seal roll 40, the conveyance part cover body 50 is a position The end on the opposite side to the end on the side to be done is provided on the support plate 33 included in the frame 31 . Thereby, the conveyance part cover body 50 is integrated with the frame 31 and is arrange|positioned.

프레임(31)에 설치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 원주 방향에 있어서의 소정의 범위를 덮어 배치되어 있다. 상세하게는, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 상하 방향 Z의 상단의 위치로부터, 길이 방향 X에 있어서 건조 장치(10)의 건조실(11)이 위치하는 측을 통과하여, 상하 방향 Z의 하단의 위치까지의, 약 반주에 걸쳐 시일 롤(40)의 외주면(41)을 덮어 배치되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 시일 롤(40)의 원주 방향의 약 180°의 범위를 덮어 배치되어 있다.The edge part cover body 90 provided in the frame 31 covers the predetermined range in the circumferential direction of the seal roll 40, and is arrange|positioned. In detail, the end cover body 90 is the drying chamber 11 of the drying apparatus 10 in the longitudinal direction X from the position of the upper end in the up-down direction Z in the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40. The outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is covered and arrange|positioned over about half circumference to the position of the lower end of the up-down direction Z through this located side. For this reason, the edge part cover body 90 covers the range of about 180 degrees in the circumferential direction of the seal roll 40 in the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, and is arrange|positioned.

단부 덮개체(90)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 면인 내주면(91)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 따라서 형성되는 면으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)은, 단부 덮개체(90)를 폭 방향 Y로 본 경우에 있어서의 형상이, 원호상이 되는 형상으로 형성되어 있다. 또한, 단부 덮개체(90)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 건조 장치(10)의 건조실(11)이 위치하는 측의 면인 외주면(92)도, 단부 덮개체(90)를 폭 방향 Y로 본 경우에 있어서의 형상이, 내주면(91)과 동심원이 되는 원호상의 형상으로 형성되어 있다.The inner peripheral surface 91 , which is a surface on the side opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 of the end cover body 90 , is a surface formed along the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 . For this reason, the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 is formed in the shape used as an arc shape when the end cover body 90 is viewed in the width direction Y. As shown in FIG. In addition, in the end cover body 90 , in the longitudinal direction X, the outer peripheral surface 92 , which is a surface on the side where the drying chamber 11 of the drying apparatus 10 is located, also extends the end cover body 90 in the width direction Y. The shape in this case is formed in the circular arc shape used as the inner peripheral surface 91 and the concentric circle.

이와 같이, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 원주 방향으로 덮어 배치되는 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에는, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있다. 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 시일 롤(40)의 원주 방향을 따라서 형성되어 있다.In this way, the roll end labyrinth seal 95 is formed on the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 arranged to cover the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 in the circumferential direction. The roll end labyrinth seal 95 is formed in a position facing the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 along the circumferential direction of the seal roll 40 .

도 10은 도 9에 도시한 단부 덮개체(90)의 사시도이다. 단부 덮개체(90)에 형성되는 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 원주 방향을 따라서 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에 형성되는 홈부(96)에 의해 형성되어 있다. 1개의 단부 덮개체(90)에는, 홈부(96)는 2개가 형성되어 있고, 2개의 홈부(96)는, 폭 방향 Y, 즉, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 나란히 형성되어 있다.FIG. 10 is a perspective view of the end cover body 90 shown in FIG. 9 . The roll end labyrinth seal 95 formed on the end cover body 90 is formed by a groove portion 96 formed on the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 along the circumferential direction of the seal roll 40 . has been Two groove portions 96 are formed in one end cover body 90 , and the two groove portions 96 are formed side by side in the width direction Y, ie, in the extension direction of the seal roll 40 .

롤 단부 래비린스 시일(95)은, 이와 같이 홈부(96)에 의해 형성되기 때문에, 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되는 공간부(97)를 갖고 있다. 즉, 홈부(96)의 내측은 공간으로 되어 있고, 또한, 홈부(96)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 내주면(91)에 개구되는 홈으로서 형성되어 있기 때문에, 홈부(96)로 이루어지는 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)측이 개구되는 공간부(97)를 갖고 있다.Since the roll edge part labyrinth seal 95 is formed by the groove part 96 in this way, it has the space part 97 in which the side where the seal roll 40 is located is opened. That is, since the inside of the groove part 96 is a space, and the groove part 96 is formed as a groove|channel which is opened in the inner peripheral surface 91 opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, since the groove part The roll edge part labyrinth seal 95 which consists of 96 has the space part 97 in which the sealing roll 40 side is opened.

또한, 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되는 2개의 홈부(96)를 갖고 형성되어 있기 때문에, 공간부(97)도, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 2개가 배열되어 있다. 이 때문에, 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)를 갖고 있다.Further, since the roll end labyrinth seal 95 is formed having two groove portions 96 arranged in the extending direction of the seal roll 40 , the space portion 97 is also an extension of the seal roll 40 . Two are arranged in the direction. For this reason, the roll edge part labyrinth seal 95 is arranged in the extending direction of the seal roll 40, and has the some space part 97 in which the seal roll 40 side is opened.

또한, 롤 단부 래비린스 시일(95)을 형성하는 홈부(96)의 내측에는, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원주 방향에 있어서의 양단 부근에, 폐색부(98)가 형성되어 있다. 폐색부(98)는, 홈부(96)의 내측에 있어서의, 홈 바닥이나 홈 벽에 연결되는 돌기상의 형상으로 형성되어 있고, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)보다도 돌출되지 않는 높이로 형성되어 있다. 이에 의해, 롤 단부 래비린스 시일(95)에 있어서의 홈부(96)의 내측에 위치하는 공간부(97)는, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원주 방향에 있어서의 양단 부근이, 폐색부(98)에 의해 폐색되어 있다.Further, inside the groove portion 96 forming the roll end labyrinth seal 95 , closing portions 98 are formed in the vicinity of both ends in the circumferential direction of the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 , have. The closing portion 98 is formed in the shape of a projection connected to the groove bottom or the groove wall inside the groove portion 96 , and has a height at which it does not protrude from the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 . is formed As a result, the space portion 97 located inside the groove portion 96 in the roll end labyrinth seal 95 has a vicinity of both ends in the circumferential direction of the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 . , is closed by the occlusion part 98 .

<칸막이체(100)><Partition body (100)>

이와 같이 구성되는 단부 덮개체(90) 및 반송부 덮개체(50)와, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)(도 1 참조) 사이에는, 칸막이체(100)가 배치되어 있다. 칸막이체(100)는, 칸막이체(100)를 프레임(31)에 설치하는 브래킷(101)과, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)에 연통하는 칸막이체 개구부(104)와, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 위치하는 측을 향하여 배치되는 반송부 측벽부(102) 및 단부 측벽부(103)를 갖고 있다.Between the end cover body 90 and the conveyance part cover body 50 comprised in this way, and the opening part 16 (refer FIG. 1) formed in the partition 15 of the drying apparatus 10, the partition body 100 is placed. The partition body 100 is a partition body opening (1) communicating with the bracket 101 for attaching the partition body 100 to the frame 31, and the opening 16 formed in the partition wall 15 of the drying apparatus 10. 104, and the carrying section side wall portion 102 and the end side wall portion 103 disposed from the position of the partition body opening 104 toward the side where the carrying section cover body 50 and the end cover body 90 are located. have it

도 11은 도 4에 도시한 칸막이체(100)를 반송부 측벽부(102)가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다. 도 12는 도 4에 도시한 칸막이체(100)를 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다. 칸막이체(100)가 갖는 칸막이체 개구부(104)는, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)와 상하 방향 Z에 있어서의 크기가 거의 동일한 크기의 직사각 형상의 구멍으로 되어 있다. 본 실시 형태 1에서는, 칸막이체 개구부(104)는, 폭 방향 Y에 평행한 변과, 상하 방향 Z에 평행한 변을 갖는 직사각 형상의 형상으로 형성되어 있다. 칸막이체 개구부(104)는, 가스 시일 구조(30)를 건조 장치(10)에 배치한 상태에서는, 격벽(15)의 개구부(16)의 위치와 거의 일치하고, 실질적으로 격벽(15)의 개구부(16)와 동일한 역할을 한다.Fig. 11 is a perspective view showing the partition body 100 shown in Fig. 4 as viewed from the side where the carrying section side wall section 102 is located. 12 is a perspective view showing the partition body 100 shown in FIG. 4 as viewed from the side where the partition body opening 104 is located. The partition opening 104 of the partition body 100 is a rectangular hole having substantially the same size in the vertical direction Z as the opening 16 formed in the partition wall 15 of the drying apparatus 10. has been In the first embodiment, the partition opening 104 is formed in a rectangular shape having a side parallel to the width direction Y and a side parallel to the vertical direction Z. As shown in FIG. The partition opening 104 substantially coincides with the position of the opening 16 of the partition 15 in the state in which the gas seal structure 30 is disposed in the drying apparatus 10 , and substantially the opening of the partition 15 . It plays the same role as (16).

또한, 칸막이체(100)는, 폭 방향 Y에 있어서의 길이가, 동일 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 길이보다도 길게 되어 있고, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치하는 상태에서는, 칸막이체(100)는, 일부가 단부 덮개체(90)와 길이 방향 X로 겹쳐서 배치된다. 또한, 칸막이체(100)가 갖는 칸막이체 개구부(104)도 마찬가지로, 폭 방향 Y에 있어서의 길이가 반송부 덮개체(50)의 길이보다도 길게 되어 있고, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치하는 상태에서는, 칸막이체 개구부(104)의 일부도 단부 덮개체(90)와 길이 방향 X로 겹친다.In addition, the partition body 100 has a length in the width direction Y longer than the length of the transport unit cover body 50 in the same direction, and the partition body 100 is attached to the gas seal structure 30 . In the arrange|positioned state, the partition body 100 is arrange|positioned so that a part overlaps with the end cover body 90 and the longitudinal direction X. As shown in FIG. Similarly, the partition opening 104 included in the partition body 100 has a length in the width direction Y longer than the length of the transport section cover body 50, and the partition body 100 has a gas seal structure ( 30), a part of the partition opening 104 also overlaps with the end cover body 90 in the longitudinal direction X.

칸막이체(100)의 브래킷(101)은, 판상의 형상으로 칸막이체 개구부(104)의 주위에 형성되는 부위로 되어 있고, 브래킷(101)은, 칸막이체 개구부(104)의 주위에, 차양상, 혹은 플랜지상의 형상으로 형성되어 있다.The bracket 101 of the partition body 100 has a plate-like shape and is formed around the partition body opening 104, and the bracket 101 is formed around the partition body opening 104 in the form of an awning. , or formed in a flange-like shape.

반송부 측벽부(102)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에 있어서, 칸막이체 개구부(104)의 상하 방향 Z에 있어서의 상측의 변의 위치와 하측의 변의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측으로 연장되는 판상의 부재로 되어 있다. 즉, 반송부 측벽부(102)는, 두께 방향이 상하 방향 Z가 되는 방향으로 형성되는 판상의 부재로 되어 있고, 폭 방향 Y에 있어서의 폭이, 칸막이체 개구부(104)의 동일 방향에 있어서의 폭과 동일한 폭이 되어 형성되어 있다.In the state in which the partition body 100 is arranged in the gas seal structure 30 , the carrier side wall part 102 has the upper side position and the lower side position in the vertical direction Z of the partition body opening part 104 . It becomes a plate-shaped member extending from the side to which the conveyance part cover body 50 is located. That is, the carrying section side wall portion 102 is a plate-shaped member formed in a direction in which the thickness direction becomes the vertical direction Z, and the width in the width direction Y is the same as the partition opening 104 in the same direction. It is formed to be the same width as the width of

또한, 반송부 측벽부(102)는, 반송부 덮개체(50)의 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52)에 대응하여 2개소에 형성되고, 칸막이체 개구부(104)의 상측의 변의 위치로부터 반송부 상부 덮개체(51)가 위치하는 측으로 연장되는 부분과, 칸막이체 개구부(104)의 하측의 변의 위치로부터 반송부 하부 덮개체(52)가 위치하는 측으로 연장되는 부분을 갖고 있다. 이들 반송부 측벽부(102)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 길이 방향 X에 있어서의 칸막이체 개구부(104)측의 단부의 반대측의 단부가, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)의 근방에 위치하고 있다(도 4 참조). 또한, 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)의 근방에 위치하는 측의 단부는, 서로 다른 쪽의 반송부 측벽부(102)가 위치하는 측을 향하여 절곡되어 있다.In addition, the carrying part side wall part 102 is formed in two places corresponding to the carrying part upper cover body 51 and the carrying part lower cover body 52 of the carrying part cover body 50, and the partition opening 104 is formed. ) extending from the position of the upper side to the side where the transport unit upper cover body 51 is located, and from the position of the lower side of the partition opening 104 to the side where the transport unit lower cover body 52 is located have a part In the state in which the partition body 100 is disposed on the gas seal structure 30 , the transport section side wall part 102 has an end opposite to the edge part on the partition body opening 104 side in the longitudinal direction X is transported. It is located in the vicinity of the sub upper cover body 51 and the conveyance part lower cover body 52 (refer FIG. 4). In addition, in the conveyance part side wall part 102, the conveyance part upper cover body 51 and the conveyance part lower cover body 52 are located in the vicinity of the edge part of the conveyance part side wall part 102 on the other side. ) is bent toward the side where it is located.

단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에 있어서, 칸막이체 개구부(104)의 폭 방향 Y에 있어서의 양측 2개소의 변의 위치로부터, 단부 덮개체(90)가 위치하는 측으로 연장되는 판상의 부재로 되어 있다. 즉, 2개소의 단부 측벽부(103)는, 모두 두께 방향이 폭 방향 Y가 되는 방향으로 형성되는 판상의 부재로 되어 있고, 상하 방향 Z에 있어서의 폭이, 칸막이체 개구부(104)의 동일 방향에 있어서의 폭과 동일한 폭이 되어 형성되어 있다.In the state where the partition body 100 is arrange|positioned in the gas-seal structure 30, the edge part side wall part 103 is an edge part from the position of the side of two places in the width direction Y of the partition body opening part 104. It is a plate-shaped member extending to the side where the sieve 90 is located. That is, the two end side wall portions 103 are all plate-shaped members formed in a direction in which the thickness direction becomes the width direction Y, and the width in the vertical direction Z is the same as that of the partition opening 104 . It is formed to have the same width as the width in the direction.

또한, 단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 길이 방향 X에 있어서의 칸막이체 개구부(104)측의 단부의 반대측의 단부가, 단부 덮개체(90)의 근방에 위치하고 있다(도 8 참조). 또한, 단부 측벽부(103)에 있어서의, 단부 덮개체(90)의 근방에 위치하는 측의 단부는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)의 형상을 따라서 원호상으로 형성되는 부분을 갖고 있다.Moreover, in the state where the partition body 100 is arrange|positioned in the gas-seal structure 30, the edge part of the edge part side wall part 103 opposite to the edge part on the partition opening part 104 side in the longitudinal direction X is an edge part It is located in the vicinity of the cover body 90 (refer FIG. 8). Further, the end of the end side wall portion 103 on the side located in the vicinity of the end cover body 90 is a portion formed in an arc shape along the shape of the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 . have it

이와 같이 형성되는 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 직사각 형상으로 형성되는 칸막이체 개구부(104)의 변의 위치로부터 길이 방향 X로 연장되어 형성되기 때문에, 칸막이체(100)를 길이 방향 X로 본 경우, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)도, 칸막이체 개구부(104)와 마찬가지로 직사각 형상으로 되어 있다. 즉, 각각 2개소씩에 형성되는 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 인접하는 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)가 접속됨으로써, 각통상의 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐, 각통의 외부와는 이격되는 통로를 형성하고 있다.Since the carrying part side wall part 102 and the end side wall part 103 of the partition body 100 formed in this way are extended in the longitudinal direction X from the position of the side of the partition body opening part 104 formed in a rectangular shape. , when the partition body 100 is viewed in the longitudinal direction X, the carrying part side wall part 102 and the end side wall part 103 also have a rectangular shape similarly to the partition body opening part 104 . That is, the conveyance part side wall part 102 and the end side wall part 103 formed in each two places are each cylindrical shape by connecting the adjacent conveyance part side wall part 102 and the end side wall part 103. is formed For this reason, in the state in which the partition body 100 is arrange|positioned in the gas-seal structure 30, the conveyance part side wall part 102 and the edge part side wall part 103 move from the position of the partition body opening part 104 to the conveyance part cover. A passage spaced apart from the outside of the square cylinder is formed over the position of the sieve 50 and the end cover body 90 .

길이 방향 X로 본 경우에 있어서의, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해 형성되는 각통의 내측에는, 반송부 래비린스 시일(60)이나 시일 롤(40)이 위치하기 때문에, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해 형성되는 통로는, 칸막이체 개구부(104)로부터, 시일 롤(40)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 향한 통로로 되어 있다. 환언하면, 칸막이체 개구부(104)는, 실질적으로 격벽(15)의 개구부(16)와 동일한 역할을 하기 때문에, 칸막이체(100)는, 개구부(16)와, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하고 있다.When viewed in the longitudinal direction X, inside the square cylinder formed by the conveying unit side wall portion 102 and the end side wall portion 103, the conveying unit labyrinth seal 60 and the seal roll 40 are positioned For this reason, the passage formed by the carrying part side wall part 102 and the end side wall part 103 faces from the partition opening 104 to the position between the seal roll 40 and the carrying part labyrinth seal 60 . is made into a passage. In other words, since the partition body opening 104 performs substantially the same role as the opening 16 of the partition wall 15, the partition body 100 includes the opening 16 and the outer peripheral surface of the seal roll 40 ( 41) and a space communicating the position between the transport part labyrinth seal 60 is partitioned.

<시일 부재(110)><Sealing member 110>

또한, 프레임(31), 스테이(32), 반송부 덮개체(50), 단부 덮개체(90), 칸막이체(100)에는, 각각이 서로 근접, 혹은 접촉하는 부분에, 기밀성을 확보하는 시일 부재(110)가 배치되어 있다. 예를 들어, 반송부 덮개체(50)의 폭 방향 Y에 있어서의 양단에는, 시일 부재(110)로서 반송부 덮개체측 시일 부재(111)가 배치되고, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부에는, 시일 부재(110)로서 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 배치되어 있다(도 2 참조). 이들 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 상하 방향 Z로 이동 가능한 반송부 상부 덮개체(51)의 위치가, 가스 시일 구조(30)의 실제의 사용 상태의 위치, 즉, 반송부 상부 덮개체(51)가 하부 근방에 위치하여 시일 롤(40)에 접근한 상태의 위치에서는, 서로 접촉하는 위치 관계로 되어 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치가 상부 근방에 위치하고, 시일 롤(40)로부터 상방으로 이격된 상태의 위치에서는, 서로 이격한다. 또한, 이와 같이 접촉하거나 이격하거나 하는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이, 반송부 덮개체(50)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있다.In addition, in the frame 31 , the stay 32 , the conveying unit cover body 50 , the end cover body 90 , and the partition body 100 , seals that ensure airtightness are provided at portions in proximity to or in contact with each other, respectively. A member 110 is disposed. For example, at both ends in the width direction Y of the conveyance part cover body 50, the conveyance part cover body side sealing member 111 is arrange|positioned as the sealing member 110, and the width direction Y of the edge part cover body 90. An end cover body-side sealing member 112 is disposed as the sealing member 110 at an end portion on the side on which the conveying unit cover body 50 is located (refer to FIG. 2 ). As for these conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112, the position of the conveyance part upper cover body 51 movable in the up-down direction Z is the actual use state of the gas sealing structure 30. At the position of , that is, the position in which the conveyance part upper cover body 51 is located near the lower part and approached the seal roll 40, it is a positional relationship in contact with each other. In addition, as for the conveyance part cover body side sealing member 111 and the edge part cover body side sealing member 112, the position in the up-down direction Z of the conveyance part upper cover body 51 is located in the upper vicinity, and the sealing roll 40 In the positions of the state spaced apart upward, they are spaced apart from each other. In addition, the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 which are contacted or separated in this way are wedge-shaped with mutual contact surfaces inclined with respect to the moving direction of the conveyance part cover body 50 . formed in the shape.

또한, 반송부 덮개체(50)에는, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)가 근접하고 있는 부분 부근에, 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 단부 측벽부(103)에 의해 형성하는 통로의 외측의 면에 접촉하는 시일 부재(110)인, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 배치되어 있다(도 4 참조). 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52)의 양쪽에 배치되어 있고, 어느 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)도, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)를 따라서 폭 방향 Y로 연장되어 형성되어 있다. 또한, 칸막이체(100)에는, 브래킷(101)에 있어서의 스테이(32)나 프레임(31)에 접하는 측의 면에, 시일 부재(110)인 칸막이체 브래킷 시일 부재(118)(도 5, 도 8 참조)가 배치되어 있다. 칸막이체 브래킷 시일 부재(118)는, 칸막이체(100)의 브래킷(101)에 있어서의 칸막이체 개구부(104)를 둘러싸는 위치에, 칸막이체 개구부(104)의 일주에 걸쳐 배치되어 있다.In addition, in the carrying part cover body 50 , in the vicinity of the part to which the carrying part side wall part 102 of the partition body 100 adjoins, the edge part side wall part 103 of the carrying part side wall part 102 is attached. The sealing member 114 for a cover body partition body which is the sealing member 110 which contacts the surface of the outer side of the passage formed by this is arrange|positioned (refer FIG. 4). The sealing member 114 for a lid partition body is arrange|positioned at both the conveyance part upper cover body 51 and the conveyance part lower cover body 52, and the sealing member 114 for lid body partition body also has the upper part of a conveyance part. It extends in the width direction Y along the cover body 51 and the conveyance part lower cover body 52, and is formed. Moreover, in the partition body 100, the partition body bracket sealing member 118 (FIG. 5, 8) is arranged. The partition bracket sealing member 118 is disposed over one circumference of the partition body opening 104 at a position surrounding the partition body opening 104 in the bracket 101 of the partition body 100 .

또한, 칸막이체(100)에는, 시일 부재(110)로서 칸막이체 외측 시일 부재(116)와 칸막이체 내측 시일 부재(117)가 배치되어 있다(도 8 참조). 이 중, 칸막이체 외측 시일 부재(116)는, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에 있어서, 단부 덮개체(90)의 상단에 상측에 위치하는 부분과, 단부 덮개체(90)의 하단에 하측에 위치하는 부분에, 각각 배치되어 있어, 각각 단부 덮개체(90)에 접촉한다.Moreover, in the partition body 100, the partition body outer side sealing member 116 and the partition body inner side sealing member 117 are arrange|positioned as the sealing member 110 (refer FIG. 8). Among these, the partition body outer sealing member 116 is an end of the carrying section side wall portion 102 of the partition body 100 opposite to the end on the side where the partition body opening 104 is located. It is respectively arrange|positioned in the part located above the upper end of the cover body 90, and the part located in the lower end of the lower end of the end cover body 90, and contact the end cover body 90, respectively.

또한, 칸막이체 내측 시일 부재(117)는, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에 있어서, 반송부 측벽부(102)에 의해 형성하는 통로의 내측의 면에 배치되어 있다. 즉, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)을 따라서 원호상으로 형성되는 부분을 포함하여 형성되어 있지만, 칸막이체 내측 시일 부재(117)는, 칸막이체 개구부(104)의 단부와 마찬가지로 단부 덮개체(90)의 외주면(92)을 따라서 형성되어, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 접촉한다.In addition, the partition body inner sealing member 117 is at an end of the end side wall portion 103 of the partition body 100 opposite to the end on the side where the partition body opening 104 is located. It is disposed on the inner surface of the passage formed by the portion 102 . That is, in the end side wall portion 103 of the partition body 100 , the end opposite to the end on the side where the partition body opening 104 is located is a circle along the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 . Although it is formed including the part formed in the arc shape, the partition body inner sealing member 117 is formed along the outer peripheral surface 92 of the edge part cover body 90 similarly to the edge part of the partition body opening part 104, and the edge part cover. It comes into contact with the outer peripheral surface 92 of the sieve 90 .

이와 같이, 다른 부재끼리가 근접하거나 접촉하거나 하는 부분에 배치되는 시일 부재(110)는, 고무 부재 등의 탄력성을 갖는 재료로 이루어지고, 탄성 변형에 의해, 목적의 부재에 대하여 접촉면이 밀착하여 접촉함으로써, 기밀성을 확보하는 것이 가능하게 되어 있다.As described above, the sealing member 110 disposed at a portion where other members come into contact with each other is made of a material having elasticity such as a rubber member, and the contact surface is brought into close contact with the target member due to elastic deformation. By doing so, it is possible to ensure airtightness.

<가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)의 작용><Operation of gas seal structure 30 and extraction drying device 1>

본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)는, 이상과 같은 구성을 포함하고, 이하, 그 작용에 대하여 설명한다. 추출 건조 장치(1)에 구비되는 가스 시일 구조(30)의 사용 시에는, 먼저, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 조절한다. 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 조절할 때는, 예를 들어 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 보유 지지 볼트(65)를 느슨하게 한 상태에서, 칸막이판(63)을 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉시켜, 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태에서 보유 지지 볼트(65)를 체결한다. 그 후, 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극이 원하는 간극으로 되도록, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 반송부 덮개체(50)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절한다.The gas seal structure 30 and the extraction drying apparatus 1 which concern on this Embodiment 1 contain the structure as mentioned above, and the operation|action is demonstrated below. When using the gas seal structure 30 provided in the extraction and drying apparatus 1, first, the gap between the partition plate 63 of the transport part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is closed. Adjust. When adjusting the gap between the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, for example, the holding bolt 65 which the conveyance part labyrinth seal 60 has in a state in which the partition plate 63 is brought into contact with the outer circumferential surface 41 of the seal roll 40 , and the partition plate 63 is held in contact with the outer circumferential surface 41 of the seal roll 40 . Tighten the bolts (65). Thereafter, the vertical direction Z of the conveying unit cover body 50 holding the conveying unit labyrinth seal 60 so that the clearance between the partition plate 63 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 becomes a desired clearance. adjust the position in

반송부 덮개체(50)의 조절은, 반송부 상부 덮개체(51)에서는, 스트로크 구조(70)에 구비되는 스토퍼(87)의 조절에 의해 행한다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있지만, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신장된 상태에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치는, 스토퍼(87)에 의해 조절 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극의 조절은, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태로부터, 스토퍼(87)를 조절함으로써, 원하는 간극 분, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 한다.Adjustment of the conveyance part cover body 50 is performed in the conveyance part upper cover body 51 by adjustment of the stopper 87 with which the stroke structure 70 is equipped. That is, although the conveyance part upper cover body 51 is movable in the up-down direction Z by the stroke structure 70, The conveyance part top cover in the state in which the rod 73 of the air cylinder 71 is extended. The position of the sieve 51 in the vertical direction Z is adjustable by the stopper 87 . For this reason, adjustment of the gap between the partition plate 63 of the upper labyrinth seal 61 of the conveyance part and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is controlled by the partition plate 63 of the upper labyrinth seal 61 of the conveyance part. By adjusting the stopper 87 from the state in contact with the outer peripheral surface 41 of this seal roll 40, the desired clearance gap and the conveyance part upper cover body 51 are moved upward. Thereby, the clearance gap between the partition plate 63 of the upper part labyrinth seal 61 of a conveyance part, and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is made into a desired clearance gap.

또한, 반송부 하부 덮개체(52)에서는, 잭 구조(36)의 조절에 의해 행한다. 즉, 반송부 하부 덮개체(52)는, 잭 구조(36)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극의 조절은, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태로부터, 잭 구조(36)를 조절함으로써, 원하는 간극분, 반송부 하부 덮개체(52)를 하방으로 이동시킨다. 이에 의해, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 한다.In addition, in the conveyance part lower cover body 52, it carries out by adjustment of the jack structure 36. As shown in FIG. That is, since the conveyance part lower cover body 52 is movable in the up-down direction Z by the jack structure 36, the partition plate 63 of the conveyance part lower labyrinth seal 62, and the seal roll 40 ), adjustment of the gap between the outer peripheral surface 41 of the carrying unit lower labyrinth seal 62 is performed from the state in which the partition plate 63 of the lower labyrinth seal 62 is in contact with the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, the jack structure 36 By adjusting the desired gap, the conveyance part lower cover body 52 is moved downward. Thereby, the clearance gap between the partition plate 63 of the lower part labyrinth seal 62 of a conveyance part, and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is made into a desired clearance gap.

이와 같이 하여 조절하는 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 예를 들어 1㎜ 정도로 조절한다.The clearance between the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 adjusted in this way is adjusted, for example to about 1 mm.

또한, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 이 이외의 방법에 의해 행해도 된다. 예를 들어, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 원하는 간극과 동일한 크기의 두께를 갖는 조절용 시트(도시 생략)를 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 위치시키고, 이 상태에서 칸막이판(63)의 상하 방향 Z의 위치를 조절하여, 칸막이판(63)을 당해 조절용 시트에 접촉시킨다. 그 후, 조절용 시트를 빼냄으로써, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 할 수 있다.In addition, you may perform the clearance gap between the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60, and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 by methods other than this. For example, between the partition plate 63 of the transport section labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, an adjustment sheet (not shown) having a thickness equal to the desired gap is transferred to the transport section The partition plate 63 is positioned between the partition plate 63 of the labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, and the vertical direction Z of the partition plate 63 is adjusted in this state. ) is brought into contact with the control sheet. Then, by taking out the sheet for adjustment, the gap between the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 can be made into a desired gap|interval.

이와 같이 하여, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 원하는 간극으로 한 후, 추출 건조 장치(1)에서 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 연속하는 박막의 필름상으로 형성되는 시트상 부재 S를, 장치의 운전 전에 추출 건조 장치(1)에 있어서의 반송 경로에 통과시킨다. 이 때문에, 추출 건조 장치(1)에 배치되는 가스 시일 구조(30)에 있어서의 시트상 부재 S의 반송 경로에도, 시트상 부재 S를 통과시킨다.In this way, after making the gap between the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 a desired gap|interval, in the extraction and drying apparatus 1, the sheet-like member S When performing extraction and drying, the sheet-like member S formed in the film shape of a continuous thin film is made to pass through the conveyance path|route in the extraction and drying apparatus 1 before operation|operation of an apparatus. For this reason, the sheet-like member S is also made to pass also in the conveyance path|route of the sheet-like member S in the gas-seal structure 30 arrange|positioned in the extraction and drying apparatus 1 .

가스 시일 구조(30)에서는, 시트상 부재 S의 반송 경로는, 반송부 상부 덮개체(51)가 보유 지지하는 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분으로 되어 있다. 이 때문에, 가스 시일 구조(30)에 있어서의 시트상 부재 S의 반송 경로에 시트상 부재 S를 통과시킬 때는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분에 통과시키지만, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 작은 간극으로 조절되어 있다.In the gas seal structure 30 , the conveyance path of the sheet-like member S is between the conveyance unit upper labyrinth seal 61 held by the conveyance unit upper cover body 51 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 . is made of part of For this reason, when making the sheet-like member S pass through the conveyance path|route of the sheet-like member S in the gas seal structure 30, it is between the conveyance part upper labyrinth seal 61 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40. The gap between the partition plate 63 of the upper labyrinth seal 61 of the transport section and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is adjusted to a small gap.

한편, 시트상 부재 S는, 박막의 필름상이며, 강성이 낮기 때문에, 작은 간극의 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시키는 것은, 매우 곤란하게 되어 있다. 이 때문에, 시트상 부재 S를 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이로 통과시킬 때는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)을 보유 지지하는 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨다. 이 경우에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z의 이동은, 스트로크 구조(70)를 작동시킴으로써 행한다.On the other hand, the sheet-like member S is in the form of a thin film and has low rigidity. It is very difficult to let the sheet-like member S pass. For this reason, when passing the sheet-like member S between the conveyance part upper labyrinth seal 61 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, the conveyance part upper cover holding the conveyance part upper labyrinth seal 61 is carried out. The sieve 51 is moved upward. In this case, the movement in the vertical direction Z of the conveyance section upper cover body 51 is performed by actuating the stroke structure 70 .

도 13은 도 2에 도시한 가스 시일 구조(30)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨 상태를 도시하는 설명도이다. 도 14는 도 13의 D-D 단면도이다. 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킬 때는, 스트로크 구조(70)가 갖는 에어 실린더(71)의 로드(73)를 수축한다. 이에 의해, 로드(73)에 연결되어 있는 브래킷(85)이 가이드 블록(82)에 가이드되면서 상방으로 이동하고, 가이드 블록(82)에 연결되어 있는 반송부 상부 덮개체(51)도, 브래킷(85)의 이동에 수반하여 상방으로 이동한다.13 : is explanatory drawing which shows the state which moved the conveyance part upper cover body 51 which the gas seal structure 30 shown in FIG. 2 has upward. 14 is a cross-sectional view taken along line D-D of FIG. 13 . When the conveyance part upper cover body 51 is moved upward, the rod 73 of the air cylinder 71 which the stroke structure 70 has is contracted. As a result, the bracket 85 connected to the rod 73 moves upward while being guided by the guide block 82 , and the transfer unit upper cover body 51 connected to the guide block 82 also includes the bracket ( 85) moves upward with the movement.

반송부 상부 덮개체(51)가 상방으로 이동함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되어 있는 반송부 상부 래비린스 시일(61)도 상방으로 이동하기 때문에, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 매우 커진다. 시트상 부재 S는, 이와 같이 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극이 커진 상태에서, 양쪽의 사이를 통과한다.When the transport section upper cover body 51 moves upward, the transport section upper labyrinth seal 61 held by the transport section upper cover body 51 also moves upward, so that the transport section upper labyrinth seal ( The gap between the partition plate 63 of 61 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 becomes very large. In this way, the sheet-like member S passes between the partition plate 63 of the upper labyrinth seal 61 of the conveyance unit and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 in a state where the gap is increased.

반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시키면, 스트로크 구조(70)가 갖는 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킨다.When the sheet-like member S is passed between the conveyance part upper labyrinth seal 61 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, the rod 73 of the air cylinder 71 included in the stroke structure 70 is elongated. , the transfer unit upper cover body 51 is moved downward.

여기서, 스트로크 구조(70)가 갖는 브래킷(85)에 설치되어 있는 스토퍼(87)는, 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장하여 브래킷(85)이 하방으로 이동한 경우에는, 프레임(31)의 상측 스테이(32)의 상면에 맞닿는다(도 2 참조). 이에 의해, 브래킷(85)은, 상하 방향 Z에 있어서의 하방으로의 이동이 규제되어, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿아 있는 위치보다도 하방으로 이동할 수 없게 된다. 이것에 수반하여, 브래킷(85)에 연결되어 있는 반송부 상부 덮개체(51)도, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿아 있는 위치보다도 하방으로 이동할 수 없게 된다.Here, when the stopper 87 provided on the bracket 85 of the stroke structure 70 extends the rod 73 of the air cylinder 71 and the bracket 85 moves downward, the frame ( 31) abuts against the upper surface of the upper stay 32 (see FIG. 2). Thereby, the downward movement of the bracket 85 in the up-down direction Z is regulated, and it becomes impossible to move downward from the position where the stopper 87 abuts against the stay 32. As shown in FIG. In connection with this, the conveyance part upper cover body 51 connected to the bracket 85 also becomes unable to move below the position where the stopper 87 abuts against the stay 32. As shown in FIG.

이 때문에, 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킨 경우, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 원하는 간극으로 조절하였을 때에 있어서의 위치로 된다. 따라서, 시트상 부재 S는, 원하는 간극으로 조절된 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이로 통과된 상태로 되어, 시트상 부재 S를 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이에 두고 반송할 수 있는 상태로 된다.For this reason, when the conveyance part upper cover body 51 is moved downward by extending the rod 73 of the air cylinder 71, the position in the vertical direction Z of the conveyance part upper cover body 51 is, It becomes a position at the time of adjusting the clearance gap between the partition plate 63 of the upper part labyrinth seal 61 of a conveyance part, and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 to a desired clearance gap. Accordingly, the sheet-like member S is passed between the partition plate 63 of the upper labyrinth seal 61 of the conveying section adjusted to a desired gap and the outer circumferential surface 41 of the seal roll 40, and the sheet-like member S is placed between the upper labyrinth seal 61 and the seal roll 40 of the conveying unit, and is in a state capable of being conveyed.

또한, 반송부 상부 덮개체(51)에는, 시일 부재(110)인 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 배치되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 다른 부재와 접촉하여 시일면을 형성한다. 상세하게는, 폭 방향 Y에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 양단에 배치되어 있는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동 시켰을 때는, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 접촉한다.Moreover, since the conveyance part lid body side sealing member 111 which is the sealing member 110 and the sealing member 114 for lid body partition bodies are arrange|positioned in the conveyance part upper cover body 51, the conveyance part upper cover body 51 ) is moved downward, the conveyance part cover body side sealing member 111 and the sealing member 114 for cover body partitions come into contact with another member, and form a sealing surface. Specifically, when the conveyance unit upper cover body-side sealing members 111 disposed at both ends of the conveyance unit upper cover body 51 in the width direction Y move the conveyance unit upper cover body 51 downward, It contacts the end cover body side sealing member 112 arrange|positioned at the edge part in the width direction Y of the edge part cover body 90. As shown in FIG.

즉, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시켰을 때는 단부 덮개체측 시일 부재(112)로부터 이격되지만, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 접촉한다. 환언하면, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)이 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는 서로 이격하고, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는 서로 접촉한다.That is, the conveyance part cover body side sealing member 111 is spaced apart from the end cover body side sealing member 112 when the conveyance part upper cover body 51 is moved upward, but the conveyance part upper cover body 51 is moved downward. When moved, the conveyance part cover body side sealing member 111 contacts the edge part cover body side sealing member 112. In other words, the conveyance unit cover body-side sealing member 111 disposed on the conveyance unit upper cover body 51 and the end cover body-side sealing member 112 disposed on the end cover body 90 are formed by a labyrinth seal on the conveyance unit upper part. In a state where 61 is a position spaced apart from the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, it is spaced apart from each other, and the position of the upper labyrinth seal 61 of the conveying unit is a position of the conveying state of the sheet-like member S in contact with each other.

이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부와, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켜 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 의해, 기밀성이 확보된다. 그때, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)는, 강하 동작이 방해되지 않는다. 즉, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)나 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 형상이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 직교하는 면을 갖는 형상인 경우에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 직교하는 면끼리가 접촉하여, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작 중에 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 걸릴 우려가 있다. 이에 반해, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있는 경우에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작을 방해하는 일없이 이동시킬 수 있다.Thereby, the edge part in the width direction Y of the conveyance part upper cover body 51 and the edge part in the width direction Y of the end cover body 90 move the conveyance part upper cover body 51 downward, In a state where the position of the upper labyrinth seal 61 of the conveying unit is the position of the sheet-like member S being conveyed, airtightness is ensured by the conveying unit cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 . do. In that case, since the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 are formed in the wedge-shaped shape whose mutual contact surfaces are inclined with respect to the moving direction of the conveyance part upper cover body 51, , The lowering operation of the transport section upper cover body 51 is not disturbed even when the transport section upper cover body 51 is moved downward. That is, when the shape of the conveyance part cover body side sealing member 111 or the end cover body side sealing member 112 is a shape which has a surface orthogonal to the moving direction of the conveyance part upper cover body 51, the conveyance part upper part When the cover body 51 is moved downward, the surfaces orthogonal to the moving direction of the conveyance part upper cover body 51 come into contact with each other, and during the lowering operation of the conveyance part upper cover body 51 , the conveyance part cover body side seal There is a possibility that the member 111 and the end cover body side sealing member 112 are caught. On the other hand, when the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 are formed in the wedge-shaped shape which inclines with respect to the moving direction of the conveyance part upper cover body 51 In this case, even when the transport unit upper lid body 51 is moved downward, it can be moved without interfering with the lowering operation of the transport unit upper lid body 51 .

또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킴으로써 양쪽의 접촉면이 접촉하였을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 덮개체(51)의 폭 방향 Y에 있어서의 위치를 소정의 위치에 위치시키는 센터링 작용을 발생시킨다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 배치 위치의 재현성을 높일 수 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 서로가 접촉할 때는, 각각 압축되는 상태로 접촉한다. 이에 의해, 보다 높은 기밀성이 확보된다.Moreover, since the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 are formed in the wedge-shaped shape, by moving the conveyance part upper cover body 51 downward, both contact surfaces When this contact is made, the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 have a centering action which positions the position in the width direction Y of the conveyance part upper cover body 51 to a predetermined position. causes Thereby, the reproducibility of the arrangement position of the conveyance part upper cover body 51 can be improved. Moreover, since the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 are formed in the wedge-shaped shape, when mutually contacting, they contact in a compressed state, respectively. Thereby, higher airtightness is ensured.

또한, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시켰을 때는 칸막이체(100)로부터 이격되지만, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 접촉한다. 환언하면, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)이 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는, 칸막이체(100)로부터 이격되고, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 칸막이체(100)에 접촉한다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)와 칸막이체(100)가 접근하고 있는 부분에서는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켜 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)에 의해, 기밀성이 확보된다.In addition, the sealing member 114 for the lid partition body is spaced apart from the partition body 100 when the transport unit upper lid body 51 is moved upward, but when the transport unit upper lid body 51 is moved downward. , The sealing member 114 for a cover body partition body contacts the conveyance part side wall part 102 of the partition body 100 . In other words, in the sealing member 114 for the cover partition body disposed on the upper cover body 51 of the conveyance unit, the position at which the upper labyrinth seal 61 of the conveyance unit upper part is spaced apart from the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is In this state, it is spaced apart from the partition body 100 , and in a state in which the position of the conveyance part upper labyrinth seal 61 is the position in the conveyed state of the sheet-like member S, it is in contact with the partition body 100 . As a result, in the portion where the conveyance unit upper cover body 51 and the partition body 100 are close to each other, the conveyance unit upper cover body 51 is moved downward so that the position of the conveyance unit upper labyrinth seal 61 is adjusted to the sheet In the state used as the position of the conveyance state of the upper member S, airtightness is ensured by the sealing member 114 for cover body partitions.

추출 건조 장치(1)는, 이와 같이 시트상 부재 S를, 가스 시일 구조(30)의 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해 반송할 수 있는 상태에서, 시트상 부재 S의 추출·건조를 행한다. 추출 건조 장치(1)에서, 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 추출 건조 장치(1)에는, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 상류측의 공정에서 성형한, 폴리올레핀계 수지에 다수의 미세 구멍이 개공되어 미세 구멍에 액상 가소제가 들어간 박막의 필름상의 시트상 부재 S가, 추출 장치(5)로 반송된다. 추출 장치(5)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서 용제조(6)에 저류된 용제(7)에 시트상 부재 S를 침지하여, 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거한다.The extraction and drying apparatus 1 is in the state which can convey the sheet-like member S through between the conveyance part upper labyrinth seal 61 and the seal roll 40 of the gas-seal structure 30 in this way, The member S is extracted and dried. When performing extraction and drying of the sheet-like member S in the extraction and drying apparatus 1, the extraction and drying apparatus 1 includes a polyolefin resin molded in an upstream step in the conveying direction of the sheet-like member S. A large number of micropores are perforated, and the thin film-like sheet-like member S in which the liquid plasticizer entered the micropores is conveyed to the extraction device 5 . In the extraction apparatus 5, the sheet-like member S is immersed in the solvent 7 stored in the solvent tank 6, conveying the sheet-like member S, and a liquid plasticizer is removed from the sheet-like member S.

액상 가소제가 제거된 시트상 부재 S는, 추출 장치(5)로부터 건조 장치(10)로 반송된다. 건조 장치(10)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서, 건조실(11) 내에서 에어 나이프(25)에 의해 시트상 부재 S에 대하여 에어를 분사함으로써, 시트상 부재 S를 건조시켜, 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 시트상 부재 S로부터 제거한다.The sheet-like member S from which the liquid plasticizer has been removed is conveyed from the extraction apparatus 5 to the drying apparatus 10 . In the drying apparatus 10, the sheet-like member S is dried by blowing air to the sheet-like member S with the air knife 25 in the drying chamber 11 while conveying the sheet-like member S, and the sheet-like member S is dried. The solvent 7 adhering to S is removed from the sheet-like member S.

건조시킨 시트상 부재 S는, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)로부터 가스 시일 구조(30)로 보내진다. 가스 시일 구조(30)에서는, 시트상 부재 S가 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해 반송되도록 미리 준비되어 있기 때문에, 시트상 부재 S는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해, 추출 건조 장치(1)로부터 하류측의 공정으로 반송된다.The dried sheet-like member S is sent to the gas seal structure 30 from the opening 16 formed in the partition 15 of the drying apparatus 10 . In the gas seal structure 30, since the sheet-like member S is prepared in advance so that it may be conveyed through between the conveyance part upper labyrinth seal 61 and the seal roll 40, the sheet-like member S is carried out by the upper labyrinth of the conveyance part. It is conveyed from the extraction and drying apparatus 1 to a downstream process through between the seal|sticker 61 and the seal roll 40.

여기서, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내에서는, 시트상 부재 S가 건조됨으로써, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)는 건조실(11) 내에서 기화되어, 건조실(11) 내에 충만되어 있다. 이 때문에, 건조실(11) 내의 가스는, 건조실(11) 밖으로 누출되지 않는 것이 바람직하지만, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이에는, 약간의 간극이 형성되어 있고, 이 간극으로부터 누설되기 쉽게 되어 있다. 상세하게는, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이에는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 약간의 간극이 형성되어 있다.Here, in the drying chamber 11 of the drying apparatus 10, the sheet-like member S is dried, so that the solvent 7 adhering to the sheet-like member S in the extraction device 5 is vaporized in the drying chamber 11, It is filled in the drying chamber 11 . For this reason, although it is preferable that the gas in the drying chamber 11 does not leak out of the drying chamber 11, a slight gap is formed between the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40, and this gap is It is easy to leak from. In detail, between the transport part labyrinth seal 60 and the seal roll 40, between the partition plate 63 of the transport part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, slightly gap is formed.

한편, 반송부 래비린스 시일(60)은, 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)에 의해 구획되어 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되는 복수의 공간부(67)가, 시트상 부재 S의 반송 방향, 혹은, 길이 방향 X로 나란히 형성되어 있다. 이 때문에, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되려고 하는 가스는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분과, 공간부(67)를 교호로 통과하여 흐르게 된다.On the other hand, the conveyance part labyrinth seal 60 has a plurality of space portions 67 which are partitioned by a plurality of partition plates 63 and a plurality of spacers 64 and open on the side where the seal roll 40 is located. , are formed side by side in the conveyance direction of the sheet-like member S, or the longitudinal direction X. For this reason, the gas which is about to leak through between the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40 is the partition plate 63 of the conveyance part labyrinth seal 60, and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40. ) and flows through the space portion 67 alternately.

따라서, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통과하는 가스는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이를 통해 공간부(67)에 도달할 때마다 감압되어, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 흐르려고 하는 압력이 약해진다. 이에 의해, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되려고 하는 가스는, 가스의 흐름 방향에 있어서의 압력이 약해짐으로써 가스의 흐름이 약해져, 길이 방향 X에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측끼리의 사이에서는, 어느 방향으로도, 가스는 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되기 어려워진다.Therefore, the gas passing between the transport part labyrinth seal 60 and the seal roll 40 passes between the partition plate 63 of the transport part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 . It is reduced in pressure each time it reaches the space portion 67 through the passage, and the pressure to flow through between the transport unit labyrinth seal 60 and the seal roll 40 is weakened. As a result, the gas that is about to leak through between the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40 is weakened by the pressure in the gas flow direction is weakened, and the gas flow is weakened in the longitudinal direction X. Between both sides of the conveyance part labyrinth seal 60, gas becomes difficult to leak through between the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40 in either direction.

또한, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16), 혹은, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐, 칸막이체(100)에 의해 통로가 형성되어 있지만, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에는, 시일 부재(110)가 배치되어 있다. 이 때문에, 칸막이체(100)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)는, 시일 부재(110)에 의해 시일되어, 기밀성이 확보되어 있다.In addition, from the position of the opening 16 formed in the partition wall 15 of the drying apparatus 10 or the partition opening 104 to the position of the conveying unit cover body 50 and the end cover body 90 , , the passage is formed by the partition body 100 , but at the end of the partition body 100 on the opposite side to the end on the side where the partition body opening 104 is located in the longitudinal direction X, the sealing member 110 ) is placed. For this reason, the end part of the partition body 100 opposite to the edge part on the side where the partition body opening part 104 is located, and the conveyance part cover body 50 and the end cover body 90 are the sealing member 110 ) to ensure airtightness.

즉, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 반송부 덮개체(50)는, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 접촉함으로써 시일되어 있다. 또한, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 단부 덮개체(90)는, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 배치되는 칸막이체 외측 시일 부재(116)와 칸막이체 내측 시일 부재(117)가 단부 덮개체(90)에 접촉함으로써, 시일되어 있다. 이에 의해, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐 형성되는 통로는, 칸막이체(100)에 있어서의 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 위치하는 측의 단부와, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 시일 부재(110)에 의해 시일됨으로써, 기밀성이 확보되어 있다.That is, in the partition body 100 , in the longitudinal direction X, the end opposite to the end on the side where the partition opening 104 is located, and the carrying part cover body 50 are formed by the carrying part cover body 50 . The sealing member 114 for a lid|cover body partition body arrange|positioned is sealed by contacting the conveyance part side wall part 102 of the partition body 100. As shown in FIG. In the partition body 100 , in the longitudinal direction X, an end opposite to the end on the side where the partition body opening 104 is located, and the end cover body 90 are the end sidewalls of the partition body 100 . When the partition body outer sealing member 116 and the partition body inner sealing member 117 arrange|positioned in the part 103 contact the edge part cover body 90, it is sealed. Thereby, by the carrying part side wall part 102 and the end side wall part 103 of the partition body 100, from the position of the partition body opening part 104, the carrying part cover body 50 and the edge part cover body 90 are separated. The passage formed over the position includes an end of the partitioning body 100 on the side where the transport section cover 50 and the end cover body 90 are located, and the transport section cover body 50 or the end cover body ( By sealing 90 by the sealing member 110, airtightness is ensured.

또한, 반송부 덮개체(50)의 폭 방향 Y에 있어서의 양측의 단부와, 단부 덮개체(90)에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부도, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 서로 접촉함으로써 시일되어, 기밀성이 확보되어 있다. 이에 의해, 건조실(11) 내로부터의 가스는, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)와 칸막이체(100) 사이의 부분이나, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90) 사이의 부분으로부터도 누설되기 어렵게 되어 있다.Further, the end portions on both sides in the width direction Y of the conveyance unit cover body 50 and the end portions of the end cover body 90 on the side where the conveyance unit cover body 50 is located are also included in the conveyance unit cover body ( When the conveyance part cover body side sealing member 111 arrange|positioned at 50 and the end cover body side sealing member 112 arrange|positioned at the end cover body 90 mutually contact, it seals, and airtightness is ensured. Thereby, the gas from the inside of the drying chamber 11 is transferred to the portion between the conveying unit cover body 50, the end cover body 90, and the partition body 100, and the conveyance unit cover body 50 and the end cover body ( 90), it is also difficult to leak from the part between them.

또한, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에는, 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)가 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되는 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)과 시일 롤(40) 사이에 가스가 들어간 경우라도, 이 가스는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 롤 단부 래비린스 시일(95)의 양측끼리의 사이에서 흐르기 어렵게 되기 때문에, 가스는 롤 단부 래비린스 시일(95)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되기 어렵게 된다.In addition, on the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 , a plurality of space portions 97 , which are opened on the side of the seal roll 40 , are arranged in the extending direction of the seal roll 40 , the roll end labyrinth seal 95 . ) is formed. For this reason, even when gas enters between the inner peripheral surface 91 of the end cover body 90 and the seal roll 40 , this gas enters the roll end labyrinth seal 95 in the extending direction of the seal roll 40 . ), the gas hardly leaks through between the roll end labyrinth seal 95 and the seal roll 40 .

또한, 건조 장치(10)에는, 건조실(11) 내에서 기화한 용제(7)를 대기 중에 방출하지 않도록, 배기 덕트(22)가 배치되어 있다. 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 흡인하여 건조실(11) 밖으로 배기하고, 배기한 가스를 가스 회수 장치로 보낸다. 가스 회수 장치는, 배기 덕트(22)로부터 보내져 온 기체 중으로부터, 기화된 용제(7)를 회수한다. 건조실(11) 내는, 이와 같이 내부의 기체가 배기 덕트(22)로부터 배기되기 때문에, 건조실(11)의 외측에 대하여 기압이 낮게 되어 있다. 즉, 건조실(11)의 내부는, 건조실(11)의 외부에 대하여 부압으로 되어 있다.Moreover, the exhaust duct 22 is arrange|positioned in the drying apparatus 10 so that the solvent 7 vaporized in the drying chamber 11 may not be discharged|released to air|atmosphere. The exhaust duct 22 draws in the gas in the drying chamber 11 and exhausts it out of the drying chamber 11 , and sends the exhausted gas to the gas recovery device. The gas recovery device recovers the vaporized solvent 7 from the gas sent from the exhaust duct 22 . Since the gas inside the drying chamber 11 is exhausted from the exhaust duct 22 in this way, atmospheric pressure is low with respect to the outer side of the drying chamber 11. As shown in FIG. That is, the inside of the drying chamber 11 has a negative pressure with respect to the exterior of the drying chamber 11 .

이 때문에, 길이 방향 X에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측끼리의 사이에서는, 가스는, 건조실(11)의 외측, 혹은, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측의 위치로부터, 건조실(11)이 위치하는 측을 향하여 흐르기 쉽게 되어 있다. 이에 의해, 건조실(11) 내의 가스는, 건조실(11)의 외측으로 보다 확실하게 누설되기 어렵게 되어 있고, 가스 시일 구조(30)는, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 누출시키지 않고, 시트상 부재 S를 건조실(11) 내로부터 건조실(11) 밖을 향하여 반송할 수 있다.For this reason, between both sides of the conveyance part labyrinth seal 60 in the longitudinal direction X, the gas is a position on the downstream side in the conveyance direction of the outer side of the drying chamber 11 or the sheet-like member S. It is easy to flow toward the side where the drying chamber 11 is located. Accordingly, the gas in the drying chamber 11 is less likely to leak to the outside of the drying chamber 11 more reliably, and the gas seal structure 30 prevents the gas in the drying chamber 11 from leaking out of the drying chamber 11 . , the sheet-like member S can be conveyed from the inside of the drying chamber 11 toward the outside of the drying chamber 11 .

이와 같이, 가스의 누출을 억제할 수 있는 가스 시일 구조(30)는, 메인터넌스 시에는 시일 롤(40)을 착탈하는 경우가 있지만, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 양측에 배치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 덮는 범위가, 시일 롤(40)의 원주 방향의 약 180°의 범위로 되어 있다. 이 때문에, 시일 롤(40)은, 축 단부(45)를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(35)를 축 단부(45)로부터 분리하면, 단부 덮개체(90)로 덮여 있지 않은 방향으로 시일 롤(40)을 이동시킴으로써, 시일 롤(40)을 용이하게 분리할 수 있다.As described above, in the gas seal structure 30 capable of suppressing gas leakage, the seal roll 40 may be attached/detached during maintenance, but the conveyance unit cover body ( As for the edge part cover body 90 arrange|positioned on both sides of 50, the range which covers the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 is the range of about 180 degrees of the circumferential direction of the seal roll 40. As shown in FIG. For this reason, when the seal roll 40 isolate|separates the bearing part 35 which supports the shaft edge part 45 rotatably from the shaft edge part 45, the sealing roll 40 is not covered with the edge part cover body 90. By moving (40), the seal roll (40) can be easily separated.

시일 롤(40)을 가스 시일 구조(30)에 설치할 때는, 단부 덮개체(90)에 대하여, 원주 방향에 있어서 단부 덮개체(90)가 형성되어 있지 않은 위치로부터 시일 롤(40)을 배치하고, 축 단부(45)에 베어링부(35)을 설치함으로써, 용이하게 설치할 수 있다. 이에 의해, 시일 롤(40)을 가스 시일 구조(30)에 대하여 용이하게 착탈 할 수 있어, 메인터넌스성을 확보할 수 있다.When the seal roll 40 is installed in the gas seal structure 30 , the seal roll 40 is disposed from a position where the end cover body 90 is not formed in the circumferential direction with respect to the end cover body 90 , , by providing the bearing part 35 to the shaft end part 45, it can be installed easily. Thereby, the seal roll 40 can be easily attached and detached with respect to the gas seal structure 30, and maintainability can be ensured.

<실시 형태 1의 효과><Effect of Embodiment 1>

이상의 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)에서는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(67)를 갖는 반송부 래비린스 시일(60)이 배치되어 있기 때문에, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 시일 롤(40)의 양측에서, 가스가 서로의 방향을 향하여 흐르는 것을 억제할 수 있다. 또한, 처리실인 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트(22)가 구비되어 있기 때문에, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측에서는, 가스의 흐름은 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측으로부터, 건조실(11)이 위치하는 측으로 흐르기 쉽게 할 수 있다. 이 때문에, 시트상 부재 S에 대하여 시일성을 확보하는 부분의 간극을, 필요 이상으로 작게 하지 않고 가스의 누설을 억제할 수 있어, 제조 시에 있어서의 정밀도를 높이지 않고, 시일성을 확보할 수 있다. 이 결과, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다.In the gas seal structure 30 and extraction drying apparatus 1 according to the first embodiment described above, the seal roll 40 is arranged in the conveyance direction of the sheet-like member S at a position opposite to the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, and the seal roll ( Since the conveyance part labyrinth seal 60 which has the some space part 67 with which the 40 side is opened is arrange|positioned, on both sides of the seal roll 40 in the conveyance direction of the sheet-like member S, gas Flow in the direction of each other can be suppressed. Moreover, since the exhaust duct 22 which makes the inside of the drying chamber 11 which is a process chamber a negative pressure with respect to the side on which the seal roll 40 is arrange|positioned is provided, the conveyance part labyrinth in the conveyance direction of the sheet-like member S is provided. On both sides of the seal 60, the flow of gas can be made easy to flow from the downstream in the conveyance direction of the sheet-like member S to the side where the drying chamber 11 is located. For this reason, gas leakage can be suppressed without making the clearance gap of the part which secures sealing property with respect to the sheet-like member S small more than necessary, and sealing property can be ensured without increasing the precision at the time of manufacture. can As a result, sealing property can be easily ensured.

또한, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)와, 반송부 덮개체(50) 및 단부 덮개체(90) 사이에는, 개구부(16)와, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하는 칸막이체(100)가 배치되어 있기 때문에, 건조실(11) 내의 가스가, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치 이외로부터 누설되는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.Moreover, between the opening part 16 formed in the partition wall 15 of the drying apparatus 10, the conveyance part cover body 50, and the edge part cover body 90, the opening part 16 and the sealing roll 40 Since the partitioning body 100 dividing the space communicating the position between the outer peripheral surface 41 and the conveyance part labyrinth seal 60 is arrange|positioned, the gas in the drying chamber 11 moves to the outer peripheral surface of the seal roll 40 ( 41) and the conveyance part labyrinth seal 60 can be suppressed from leaking from anything other than a position. As a result, the sealing property can be improved more reliably.

또한, 단부 덮개체(90)에는, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)를 갖는 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있기 때문에, 시일 롤(40)의 연장 방향으로의 가스의 흐름을, 롤 단부 래비린스 시일(95)에 의해 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.Further, the end cover body 90 is provided with a roll end labyrinth seal 95 arranged in the extending direction of the seal roll 40 and having a plurality of space portions 97 in which the seal roll 40 side is opened. Therefore, the flow of gas in the extending direction of the seal roll 40 can be suppressed by the roll end labyrinth seal 95 . As a result, the sealing property can be improved more reliably.

또한, 반송부 덮개체(50)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터의 거리를 변화시킬 수 있기 때문에, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시킬 때는, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 반송부 덮개체(50)와 시일 롤(40)의 외주면(41)의 거리를 크게 함으로써, 용이하게 통과시킬 수 있다. 이에 의해, 시트상 부재 S가, 박막의 필름상임으로써 강성이 낮은 경우라도, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 시트상 부재 S를 용이하게 통과시킬 수 있다. 이 결과, 가스 시일 구조(30)의 사용 편의성을 향상시킬 수 있다.Moreover, since the conveyance part cover body 50 can change the distance from the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, the outer peripheral surface 41 of the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40. When passing the sheet-like member S therebetween, by increasing the distance between the conveyance part cover body 50 holding the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40, it passes easily can do it Thereby, even when the sheet-like member S is in the form of a thin film and has low rigidity, the sheet-like member S passes easily between the conveyance part labyrinth seal 60 and the outer peripheral surface 41 of the seal roll 40 . can do it As a result, the ease of use of the gas seal structure 30 can be improved.

또한, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이 반송부 덮개체(50)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 양쪽의 시일 부재(110)가 접근하는 방향으로 반송부 덮개체(50)가 이동함으로써, 서로가 접촉할 때는, 각각 압축되는 상태로 접촉한다. 이에 의해, 보다 높은 기밀성을 확보할 수 있어, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90) 사이의 부분의 시일성을 높일 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.In addition, the conveyance unit cover body-side sealing member 111 disposed on the conveyance unit cover body 50 and the end cover body-side sealing member 112 disposed on the end cover body 90 have mutual contact surfaces. Since it is formed in the wedge-shaped shape inclined with respect to the moving direction of 50, when the carrying part cover body 50 moves in the direction in which both sealing members 110 approach, when they come into contact with each other, each compresses. contact in a state of being Thereby, higher airtightness can be ensured and the sealing property of the part between the conveyance part cover body 50 and the end cover body 90 can be improved. As a result, the sealing property can be improved more reliably.

또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작을 방해하지 않고 이동시킬 수 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 접촉하였을 때에 있어서의 센터링 작용에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 배치 위치의 재현성을 높일 수 있다. 이 결과, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방 위치로부터 강하시켜 시트상 부재 S를 반송시킬 수 있는 상태로 할 때, 반송부 상부 덮개체(51)를 보다 용이하게 또한 확실하게 적절한 위치에 배치할 수 있다.Moreover, since the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 are formed in a wedge-shaped shape, even when moving the conveyance part upper cover body 51 downward, conveyance It can be moved without interfering with the lowering operation of the sub-upper cover body 51 . Moreover, the reproducibility of the arrangement position of the conveyance part upper cover body 51 is improved by the centering action when the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body side sealing member 111 and the end cover body side sealing member 112 come into contact. can As a result, when lowering the conveyance part upper cover body 51 from an upper position to set the sheet-like member S to a state in which it can be conveyed, the conveyance part upper cover body 51 is arrange|positioned more easily and reliably in the appropriate position. can do.

[실시 형태 2][Embodiment 2]

실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)와 대략 마찬가지의 구성이지만, 배기 구조(150)를 구비하는 점에 특징이 있다. 다른 구성은 실시 형태 1과 마찬가지이므로, 그 설명을 생략함과 함께, 동일한 부호를 붙인다.The gas seal structure 30 according to the second embodiment has substantially the same configuration as the gas seal structure 30 according to the first embodiment, but is characterized in that it includes an exhaust structure 150 . Since the other structure is the same as that of Embodiment 1, while the description is abbreviate|omitted, the same code|symbol is attached|subjected.

도 15는 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)의 정면도이며, 도 1의 A-A 화살표도이다. 도 16은 도 15의 E-E 단면도이다. 도 17은 도 15의 E-E 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)와 마찬가지로, 추출 건조 장치(1)(도 1 참조)에 구비되어 있고, 시일 롤(40)과, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60)과, 단부 덮개체(90)에 형성되는 롤 단부 래비린스 시일(95)을 갖고 있다. 또한, 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)나, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)에 위치하는 가스를, 공간부(67, 97)로부터 건조실(11)(도 1 참조) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)를 구비하고 있다.15 : is a front view of the gas-seal structure 30 which concerns on Embodiment 2, It is the arrow A-A of FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line E-E of FIG. 15 . Fig. 17 is a perspective view of a principal part taken along section E-E of Fig. 15; Similar to the gas seal structure 30 according to the first embodiment, the gas seal structure 30 according to the second embodiment is provided in the extraction drying apparatus 1 (refer to FIG. 1 ), and includes a seal roll 40 ; It has the conveyance part labyrinth seal 60 held by the conveyance part cover body 50, and the roll edge part labyrinth seal 95 formed in the edge part cover body 90. As shown in FIG. Further, in the gas seal structure 30 according to the second embodiment, the space portion 67 included in the transport section labyrinth seal 60 and the space portion 97 included in the roll end labyrinth seal 95 are positioned The exhaust structure 150 for exhausting gas from the space parts 67 and 97 toward the outside of the drying chamber 11 (refer FIG. 1) is provided.

<반송부측 배기 구조(151)><Conveyor side exhaust structure 151>

반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)인 반송부측 배기 구조(151)는, 스페이서 관통 구멍(155)과, 반송부측 배기구(161)를 갖고 구성되어 있다. 스페이서 관통 구멍(155)은, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 스페이서(64)를 상하 방향 Z로 관통하는 구멍으로 되어 있다. 스페이서 관통 구멍(155)은, 스페이서(64)를 상하 방향 Z로 관통함으로써, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)와, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 내부를 연통하고 있고, 폭 방향 Y로 연장되는 스페이서(64)에 대하여, 폭 방향 Y로 복수가 나란히 형성되어 있다. 이와 같이 형성되는 스페이서 관통 구멍(155)은, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 스페이서(64)와, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 스페이서(64)의 양쪽에 형성되어 있다. 본 실시 형태 2에서는, 스페이서 관통 구멍(155)은, 칸막이판(63)과 교호로 겹쳐져 배치되는 복수의 스페이서(64) 중, 겹치는 방향에 있어서의 중앙 근방의 3개의 스페이서(64)에 형성되어 있다.The conveyance unit side exhaust structure 151 , which is an exhaust structure 150 that exhausts from the space 67 of the conveyance unit labyrinth seal 60 toward the outside of the drying chamber 11 , includes a spacer through hole 155 and a conveyance unit side. It has an exhaust port 161 and is comprised. The spacer through-hole 155 is a hole penetrating the spacer 64 included in the transport part labyrinth seal 60 in the vertical direction Z. The spacer through-hole 155 penetrates the spacer 64 in the vertical direction Z, so that the space 67 of the transport unit labyrinth seal 60 and the inside of the casing 53 of the transport unit cover 50 are formed. With respect to the spacer 64 which communicates with each other and extends in the width direction Y, a plurality of them are formed side by side in the width direction Y. The spacer through-holes 155 thus formed are formed on both the spacer 64 of the upper labyrinth seal 61 of the carrying section and the spacer 64 of the lower labyrinth seal 62 of the carrying section. In the second embodiment, the spacer through-holes 155 are formed in three spacers 64 near the center in the overlapping direction among the plurality of spacers 64 alternately overlapped with the partition plate 63, have.

반송부측 배기구(161)는, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하기 위한 배기구(160)로 되어 있다. 반송부측 배기구(161)는, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 측의 반대측의 단부에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)에서는, 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의 상단에 배치되어 있고, 반송부 하부 덮개체(52)에서는, 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의 하단에 배치되어 있다.The conveyance unit side exhaust port 161 serves as an exhaust port 160 for exhausting the air from the space 67 of the conveyance unit labyrinth seal 60 toward the outside of the drying chamber 11 . The transport section side exhaust port 161 is disposed at an end of the casing 53 of the transport section cover 50 in the vertical direction Z opposite to the side holding the transport section labyrinth seal 60 . That is, in the transport section upper cover body 51 , the transport section side exhaust port 161 is disposed at the upper end of the casing 53 in the vertical direction Z, and in the transport section lower cover body 52 , the transport section side exhaust port 161 . Reference numeral 161 is disposed at the lower end of the casing 53 in the vertical direction Z.

이와 같이 배치되는 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 내부에 연통하고 있다. 반송부측 배기구(161)는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를 배기하는 것이 가능하게 되어 있어, 건조 장치(10)가 갖는 배기 덕트(22)(도 1 참조)와 마찬가지로, 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다.The conveyance part-side exhaust port 161 arranged in this way communicates with the inside of the casing 53 . The transport unit side exhaust port 161 is capable of evacuating the gas located in the space 67 of the transport unit labyrinth seal 60 , and an exhaust duct 22 included in the drying device 10 ( FIG. 1 ). Reference), it is connected to a blower (not shown) such as a blower for taking in air, and a gas recovery device (not shown) for recovering a predetermined component in the gas.

<단부측 배기 구조(152)><End-side exhaust structure 152>

도 18은 도 15의 F-F 단면도이다. 도 19는 도 15의 F-F 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)인 단부측 배기 구조(152)는, 단부 덮개체 관통 구멍(156)과, 단부 덮개체 배기실(157)과, 단부측 배기구(162)를 갖고 구성되어 있다. 단부 덮개체 배기실(157)은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92) 근방의 위치에 형성되는 공간으로 되어 있고, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)와, 단부 덮개체 배기실(157)을 관통하는 구멍으로 되어 있다.18 is a cross-sectional view taken along the line F-F of FIG. 15 . Fig. 19 is a perspective view of an essential part in the cross section F-F of Fig. 15 . The end-side exhaust structure 152, which is an exhaust structure 150 that exhausts the air from the space 97 of the roll end labyrinth seal 95 toward the outside of the drying chamber 11, includes an end cover body through-hole 156; It has an end cover body exhaust chamber 157 and the end side exhaust port 162, and is comprised. The end cover body exhaust chamber 157 is a space formed in the vicinity of the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 , and the end cover body through hole 156 has a roll end labyrinth seal 95 . of the space portion 97 and a hole penetrating the end cover body exhaust chamber 157 .

도 20은 도 19에 도시한 단부 덮개체(90)의 사시도이다. 도 21은 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 외주면(92)측으로부터 본 사시도이다. 도 22는 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 수평 방향으로 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다. 도 23은 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 홈부(96)를 따라 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다. 단부 덮개체 배기실(157)은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 형성되는 홈에, 외주면(92)과 동일 평면이 되는 배기실 덮개 부재(158)에 의해 덮개가 씌워짐으로써 형성되는 공간으로 되어 있고, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 동일 위치에 형성되어 있다. 상세하게는, 단부 덮개체 배기실(157)을 형성하는 홈은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 있어서의, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 동일한 위치에, 홈부(96)를 따라서 원호상으로 형성되는 홈으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체 배기실(157)을 형성하는 홈은, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 마찬가지로, 폭 방향 Y로 2개가 나란히 형성되어 있다.Fig. 20 is a perspective view of the end cover body 90 shown in Fig. 19 . 21 is a perspective view of the end cover body 90 shown in FIG. 20 as viewed from the outer peripheral surface 92 side. Fig. 22 is a perspective view of a principal part showing a state in which the end cover body 90 shown in Fig. 20 is cut in the horizontal direction. FIG. 23 is a perspective view of a principal part showing a state in which the end cover body 90 shown in FIG. 20 is cut along the groove portion 96. As shown in FIG. The end cover body exhaust chamber 157 is formed by covering the groove formed in the outer circumferential surface 92 of the end cover body 90 with the exhaust chamber cover member 158 that is flush with the outer circumferential surface 92 . It is a space to be formed, and the position in the width direction Y is formed at the same position as the groove portion 96 of the roll end labyrinth seal 95 . Specifically, the groove forming the end cover body exhaust chamber 157 has a position in the width direction Y on the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 of the roll end labyrinth seal 95 . It is a groove formed in an arc shape along the groove part 96 in the same position as the groove part 96. As shown in FIG. For this reason, two grooves forming the end cover exhaust chamber 157 are formed side by side in the width direction Y, similarly to the groove portions 96 of the roll end labyrinth seal 95 .

배기실 덮개 부재(158)는, 이와 같이 형성되는 홈의, 외주면(92)에 대한 개구 부분을 폐색하는 덮개로 되어 있다. 이에 의해, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 형성된 홈은 폐색되고, 당해 홈은, 배기실 덮개 부재(158)에 의해 폐색된 공간으로 된다. 이와 같이 형성되는 공간이, 단부 덮개체 배기실(157)로서 형성되고, 단부 덮개체 배기실(157)은, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 2개의 홈부(96)에 대응하여, 2개가 형성된다. 2개의 단부 덮개체 배기실(157)은, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가, 각각 롤 단부 래비린스 시일(95)에 있어서의 대응하는 홈부(96)와 동일한 위치에 배치된다.The exhaust chamber cover member 158 serves as a cover for closing the opening of the groove formed in this way with respect to the outer peripheral surface 92 . As a result, the groove formed in the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 is closed, and the groove becomes a space closed by the exhaust chamber cover member 158 . The space thus formed is formed as an end cover exhaust chamber 157 , and the end cover exhaust chamber 157 corresponds to the two groove portions 96 included in the roll end labyrinth seal 95 , 2 dog is formed The two end cover body exhaust chambers 157 are respectively arranged at the same positions in the width direction Y as the corresponding groove portions 96 in the roll end labyrinth seal 95 .

단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 이와 같이 형성되는 단부 덮개체 배기실(157)과, 대응하는 홈부(96) 사이에서 관통하는 구멍으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 단부 덮개체 배기실(157)과, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)를 연통하고 있다. 또한, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 각 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 복수가 형성되어 있고, 복수의 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원호의 중심을 중심으로 하는, 방사상으로 나란히 형성되어 있다.The end cover body through-hole 156 is a hole penetrating between the end cover body exhaust chamber 157 formed in this way and the corresponding groove part 96 . For this reason, the end cover body through-hole 156 communicates with the end cover body exhaust chamber 157 and the space portion 97 of the roll end labyrinth seal 95 . In addition, a plurality of end cap body through-holes 156 are formed in the space portion 97 of each roll end labyrinth seal 95 , and the plurality of end cap body through-holes 156 are formed in the end cap body ( The inner peripheral surface 91 of 90 is formed in parallel with the center of the circular arc as the center.

단부측 배기구(162)는, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하기 위한 배기구(160)로 되어 있다. 단부측 배기구(162)는, 단부 덮개체 배기실(157)의 덮개가 되는 배기실 덮개 부재(158)에 설치되어 있고, 단부측 배기구(162)는, 단부 덮개체 배기실(157)마다 1개씩이 배치되어 있다. 또한, 폭 방향 Y로 배열되는 단부 덮개체 배기실(157)의 단부측 배기구(162)끼리는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)의 원호의 원주 방향에 있어서의 위치가, 서로 다른 위치에 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태 2에서는, 제조 시에 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 단부측 배기구(162)를 설치할 때, 2개의 단부측 배기구(162)를 설치하기 쉽게 하도록, 단부측 배기구(162)끼리의 위상을 다르게 하여 배치하고 있지만, 제조 시에 2개의 단부측 배기구(162)를 단부 덮개체(90)에 적절하게 설치할 수 있으면, 2개의 단부측 배기구(162)는 동위상으로 배치해도 된다.The end side exhaust port 162 serves as an exhaust port 160 for exhausting the air from the space portion 97 included in the roll end labyrinth seal 95 toward the outside of the drying chamber 11 . The end side exhaust port 162 is provided in the exhaust chamber cover member 158 serving as the cover of the end cover body exhaust chamber 157 , and the end side exhaust port 162 is one for each end cover body exhaust chamber 157 . Each is placed. Further, the end-side exhaust ports 162 of the end cover exhaust chamber 157 arranged in the width direction Y have different positions in the circumferential direction of the arc of the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 . is placed in Further, in the second embodiment, when the end side exhaust port 162 is provided on the outer peripheral surface 92 of the end cover body 90 during manufacture, the end side exhaust port is provided so as to facilitate the installation of the two end side exhaust ports 162 . Although the phases of 162 are different from each other, the two end-side exhaust ports 162 are in the same phase as long as the two end-side exhaust ports 162 can be appropriately provided to the end cover body 90 at the time of manufacture. may be placed.

이와 같이 배치되는 단부측 배기구(162)는, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를 배기하는 것이 가능하게 되어 있어, 반송부측 배기구(161)와 마찬가지로, 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다.The end-side exhaust port 162 arranged in this way is capable of exhausting the gas located in the space portion 97 of the roll end labyrinth seal 95, and similarly to the conveying unit-side exhaust port 161, intake It is connected to a blower (not shown), such as a blower, and a gas recovery device (not shown) which collect|recovers predetermined components in gas.

<가스 시일 구조(30)의 작용><Operation of gas seal structure 30>

본 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 이상과 같은 구성을 포함하고, 이하, 그 작용에 대하여 설명한다. 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)에서는, 가스 시일 구조(30)를 구비하는 추출 건조 장치(1)에서 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를, 반송부측 배기 구조(151)에 의해 배기하고, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를, 단부측 배기 구조(152)에 의해 배기한다.The gas seal structure 30 which concerns on this Embodiment 2 includes the structure as mentioned above, and the operation|action is demonstrated below. In the gas seal structure 30 according to the second embodiment, when the sheet-like member S is extracted and dried in the extraction and drying apparatus 1 provided with the gas seal structure 30, the conveyance part labyrinth seal 60 The gas located in the space portion 67 is exhausted by the transport unit side exhaust structure 151 , and the gas located in the space portion 97 of the roll end labyrinth seal 95 is discharged by the end side exhaust structure 152 . exhausted by

상세하게는, 반송부측 배기 구조(151)는, 반송부측 배기 구조(151)에 접속되는 송풍 장치의 흡인력에 의해, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를 스페이서 관통 구멍(155)으로부터 흡인하여, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 내부를 통해 반송부측 배기구(161)로부터 배기한다. 이에 의해, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내가 부압임으로써, 건조실(11) 밖으로부터 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이의 부분으로 흘러 온 가스를, 건조실(11) 내에 도입하지 않고, 반송부측 배기구(161)로부터 배기할 수 있다.In detail, the conveyance unit side exhaust structure 151 uses the suction force of a blower connected to the conveyance unit side exhaust structure 151 to space the gas located in the space 67 of the conveyance unit labyrinth seal 60 . It is sucked in through the through hole 155 and exhausted from the conveying unit side exhaust port 161 through the inside of the casing 53 of the conveying unit cover body 50 . Thereby, when the inside of the drying chamber 11 of the drying apparatus 10 is negative pressure, the gas which flows from the outside of the drying chamber 11 to the part between the conveyance part labyrinth seal 60 and the seal roll 40 is removed from the drying chamber 11 ), it can be exhausted from the conveying unit side exhaust port 161 .

마찬가지로, 단부측 배기 구조(152)는, 단부측 배기 구조(152)에 접속되는 송풍 장치의 흡인력에 의해, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를 단부 덮개체 관통 구멍(156)으로부터 흡인하여, 단부 덮개체 배기실(157)을 통해 단부측 배기구(162)로부터 배기한다. 이에 의해, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내가 부압임으로써, 건조실(11) 밖으로부터 롤 단부 래비린스 시일(95)과 시일 롤(40) 사이의 부분으로 흘러 온 가스를, 건조실(11) 내에 도입하지 않고, 단부측 배기구(162)로부터 배기할 수 있다.Similarly, the end-side exhaust structure 152 uses the suction force of a blower connected to the end-side exhaust structure 152 to dissipate the gas located in the space 97 of the roll-end labyrinth seal 95 to the end cover body. It is sucked in from the through hole 156 and exhausted from the end side exhaust port 162 through the end cover body exhaust chamber 157 . Thereby, when the inside of the drying chamber 11 of the drying apparatus 10 is negative pressure, the gas which flows from the outside of the drying chamber 11 to the part between the roll end labyrinth seal 95 and the seal roll 40 is removed from the drying chamber 11 ), it can be exhausted from the end side exhaust port 162 without introducing into the inside.

<실시 형태 2의 효과><Effect of Embodiment 2>

이상의 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를, 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)를 갖고 있기 때문에, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 건조실(11) 내의 가스의 누출을 억제할 뿐만 아니라, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것도 용이하게 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하고, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다.In the gas seal structure 30 according to the second embodiment, the gas located in the space 67 of the transport unit labyrinth seal 60 is exhausted from the space 67 toward the outside of the drying chamber 11 . Since it has the structure 150 , it is possible to suppress gas outside the drying chamber 11 from entering the drying chamber 11 . Accordingly, not only can the gas leak in the drying chamber 11 be suppressed, but also the gas outside the drying chamber 11 can be easily suppressed from entering the drying chamber 11 . As a result, the sealing property can be ensured more reliably and easily.

또한, 건조실(11) 내에서는, 용제(7)가 증발할 때에 있어서의 기화열에 의해 온도가 저하되기 쉽게 되어 있기 때문에, 수분량이 많은 외기가 건조실(11) 내에 들어간 경우, 공기 중의 수분이, 용제(7)가 기화될 때의 기화열로 냉각되게 되어 건조실(11) 내에서 동결되기 쉬워진다. 이 때문에, 외기의 공조 관리가 곤란한 환경에서 추출 건조 장치(1)가 사용되는 경우, 관리가 행해지지 않은 외기가 건조실(11) 내에 들어갔을 때, 공기 중의 수분이 건조실(11) 내에서 동결될 우려가 있다. 이에 반해, 본 실시 형태 2에서는, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 외기의 관리가 행해지지 않은 환경에서 추출 건조 장치(1)가 사용되는 경우에도, 수분량이 많은 외기가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 건조실(11) 내에서의 수분의 동결을 억제할 수 있다.In addition, in the drying chamber 11, since the temperature tends to decrease due to heat of vaporization when the solvent 7 evaporates, when external air with a large amount of moisture enters the drying chamber 11, the moisture in the air is removed from the solvent. It is cooled by the heat of vaporization when (7) is vaporized, and it becomes easy to freeze in the drying chamber (11). For this reason, when the extraction and drying apparatus 1 is used in an environment where it is difficult to control the air conditioning of the outside air, when the outside air that has not been managed enters the drying room 11, the moisture in the air may be frozen in the drying room 11. There are concerns. In contrast, in the second embodiment, since the gas outside the drying chamber 11 can be suppressed from entering the drying chamber 11, even when the extraction and drying apparatus 1 is used in an environment in which external air management is not performed, It is possible to suppress entry of outside air having a large amount of moisture into the drying chamber 11 . As a result, freezing of moisture in the drying chamber 11 can be suppressed.

[변형예][Variation]

또한, 상술한 실시 형태 1, 2에서는, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 시트상 부재 S를 송출하는 측에 배치되어 있지만, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 시트상 부재 S의 반입측에 배치되어 있어도 된다. 즉, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)가 갖는 추출 장치(5)에 있어서의 시트상 부재 S의 입구측에 배치되어 있어도 된다.In addition, in Embodiment 1 and 2 mentioned above, although the gas-seal structure 30 is arrange|positioned at the side which sends out the sheet-like member S in the extraction and drying apparatus 1, the gas-seal structure 30 is extracted You may arrange|position on the carrying-in side of the sheet-like member S in the drying apparatus 1 . That is, the gas seal structure 30 may be arrange|positioned at the inlet side of the sheet-like member S in the extraction apparatus 5 which the extraction and drying apparatus 1 has.

또한, 상술한 실시 형태 1, 2에서는, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 배치되어 있지만, 가스 시일 구조(30)가 배치되는 장치는, 추출 건조 장치(1) 이외여도 된다. 시트상 부재 S의 반송을 행할 때에 있어서의 시일성을 확보하는 장치이면, 가스 시일 구조(30)가 적용되는 장치는 불문한다.In addition, in Embodiment 1 and 2 mentioned above, although the gas-seal structure 30 is arrange|positioned in the extraction-drying apparatus 1, even if the apparatus in which the gas-seal structure 30 is arrange|positioned is other than the extraction-drying apparatus 1, do. As long as it is an apparatus which ensures the sealing property at the time of conveying the sheet-like member S, the apparatus to which the gas-sealing structure 30 is applied is not questioned.

1: 추출 건조 장치
5: 추출 장치
6: 용제조
7: 용제
10: 건조 장치
11: 건조실(처리실)
15: 격벽
16: 개구부
21: 급기 덕트
22: 배기 덕트
25: 에어 나이프
26: 롤
30: 가스 시일 구조
31: 프레임
32: 스테이
33: 지지판
35: 베어링부
36: 잭 구조
40: 시일 롤
41: 외주면
45: 축 단부
50: 반송부 덮개체
51: 반송부 상부 덮개체
52: 반송부 하부 덮개체
53: 케이싱
60: 반송부 래비린스 시일
61: 반송부 상부 래비린스 시일
62: 반송부 하부 래비린스 시일
63: 칸막이판
64: 스페이서
65: 보유 지지 볼트
66: 설치 부재
67: 공간부
70: 스트로크 구조
71: 에어 실린더
72: 본체부
73: 로드
80: 지주
81: 지지 부재
82: 가이드 블록
85: 브래킷
86: 암
86a: 협폭부
86b: 단차부
87: 스토퍼
90: 단부 덮개체
91: 내주면
92: 외주면
95: 롤 단부 래비린스 시일
96: 홈부
97: 공간부
98: 폐색부
100: 칸막이체
101: 브래킷
102: 반송부 측벽부
103: 단부 측벽부
104: 칸막이체 개구부
110: 시일 부재
111: 반송부 덮개체측 시일 부재
112: 단부 덮개체측 시일 부재
114: 덮개체 칸막이체용 시일 부재
116: 칸막이체 외측 시일 부재
117: 칸막이체 내측 시일 부재
118: 칸막이체 브래킷 시일 부재
S: 시트상 부재
1: Extraction drying device
5: Extraction device
6: solvent manufacturing
7: solvent
10: drying device
11: Drying room (processing room)
15: bulkhead
16: opening
21: supply air duct
22: exhaust duct
25: air knife
26: roll
30: gas seal structure
31: frame
32: stay
33: support plate
35: bearing part
36: jack structure
40: seal roll
41: outer circumference
45: shaft end
50: conveyance part cover body
51: conveyance part upper cover body
52: transport unit lower cover body
53: casing
60: transfer part labyrinth seal
61: upper conveyance part labyrinth seal
62: lower conveyance part labyrinth seal
63: partition plate
64: spacer
65: retaining bolt
66: installation member
67: space part
70: stroke structure
71: air cylinder
72: body part
73: load
80: holding
81: support member
82: guide block
85: bracket
86: cancer
86a: narrow part
86b: step part
87: stopper
90: end cover body
91: If you give me
92: outer circumference
95: roll end labyrinth seal
96: home
97: space part
98: obturator
100: partition body
101: bracket
102: conveyance part side wall part
103: end side wall portion
104: partition body opening
110: no seal
111: conveyance part cover body side sealing member
112: End cover body side sealing member
114: sealing member for the cover body partition body
116: partition body outer sealing member
117: partition body inner sealing member
118: partition bracket seal member
S: sheet-like member

Claims (7)

처리실을 구획하고, 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 처리실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과,
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 처리실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트
를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 시일 구조.
a seal roll that partitions a processing chamber and is disposed on a surface side opposite to the processing chamber side surface in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
Exhaust duct which makes the inside of the said process chamber a negative pressure with respect to the side where the said seal roll is arrange|positioned
A gas seal structure comprising a.
처리실을 구획하고, 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 처리실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과,
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 공간부에 위치하는 가스를 상기 공간부로부터 상기 처리실 밖을 향하여 배기하는 배기 구조
를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 시일 구조.
a seal roll that partitions a processing chamber and is disposed on a surface side opposite to the processing chamber side surface in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
An exhaust structure for exhausting the gas located in the space from the space toward the outside of the processing chamber
A gas seal structure comprising a.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 반송부 래비린스 시일은, 반송부 덮개체에 보유 지지되고,
상기 시일 롤의 연장 방향에 있어서의 상기 반송부 덮개체가 배치되는 위치의 양측에는, 상기 시일 롤의 원주 방향에 있어서의 소정의 범위를 덮는 단부 덮개체가 배치되고,
상기 개구부와, 상기 반송부 덮개체 및 상기 단부 덮개체 사이에는, 상기 개구부와, 상기 시일 롤의 상기 외주면과 상기 반송부 래비린스 시일 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하는 칸막이체가 배치되는, 가스 시일 구조.
3. The method of claim 1 or 2,
The conveyance part labyrinth seal is held by the conveyance part cover body,
End caps covering a predetermined range in the circumferential direction of the seal roll are disposed on both sides of a position where the transport section cover body is disposed in the extension direction of the seal roll;
A partition body is disposed between the opening part and the transport part cover body and the end part lid body to define a space communicating the opening part and a position between the outer peripheral surface of the seal roll and the transport part labyrinth seal. seal structure.
제3항에 있어서,
상기 단부 덮개체에는, 상기 시일 롤의 연장 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 롤 단부 래비린스 시일이 형성되는, 가스 시일 구조.
4. The method of claim 3,
A roll end labyrinth seal having a plurality of space portions arranged in an extension direction of the seal roll and having an opening on the seal roll side is formed in the end cover body.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 반송부 덮개체는, 상기 시일 롤의 상기 외주면으로부터의 거리를 변화시킬 수 있는, 가스 시일 구조.
5. The method according to claim 3 or 4,
The conveyance part cover body can change the distance from the said outer peripheral surface of the said seal roll, The gas seal structure.
제5항에 있어서,
상기 반송부 덮개체와 상기 단부 덮개체에는, 상기 반송부 래비린스 시일의 위치가 상기 시트상 부재의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는 서로 접촉하고, 상기 반송부 래비린스 시일이 상기 시일 롤의 상기 외주면으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는 서로 이격하는 시일 부재가 각각 배치되어 있고,
상기 시일 부재는, 서로의 접촉면이 상기 반송부 덮개체의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되는, 가스 시일 구조.
6. The method of claim 5,
The conveyance part cover body and the end cover body are in contact with each other in a state where the position of the conveyance part labyrinth seal is the position of the conveyed state of the sheet-like member, and the conveyance part labyrinth seal is applied to the seal roll. Sealing members spaced apart from each other are arranged in a state spaced apart from the outer circumferential surface, respectively,
The gas seal structure, wherein the sealing members are formed in a wedge-shaped shape in which contact surfaces of each other are inclined with respect to the moving direction of the carrying unit cover body.
수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 성형하여 얻어진 시트상 부재로부터 용제를 사용하여 상기 액상 가소제를 추출하는 추출 장치와,
상기 시트상 부재를 건조시킴으로써 상기 시트상 부재에 부착된 상기 용제를 제거하는 건조 장치와,
상기 건조 장치의 건조실을 구획하고, 상기 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 건조실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과,
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 건조실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트
를 구비하는 것을 특징으로 하는 추출 건조 장치.
an extraction device for extracting the liquid plasticizer using a solvent from a sheet-like member obtained by molding a resin material and a liquid plasticizer after melt-kneading;
a drying device for removing the solvent adhering to the sheet-like member by drying the sheet-like member;
a seal roll partitioning a drying chamber of the drying apparatus and disposed on a surface side opposite to the drying chamber-side surface in a partition wall having an opening through which the sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
Exhaust duct which makes the inside of the said drying chamber a negative pressure with respect to the side where the said seal roll is arrange|positioned
Extraction drying apparatus comprising a.
KR1020227017231A 2019-11-29 2020-07-27 Gas seal structure and extraction drying device KR102689426B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019217414A JP7325312B2 (en) 2019-11-29 2019-11-29 Gas seal structure and extraction drying device
JPJP-P-2019-217414 2019-11-29
PCT/JP2020/028763 WO2021106273A1 (en) 2019-11-29 2020-07-27 Gas seal structure and extraction and drying device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220086652A true KR20220086652A (en) 2022-06-23
KR102689426B1 KR102689426B1 (en) 2024-07-29

Family

ID=76087994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227017231A KR102689426B1 (en) 2019-11-29 2020-07-27 Gas seal structure and extraction drying device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7325312B2 (en)
KR (1) KR102689426B1 (en)
CN (1) CN114729783B (en)
DE (1) DE112020005883T5 (en)
WO (1) WO2021106273A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115342631B (en) * 2022-09-06 2024-05-24 中材大装膜技术工程(大连)有限公司 Detachable runner roller convenient to maintain
JP7402372B1 (en) * 2023-06-06 2023-12-20 日本碍子株式会社 heat treatment furnace

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6213572A (en) 1985-07-10 1987-01-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Roll sealing device
JPS6314558U (en) * 1986-07-14 1988-01-30
JPH0325559U (en) * 1989-07-19 1991-03-15
JP2003027234A (en) 2001-07-19 2003-01-29 Hirano Koon Kk Surface treatment device of continuous sheet-like material, and gas seal structure thereof
WO2012150618A1 (en) * 2011-05-02 2012-11-08 野方鉄郎 Manufacturing device and manufacturing method of polyolefin microporous film

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4642770B1 (en) * 1968-01-26 1971-12-17
JPS58131470A (en) * 1982-01-29 1983-08-05 Fuji Photo Film Co Ltd Roller system seal device
JP2837367B2 (en) * 1995-02-16 1998-12-16 日新製鋼株式会社 Sealing device for compartment entrances such as continuous heat treatment furnaces and continuous vacuum deposition equipment
JP2006194546A (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Dainippon Printing Co Ltd Continuously decompressed drying method and apparatus
JP4994010B2 (en) * 2006-11-24 2012-08-08 新日鉄エンジニアリング株式会社 Sealing apparatus and sealing method for continuous annealing furnace
JP2008273178A (en) * 2007-03-30 2008-11-13 Fujifilm Corp Solution film forming equipment and method
EP2108445A1 (en) * 2008-04-01 2009-10-14 Tonen Chemical Corporation System and process for producing a microporus membrane
JP5392023B2 (en) * 2009-11-20 2014-01-22 新日鐵住金株式会社 Non-contact sealing device and continuous heat treatment furnace
CN104324563B (en) * 2010-06-18 2016-01-20 株式会社爱瑞思 Filter unit
DE102013223151A1 (en) * 2013-11-13 2015-05-13 Sandvik Materials Technology Deutschland Gmbh Apparatus and method for treating sheet material
CN204824997U (en) * 2015-07-13 2015-12-02 于茜 Walk belt heat treatment of materials equipment in succession
EP3367031A1 (en) * 2017-02-28 2018-08-29 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. A drying unit for sterilizing a web of packaging material for packaging liquid food products
JP7055662B2 (en) * 2017-03-03 2022-04-18 住友化学株式会社 Film manufacturing equipment and film manufacturing method
CN107597642A (en) * 2017-10-20 2018-01-19 惠州市深启不锈钢有限公司 Steel disc cleaning device
CN209355646U (en) * 2018-12-27 2019-09-06 常州市顺龙宏源包装有限公司 Film drying unit

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6213572A (en) 1985-07-10 1987-01-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Roll sealing device
JPS6314558U (en) * 1986-07-14 1988-01-30
JPH0325559U (en) * 1989-07-19 1991-03-15
JP2003027234A (en) 2001-07-19 2003-01-29 Hirano Koon Kk Surface treatment device of continuous sheet-like material, and gas seal structure thereof
WO2012150618A1 (en) * 2011-05-02 2012-11-08 野方鉄郎 Manufacturing device and manufacturing method of polyolefin microporous film

Also Published As

Publication number Publication date
KR102689426B1 (en) 2024-07-29
JP2021085646A (en) 2021-06-03
WO2021106273A1 (en) 2021-06-03
DE112020005883T5 (en) 2022-09-15
JP7325312B2 (en) 2023-08-14
CN114729783A (en) 2022-07-08
CN114729783B (en) 2023-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20220086652A (en) Gas seal structure and extraction drying device
US8579387B2 (en) Glove box
US11331700B2 (en) Manufacturing enclosure environmental containment systems and methods
KR20150034973A (en) Apparatus and method for drying
KR20160052346A (en) Substrate liquid processing apparatus
JP2016020278A (en) Substrate processing method
CN101858825A (en) Be used to carry out the testing table of altitude simulation
JP7394203B2 (en) Substrate processing equipment
KR20170008270A (en) Particle removal device and method of operating thereof
KR101329634B1 (en) Mobile Type Exhauster for Semiconductor Production Apparatus
US20160243706A1 (en) Carrying device and moving system
CN209740286U (en) Membrane separation device
KR20130125740A (en) Mobile type exhauster for semiconductor production apparatus
CN107990634B (en) Drying apparatus
CN214262950U (en) Cleaning equipment
CN111376578A (en) Membrane separation device and method
KR102478750B1 (en) Substrate processing apparatus
KR101342619B1 (en) Substrate drying system
CN108172531B (en) Etching equipment
CN216055773U (en) Control cabinet of robot automatic welding production line
KR20190039891A (en) Vacuum processing system and method for vacuum processing one or more substrates
KR20080006710A (en) Dry apparatus for large area substrate
CN113566544A (en) Spray drier for semiconductor wafer
KR101377051B1 (en) Treating apparatus for substrate and treating method for substrate
JP4288856B2 (en) Dry chamber

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant