KR20220086652A - Gas seal structure and extraction drying device - Google Patents
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Abstract
용이하게 시일성을 확보하기 위해, 가스 시일 구조(30)는, 건조실(11)을 구획하고, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤(40)과, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치이며, 또한, 개구부(16)로부터 반송되는 시트상 부재 S를 시일 롤(40)과의 사이에 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(67)를 갖는 반송부 래비린스 시일(60)과, 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트(22)를 구비한다.In order to easily ensure sealing property, the gas sealing structure 30 partitions the drying chamber 11, and the drying chamber 11 side in the partition 15 which has the opening part 16 through which the sheet-like member S passes. A seal roll 40 disposed on the surface side opposite to the surface of ), the conveyance part labyrinth seal (60) which is arranged in the conveyance direction of the sheet-like member S and has a plurality of space portions 67 in which the seal roll 40 side is opened. And the exhaust duct 22 which makes the inside of the drying chamber 11 a negative pressure with respect to the side on which the seal roll 40 is arrange|positioned is provided.
Description
본 발명은, 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas seal structure and an extraction drying apparatus.
수지제의 박막의 시트상 부재를 성형하는 제조 장치는, 일반적으로 복수의 처리 공정을 갖고, 각 처리 공정을 거쳐 시트상 부재의 성형을 행하지만, 성형 시의 처리 공정 중에는, 처리실로부터 시트상 부재를 반송할 때, 처리실로부터의 기체의 유출을 억제하면서, 시트상 부재를 반송할 필요가 있는 경우가 있다. 시일성을 확보하여 기체의 유출을 억제하면서, 시트상 부재를 반송하기 위한 하나의 방법으로서는, 처리실의 출구에 물을 가득 채운 조를 배치하고, 처리실의 출구가 물에 잠기도록 함으로써, 처리실로부터의 기체의 유출을 억제하는 방법이 생각된다. 그러나, 이 경우, 처리실로부터 반송하는 시트상 부재는, 물속을 통과하고 나서 처리실 밖으로 반송되게 되기 때문에, 처리실로부터 반출한 후에, 물기를 없애는 공정이 필요로 되어, 물기를 없애기 위한 장치가 증가되기 때문에, 비용이 증가하거나, 장치가 대형화되기 쉬워지거나 할 우려가 있다. 이 때문에, 처리실로부터 박막의 시트상 부재를 반출하기 위한 출구는, 물을 사용하지 않고 기체의 유출을 억제할 수 있는 구성이 바람직하지만, 시트상 부재의 성형에 사용하는 종래의 장치 중에는, 물을 사용하지 않고, 시트상 부재의 반송을 행할 때의 시일성의 확보를 도모하고 있는 것이 있다.A manufacturing apparatus for molding a sheet-like member of a resin thin film generally has a plurality of processing steps, and performs molding of the sheet-like member through each processing step. It may be necessary to convey a sheet-like member while suppressing the outflow of gas from a process chamber when conveying a material. As one method for conveying the sheet-like member while ensuring the sealing property and suppressing the outflow of gas, a tank filled with water is disposed at the exit of the processing chamber, and the exit of the processing chamber is submerged in water, so that A method of suppressing the outflow of gas is conceivable. However, in this case, since the sheet-like member conveyed from the processing chamber is conveyed out of the processing chamber after passing through the water, a drying step is required after being transported from the processing chamber, and the number of drying equipment is increased. , there exists a possibility that cost may increase or an apparatus may become easy to enlarge. For this reason, the outlet for carrying out the thin-film sheet-like member from the processing chamber preferably has a configuration capable of suppressing the outflow of gas without using water. There is a thing aiming at ensuring the sealing property at the time of conveying a sheet-like member without using.
예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 롤 시일 장치에서는, 고압측과 저압측을 칸막이하는 한 쌍의 롤을 수용하는 케이싱과, 롤을 반송하는 판의 상하에 배치됨과 함께 롤의 둘레면에 선단이 근접하고, 케이싱에 기밀하게 지지되는 시일 바와, 상하의 시일 바에 의해 구획되는 공간을 폐색하도록 시일 바의 양측면부에 배치되는 어댑터를 가짐으로써, 고압측과 저압측 사이에서의 가스 이동을 최대한 작게 하고 있다. 또한, 특허문헌 2에 기재된 가스 시일 구조에서는, 제1 처리실과 제2 처리실 사이에 칸막이벽이 마련되고, 칸막이벽에는, 시트상 재료가 통과하는 개구와, 개구를 가스 시일하는 한 쌍의 시일 롤이 마련되고, 한 쌍의 시일 롤은, 시트상 재료가 양쪽 롤에 각각 소정의 접촉각으로 접촉하여 주행하도록 배치됨으로써, 표면 처리실로의 불순 가스의 혼입을 억제하고 있다.For example, in the roll sealing device described in
여기서, 한 쌍의 시일 롤 사이에 시트상 부재를 통과시킴으로써 시일성을 확보하는 경우, 시일 롤간의 간극이 중요해진다. 즉, 한 쌍의 시일 롤간의 간극이 너무 크면, 시일성을 확보하기 어려워질 우려가 있다. 한편, 한 쌍의 시일 롤간의 간극이 너무 작으면, 실제의 운전 전의 준비 단계에 있어서 시일 롤끼리의 사이에 시트상 부재를 통과시킬 때, 시트상 부재를 통과시키기 어려워져, 장치의 사용 편의성이 나빠질 우려가 있다. 이 때문에, 장치의 사용 편의성을 악화시키지 않고 시일성을 확보하기 위해서는, 한 쌍의 시일 롤의 간격을 높은 정밀도로 배치할 필요가 있어, 시일성을 확보할 때에 있어서의 용이성의 관점에서, 개량의 여지가 있었다.Here, when ensuring sealing property by passing a sheet-like member between a pair of seal rolls, the clearance gap between seal rolls becomes important. That is, when the clearance gap between a pair of sealing rolls is too large, there exists a possibility that it may become difficult to ensure sealing property. On the other hand, if the gap between the pair of seal rolls is too small, when passing the sheet-like member between the seal rolls in the preparation stage before actual operation, it becomes difficult to pass the sheet-like member, and the usability of the device is reduced. There is a risk of getting worse. For this reason, in order to ensure the sealing property without deteriorating the usability of the apparatus, it is necessary to arrange the space|interval of a pair of seal roll with high precision, and from a viewpoint of the ease in ensuring sealing property, There was room.
본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것이며, 용이하게 시일성을 확보할 수 있는 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention has been made in view of the above, and an object of this invention is to provide the gas-seal structure and extraction drying apparatus which can ensure sealing property easily.
상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 가스 시일 구조는, 처리실을 구획하고, 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 처리실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과, 상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과, 상기 처리실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트를 구비한다.In order to solve the above problems and achieve the object, a gas seal structure according to the present invention divides a processing chamber, and in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes, on the surface side opposite to the processing chamber side surface a seal roll disposed at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and disposed at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and conveying the sheet-like member A transport section labyrinth seal having a plurality of space portions arranged in the direction of the seal roll side and opened on the side of the seal roll;
또한, 상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 추출 건조 장치는, 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 성형하여 얻어진 시트상 부재로부터 용제를 사용하여 상기 액상 가소제를 추출하는 추출 장치와, 상기 시트상 부재를 건조시킴으로써 상기 시트상 부재에 부착된 상기 용제를 제거하는 건조 장치와, 상기 건조 장치의 건조실을 구획하고, 상기 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 건조실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과, 상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과, 상기 건조실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트를 구비한다.In addition, in order to solve the above problems and achieve the object, the extraction and drying apparatus according to the present invention extracts the liquid plasticizer using a solvent from a sheet-like member obtained by molding a resin material and a liquid plasticizer after melt-kneading. an extraction device; a drying device for removing the solvent adhering to the sheet-like member by drying the sheet-like member; and a partition partitioning a drying chamber of the drying device and having an opening through which the sheet-like member passes. a seal roll disposed on the surface side opposite to the drying chamber side surface, and a position opposite to the outer peripheral surface of the seal roll, and a position where the sheet-like member conveyed from the opening part can pass between the seal roll a conveyance part labyrinth seal disposed in a conveyance part arranged in the conveyance direction of the sheet-like member and having a plurality of spaces in which the seal roll side is opened, and an exhaust for setting the inside of the drying chamber to a negative pressure with respect to the side on which the seal roll is disposed Provide ducts.
본 발명에 관한 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치는, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.The gas-seal structure and extraction drying apparatus which concern on this invention exhibit the effect that sealing property can be ensured easily.
도 1은 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치의 장치 구성을 도시하는 모식도이다.
도 2는 도 1의 A-A 화살표도이다.
도 3은 도 2에 도시한 가스 시일 구조의 사시도이다.
도 4는 도 2의 B-B 단면도이다.
도 5는 도 2의 B-B 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 6은 도 2의 G-G 단면도이다.
도 7은 도 5에 도시한 반송부 래비린스 시일의 상세도이다.
도 8은 도 2의 C-C 단면도이다.
도 9는 도 2의 C-C 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시한 단부 덮개체의 사시도이다.
도 11은 도 4에 도시한 칸막이체를 반송부 측벽부가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다.
도 12는 도 4에 도시한 칸막이체를 칸막이체 개구부가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다.
도 13은 도 2에 도시한 가스 시일 구조가 갖는 반송부 상부 덮개체를 상방으로 이동시킨 상태를 도시하는 설명도이다.
도 14는 도 13의 D-D 단면도이다.
도 15는 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조의 정면도이며, 도 1의 A-A 화살표도이다.
도 16은 도 15의 E-E 단면도이다.
도 17은 도 15의 E-E 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 18은 도 15의 F-F 단면도이다.
도 19는 도 15의 F-F 단면에 있어서의 주요부 사시도이다.
도 20은 도 19에 도시한 단부 덮개체의 사시도이다.
도 21은 도 20에 도시한 단부 덮개체를 외주면측으로부터 본 사시도이다.
도 22는 도 20에 도시한 단부 덮개체를 수평 방향으로 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다.
도 23은 도 20에 도시한 단부 덮개체를 홈부를 따라서 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the apparatus structure of the extraction and drying apparatus which concerns on
FIG. 2 is an arrow view AA of FIG. 1 .
3 is a perspective view of the gas seal structure shown in FIG. 2 .
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2 .
Fig. 5 is a perspective view of an essential part in the cross section BB of Fig. 2 .
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line GG of FIG. 2 .
FIG. 7 is a detailed view of the transport part labyrinth seal shown in FIG. 5 .
FIG. 8 is a cross-sectional view taken along CC of FIG. 2 .
Fig. 9 is a perspective view of an essential part in a cross section CC of Fig. 2;
Fig. 10 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 9;
Fig. 11 is a perspective view showing a state in which the partition body shown in Fig. 4 is viewed from the side where a side wall portion of the carrying section is located.
Fig. 12 is a perspective view showing a state in which the partition body shown in Fig. 4 is viewed from the side where the partition body opening is located.
Fig. 13 is an explanatory view showing a state in which the transport section upper cover body of the gas seal structure shown in Fig. 2 is moved upward.
14 is a DD cross-sectional view of FIG. 13 .
It is a front view of the gas-seal structure which concerns on Embodiment 2, It is the arrow AA of FIG.
16 is a cross-sectional view EE of FIG. 15 .
Fig. 17 is a perspective view of an essential part in the section EE of Fig. 15 .
18 is a FF cross-sectional view of FIG. 15 .
Fig. 19 is a perspective view of an essential part in the FF section of Fig. 15 .
Fig. 20 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 19;
Fig. 21 is a perspective view of the end cover body shown in Fig. 20 as seen from the outer peripheral surface side;
Fig. 22 is a main part perspective view showing a state in which the end cover body shown in Fig. 20 is cut in the horizontal direction;
Fig. 23 is a principal part perspective view showing a state in which the end cover body shown in Fig. 20 is cut along a groove portion;
이하에, 본 개시에 관한 가스 시일 구조 및 추출 건조 장치의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 이 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 하기 실시 형태에 있어서의 구성 요소에는, 당업자가 치환 가능, 또한 용이하게 상도할 수 있는 것, 혹은 실질적으로 동일한 것이 포함된다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of the gas-seal structure which concerns on this indication, and an extraction drying apparatus is described in detail based on drawing. In addition, this invention is not limited by this embodiment. In addition, components in the following embodiment include those that can be substituted by those skilled in the art, and those that can be easily conceived, or those that are substantially the same.
[실시 형태 1][Embodiment 1]
도 1은 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치(1)의 장치 구성을 도시하는 모식도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 상하 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 상하 방향 Z로서 설명하고, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 상측을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 상측으로 하고, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 하측을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 하측으로 하여 설명한다. 또한, 추출 건조 장치(1)의 통상의 사용 상태에 있어서의 수평 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서도 수평 방향으로 하여 설명한다. 또한, 수평 방향 중, 후술하는 가스 시일 구조(30)의 시일 롤(40)의 연장 방향을 추출 건조 장치(1)에 있어서의 폭 방향 Y로 하고, 추출 건조 장치(1)의 상하 방향 Z와 폭 방향 Y의 양쪽에 직교하는 방향을, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 길이 방향 X로 하여 설명한다. 또한, 추출 건조 장치(1)에 있어서 시트상 부재 S를 반송할 때는, 시트상 부재 S의 반송 방향은 수평 방향에 있어서는 폭 방향 Y가 되기 때문에, 이하의 설명에서는, 시트상 부재 S의 반송 방향과 폭 방향 Y를 동의로 취급하는 경우도 있다.1 : is a schematic diagram which shows the apparatus structure of the extraction and drying
<추출 건조 장치(1)><Extraction drying device (1)>
본 실시 형태 1에 관한 추출 건조 장치(1)는, 주로, 리튬 이온 전지에 사용되는 세퍼레이터 필름의 제조에 사용되고, 추출 장치(5)와, 건조 장치(10)를 갖고 있다. 세퍼레이터 필름의 제조 시에 있어서의 추출 건조 장치(1)의 상류측의 공정에서는, 세퍼레이터 필름의 원료가 되는 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 시트상으로 성형하여 시트상 부재 S를 얻지만, 추출 건조 장치(1)는, 얻어진 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거하는 장치로 되어 있다.The extraction and
상세하게는, 세퍼레이터 필름의 원료가 되는 수지 재료로서는, 예를 들어 폴리에틸렌이나 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀계 수지가 사용된다. 또한, 액상 가소제로서는, 예를 들어 오일이나 유동 파라핀 등이 사용된다. 세퍼레이터 필름의 제조 시에 있어서의 추출 건조 장치(1)의 상류측의 공정에서는, 이들 수지 재료와 액상 가소제를 용융 혼련 후에 시트상으로 하고, 또한, 시트를 연신함으로써, 폴리올레핀계 수지에 다수의 미세 구멍이 개공되어 미세 구멍에 액상 가소제가 들어간 박막의 필름상의 시트상 부재 S로 한다. 추출 건조 장치(1)는, 이와 같이 형성되는 시트상 부재 S로부터, 시트상 부재 S에 함침되어 있는 액상 가소제를 추출, 제거함으로써, 폴리올레핀계 수지에 개공된 다수의 미세 구멍으로부터 액상 가소제가 빠져나가, 다수의 미세 구멍이 개공된 시트상 부재 S로 하기 위한 장치로서 구성되어 있다.In detail, as a resin material used as a raw material of a separator film, polyolefin resins, such as polyethylene and polypropylene, are used, for example. Moreover, as a liquid plasticizer, oil, liquid paraffin, etc. are used, for example. In the process on the upstream side of the extraction and drying
추출 건조 장치(1)가 갖는 추출 장치(5)는, 추출 건조 장치(1)로 반송된 시트상 부재 S에 대하여, 용제(7)를 사용하여 액상 가소제의 추출을 행한다. 이 때문에, 추출 장치(5)는, 용제(7)의 조인 용제조(6)를 갖고 있고, 용제(7)는, 용제조(6)에 저류된다. 용제(7)로서는, 예를 들어 염화메틸렌이 사용된다. 추출 장치(5)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서 용제조(6) 내의 용제(7)에 시트상 부재 S를 침지함으로써 액상 가소제를 추출하여, 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거한다.The extraction apparatus 5 which the extraction and drying
추출 건조 장치(1)가 갖는 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 추출 장치(5)의 하류측에 배치되어 있고, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 건조시킨다. 즉, 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S를 건조시킴으로써, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 시트상 부재 S로부터 제거한다.The drying
건조 장치(10)는, 시트상 부재 S의 건조를 행하는 처리실인 건조실(11)을 갖고 있고, 건조실(11)은, 용제조(6)를 통해 추출 장치(5)와 연통하고 있다. 또한, 건조 장치(10)는, 시트상 부재 S를 건조시키는 에어 나이프(25)와, 시트상 부재 S를 반송하는 롤(26)과, 에어 나이프(25)에 대하여 에어를 공급하는 급기 덕트(21)와, 건조실(11) 내의 가스를 배기하는 배기 덕트(22)를 갖고 있다. 이 중, 롤(26)은, 원주상의 형상으로 형성되고, 원주의 축 방향이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y를 따른 방향으로 건조실(11) 내에 배치되어 있다. 또한, 건조실(11)에는, 롤(26)이 복수 배치되어 있고, 복수의 롤(26)은, 원주의 축 방향이 서로 평행하게 되는 방향으로, 추출 건조 장치(1)의 길이 방향 X에 있어서의 위치나 상하 방향 Z에 있어서의 위치가 각각 다른 위치에서 배치되어 있다. 롤(26)은, 건조실(11) 내에서 시트상 부재 S를 권회하면서 회전함으로써, 시트상 부재 S를 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.The drying
에어 나이프(25)는, 건조실(11) 내에 있어서, 롤(26)에 권취되는 시트상 부재 S에 대하여 에어를 분사할 수 있는 위치에 배치되어 있다. 에어 나이프(25)는, 예를 들어 복수의 롤(26) 중 1개의 롤(26)의 근방에 배치되어 있고, 시트상 부재 S에 있어서의 당해 롤(26)에 권취되어 있는 부분에 대하여 에어를 분사할 수 있는 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 시트상 부재 S에 에어를 분사하는 에어 나이프(25)는, 급기 덕트(21)에 접속되어 있고, 급기 덕트(21)로부터 에어가 공급됨으로써, 시트상 부재 S에 에어를 분사할 수 있고, 시트상 부재 S에 에어를 분사함으로써, 시트상 부재 S를 건조시킨다. 급기 덕트(21)는, 건조 장치(10)의 외측에 배치되며, 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)로부터 공급되는 에어를 에어 나이프(25)에 공급하는 것이 가능하게 되어 있다.The
배기 덕트(22)는, 건조 장치(10)의 외측에 배치되며, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 배출하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다. 즉, 건조 장치(10)는, 용제(7)가 부착된 시트상 부재 S를 건조시키기 때문에, 추출 건조 장치(1)의 운전 시에는, 건조실(11) 내는 용제(7)가 기화된 가스가 충만하게 되지만, 배기 덕트(22)로부터 배기된 가스를 송풍 장치로 흡기하여, 가스 회수 장치로 보냄으로써, 기화된 용제(7)를 회수할 수 있다.The
또한, 건조 장치(10)에 있어서의, 건조 장치(10)에서 반송하는 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측에는, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)가 형성되어 있다. 즉, 건조 장치(10)의 건조실(11)을 구획하는 격벽(15)에 있어서의, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측에 위치하는 격벽(15)에는, 시트상 부재 S가 통과하는 개구부(16)가 형성되어 있다.Moreover, in the downstream in the conveyance direction of the sheet-like member S conveyed by the drying
또한, 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에는, 시일 롤(40)이 배치되어 있다. 시일 롤(40)은, 본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)를 구성하고 있다. 즉, 개구부(16)를 갖는 격벽(15)에 있어서의 건조실(11)측의 면의 반대측의 면측에는, 가스 시일 구조(30)가 배치되어 있고, 시트상 부재 S는, 건조실(11) 내측으로부터 가스 시일 구조(30)를 통해, 건조실(11)의 외측으로 반송되도록 구성되어 있다. 본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)는, 배기 덕트(22)도 포함하여 구성되어 있다. 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 배출함으로써, 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 것이 가능하게 되어 있다.Moreover, the sealing
<가스 시일 구조(30)><Gas seal structure (30)>
도 2는 도 1의 A-A 화살표도이다. 도 3은 도 2에 도시한 가스 시일 구조(30)의 사시도이다. 가스 시일 구조(30)가 갖는 시일 롤(40)은, 대략 원주형의 형상으로 형성되어 있고, 중심축이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y로 연장되는 방향으로 배치되고, 프레임(31)에 배치되는 베어링부(35)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링부(35)는, 프레임(31)이 갖는 지지판(33)에 배치되어 있다. 지지판(33)은, 2매가 시일 롤(40)의 길이 방향에 있어서의 양단 부근에 각각 배치되어 있고, 판의 두께 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치되어 있다.FIG. 2 is an arrow view A-A of FIG. 1 . 3 is a perspective view of the
2매의 지지판(33)은, 각각 대략 직사각 형상의 판상의 형상으로 형성되어 있고, 2매의 지지판(33) 사이에는, 스테이(32)가 배치되어 있다. 스테이(32)는, 예를 들어 각파이프에 의해 형성되어 있고, 직사각 형상의 형상으로 형성되는 지지판(33)의 4코너 부근끼리의 사이에 걸쳐, 4개가 배치되어 있다. 즉, 스테이(32)는, 폭 방향 Y로 이격되는 2매의 지지판(33)의 4코너 부근끼리의 사이에 걸쳐, 4개의 스테이(32)가 각각 폭 방향 Y로 연장되어 배치되어 있고, 각 스테이(32)의 양단은, 2매의 지지판(33)에 각각 접속되어 있다. 이에 의해, 프레임(31)은, 가스 시일 구조(30)의 골격을 이루고 있다.The two
시일 롤(40)을 회전 가능하게 지지하는 베어링부(35)는, 2매의 지지판(33)의 각각에 배치되어 있고, 시일 롤(40)은, 길이 방향에 있어서의 양단측에 위치하는 축 단부(45)가, 각각 회전 가능하게 베어링부(35)에 지지되어 있다. 이에 의해, 시일 롤(40)은, 회전축이 추출 건조 장치(1)의 폭 방향 Y로 연장되는 방향으로, 2매의 지지판(33)끼리의 사이에 회전 가능하게 배치되어 있다. 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)이 배치되는 2매의 지지판(33)끼리의 사이를 통해 반송된다.The bearing
또한, 시일 롤(40)이 배치되는 2매의 지지판(33)끼리의 사이에는, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90)가 배치되어 있다. 이 중, 반송부 덮개체(50)는, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송될 때에 있어서의, 폭 방향 Y에 있어서 시트상 부재 S가 통과하는 위치에 배치되어 있다. 반송부 덮개체(50)는, 상하 방향 Z에 있어서의 시일 롤(40)의 상측과 하측에 배치되어 있고, 시일 롤(40)의 상측에 배치되는 반송부 상부 덮개체(51)와, 시일 롤(40)의 하측에 배치되는 반송부 하부 덮개체(52)를 갖고 있다. 또한, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 배치되는 위치의 양측에 배치되어 있다.Moreover, the conveyance
<스트로크 구조(70)><Stroke structure (70)>
반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52) 중, 반송부 상부 덮개체(51)는, 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 상세하게는, 상하 방향 Z에 있어서의 프레임(31)의 상측에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상하 방향 Z로 이동시키기 위한 스트로크 구조(70)가 배치되어 있고, 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 연결됨으로써, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.Among the transport section
도 4는 도 2의 B-B 단면도이다. 도 5는 도 2의 B-B 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 스트로크 구조(70)는, 2조가 폭 방향 Y로 간격을 두고 프레임(31)의 상측에 배치되어 있다. 각 스트로크 구조(70)는, 에어 실린더(71)를 갖고 있고, 에어 실린더(71)는, 지주(80)와 지지 부재(81)에 의해 지지되어 있다. 지주(80)는, 1개의 스트로크 구조(70)당 4개가 마련되어 있고, 4개의 지주(80)는, 폭 방향 Y와 길이 방향 X로 간격을 두고, 프레임(31)이 갖는 상측의 스테이(32)의 상부에 상하 방향 Z를 향하여 세워 설치되어 있다. 지지 부재(81)는, 길이 방향 X로 연장되어 배치되어 있고, 4개의 지주(80)의 상단에 연결되어 있다.FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 2 . Fig. 5 is a perspective view of an essential part in the cross section B-B of Fig. 2; As for the
에어 실린더(71)는, 로드(73)가 스트로크하는 방향이 상하 방향 Z로 되는 방향으로, 지지 부재(81)의 상측에 설치되어 있다. 즉, 에어 실린더(71)는, 로드(73)가 에어 실린더(71)의 본체부(72)에 대하여 상하 방향 Z에 있어서의 하측에 위치하는 방향으로 배치되고, 본체부(72)가 지지 부재(81)의 상측에 설치되어 있고, 로드(73)는 지지 부재(81)를 상하 방향 Z로 관통하고 있다.The
로드(73)의 선단은, 브래킷(85)의 상단에 연결되어 있고, 브래킷(85)의 하단은, 반송부 상부 덮개체(51)에 연결되어 있다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)는, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 본체부(72)에 대하여 상하 방향 Z로 신축함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)도 로드(73)와 함께 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.The front end of the
이와 같이, 로드(73)와 반송부 상부 덮개체(51)에 연결되는 브래킷(85)은, 길이 방향 X의 양측으로 연장되는 암(86)을 갖고 있다. 암(86)은, 폭 방향 Y로 간격을 두고 인접하여 배치되는 지주(80)끼리의 사이에 들어가 있다.In this way, the
상세하게는, 폭 방향 Y로 인접하는 지주(80)끼리에 있어서의, 서로 다른 쪽의 지주(80)가 위치하는 측의 면에는, 암(86)을 가이드하는 가이드 블록(82)이 각각 설치되어 있고, 인접하는 지주(80)의 가이드 블록(82)끼리는, 대향하여 배치되어 있다. 대향하는 가이드 블록(82)끼리의 간격은, 폭 방향 Y에 있어서의 브래킷(85)의 암(86)의 두께보다도, 약간 넓은 정도의 간격으로 되어 있다.In detail, the guide blocks 82 which guide the
도 6은 도 2의 G-G 단면도이다. 브래킷(85)의 암(86)에는, 길이 방향 X에 있어서의 양단 부분에, 길이 방향 X에 있어서의 중앙 근방의 부분보다도 폭 방향 Y의 두께가 얇게 된 협폭부(86a)가 형성되어 있다. 대향하는 가이드 블록(82)끼리의 간격은, 이와 같이 브래킷(85)의 암(86)에 형성되는 협폭부(86a)의 두께보다도, 약간 넓은 정도의 간격으로 되어 있다. 브래킷(85)의 암(86)은, 협폭부(86a)가, 지주(80)에 설치되어 대향하는 가이드 블록(82)의 사이에 들어가 있다. 이 때문에, 브래킷(85)은, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신축하여 브래킷(85)이 상하 방향 Z로 이동할 때, 가이드 블록(82)에 가이드되면서 이동하기 때문에, 폭 방향 Y의 흔들림이 규제된다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line G-G of FIG. 2 . The
또한, 브래킷(85)의 암(86)에는, 협폭부(86a)가 형성됨으로써, 암(86)의 길이 방향 X에 있어서의 중앙 근방의 부분과 협폭부(86a)의 경계에, 단차부(86b)가 형성되어 있다. 암(86)의 협폭부(86a)가, 대향하는 가이드 블록(82) 사이에 들어가 있는 상태에서는, 단차부(86b)는, 가이드 블록(82)과의 사이에 길이 방향 X로 약간의 간극을 갖는 위치에 배치된다. 이 때문에, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신축하여 브래킷(85)이 상하 방향 Z로 이동할 때는, 단차부(86b)가 가이드 블록(82)에 가이드되면서 이동함으로써, 브래킷(85)은, 길이 방향 X의 흔들림도 규제된다.Further, the
또한, 브래킷(85)의 암(86)에는, 상하 방향 Z의 하측의 면에, 스토퍼(87)가 설치되어 있다. 스토퍼(87)는, 지주(80)가 세워 설치되어 있는 프레임(31)의 스테이(32)의 상면에 대향하는 위치에 배치되어 있어, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신장하였을 때는, 스테이(32)에 맞닿도록 배치되어 있다. 또한, 스토퍼(87)는, 브래킷(85)의 암(86)으로부터의, 하방으로의 돌출량을 조절할 수 있고, 이에 의해, 스토퍼(87)는, 당해 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿았을 때에 있어서의, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 스토퍼(87)는, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿았을 때에 있어서의, 시일 롤(40)에 대한 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z의 상대적인 위치를 조절할 수 있다.Further, on the
반송부 상부 덮개체(51)는, 이와 같이 구성되어 폭 방향 Y로 간격을 두고 배치되는 2조의 스트로크 구조(70)에 의해, 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 즉, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동함으로써, 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터의 거리를 변화시킬 수 있다.The conveyance part
한편, 반송부 덮개체(50) 중, 시일 롤(40)의 하측에 배치되는 반송부 하부 덮개체(52)는, 잭 구조(36)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다. 잭 구조(36)는, 볼트나 너트를 사용함으로써, 반송부 하부 덮개체(52)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절할 수 있고, 반송부 하부 덮개체(52)는, 이 잭 구조(36)에 의해, 시일 롤(40)에 대한 상하 방향 Z의 상대적인 위치를 조절할 수 있다.On the other hand, among the conveyance
<반송부 래비린스 시일(60)> <Transport part labyrinth seal (60)>
또한, 반송부 덮개체(50)에는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 반송부 래비린스 시일(60)이 배치되어 있다. 상세하게는, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)는, 폭 방향 Y로 보았을 때에 있어서의 형상이, 하측이 개구되는 역ㄷ자상이 되는 케이싱(53)을 갖고 있고, 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)은, 하측이 개구되는 형상이며, 폭 방향 Y로 연장되어 있다. 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 이와 같이 하측이 개구되는 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)에 있어서의, 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)의 케이싱(53)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 부분이 개구되어 있고, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 부분에 배치되어 있다.In addition, the conveyance
또한, 반송부 덮개체(50)가 갖는 반송부 하부 덮개체(52)는, 폭 방향 Y로 보았을 때에 있어서의 형상이, 상측이 개구되는 역ㄷ자상이 되는 케이싱(53)을 갖고 있고, 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)은, 상측이 개구되는 형상이며, 폭 방향 Y로 연장되어 있다. 반송부 하부 덮개체(52)에 배치되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 하부 래비린스 시일(62)은, 이와 같이 상측이 개구되는 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)에 있어서의, 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 반송부 하부 덮개체(52)의 케이싱(53)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 부분이 개구되어 있고, 반송부 하부 덮개체(52)에 배치되는 반송부 하부 래비린스 시일(62)은, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 부분에 배치되어 있다.Moreover, the conveyance part
반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 있어서의, 상하 방향 Z의 개구부에 배치됨으로써, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되어 있고, 즉, 케이싱(53)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 위치에서 보유 지지되어 있다.The transport
여기서, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 경우에는, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 권취되어 반송되지만, 그때, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 상하 방향 Z의 상단 부근에 권취된다. 즉, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송되는 경우에는, 시트상 부재 S는, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 상부 덮개체(51) 사이를 통해 반송된다. 이 때문에, 반송부 덮개체(50)에 의해 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60) 중, 반송부 상부 덮개체(51)에 의해 보유 지지되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)(도 1 참조)로부터 반송되는 시트상 부재 S를, 시일 롤(40)과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 래비린스 시일(61)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 권취되는 시트상 부재 S에 있어서의, 시일 롤(40)이 위치하는 측의 반대측의 면측에 배치되어 있다.Here, when the sheet-like member S is conveyed through the
도 7은 도 5에 도시한 반송부 래비린스 시일(60)의 상세도이다. 또한, 도 7에서는, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60) 중, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되는 반송부 상부 래비린스 시일(61)을 도시하고 있지만, 반송부 하부 덮개체(52)에 보유 지지되는 반송부 하부 래비린스 시일(62)도 마찬가지의 구성으로 되어 있다.FIG. 7 is a detailed view of the transport
반송부 래비린스 시일(60)은, 복수의 칸막이판(63)과, 복수의 스페이서(64)를 갖고 있고, 이들을 보유 지지 볼트(65)로 겹쳐 케이싱(53)에 설치함으로써, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되어 있다. 상세하게는, 칸막이판(63)은, 두께가 비교적 얇은 수지제의 판상 부재로 되어 있고, 길이가 케이싱(53)의 폭 방향 Y에 있어서의 길이와 동일 정도의 길이로 되어 있다. 본 실시 형태 1에서는, 1개의 반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 형성되는 칸막이판(63)을 6매 갖고 있고, 판의 두께 방향이 길이 방향 X로 되고, 판의 길이 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치된다.The transport
스페이서(64)는, 두께가 칸막이판(63)의 두께보다도 두껍고, 길이가 칸막이판(63)의 길이와 동일 정도의 길이로 되어 있고, 칸막이판(63)과 마찬가지로, 판의 두께 방향이 길이 방향 X로 되고, 판의 길이 방향이 폭 방향 Y로 되는 방향으로 배치된다. 또한, 스페이서(64)는, 상하 방향 Z에 있어서의 폭이, 동일 방향에 있어서의 칸막이판(63)의 폭보다도 좁게 되어 있다. 이와 같이 형성되는 스페이서(64)는, 길이 방향 X에 있어서 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이에 배치되어 있고, 스페이서(64)는, 복수의 칸막이판(63)에 있어서의, 인접하는 모든 칸막이판(63)끼리의 사이에 배치되어 있다. 환언하면, 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)는, 교호로 겹쳐 배치되어 있다. 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)가 겹쳐지는 방향은, 시트상 부재 S가 가스 시일 구조(30)를 통해 반송될 때에 있어서의, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 되어 있다.The
반송부 래비린스 시일(60)은, 이와 같이 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 겹쳐진 상태에서, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 있어서의, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하여 개구되어 있는 부분에 배치되어 있다. 즉, 칸막이판(63)과 스페이서(64)는, 각각 복수가 교호로 겹쳐진 상태에서, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)에 대하여, 케이싱(53)의 개구부로부터 내측에 들어가 배치되어 있다.The conveyance
또한, 칸막이판(63)과 스페이서(64)에는, 각각 보유 지지 볼트(65)가 통과하는 구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 각각의 구멍에는, 케이싱(53)의 내측에 들어가 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 겹쳐진 상태에서, 보유 지지 볼트(65)가 통과된다. 케이싱(53)의 길이 방향 X에 있어서의 양측의 내측 부분 중, 케이싱(53)에 대하여 외측으로부터 보유 지지 볼트(65)를 통과시키는 측의 반대측에 위치하는 내측 부분에는, 보유 지지 볼트(65)와 나사 결합하는 나사 구멍(도시 생략)이 형성된 설치 부재(66)가 배치되어 있다. 보유 지지 볼트(65)는, 교호로 겹쳐지는 칸막이판(63)과 스페이서(64)에 통과된 상태에서, 설치 부재(66)의 나사 구멍에 체결됨으로써, 케이싱(53)에 설치된다.Further, holes (not shown) through which the holding
그때, 칸막이판(63)은, 스페이서(64)나 케이싱(53)보다도, 시일 롤(40)이 위치하는 측으로 돌출되는 상태로 설치된다. 예를 들어, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60)인 반송부 상부 래비린스 시일(61)에서는, 칸막이판(63)의 상하 방향 Z에 있어서의 하측의 단부가, 스페이서(64)나 케이싱(53)의 하측의 단부보다도 하방에 위치하고 있으며, 시일 롤(40)의 외주면(41) 근방에 위치하고 있다. 이 때문에, 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이의 부분은, 인접하는 칸막이판(63)과, 이들 사이에 위치하는 스페이서(64)에 의해 구획되는 공간부(67)가 형성되어 있다. 인접하는 칸막이판(63)끼리의 사이에는, 각각의 칸막이판(63)끼리의 사이에, 이와 같이 공간부(67)가 형성되어 있다. 공간부(67)는, 칸막이판(63)과 스페이서(64)가 중첩되는 방향으로 복수가 나란히 배치되어 있기 때문에, 공간부(67)는, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 나란히 배치되어 있다.In that case, the
또한, 이들 복수의 공간부(67)는, 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되어 있다. 예를 들어, 반송부 상부 래비린스 시일(61)에서는, 칸막이판(63)끼리의 사이에 위치하는 공간부(67)는, 상하 방향 Z에 있어서의 하측에 개구되어 있지만, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 하측에는 시일 롤(40)이 배치되기 때문에, 각 공간부(67)는, 시일 롤(40)측이 개구되어 있다.Moreover, as for these some
또한, 칸막이판(63)과 스페이서(64)는, 보유 지지 볼트(65)가 통과하는 구멍에 보유 지지 볼트(65)가 통과됨으로써 케이싱(53)에 설치되지만, 칸막이판(63)에 형성되는 보유 지지 볼트(65)용의 구멍은, 상하 방향 Z가 긴 측이 되는 긴 구멍으로 되어 있다. 이 때문에, 칸막이판(63)은, 보유 지지 볼트(65)를 체결할 때, 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 긴 구멍을 따라서 이동시킴으로써, 케이싱(53)에 설치되었을 때에 있어서의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절할 수 있다. 즉, 칸막이판(63)은, 케이싱(53)으로부터 시일 롤(40)이 위치하는 측으로 돌출될 때에 있어서의 돌출량을 조절하여, 케이싱(53)에 설치할 수 있다. 이에 의해, 칸막이판(63)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)과의 거리를 조절할 수 있어, 칸막이판(63)의 단부와 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 간극을 조절할 수 있다. 가스 시일 구조(30)의 사용시에는, 칸막이판(63)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)과의 간극을, 예를 들어 1㎜ 정도로 조절하여 사용된다.In addition, the
<단부 덮개체(90)><
도 8은 도 2의 C-C 단면도이다. 도 9는 도 2의 C-C 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 양측에 배치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부가, 프레임(31)이 갖는 지지판(33)에 설치되어 있다. 이에 의해, 반송부 덮개체(50)는, 프레임(31)과 일체로 되어 배치되어 있다.FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line C-C of FIG. 2 . Fig. 9 is a perspective view of a principal part taken along a line C-C in Fig. 2; As for the edge
프레임(31)에 설치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 원주 방향에 있어서의 소정의 범위를 덮어 배치되어 있다. 상세하게는, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 상하 방향 Z의 상단의 위치로부터, 길이 방향 X에 있어서 건조 장치(10)의 건조실(11)이 위치하는 측을 통과하여, 상하 방향 Z의 하단의 위치까지의, 약 반주에 걸쳐 시일 롤(40)의 외주면(41)을 덮어 배치되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 있어서의, 시일 롤(40)의 원주 방향의 약 180°의 범위를 덮어 배치되어 있다.The edge
단부 덮개체(90)에 있어서의 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 측의 면인 내주면(91)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 따라서 형성되는 면으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)은, 단부 덮개체(90)를 폭 방향 Y로 본 경우에 있어서의 형상이, 원호상이 되는 형상으로 형성되어 있다. 또한, 단부 덮개체(90)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 건조 장치(10)의 건조실(11)이 위치하는 측의 면인 외주면(92)도, 단부 덮개체(90)를 폭 방향 Y로 본 경우에 있어서의 형상이, 내주면(91)과 동심원이 되는 원호상의 형상으로 형성되어 있다.The inner
이와 같이, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 원주 방향으로 덮어 배치되는 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에는, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있다. 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 시일 롤(40)의 원주 방향을 따라서 형성되어 있다.In this way, the roll
도 10은 도 9에 도시한 단부 덮개체(90)의 사시도이다. 단부 덮개체(90)에 형성되는 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 원주 방향을 따라서 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에 형성되는 홈부(96)에 의해 형성되어 있다. 1개의 단부 덮개체(90)에는, 홈부(96)는 2개가 형성되어 있고, 2개의 홈부(96)는, 폭 방향 Y, 즉, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 나란히 형성되어 있다.FIG. 10 is a perspective view of the
롤 단부 래비린스 시일(95)은, 이와 같이 홈부(96)에 의해 형성되기 때문에, 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되는 공간부(97)를 갖고 있다. 즉, 홈부(96)의 내측은 공간으로 되어 있고, 또한, 홈부(96)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 내주면(91)에 개구되는 홈으로서 형성되어 있기 때문에, 홈부(96)로 이루어지는 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)측이 개구되는 공간부(97)를 갖고 있다.Since the roll edge
또한, 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되는 2개의 홈부(96)를 갖고 형성되어 있기 때문에, 공간부(97)도, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 2개가 배열되어 있다. 이 때문에, 롤 단부 래비린스 시일(95)은, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)를 갖고 있다.Further, since the roll
또한, 롤 단부 래비린스 시일(95)을 형성하는 홈부(96)의 내측에는, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원주 방향에 있어서의 양단 부근에, 폐색부(98)가 형성되어 있다. 폐색부(98)는, 홈부(96)의 내측에 있어서의, 홈 바닥이나 홈 벽에 연결되는 돌기상의 형상으로 형성되어 있고, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)보다도 돌출되지 않는 높이로 형성되어 있다. 이에 의해, 롤 단부 래비린스 시일(95)에 있어서의 홈부(96)의 내측에 위치하는 공간부(97)는, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원주 방향에 있어서의 양단 부근이, 폐색부(98)에 의해 폐색되어 있다.Further, inside the
<칸막이체(100)><Partition body (100)>
이와 같이 구성되는 단부 덮개체(90) 및 반송부 덮개체(50)와, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)(도 1 참조) 사이에는, 칸막이체(100)가 배치되어 있다. 칸막이체(100)는, 칸막이체(100)를 프레임(31)에 설치하는 브래킷(101)과, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)에 연통하는 칸막이체 개구부(104)와, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 위치하는 측을 향하여 배치되는 반송부 측벽부(102) 및 단부 측벽부(103)를 갖고 있다.Between the
도 11은 도 4에 도시한 칸막이체(100)를 반송부 측벽부(102)가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다. 도 12는 도 4에 도시한 칸막이체(100)를 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측으로부터 본 상태를 도시하는 사시도이다. 칸막이체(100)가 갖는 칸막이체 개구부(104)는, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)와 상하 방향 Z에 있어서의 크기가 거의 동일한 크기의 직사각 형상의 구멍으로 되어 있다. 본 실시 형태 1에서는, 칸막이체 개구부(104)는, 폭 방향 Y에 평행한 변과, 상하 방향 Z에 평행한 변을 갖는 직사각 형상의 형상으로 형성되어 있다. 칸막이체 개구부(104)는, 가스 시일 구조(30)를 건조 장치(10)에 배치한 상태에서는, 격벽(15)의 개구부(16)의 위치와 거의 일치하고, 실질적으로 격벽(15)의 개구부(16)와 동일한 역할을 한다.Fig. 11 is a perspective view showing the
또한, 칸막이체(100)는, 폭 방향 Y에 있어서의 길이가, 동일 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 길이보다도 길게 되어 있고, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치하는 상태에서는, 칸막이체(100)는, 일부가 단부 덮개체(90)와 길이 방향 X로 겹쳐서 배치된다. 또한, 칸막이체(100)가 갖는 칸막이체 개구부(104)도 마찬가지로, 폭 방향 Y에 있어서의 길이가 반송부 덮개체(50)의 길이보다도 길게 되어 있고, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치하는 상태에서는, 칸막이체 개구부(104)의 일부도 단부 덮개체(90)와 길이 방향 X로 겹친다.In addition, the
칸막이체(100)의 브래킷(101)은, 판상의 형상으로 칸막이체 개구부(104)의 주위에 형성되는 부위로 되어 있고, 브래킷(101)은, 칸막이체 개구부(104)의 주위에, 차양상, 혹은 플랜지상의 형상으로 형성되어 있다.The
반송부 측벽부(102)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에 있어서, 칸막이체 개구부(104)의 상하 방향 Z에 있어서의 상측의 변의 위치와 하측의 변의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측으로 연장되는 판상의 부재로 되어 있다. 즉, 반송부 측벽부(102)는, 두께 방향이 상하 방향 Z가 되는 방향으로 형성되는 판상의 부재로 되어 있고, 폭 방향 Y에 있어서의 폭이, 칸막이체 개구부(104)의 동일 방향에 있어서의 폭과 동일한 폭이 되어 형성되어 있다.In the state in which the
또한, 반송부 측벽부(102)는, 반송부 덮개체(50)의 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52)에 대응하여 2개소에 형성되고, 칸막이체 개구부(104)의 상측의 변의 위치로부터 반송부 상부 덮개체(51)가 위치하는 측으로 연장되는 부분과, 칸막이체 개구부(104)의 하측의 변의 위치로부터 반송부 하부 덮개체(52)가 위치하는 측으로 연장되는 부분을 갖고 있다. 이들 반송부 측벽부(102)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 길이 방향 X에 있어서의 칸막이체 개구부(104)측의 단부의 반대측의 단부가, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)의 근방에 위치하고 있다(도 4 참조). 또한, 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)의 근방에 위치하는 측의 단부는, 서로 다른 쪽의 반송부 측벽부(102)가 위치하는 측을 향하여 절곡되어 있다.In addition, the carrying part
단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에 있어서, 칸막이체 개구부(104)의 폭 방향 Y에 있어서의 양측 2개소의 변의 위치로부터, 단부 덮개체(90)가 위치하는 측으로 연장되는 판상의 부재로 되어 있다. 즉, 2개소의 단부 측벽부(103)는, 모두 두께 방향이 폭 방향 Y가 되는 방향으로 형성되는 판상의 부재로 되어 있고, 상하 방향 Z에 있어서의 폭이, 칸막이체 개구부(104)의 동일 방향에 있어서의 폭과 동일한 폭이 되어 형성되어 있다.In the state where the
또한, 단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 길이 방향 X에 있어서의 칸막이체 개구부(104)측의 단부의 반대측의 단부가, 단부 덮개체(90)의 근방에 위치하고 있다(도 8 참조). 또한, 단부 측벽부(103)에 있어서의, 단부 덮개체(90)의 근방에 위치하는 측의 단부는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)의 형상을 따라서 원호상으로 형성되는 부분을 갖고 있다.Moreover, in the state where the
이와 같이 형성되는 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 직사각 형상으로 형성되는 칸막이체 개구부(104)의 변의 위치로부터 길이 방향 X로 연장되어 형성되기 때문에, 칸막이체(100)를 길이 방향 X로 본 경우, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)도, 칸막이체 개구부(104)와 마찬가지로 직사각 형상으로 되어 있다. 즉, 각각 2개소씩에 형성되는 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 인접하는 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)가 접속됨으로써, 각통상의 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)는, 칸막이체(100)를 가스 시일 구조(30)에 배치한 상태에서는, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐, 각통의 외부와는 이격되는 통로를 형성하고 있다.Since the carrying part
길이 방향 X로 본 경우에 있어서의, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해 형성되는 각통의 내측에는, 반송부 래비린스 시일(60)이나 시일 롤(40)이 위치하기 때문에, 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해 형성되는 통로는, 칸막이체 개구부(104)로부터, 시일 롤(40)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 향한 통로로 되어 있다. 환언하면, 칸막이체 개구부(104)는, 실질적으로 격벽(15)의 개구부(16)와 동일한 역할을 하기 때문에, 칸막이체(100)는, 개구부(16)와, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하고 있다.When viewed in the longitudinal direction X, inside the square cylinder formed by the conveying unit
<시일 부재(110)><Sealing
또한, 프레임(31), 스테이(32), 반송부 덮개체(50), 단부 덮개체(90), 칸막이체(100)에는, 각각이 서로 근접, 혹은 접촉하는 부분에, 기밀성을 확보하는 시일 부재(110)가 배치되어 있다. 예를 들어, 반송부 덮개체(50)의 폭 방향 Y에 있어서의 양단에는, 시일 부재(110)로서 반송부 덮개체측 시일 부재(111)가 배치되고, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부에는, 시일 부재(110)로서 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 배치되어 있다(도 2 참조). 이들 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 상하 방향 Z로 이동 가능한 반송부 상부 덮개체(51)의 위치가, 가스 시일 구조(30)의 실제의 사용 상태의 위치, 즉, 반송부 상부 덮개체(51)가 하부 근방에 위치하여 시일 롤(40)에 접근한 상태의 위치에서는, 서로 접촉하는 위치 관계로 되어 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치가 상부 근방에 위치하고, 시일 롤(40)로부터 상방으로 이격된 상태의 위치에서는, 서로 이격한다. 또한, 이와 같이 접촉하거나 이격하거나 하는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이, 반송부 덮개체(50)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있다.In addition, in the
또한, 반송부 덮개체(50)에는, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)가 근접하고 있는 부분 부근에, 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 단부 측벽부(103)에 의해 형성하는 통로의 외측의 면에 접촉하는 시일 부재(110)인, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 배치되어 있다(도 4 참조). 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 덮개체(51)와 반송부 하부 덮개체(52)의 양쪽에 배치되어 있고, 어느 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)도, 반송부 상부 덮개체(51)나 반송부 하부 덮개체(52)를 따라서 폭 방향 Y로 연장되어 형성되어 있다. 또한, 칸막이체(100)에는, 브래킷(101)에 있어서의 스테이(32)나 프레임(31)에 접하는 측의 면에, 시일 부재(110)인 칸막이체 브래킷 시일 부재(118)(도 5, 도 8 참조)가 배치되어 있다. 칸막이체 브래킷 시일 부재(118)는, 칸막이체(100)의 브래킷(101)에 있어서의 칸막이체 개구부(104)를 둘러싸는 위치에, 칸막이체 개구부(104)의 일주에 걸쳐 배치되어 있다.In addition, in the carrying
또한, 칸막이체(100)에는, 시일 부재(110)로서 칸막이체 외측 시일 부재(116)와 칸막이체 내측 시일 부재(117)가 배치되어 있다(도 8 참조). 이 중, 칸막이체 외측 시일 부재(116)는, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에 있어서, 단부 덮개체(90)의 상단에 상측에 위치하는 부분과, 단부 덮개체(90)의 하단에 하측에 위치하는 부분에, 각각 배치되어 있어, 각각 단부 덮개체(90)에 접촉한다.Moreover, in the
또한, 칸막이체 내측 시일 부재(117)는, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에 있어서, 반송부 측벽부(102)에 의해 형성하는 통로의 내측의 면에 배치되어 있다. 즉, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)을 따라서 원호상으로 형성되는 부분을 포함하여 형성되어 있지만, 칸막이체 내측 시일 부재(117)는, 칸막이체 개구부(104)의 단부와 마찬가지로 단부 덮개체(90)의 외주면(92)을 따라서 형성되어, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 접촉한다.In addition, the partition body
이와 같이, 다른 부재끼리가 근접하거나 접촉하거나 하는 부분에 배치되는 시일 부재(110)는, 고무 부재 등의 탄력성을 갖는 재료로 이루어지고, 탄성 변형에 의해, 목적의 부재에 대하여 접촉면이 밀착하여 접촉함으로써, 기밀성을 확보하는 것이 가능하게 되어 있다.As described above, the sealing
<가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)의 작용><Operation of
본 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)는, 이상과 같은 구성을 포함하고, 이하, 그 작용에 대하여 설명한다. 추출 건조 장치(1)에 구비되는 가스 시일 구조(30)의 사용 시에는, 먼저, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 조절한다. 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 조절할 때는, 예를 들어 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 보유 지지 볼트(65)를 느슨하게 한 상태에서, 칸막이판(63)을 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉시켜, 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태에서 보유 지지 볼트(65)를 체결한다. 그 후, 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극이 원하는 간극으로 되도록, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 반송부 덮개체(50)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치를 조절한다.The
반송부 덮개체(50)의 조절은, 반송부 상부 덮개체(51)에서는, 스트로크 구조(70)에 구비되는 스토퍼(87)의 조절에 의해 행한다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)는, 스트로크 구조(70)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있지만, 에어 실린더(71)의 로드(73)가 신장된 상태에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치는, 스토퍼(87)에 의해 조절 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극의 조절은, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태로부터, 스토퍼(87)를 조절함으로써, 원하는 간극 분, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 한다.Adjustment of the conveyance
또한, 반송부 하부 덮개체(52)에서는, 잭 구조(36)의 조절에 의해 행한다. 즉, 반송부 하부 덮개체(52)는, 잭 구조(36)에 의해 상하 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극의 조절은, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)이 시일 롤(40)의 외주면(41)에 접촉하고 있는 상태로부터, 잭 구조(36)를 조절함으로써, 원하는 간극분, 반송부 하부 덮개체(52)를 하방으로 이동시킨다. 이에 의해, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 한다.In addition, in the conveyance part
이와 같이 하여 조절하는 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 예를 들어 1㎜ 정도로 조절한다.The clearance between the
또한, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 이 이외의 방법에 의해 행해도 된다. 예를 들어, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 원하는 간극과 동일한 크기의 두께를 갖는 조절용 시트(도시 생략)를 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 위치시키고, 이 상태에서 칸막이판(63)의 상하 방향 Z의 위치를 조절하여, 칸막이판(63)을 당해 조절용 시트에 접촉시킨다. 그 후, 조절용 시트를 빼냄으로써, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을, 원하는 간극으로 할 수 있다.In addition, you may perform the clearance gap between the
이와 같이 하여, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 원하는 간극으로 한 후, 추출 건조 장치(1)에서 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 연속하는 박막의 필름상으로 형성되는 시트상 부재 S를, 장치의 운전 전에 추출 건조 장치(1)에 있어서의 반송 경로에 통과시킨다. 이 때문에, 추출 건조 장치(1)에 배치되는 가스 시일 구조(30)에 있어서의 시트상 부재 S의 반송 경로에도, 시트상 부재 S를 통과시킨다.In this way, after making the gap between the
가스 시일 구조(30)에서는, 시트상 부재 S의 반송 경로는, 반송부 상부 덮개체(51)가 보유 지지하는 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분으로 되어 있다. 이 때문에, 가스 시일 구조(30)에 있어서의 시트상 부재 S의 반송 경로에 시트상 부재 S를 통과시킬 때는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분에 통과시키지만, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 작은 간극으로 조절되어 있다.In the
한편, 시트상 부재 S는, 박막의 필름상이며, 강성이 낮기 때문에, 작은 간극의 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시키는 것은, 매우 곤란하게 되어 있다. 이 때문에, 시트상 부재 S를 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이로 통과시킬 때는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)을 보유 지지하는 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨다. 이 경우에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z의 이동은, 스트로크 구조(70)를 작동시킴으로써 행한다.On the other hand, the sheet-like member S is in the form of a thin film and has low rigidity. It is very difficult to let the sheet-like member S pass. For this reason, when passing the sheet-like member S between the conveyance part
도 13은 도 2에 도시한 가스 시일 구조(30)가 갖는 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킨 상태를 도시하는 설명도이다. 도 14는 도 13의 D-D 단면도이다. 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시킬 때는, 스트로크 구조(70)가 갖는 에어 실린더(71)의 로드(73)를 수축한다. 이에 의해, 로드(73)에 연결되어 있는 브래킷(85)이 가이드 블록(82)에 가이드되면서 상방으로 이동하고, 가이드 블록(82)에 연결되어 있는 반송부 상부 덮개체(51)도, 브래킷(85)의 이동에 수반하여 상방으로 이동한다.13 : is explanatory drawing which shows the state which moved the conveyance part
반송부 상부 덮개체(51)가 상방으로 이동함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)에 보유 지지되어 있는 반송부 상부 래비린스 시일(61)도 상방으로 이동하기 때문에, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극은, 매우 커진다. 시트상 부재 S는, 이와 같이 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극이 커진 상태에서, 양쪽의 사이를 통과한다.When the transport section
반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시키면, 스트로크 구조(70)가 갖는 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킨다.When the sheet-like member S is passed between the conveyance part
여기서, 스트로크 구조(70)가 갖는 브래킷(85)에 설치되어 있는 스토퍼(87)는, 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장하여 브래킷(85)이 하방으로 이동한 경우에는, 프레임(31)의 상측 스테이(32)의 상면에 맞닿는다(도 2 참조). 이에 의해, 브래킷(85)은, 상하 방향 Z에 있어서의 하방으로의 이동이 규제되어, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿아 있는 위치보다도 하방으로 이동할 수 없게 된다. 이것에 수반하여, 브래킷(85)에 연결되어 있는 반송부 상부 덮개체(51)도, 스토퍼(87)가 스테이(32)에 맞닿아 있는 위치보다도 하방으로 이동할 수 없게 된다.Here, when the
이 때문에, 에어 실린더(71)의 로드(73)를 신장함으로써, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킨 경우, 반송부 상부 덮개체(51)의 상하 방향 Z에 있어서의 위치는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41)의 간극을 원하는 간극으로 조절하였을 때에 있어서의 위치로 된다. 따라서, 시트상 부재 S는, 원하는 간극으로 조절된 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이로 통과된 상태로 되어, 시트상 부재 S를 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이에 두고 반송할 수 있는 상태로 된다.For this reason, when the conveyance part
또한, 반송부 상부 덮개체(51)에는, 시일 부재(110)인 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 배치되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 다른 부재와 접촉하여 시일면을 형성한다. 상세하게는, 폭 방향 Y에 있어서의 반송부 상부 덮개체(51)의 양단에 배치되어 있는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동 시켰을 때는, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 접촉한다.Moreover, since the conveyance part lid body
즉, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시켰을 때는 단부 덮개체측 시일 부재(112)로부터 이격되지만, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)는 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 접촉한다. 환언하면, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)이 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는 서로 이격하고, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는 서로 접촉한다.That is, the conveyance part cover body
이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부와, 단부 덮개체(90)의 폭 방향 Y에 있어서의 단부는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켜 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)에 의해, 기밀성이 확보된다. 그때, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)는, 강하 동작이 방해되지 않는다. 즉, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)나 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 형상이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 직교하는 면을 갖는 형상인 경우에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 직교하는 면끼리가 접촉하여, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작 중에 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 걸릴 우려가 있다. 이에 반해, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이, 반송부 상부 덮개체(51)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있는 경우에는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작을 방해하는 일없이 이동시킬 수 있다.Thereby, the edge part in the width direction Y of the conveyance part
또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킴으로써 양쪽의 접촉면이 접촉하였을 때는, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 반송부 상부 덮개체(51)의 폭 방향 Y에 있어서의 위치를 소정의 위치에 위치시키는 센터링 작용을 발생시킨다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 배치 위치의 재현성을 높일 수 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 서로가 접촉할 때는, 각각 압축되는 상태로 접촉한다. 이에 의해, 보다 높은 기밀성이 확보된다.Moreover, since the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body
또한, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방으로 이동시켰을 때는 칸막이체(100)로부터 이격되지만, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켰을 때는, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 접촉한다. 환언하면, 반송부 상부 덮개체(51)에 배치되는 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)이 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는, 칸막이체(100)로부터 이격되고, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 칸막이체(100)에 접촉한다. 이에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)와 칸막이체(100)가 접근하고 있는 부분에서는, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시켜 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 위치가 시트상 부재 S의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는, 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)에 의해, 기밀성이 확보된다.In addition, the sealing
추출 건조 장치(1)는, 이와 같이 시트상 부재 S를, 가스 시일 구조(30)의 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해 반송할 수 있는 상태에서, 시트상 부재 S의 추출·건조를 행한다. 추출 건조 장치(1)에서, 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 추출 건조 장치(1)에는, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 상류측의 공정에서 성형한, 폴리올레핀계 수지에 다수의 미세 구멍이 개공되어 미세 구멍에 액상 가소제가 들어간 박막의 필름상의 시트상 부재 S가, 추출 장치(5)로 반송된다. 추출 장치(5)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서 용제조(6)에 저류된 용제(7)에 시트상 부재 S를 침지하여, 시트상 부재 S로부터 액상 가소제를 제거한다.The extraction and drying
액상 가소제가 제거된 시트상 부재 S는, 추출 장치(5)로부터 건조 장치(10)로 반송된다. 건조 장치(10)에서는, 시트상 부재 S를 반송하면서, 건조실(11) 내에서 에어 나이프(25)에 의해 시트상 부재 S에 대하여 에어를 분사함으로써, 시트상 부재 S를 건조시켜, 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)를 시트상 부재 S로부터 제거한다.The sheet-like member S from which the liquid plasticizer has been removed is conveyed from the extraction apparatus 5 to the drying
건조시킨 시트상 부재 S는, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)로부터 가스 시일 구조(30)로 보내진다. 가스 시일 구조(30)에서는, 시트상 부재 S가 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해 반송되도록 미리 준비되어 있기 때문에, 시트상 부재 S는, 반송부 상부 래비린스 시일(61)과 시일 롤(40) 사이를 통해, 추출 건조 장치(1)로부터 하류측의 공정으로 반송된다.The dried sheet-like member S is sent to the
여기서, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내에서는, 시트상 부재 S가 건조됨으로써, 추출 장치(5)에서 시트상 부재 S에 부착된 용제(7)는 건조실(11) 내에서 기화되어, 건조실(11) 내에 충만되어 있다. 이 때문에, 건조실(11) 내의 가스는, 건조실(11) 밖으로 누출되지 않는 것이 바람직하지만, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이에는, 약간의 간극이 형성되어 있고, 이 간극으로부터 누설되기 쉽게 되어 있다. 상세하게는, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이에는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 약간의 간극이 형성되어 있다.Here, in the drying
한편, 반송부 래비린스 시일(60)은, 복수의 칸막이판(63)과 복수의 스페이서(64)에 의해 구획되어 시일 롤(40)이 위치하는 측이 개구되는 복수의 공간부(67)가, 시트상 부재 S의 반송 방향, 혹은, 길이 방향 X로 나란히 형성되어 있다. 이 때문에, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되려고 하는 가스는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이의 부분과, 공간부(67)를 교호로 통과하여 흐르게 된다.On the other hand, the conveyance
따라서, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통과하는 가스는, 반송부 래비린스 시일(60)의 칸막이판(63)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이를 통해 공간부(67)에 도달할 때마다 감압되어, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 흐르려고 하는 압력이 약해진다. 이에 의해, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되려고 하는 가스는, 가스의 흐름 방향에 있어서의 압력이 약해짐으로써 가스의 흐름이 약해져, 길이 방향 X에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측끼리의 사이에서는, 어느 방향으로도, 가스는 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되기 어려워진다.Therefore, the gas passing between the transport
또한, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16), 혹은, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐, 칸막이체(100)에 의해 통로가 형성되어 있지만, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부에는, 시일 부재(110)가 배치되어 있다. 이 때문에, 칸막이체(100)에 있어서의, 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)는, 시일 부재(110)에 의해 시일되어, 기밀성이 확보되어 있다.In addition, from the position of the opening 16 formed in the
즉, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 반송부 덮개체(50)는, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 덮개체 칸막이체용 시일 부재(114)가 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)에 접촉함으로써 시일되어 있다. 또한, 칸막이체(100)에 있어서의, 길이 방향 X에 있어서 칸막이체 개구부(104)가 위치하는 측의 단부의 반대측의 단부와, 단부 덮개체(90)는, 칸막이체(100)의 단부 측벽부(103)에 배치되는 칸막이체 외측 시일 부재(116)와 칸막이체 내측 시일 부재(117)가 단부 덮개체(90)에 접촉함으로써, 시일되어 있다. 이에 의해, 칸막이체(100)의 반송부 측벽부(102)와 단부 측벽부(103)에 의해, 칸막이체 개구부(104)의 위치로부터 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)의 위치에 걸쳐 형성되는 통로는, 칸막이체(100)에 있어서의 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 위치하는 측의 단부와, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)가 시일 부재(110)에 의해 시일됨으로써, 기밀성이 확보되어 있다.That is, in the
또한, 반송부 덮개체(50)의 폭 방향 Y에 있어서의 양측의 단부와, 단부 덮개체(90)에 있어서의 반송부 덮개체(50)가 위치하는 측의 단부도, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)가 서로 접촉함으로써 시일되어, 기밀성이 확보되어 있다. 이에 의해, 건조실(11) 내로부터의 가스는, 반송부 덮개체(50)나 단부 덮개체(90)와 칸막이체(100) 사이의 부분이나, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90) 사이의 부분으로부터도 누설되기 어렵게 되어 있다.Further, the end portions on both sides in the width direction Y of the conveyance
또한, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)에는, 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)가 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되는 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)과 시일 롤(40) 사이에 가스가 들어간 경우라도, 이 가스는, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 롤 단부 래비린스 시일(95)의 양측끼리의 사이에서 흐르기 어렵게 되기 때문에, 가스는 롤 단부 래비린스 시일(95)과 시일 롤(40) 사이를 통해 누설되기 어렵게 된다.In addition, on the inner
또한, 건조 장치(10)에는, 건조실(11) 내에서 기화한 용제(7)를 대기 중에 방출하지 않도록, 배기 덕트(22)가 배치되어 있다. 배기 덕트(22)는, 건조실(11) 내의 가스를 흡인하여 건조실(11) 밖으로 배기하고, 배기한 가스를 가스 회수 장치로 보낸다. 가스 회수 장치는, 배기 덕트(22)로부터 보내져 온 기체 중으로부터, 기화된 용제(7)를 회수한다. 건조실(11) 내는, 이와 같이 내부의 기체가 배기 덕트(22)로부터 배기되기 때문에, 건조실(11)의 외측에 대하여 기압이 낮게 되어 있다. 즉, 건조실(11)의 내부는, 건조실(11)의 외부에 대하여 부압으로 되어 있다.Moreover, the
이 때문에, 길이 방향 X에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측끼리의 사이에서는, 가스는, 건조실(11)의 외측, 혹은, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측의 위치로부터, 건조실(11)이 위치하는 측을 향하여 흐르기 쉽게 되어 있다. 이에 의해, 건조실(11) 내의 가스는, 건조실(11)의 외측으로 보다 확실하게 누설되기 어렵게 되어 있고, 가스 시일 구조(30)는, 건조실(11) 내의 가스를 건조실(11) 밖으로 누출시키지 않고, 시트상 부재 S를 건조실(11) 내로부터 건조실(11) 밖을 향하여 반송할 수 있다.For this reason, between both sides of the conveyance
이와 같이, 가스의 누출을 억제할 수 있는 가스 시일 구조(30)는, 메인터넌스 시에는 시일 롤(40)을 착탈하는 경우가 있지만, 시일 롤(40)의 연장 방향에 있어서의 반송부 덮개체(50)의 양측에 배치되는 단부 덮개체(90)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)을 덮는 범위가, 시일 롤(40)의 원주 방향의 약 180°의 범위로 되어 있다. 이 때문에, 시일 롤(40)은, 축 단부(45)를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(35)를 축 단부(45)로부터 분리하면, 단부 덮개체(90)로 덮여 있지 않은 방향으로 시일 롤(40)을 이동시킴으로써, 시일 롤(40)을 용이하게 분리할 수 있다.As described above, in the
시일 롤(40)을 가스 시일 구조(30)에 설치할 때는, 단부 덮개체(90)에 대하여, 원주 방향에 있어서 단부 덮개체(90)가 형성되어 있지 않은 위치로부터 시일 롤(40)을 배치하고, 축 단부(45)에 베어링부(35)을 설치함으로써, 용이하게 설치할 수 있다. 이에 의해, 시일 롤(40)을 가스 시일 구조(30)에 대하여 용이하게 착탈 할 수 있어, 메인터넌스성을 확보할 수 있다.When the
<실시 형태 1의 효과><Effect of
이상의 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30) 및 추출 건조 장치(1)에서는, 시일 롤(40)의 외주면(41)에 대향하는 위치에, 시트상 부재 S의 반송 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(67)를 갖는 반송부 래비린스 시일(60)이 배치되어 있기 때문에, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 시일 롤(40)의 양측에서, 가스가 서로의 방향을 향하여 흐르는 것을 억제할 수 있다. 또한, 처리실인 건조실(11) 내를, 시일 롤(40)이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트(22)가 구비되어 있기 때문에, 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 반송부 래비린스 시일(60)의 양측에서는, 가스의 흐름은 시트상 부재 S의 반송 방향에 있어서의 하류측으로부터, 건조실(11)이 위치하는 측으로 흐르기 쉽게 할 수 있다. 이 때문에, 시트상 부재 S에 대하여 시일성을 확보하는 부분의 간극을, 필요 이상으로 작게 하지 않고 가스의 누설을 억제할 수 있어, 제조 시에 있어서의 정밀도를 높이지 않고, 시일성을 확보할 수 있다. 이 결과, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다.In the
또한, 건조 장치(10)의 격벽(15)에 형성되는 개구부(16)와, 반송부 덮개체(50) 및 단부 덮개체(90) 사이에는, 개구부(16)와, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하는 칸막이체(100)가 배치되어 있기 때문에, 건조실(11) 내의 가스가, 시일 롤(40)의 외주면(41)과 반송부 래비린스 시일(60) 사이의 위치 이외로부터 누설되는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.Moreover, between the opening part 16 formed in the
또한, 단부 덮개체(90)에는, 시일 롤(40)의 연장 방향으로 배열되며 시일 롤(40)측이 개구되는 복수의 공간부(97)를 갖는 롤 단부 래비린스 시일(95)이 형성되어 있기 때문에, 시일 롤(40)의 연장 방향으로의 가스의 흐름을, 롤 단부 래비린스 시일(95)에 의해 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.Further, the
또한, 반송부 덮개체(50)는, 시일 롤(40)의 외주면(41)으로부터의 거리를 변화시킬 수 있기 때문에, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에 시트상 부재 S를 통과시킬 때는, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 반송부 덮개체(50)와 시일 롤(40)의 외주면(41)의 거리를 크게 함으로써, 용이하게 통과시킬 수 있다. 이에 의해, 시트상 부재 S가, 박막의 필름상임으로써 강성이 낮은 경우라도, 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40)의 외주면(41) 사이에, 시트상 부재 S를 용이하게 통과시킬 수 있다. 이 결과, 가스 시일 구조(30)의 사용 편의성을 향상시킬 수 있다.Moreover, since the conveyance
또한, 반송부 덮개체(50)에 배치되는 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와, 단부 덮개체(90)에 배치되는 단부 덮개체측 시일 부재(112)는, 서로의 접촉면이 반송부 덮개체(50)의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 양쪽의 시일 부재(110)가 접근하는 방향으로 반송부 덮개체(50)가 이동함으로써, 서로가 접촉할 때는, 각각 압축되는 상태로 접촉한다. 이에 의해, 보다 높은 기밀성을 확보할 수 있어, 반송부 덮개체(50)와 단부 덮개체(90) 사이의 부분의 시일성을 높일 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 시일성을 향상시킬 수 있다.In addition, the conveyance unit cover body-
또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 쐐기상의 형상으로 형성되어 있기 때문에, 반송부 상부 덮개체(51)를 하방으로 이동시킬 때라도, 반송부 상부 덮개체(51)의 강하 동작을 방해하지 않고 이동시킬 수 있다. 또한, 반송부 덮개체측 시일 부재(111)와 단부 덮개체측 시일 부재(112)의 서로의 접촉면이 접촉하였을 때에 있어서의 센터링 작용에 의해, 반송부 상부 덮개체(51)의 배치 위치의 재현성을 높일 수 있다. 이 결과, 반송부 상부 덮개체(51)를 상방 위치로부터 강하시켜 시트상 부재 S를 반송시킬 수 있는 상태로 할 때, 반송부 상부 덮개체(51)를 보다 용이하게 또한 확실하게 적절한 위치에 배치할 수 있다.Moreover, since the mutual contact surfaces of the conveyance part cover body
[실시 형태 2][Embodiment 2]
실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)와 대략 마찬가지의 구성이지만, 배기 구조(150)를 구비하는 점에 특징이 있다. 다른 구성은 실시 형태 1과 마찬가지이므로, 그 설명을 생략함과 함께, 동일한 부호를 붙인다.The
도 15는 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)의 정면도이며, 도 1의 A-A 화살표도이다. 도 16은 도 15의 E-E 단면도이다. 도 17은 도 15의 E-E 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 실시 형태 1에 관한 가스 시일 구조(30)와 마찬가지로, 추출 건조 장치(1)(도 1 참조)에 구비되어 있고, 시일 롤(40)과, 반송부 덮개체(50)에 보유 지지되는 반송부 래비린스 시일(60)과, 단부 덮개체(90)에 형성되는 롤 단부 래비린스 시일(95)을 갖고 있다. 또한, 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)나, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)에 위치하는 가스를, 공간부(67, 97)로부터 건조실(11)(도 1 참조) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)를 구비하고 있다.15 : is a front view of the gas-
<반송부측 배기 구조(151)><Conveyor
반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)인 반송부측 배기 구조(151)는, 스페이서 관통 구멍(155)과, 반송부측 배기구(161)를 갖고 구성되어 있다. 스페이서 관통 구멍(155)은, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 스페이서(64)를 상하 방향 Z로 관통하는 구멍으로 되어 있다. 스페이서 관통 구멍(155)은, 스페이서(64)를 상하 방향 Z로 관통함으로써, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)와, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 내부를 연통하고 있고, 폭 방향 Y로 연장되는 스페이서(64)에 대하여, 폭 방향 Y로 복수가 나란히 형성되어 있다. 이와 같이 형성되는 스페이서 관통 구멍(155)은, 반송부 상부 래비린스 시일(61)의 스페이서(64)와, 반송부 하부 래비린스 시일(62)의 스페이서(64)의 양쪽에 형성되어 있다. 본 실시 형태 2에서는, 스페이서 관통 구멍(155)은, 칸막이판(63)과 교호로 겹쳐져 배치되는 복수의 스페이서(64) 중, 겹치는 방향에 있어서의 중앙 근방의 3개의 스페이서(64)에 형성되어 있다.The conveyance unit
반송부측 배기구(161)는, 반송부 래비린스 시일(60)이 갖는 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하기 위한 배기구(160)로 되어 있다. 반송부측 배기구(161)는, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의, 반송부 래비린스 시일(60)을 보유 지지하는 측의 반대측의 단부에 배치되어 있다. 즉, 반송부 상부 덮개체(51)에서는, 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의 상단에 배치되어 있고, 반송부 하부 덮개체(52)에서는, 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 상하 방향 Z에 있어서의 하단에 배치되어 있다.The conveyance unit
이와 같이 배치되는 반송부측 배기구(161)는, 케이싱(53)의 내부에 연통하고 있다. 반송부측 배기구(161)는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를 배기하는 것이 가능하게 되어 있어, 건조 장치(10)가 갖는 배기 덕트(22)(도 1 참조)와 마찬가지로, 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다.The conveyance part-
<단부측 배기 구조(152)><End-
도 18은 도 15의 F-F 단면도이다. 도 19는 도 15의 F-F 단면에 있어서의 주요부 사시도이다. 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)인 단부측 배기 구조(152)는, 단부 덮개체 관통 구멍(156)과, 단부 덮개체 배기실(157)과, 단부측 배기구(162)를 갖고 구성되어 있다. 단부 덮개체 배기실(157)은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92) 근방의 위치에 형성되는 공간으로 되어 있고, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)와, 단부 덮개체 배기실(157)을 관통하는 구멍으로 되어 있다.18 is a cross-sectional view taken along the line F-F of FIG. 15 . Fig. 19 is a perspective view of an essential part in the cross section F-F of Fig. 15 . The end-
도 20은 도 19에 도시한 단부 덮개체(90)의 사시도이다. 도 21은 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 외주면(92)측으로부터 본 사시도이다. 도 22는 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 수평 방향으로 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다. 도 23은 도 20에 도시한 단부 덮개체(90)를 홈부(96)를 따라 절단한 상태를 도시하는 주요부 사시도이다. 단부 덮개체 배기실(157)은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 형성되는 홈에, 외주면(92)과 동일 평면이 되는 배기실 덮개 부재(158)에 의해 덮개가 씌워짐으로써 형성되는 공간으로 되어 있고, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 동일 위치에 형성되어 있다. 상세하게는, 단부 덮개체 배기실(157)을 형성하는 홈은, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 있어서의, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 동일한 위치에, 홈부(96)를 따라서 원호상으로 형성되는 홈으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체 배기실(157)을 형성하는 홈은, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 홈부(96)와 마찬가지로, 폭 방향 Y로 2개가 나란히 형성되어 있다.Fig. 20 is a perspective view of the
배기실 덮개 부재(158)는, 이와 같이 형성되는 홈의, 외주면(92)에 대한 개구 부분을 폐색하는 덮개로 되어 있다. 이에 의해, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 형성된 홈은 폐색되고, 당해 홈은, 배기실 덮개 부재(158)에 의해 폐색된 공간으로 된다. 이와 같이 형성되는 공간이, 단부 덮개체 배기실(157)로서 형성되고, 단부 덮개체 배기실(157)은, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 2개의 홈부(96)에 대응하여, 2개가 형성된다. 2개의 단부 덮개체 배기실(157)은, 폭 방향 Y에 있어서의 위치가, 각각 롤 단부 래비린스 시일(95)에 있어서의 대응하는 홈부(96)와 동일한 위치에 배치된다.The exhaust
단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 이와 같이 형성되는 단부 덮개체 배기실(157)과, 대응하는 홈부(96) 사이에서 관통하는 구멍으로 되어 있다. 이 때문에, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 단부 덮개체 배기실(157)과, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)를 연통하고 있다. 또한, 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 각 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 복수가 형성되어 있고, 복수의 단부 덮개체 관통 구멍(156)은, 단부 덮개체(90)의 내주면(91)의 원호의 중심을 중심으로 하는, 방사상으로 나란히 형성되어 있다.The end cover body through-
단부측 배기구(162)는, 롤 단부 래비린스 시일(95)이 갖는 공간부(97)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하기 위한 배기구(160)로 되어 있다. 단부측 배기구(162)는, 단부 덮개체 배기실(157)의 덮개가 되는 배기실 덮개 부재(158)에 설치되어 있고, 단부측 배기구(162)는, 단부 덮개체 배기실(157)마다 1개씩이 배치되어 있다. 또한, 폭 방향 Y로 배열되는 단부 덮개체 배기실(157)의 단부측 배기구(162)끼리는, 단부 덮개체(90)의 외주면(92)의 원호의 원주 방향에 있어서의 위치가, 서로 다른 위치에 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태 2에서는, 제조 시에 단부 덮개체(90)의 외주면(92)에 단부측 배기구(162)를 설치할 때, 2개의 단부측 배기구(162)를 설치하기 쉽게 하도록, 단부측 배기구(162)끼리의 위상을 다르게 하여 배치하고 있지만, 제조 시에 2개의 단부측 배기구(162)를 단부 덮개체(90)에 적절하게 설치할 수 있으면, 2개의 단부측 배기구(162)는 동위상으로 배치해도 된다.The end
이와 같이 배치되는 단부측 배기구(162)는, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를 배기하는 것이 가능하게 되어 있어, 반송부측 배기구(161)와 마찬가지로, 흡기하는 블로워 등의 송풍 장치(도시 생략)와, 기체 중의 소정의 성분을 회수하는 가스 회수 장치(도시 생략)에 접속되어 있다.The end-
<가스 시일 구조(30)의 작용><Operation of
본 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 이상과 같은 구성을 포함하고, 이하, 그 작용에 대하여 설명한다. 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)에서는, 가스 시일 구조(30)를 구비하는 추출 건조 장치(1)에서 시트상 부재 S의 추출·건조를 행할 때는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를, 반송부측 배기 구조(151)에 의해 배기하고, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를, 단부측 배기 구조(152)에 의해 배기한다.The
상세하게는, 반송부측 배기 구조(151)는, 반송부측 배기 구조(151)에 접속되는 송풍 장치의 흡인력에 의해, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를 스페이서 관통 구멍(155)으로부터 흡인하여, 반송부 덮개체(50)의 케이싱(53)의 내부를 통해 반송부측 배기구(161)로부터 배기한다. 이에 의해, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내가 부압임으로써, 건조실(11) 밖으로부터 반송부 래비린스 시일(60)과 시일 롤(40) 사이의 부분으로 흘러 온 가스를, 건조실(11) 내에 도입하지 않고, 반송부측 배기구(161)로부터 배기할 수 있다.In detail, the conveyance unit
마찬가지로, 단부측 배기 구조(152)는, 단부측 배기 구조(152)에 접속되는 송풍 장치의 흡인력에 의해, 롤 단부 래비린스 시일(95)의 공간부(97)에 위치하는 가스를 단부 덮개체 관통 구멍(156)으로부터 흡인하여, 단부 덮개체 배기실(157)을 통해 단부측 배기구(162)로부터 배기한다. 이에 의해, 건조 장치(10)의 건조실(11) 내가 부압임으로써, 건조실(11) 밖으로부터 롤 단부 래비린스 시일(95)과 시일 롤(40) 사이의 부분으로 흘러 온 가스를, 건조실(11) 내에 도입하지 않고, 단부측 배기구(162)로부터 배기할 수 있다.Similarly, the end-
<실시 형태 2의 효과><Effect of Embodiment 2>
이상의 실시 형태 2에 관한 가스 시일 구조(30)는, 반송부 래비린스 시일(60)의 공간부(67)에 위치하는 가스를, 공간부(67)로부터 건조실(11) 밖을 향하여 배기하는 배기 구조(150)를 갖고 있기 때문에, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 건조실(11) 내의 가스의 누출을 억제할 뿐만 아니라, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것도 용이하게 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하고, 용이하게 시일성을 확보할 수 있다.In the
또한, 건조실(11) 내에서는, 용제(7)가 증발할 때에 있어서의 기화열에 의해 온도가 저하되기 쉽게 되어 있기 때문에, 수분량이 많은 외기가 건조실(11) 내에 들어간 경우, 공기 중의 수분이, 용제(7)가 기화될 때의 기화열로 냉각되게 되어 건조실(11) 내에서 동결되기 쉬워진다. 이 때문에, 외기의 공조 관리가 곤란한 환경에서 추출 건조 장치(1)가 사용되는 경우, 관리가 행해지지 않은 외기가 건조실(11) 내에 들어갔을 때, 공기 중의 수분이 건조실(11) 내에서 동결될 우려가 있다. 이에 반해, 본 실시 형태 2에서는, 건조실(11) 밖의 가스가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 외기의 관리가 행해지지 않은 환경에서 추출 건조 장치(1)가 사용되는 경우에도, 수분량이 많은 외기가 건조실(11) 내에 들어가는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 건조실(11) 내에서의 수분의 동결을 억제할 수 있다.In addition, in the drying
[변형예][Variation]
또한, 상술한 실시 형태 1, 2에서는, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 시트상 부재 S를 송출하는 측에 배치되어 있지만, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 있어서의 시트상 부재 S의 반입측에 배치되어 있어도 된다. 즉, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)가 갖는 추출 장치(5)에 있어서의 시트상 부재 S의 입구측에 배치되어 있어도 된다.In addition, in
또한, 상술한 실시 형태 1, 2에서는, 가스 시일 구조(30)는, 추출 건조 장치(1)에 배치되어 있지만, 가스 시일 구조(30)가 배치되는 장치는, 추출 건조 장치(1) 이외여도 된다. 시트상 부재 S의 반송을 행할 때에 있어서의 시일성을 확보하는 장치이면, 가스 시일 구조(30)가 적용되는 장치는 불문한다.In addition, in
1: 추출 건조 장치
5: 추출 장치
6: 용제조
7: 용제
10: 건조 장치
11: 건조실(처리실)
15: 격벽
16: 개구부
21: 급기 덕트
22: 배기 덕트
25: 에어 나이프
26: 롤
30: 가스 시일 구조
31: 프레임
32: 스테이
33: 지지판
35: 베어링부
36: 잭 구조
40: 시일 롤
41: 외주면
45: 축 단부
50: 반송부 덮개체
51: 반송부 상부 덮개체
52: 반송부 하부 덮개체
53: 케이싱
60: 반송부 래비린스 시일
61: 반송부 상부 래비린스 시일
62: 반송부 하부 래비린스 시일
63: 칸막이판
64: 스페이서
65: 보유 지지 볼트
66: 설치 부재
67: 공간부
70: 스트로크 구조
71: 에어 실린더
72: 본체부
73: 로드
80: 지주
81: 지지 부재
82: 가이드 블록
85: 브래킷
86: 암
86a: 협폭부
86b: 단차부
87: 스토퍼
90: 단부 덮개체
91: 내주면
92: 외주면
95: 롤 단부 래비린스 시일
96: 홈부
97: 공간부
98: 폐색부
100: 칸막이체
101: 브래킷
102: 반송부 측벽부
103: 단부 측벽부
104: 칸막이체 개구부
110: 시일 부재
111: 반송부 덮개체측 시일 부재
112: 단부 덮개체측 시일 부재
114: 덮개체 칸막이체용 시일 부재
116: 칸막이체 외측 시일 부재
117: 칸막이체 내측 시일 부재
118: 칸막이체 브래킷 시일 부재
S: 시트상 부재1: Extraction drying device
5: Extraction device
6: solvent manufacturing
7: solvent
10: drying device
11: Drying room (processing room)
15: bulkhead
16: opening
21: supply air duct
22: exhaust duct
25: air knife
26: roll
30: gas seal structure
31: frame
32: stay
33: support plate
35: bearing part
36: jack structure
40: seal roll
41: outer circumference
45: shaft end
50: conveyance part cover body
51: conveyance part upper cover body
52: transport unit lower cover body
53: casing
60: transfer part labyrinth seal
61: upper conveyance part labyrinth seal
62: lower conveyance part labyrinth seal
63: partition plate
64: spacer
65: retaining bolt
66: installation member
67: space part
70: stroke structure
71: air cylinder
72: body part
73: load
80: holding
81: support member
82: guide block
85: bracket
86: cancer
86a: narrow part
86b: step part
87: stopper
90: end cover body
91: If you give me
92: outer circumference
95: roll end labyrinth seal
96: home
97: space part
98: obturator
100: partition body
101: bracket
102: conveyance part side wall part
103: end side wall portion
104: partition body opening
110: no seal
111: conveyance part cover body side sealing member
112: End cover body side sealing member
114: sealing member for the cover body partition body
116: partition body outer sealing member
117: partition body inner sealing member
118: partition bracket seal member
S: sheet-like member
Claims (7)
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 처리실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트
를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 시일 구조.a seal roll that partitions a processing chamber and is disposed on a surface side opposite to the processing chamber side surface in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
Exhaust duct which makes the inside of the said process chamber a negative pressure with respect to the side where the said seal roll is arrange|positioned
A gas seal structure comprising a.
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 공간부에 위치하는 가스를 상기 공간부로부터 상기 처리실 밖을 향하여 배기하는 배기 구조
를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 시일 구조.a seal roll that partitions a processing chamber and is disposed on a surface side opposite to the processing chamber side surface in a partition wall having an opening through which a sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
An exhaust structure for exhausting the gas located in the space from the space toward the outside of the processing chamber
A gas seal structure comprising a.
상기 반송부 래비린스 시일은, 반송부 덮개체에 보유 지지되고,
상기 시일 롤의 연장 방향에 있어서의 상기 반송부 덮개체가 배치되는 위치의 양측에는, 상기 시일 롤의 원주 방향에 있어서의 소정의 범위를 덮는 단부 덮개체가 배치되고,
상기 개구부와, 상기 반송부 덮개체 및 상기 단부 덮개체 사이에는, 상기 개구부와, 상기 시일 롤의 상기 외주면과 상기 반송부 래비린스 시일 사이의 위치를 연통하는 공간을 구획하는 칸막이체가 배치되는, 가스 시일 구조.3. The method of claim 1 or 2,
The conveyance part labyrinth seal is held by the conveyance part cover body,
End caps covering a predetermined range in the circumferential direction of the seal roll are disposed on both sides of a position where the transport section cover body is disposed in the extension direction of the seal roll;
A partition body is disposed between the opening part and the transport part cover body and the end part lid body to define a space communicating the opening part and a position between the outer peripheral surface of the seal roll and the transport part labyrinth seal. seal structure.
상기 단부 덮개체에는, 상기 시일 롤의 연장 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 롤 단부 래비린스 시일이 형성되는, 가스 시일 구조.4. The method of claim 3,
A roll end labyrinth seal having a plurality of space portions arranged in an extension direction of the seal roll and having an opening on the seal roll side is formed in the end cover body.
상기 반송부 덮개체는, 상기 시일 롤의 상기 외주면으로부터의 거리를 변화시킬 수 있는, 가스 시일 구조.5. The method according to claim 3 or 4,
The conveyance part cover body can change the distance from the said outer peripheral surface of the said seal roll, The gas seal structure.
상기 반송부 덮개체와 상기 단부 덮개체에는, 상기 반송부 래비린스 시일의 위치가 상기 시트상 부재의 반송 상태의 위치가 되는 상태에서는 서로 접촉하고, 상기 반송부 래비린스 시일이 상기 시일 롤의 상기 외주면으로부터 이격된 위치가 되는 상태에서는 서로 이격하는 시일 부재가 각각 배치되어 있고,
상기 시일 부재는, 서로의 접촉면이 상기 반송부 덮개체의 이동 방향에 대하여 경사지는 쐐기상의 형상으로 형성되는, 가스 시일 구조.6. The method of claim 5,
The conveyance part cover body and the end cover body are in contact with each other in a state where the position of the conveyance part labyrinth seal is the position of the conveyed state of the sheet-like member, and the conveyance part labyrinth seal is applied to the seal roll. Sealing members spaced apart from each other are arranged in a state spaced apart from the outer circumferential surface, respectively,
The gas seal structure, wherein the sealing members are formed in a wedge-shaped shape in which contact surfaces of each other are inclined with respect to the moving direction of the carrying unit cover body.
상기 시트상 부재를 건조시킴으로써 상기 시트상 부재에 부착된 상기 용제를 제거하는 건조 장치와,
상기 건조 장치의 건조실을 구획하고, 상기 시트상 부재가 통과하는 개구부를 갖는 격벽에 있어서의 상기 건조실측의 면의 반대측의 면측에 배치되는 시일 롤과,
상기 시일 롤의 외주면에 대향하는 위치이며, 또한, 상기 개구부로부터 반송되는 상기 시트상 부재를 상기 시일 롤과의 사이로 통과시킬 수 있는 위치에 배치되고, 상기 시트상 부재의 반송 방향으로 배열되며 상기 시일 롤측이 개구되는 복수의 공간부를 갖는 반송부 래비린스 시일과,
상기 건조실 내를, 상기 시일 롤이 배치되는 측에 대하여 부압으로 하는 배기 덕트
를 구비하는 것을 특징으로 하는 추출 건조 장치.an extraction device for extracting the liquid plasticizer using a solvent from a sheet-like member obtained by molding a resin material and a liquid plasticizer after melt-kneading;
a drying device for removing the solvent adhering to the sheet-like member by drying the sheet-like member;
a seal roll partitioning a drying chamber of the drying apparatus and disposed on a surface side opposite to the drying chamber-side surface in a partition wall having an opening through which the sheet-like member passes;
at a position opposite to the outer circumferential surface of the seal roll, and at a position where the sheet-like member conveyed from the opening can pass between the seal roll and the seal roll, and arranged in the conveying direction of the sheet-like member, the seal a conveyance part labyrinth seal having a plurality of space parts in which the roll side is opened;
Exhaust duct which makes the inside of the said drying chamber a negative pressure with respect to the side where the said seal roll is arrange|positioned
Extraction drying apparatus comprising a.
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