KR20220075906A - 스토커 - Google Patents

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KR20220075906A
KR20220075906A KR1020200164509A KR20200164509A KR20220075906A KR 20220075906 A KR20220075906 A KR 20220075906A KR 1020200164509 A KR1020200164509 A KR 1020200164509A KR 20200164509 A KR20200164509 A KR 20200164509A KR 20220075906 A KR20220075906 A KR 20220075906A
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teaching
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teaching jig
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jig
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KR1020200164509A
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황재희
김승원
이슬
채재민
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세메스 주식회사
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

본 발명에 따른 스토커는, 상부 가이드 및 하부 가이드로 이루어진 선반들에 레티클들이 세워지도록 수납되는 선반 유닛과, 상기 레티클을 고정하는 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 선반에 삽입 또는 배출하기 위한 그리퍼 구동부를 포함하는 이송 로봇과, 상기 그리퍼에 고정되며, 상기 선반들에 삽입되는 티칭용 지그와, 상기 티칭용 지그에 양측면에 구비되며, 상기 상부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제1 간격들 및 상기 하부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제2 간격들을 감지하는 센서 유닛과, 상기 티칭용 지그에 구비되며, 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들에 기반하여 상기 상부 가이드 및 상기 하부 가이드의 중심 위치와 상기 선반에 대한 상기 티칭용 지그의 기울어진 각도를 연산하는 연산부 및 상기 중심 위치 및 상기 기울어진 각도를 이용하여 상기 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부를 포함할 수 있다.

Description

스토커{Stocker}
본 발명은 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 티칭용 지그를 이용하여 티칭을 수행하는 스토커에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 상기 스토커는 상기 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 보관하거나 상기 대상물을 직접 보관할 수 있다.
상기 스토커가 상기 레티클을 보관하는 경우, 상기 스토커는 원통 형태이며 측면 둘레를 따라 구비된 선반들에 상기 레티클이 수납되는 선반 유닛 및 상기 레티클을 이송하기 위한 이송 로봇을 구비할 수 있다. 상기 각 선반들은 상부 가이드 및 하부 가이드로 이루어지며, 상기 레티클이 세워지도록 수납할 수 있다.
상기 이송 로봇의 티칭은 작업자가 육안으로 수행한다. 상기 선반에서 상기 레티클이 수납되는 공간이 협소하다. 따라서, 상기 이송 로봇을 정밀하게 티칭하기 어렵고, 상기 작업자에 따라 상기 이송 로봇의 티칭 값이 달라질 수 있으며, 상기 이송 로봇의 티칭에 많은 시간이 소요될 수 있다.
상기 선반들 중 일부에 대해 상기 이송 로봇의 티칭을 수행하고, 상기 일부 선반들에 대한 이송 로봇의 티칭 값을 나머지 선반들에 적용한다. 따라서 상기 티칭 값을 잘못 산출하는 경우, 상기 나머지 선반들에 대한 상기 티칭 값을 잘못 적용할 수 있다.
본 발명은 이송 로봇의 티칭을 정확하게 수행할 수 있는 스토커를 제공한다.
본 발명에 따른 스토커는, 상부 가이드 및 하부 가이드로 이루어진 선반들에 레티클들이 세워지도록 수납되는 선반 유닛과, 상기 레티클을 고정하는 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 선반에 삽입 또는 배출하기 위한 그리퍼 구동부를 포함하는 이송 로봇과, 상기 그리퍼에 고정되며, 상기 선반들에 삽입되는 티칭용 지그와, 상기 티칭용 지그에 양측면에 구비되며, 상기 상부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제1 간격들 및 상기 하부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제2 간격들을 감지하는 센서 유닛과, 상기 티칭용 지그에 구비되며, 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들에 기반하여 상기 상부 가이드 및 상기 하부 가이드의 중심 위치와 상기 선반에 대한 상기 티칭용 지그의 기울어진 각도를 연산하는 연산부 및 상기 중심 위치 및 상기 기울어진 각도를 이용하여 상기 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서 유닛은 상기 티칭용 지그의 전단부에 배치되고, 상기 티칭용 지그가 상기 선반들에 삽입되는 동안 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들을 감지하여 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 프로파일을 획득할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 연산부는 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 상기 프로파일 이용하여 상기 선반에 대한 상기 티칭용 지그의 틀어진 각도를 추가로 연산하고, 상기 제어부는 상기 틀어진 각도를 추가로 이용하여 상기 이송 로봇의 티칭을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서 유닛은, 상기 티칭용 지그의 양측면 상단 부위에 각각 구비되며, 상기 제1 간격들을 감지하는 제1 센서들 및 상기 티칭용 지그의 양측면 하단 부위에 각각 구비되며, 상기 제2 간격들을 감지하는 제2 센서들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 센서들 및 상기 제2 센서들은 레이저 프로파일 센서일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 티칭용 지그는 상기 레티클과 동일한 형상과 크기일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 유닛은 상기 선반들이 측면 둘레를 따라 방사상으로 배치되는 원통형 구조를 가질 수 있다.
본 발명에 따른 상기 스토커는 상기 티칭용 지그 및 상기 센서 유닛을 이용하여 상기 이송 로봇의 상기 티칭을 수행할 수 있다. 따라서, 상기 선반들에서 상기 레티클이 수납되는 공간이 협소하더라도 상기 이송 로봇을 정밀하고 티칭할 수 있고, 상기 이송 로봇의 티칭 값을 정확하게 획득할 수 있으며, 상기 이송 로봇의 티칭에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
상기 스토커는 상기 선반 유닛을 회전시키면서 상기 각 선반들에 대해 상기 이송 로봇의 티칭을 수행할 수 있다. 따라서 상기 선반들 모두에 대해 상기 이송 로봇의 티칭 값을 정확하게 획득할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반에 티칭용 지그가 삽입된 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 선반에 티칭용 지그가 삽입된 상태를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선반에 티칭용 지그가 삽입된 상태를 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 선반에 티칭용 지그가 삽입된 상태를 설명하기 위한 평면 단면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 스토커(100)는 레티클(10)을 보관하기 위한 것으로, 선반 유닛(110), 이송 로봇(120), 티칭용 지그(130), 센서 유닛(140), 연산부(150) 및 제어부(160)를 포함할 수 있다.
상기 선반 유닛(110)은 원통형 구조이며, 선반(111)들이 측면 둘레를 따라 방사상으로 배치된다. 상기 선반 유닛(110)은 별도의 구동 유닛에 의해 회전할 수 있다.
상기 각 선반(111)들에는 상기 레티클(10)이 세워지도록 수납될 수 있다.
구체적으로, 상기 각 선반(111)들은 상부 가이드(112) 및 하부 가이드(113)를 포함한다.
상기 레티클(10)이 상기 각 선반(111)들에 삽입될 때, 상기 상부 가이드(112)는 상기 레티클(10)의 상단부의 이동을 가이드하고, 상기 하부 가이드(113)는 상기 레티클(10)의 하단부의 이동을 가이드 한다.
일 예로, 상기 상부 가이드(112)는 상기 각 선반(111)의 안쪽에 구비되고, 상기 하부 가이드(112)는 한 쌍이 상기 각 선반(111)의 입구 및 상기 안쪽에 각각 구비될 수 있다.
다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 상부 가이드(112)와 상기 하부 가이드(112)는 상기 각 선반(111)의 상기 입구에서 상기 안쪽까지 구비될 수 있다.
상기 선반(111)들에는 상기 이송 로봇(120)의 티칭을 위해 상기 티칭용 지그(130)가 수납될 수 있다.
상기 이송 로봇(120)은 상기 선반 유닛(110)의 일측에 배치되며, 상기 레티클(10)을 이송할 수 있다.
상기 이송 로봇(120)은 그리퍼(121) 및 그리퍼 구동부(122)를 포함할 수 있다.
상기 그리퍼(121)는 상기 레티클(10)의 양측 측면을 고정할 수 있다.
상기 그리퍼 구동부(122)는 상기 그리퍼(121)를 상기 선반(111)에 삽입하거나 상기 선반(111)으로부터 배출할 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(120)은 상기 레티클(10)을 상기 선반(111)에 수납하거나 상기 선반(111)에 수납된 레티클(10)을 배출할 수 있다.
구체적으로, 상기 그리퍼 구동부(122)는 상기 그리퍼(121)를 전후 방향인 X축 방향, 좌우 방향인 Y축 방향, 상하 방향인 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 그리퍼 구동부(122)는 상기 그리퍼(121)를 상기 X축을 중심축으로 하여 회전시키거나, 상기 Z축을 중심축으로 하여 회전시킬 수 있다.
일 예로서, 상기 그리퍼 구동부(122)는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 수단을 이용하여 각각 구성될 수 있다.
한편, 상기 이송 로봇(120)은 상기 티칭용 지그(130)를 상기 각 선반(111)들로 이송할 수 있다.
상기 티칭용 지그(130)는 상기 그리퍼(121)에 고정되며, 상기 이송 로봇(120)에 의해 상기 각 선반(111)들에 삽입된다.
상기 티칭용 지그(130)는 상기 레티클(10)과 동일한 형상과 크기일 수 있다. 따라서, 상기 티칭용 지그(130)를 이용하여 상기 이송 로봇(120)을 티칭할 수 있다.
상기 센서 유닛(140)은 상기 티칭용 지그(130)에 양측면에 구비되며, 상기 상부 가이드(112)와 상기 티칭용 지그(130) 사이의 제1 간격들 및 상기 하부 가이드(113)와 상기 티칭용 지그(130) 사이의 제2 간격들을 감지한다.
구체적으로 상기 제1 간격들은 상기 티칭용 지그(113)의 좌측면과 상기 상부 가이드(112) 사이의 좌측 제1 간격(d1) 및 상기 티칭용 지그(113)의 우측면과 상기 상부 가이드(112) 사이의 우측 제1 간격(d2)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 간격들은 상기 티칭용 지그(113)의 상기 좌측면과 상기 하부 가이드(113) 사이의 좌측 제2 간격(d3) 및 상기 티칭용 지그(113)의 상기 우측면과 상기 하부 가이드(113) 사이의 우측 제2 간격(d4)을 포함할 수 있다.
상기 센서 유닛(140)은 상기 티칭용 지그(130)에서 상기 각 선반(111)들과 인접한 전단부에 배치될 수 있다. 상기 센서 유닛(140)은 상기 티칭용 지그(130)가 상기 각 선반(111)들에 삽입되는 동안 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들을 감지하므로, 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 프로파일을 획득할 수 있다. 따라서 상기 상부 가이드(112)의 전체 부위에 대해 상기 제1 간격들을 확인할 수 있고, 상기 하부 가이드(113)의 전체 부위에 대해 상기 제2 간격들을 확인할 수 있다.
상기 센서 유닛(140)은 제1 센서(141)들 및 제2 센서(142)들을 포함할 수 있다.
상기 제1 센서(141)들은 상기 티칭용 지그(130)의 상기 양측면의 상단 부위에 각각 구비되며, 상기 제1 간격들을 감지한다. 상기 제2 센서(142)들은 상기 티칭용 지그(130)의 상기 양측면의 하단 부위에 각각 구비되며, 상기 제2 간격들을 감지한다.
일 예로, 상기 제1 센서(141)들 및 상기 제2 센서(142)들은 레이저 프로파일 센서일 수 있다. 상기 레이저 프로파일 센서는 레이저를 상기 티칭용 지그(130)와 상기 상부 가이드(112) 및 상기 티칭용 지그(130)와 상기 하부 가이드(113) 사이로 조사하여 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들을 감지한다.
상기 연산부(150)는 상기 티칭용 지그(130)에 구비되며, 상기 센서 유닛(140)의 감지 결과를 전달받을 수 있다. 상기 연산부(150)는 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들에 기반하여 상기 상부 가이드(112) 및 상기 하부 가이드(113)의 중심 위치와 상기 각 선반(111)들에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 기울어진 각도를 연산할 수 있다.
구체적으로, 상기 연산부(150)는 상기 좌측 제1 간격(d1) 및 상기 우측 제1 간격(d2)을 이용하여 상기 좌측 제1 간격(d1) 및 상기 우측 제1 간격(d2)이 동일한 상기 상부 가이드(112)의 상기 중심 위치를 산출할 수 있다. 또한, 상기 연산부(150)는 상기 좌측 제2 간격(d3) 및 상기 우측 제2 간격(d4)을 이용하여 상기 좌측 제2 간격(d3) 및 상기 우측 제2 간격(d4)이 동일한 상기 하부 가이드(113)의 상기 중심 위치를 산출할 수 있다.
상기 연산부(150)는 상기 좌측 제1 간격(d1)(또는 상기 우측 제1 간격(d2))과 상기 좌측 제2 간격(d3)(또는 상기 우측 제2 간격(d4))의 차이를 이용하여 상기 각 선반(111)들에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 상기 기울어진 각도를 연산할 수 있다.
또한, 상기 연산부(150)는 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 상기 프로파일을 이용하여 상기 각 선반(111)들에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 틀어진 각도를 추가로 연산할 수 있다.
구체적으로, 상기 연산부(150)는 상기 상부 가이드(112)의 전단에서의 상기 좌측 제1 간격(d1)(또는 상기 우측 제1 간격(d2))과 상기 상부 가이드(112)의 후단에서의 상기 좌측 제1 간격(d1)(또는 상기 우측 제1 간격(d2))의 차이를 이용하여 상기 각 선반(111)들에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 상기 틀어진 각도를 추가로 연산할 수 있다.
이와 달리, 상기 연산부(150)는 상기 하부 가이드(113)의 전단에서의 상기 좌측 제2 간격(d3)(또는 상기 우측 제2 간격(d4))과 상기 하부 가이드(113)의 후단에서의 상기 좌측 제2 간격(d3)(또는 상기 우측 제2 간격(d4))의 차이를 이용하여 상기 각 선반(111)들에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 상기 틀어진 각도를 연산할 수도 있다.
한편, 상기 연산부(150)는 상기 티칭용 지그(130)에 구비되지 않고 상기 티칭용 지그(130)와 이격되어 구비될 수 있다. 이때, 상기 연산부(150)는 무선 통신 또는 유선 통신을 통해 상기 센서 유닛(140)의 상기 감지 결과를 전달받을 수 있다.
상기 제어부(160)는 상기 연산부(150)의 연산 결과를 전달받을 수 있다. 상기 제어부(160)는 상기 중심 위치, 상기 기울어진 각도 및 상기 틀어진 각도에 따라 상기 이송 로봇(120)의 위치를 보정할 수 있다.
구체적으로, 상기 제어부(120)는 상기 그리퍼(121)를 상기 Y축 방향으로 이동하거나, 상기 그리퍼(121)를 상기 X축을 중심축으로 하여 회전시키거나, 상기 Z축을 중심축으로 하여 회전시켜 상기 이송 로봇(120)의 상기 티칭을 수행한다.
상기 제어부(160)는 상기 연산부(150)와 통신할 수 있는 유선 또는 무선 통신 모듈(미도시)을 구비할 수 있다.
이하에서는 상기 이송 로봇(120)을 티칭하는 과정을 설명한다.
상기 그리퍼(121)가 상기 티칭용 지그(130)가 세워지도록 고정하고, 상기 이송 로봇(120)이 상기 티칭용 지그(130)를 상기 선반(111)들 중 하나에 삽입한다. 이때, 상기 티칭용 지그(130)는 상기 상부 가이드(112) 및 상기 하부 가이드(112)에 의해 가이드 된다.
상기 티칭용 지그(130)가 상기 선반(111)에 삽입되는 동안, 상기 센서 유닛(140)은 상기 상부 가이드(112)와 상기 티칭용 지그(130) 사이의 상기 제1 간격들 및 상기 하부 가이드(113)와 상기 티칭용 지그(130) 사이의 상기 제2 간격들을 감지한다.
상기 센서 유닛(140)은 상기 티칭용 지그(130)가 상기 선반(111)에 삽입되는 동안 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들을 감지하므로, 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 상기 프로파일을 획득한다. 따라서 상기 상부 가이드(112)의 전체 부위에 대해 상기 제1 간격들을 확인하고, 상기 하부 가이드(113)의 전체 부위에 대해 상기 제2 간격들을 확인한다.
상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 상기 프로파일이 확인되면, 상기 연산부(150)는 상기 프로파일에 기반하여 상기 선반(111)에서 상기 상부 가이드(112) 및 상기 하부 가이드(113)의 상기 중심 위치, 상기 선반(111)에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 상기 기울어진 각도 및 상기 선반(111)에 대한 상기 티칭용 지그(130)의 상기 틀어진 각도를 각각 연산한다.
이후, 상기 제어부(160)는 상기 중심 위치, 상기 기울어진 각도 및 상기 틀어진 각도에 따라 상기 그리퍼(121)를 상기 Y축 방향으로 이동하거나, 상기 그리퍼(121)를 상기 X축을 중심축으로 하여 회전시키거나, 상기 Z축을 중심축으로 하여 회전시킨다. 상기 레티클(10)을 상기 선반(111)에 정확하게 삽입할 수 있도록 상기 이송 로봇(120)의 위치를 보정하여 상기 이송 로봇(120)의 상기 티칭을 수행한다.
이후, 상기 선반 유닛(110)을 회전하면서 나머지 선반(111)들에 대해 상기 과정을 반복한다. 따라서, 상기 선반(111)들 모두에 대해 상기 이송 로봇(230)의 상기 티칭을 수행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 스토커는 상기 티칭용 지그 및 상기 센서 유닛을 이용하여 상기 이송 로봇의 상기 티칭을 수행할 수 있다. 따라서, 상기 선반들에서 상기 레티클이 수납되는 공간이 협소하더라도 상기 이송 로봇을 정밀하고 티칭할 수 있고, 상기 이송 로봇의 티칭 값을 정확하게 획득할 수 있으며, 상기 이송 로봇의 티칭에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
상기 스토커는 상기 선반 유닛을 회전시키면서 상기 각 선반들에 대해 상기 이송 로봇의 티칭을 수행할 수 있다. 따라서 상기 선반들 모두에 대해 상기 이송 로봇의 티칭 값을 정확하게 획득할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 선반 유닛
111 : 선반 112 : 상부 가이드
113 : 하부 가이드 120 : 이송 로봇
121 : 그리퍼 122 : 그리퍼 구동부
130 : 티칭용 지그 140 : 센서 유닛
141 : 제1 센서 142 : 제2 센서
150 : 연산부 160 : 제어부
10 : 레티클

Claims (7)

  1. 상부 가이드 및 하부 가이드로 이루어진 선반들에 레티클들이 세워지도록 수납되는 선반 유닛;
    상기 레티클을 고정하는 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 선반에 삽입 또는 배출하기 위한 그리퍼 구동부를 포함하는 이송 로봇;
    상기 그리퍼에 고정되며, 상기 선반들에 삽입되는 티칭용 지그;
    상기 티칭용 지그에 양측면에 구비되며, 상기 상부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제1 간격들 및 상기 하부 가이드와 상기 티칭용 지그 사이의 제2 간격들을 감지하는 센서 유닛;
    상기 티칭용 지그에 구비되며, 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들에 기반하여 상기 상부 가이드 및 상기 하부 가이드의 중심 위치와 상기 선반에 대한 상기 티칭용 지그의 기울어진 각도를 연산하는 연산부; 및
    상기 중심 위치 및 상기 기울어진 각도를 이용하여 상기 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서 유닛은 상기 티칭용 지그의 전단부에 배치되고, 상기 티칭용 지그가 상기 선반들에 삽입되는 동안 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들을 감지하여 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 프로파일을 획득하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제2항에 있어서, 상기 연산부는 상기 제1 간격들 및 상기 제2 간격들의 상기 프로파일 이용하여 상기 선반에 대한 상기 티칭용 지그의 틀어진 각도를 추가로 연산하고,
    상기 제어부는 상기 틀어진 각도를 추가로 이용하여 상기 이송 로봇의 티칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제1항에 있어서, 상기 센서 유닛은,
    상기 티칭용 지그의 양측면 상단 부위에 각각 구비되며, 상기 제1 간격들을 감지하는 제1 센서들; 및
    상기 티칭용 지그의 양측면 하단 부위에 각각 구비되며, 상기 제2 간격들을 감지하는 제2 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 센서들 및 상기 제2 센서들은 레이저 프로파일 센서인 것을 특징으로 하는 스토커.
  6. 제1항에 있어서, 상기 티징용 지그는 상기 레티클과 동일한 형상과 크기인 것을 특징으로 하는 스토커.
  7. 제1항에 있어서, 상기 선반 유닛은 상기 선반들이 측면 둘레를 따라 방사상으로 배치되는 원통형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 스토커.
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